JPH01167679A - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置Info
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- JPH01167679A JPH01167679A JP32827687A JP32827687A JPH01167679A JP H01167679 A JPH01167679 A JP H01167679A JP 32827687 A JP32827687 A JP 32827687A JP 32827687 A JP32827687 A JP 32827687A JP H01167679 A JPH01167679 A JP H01167679A
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
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- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は低周波、超低周波においても被測定物のイン
ピーダンス伝達関数を高速、高精度に測定することがで
きるインピーダンス測定装置に関する。
ピーダンス伝達関数を高速、高精度に測定することがで
きるインピーダンス測定装置に関する。
「従来の技術」
従来の同期検波方式のインピーダンス測定装置は第４図
に示すように方形波発振器１１の端子１２より０゛位相
の方形波と、端子１３より９０°位相の方形波とを出力
し、端子１２のＯ°位相方形波を低域通過濾波器１４を
通して正弦波出力とし、増幅器１５で増幅した後、被測
定物１６へ供給する。被測定物１６の電流出力１．を電
流電圧変換器１７で電圧信号に変換し、その電圧信号を
同期検波器１８．１９へそれぞれ供給し、端子１２゜１
３よりの方形波と掛算して同期検波を行い、これら同期
検波器１８．１９の出力を積分器２１゜２２でそれぞれ
積分して、積分出力Ｒ，とＩＩＩとを得、これらをスイ
ッチ２３で切替えてＡＤ変換器２４へ供給してデジタル
信号に変換する。電流電圧変換器１７の帰還抵抗器２５
の抵抗値をＲとすると、ＡＤ変換器２４からデジタルの
ベクトル電圧Ｒ−１，＝Ｒ，＋ｊ Ｉ、が得られる。
に示すように方形波発振器１１の端子１２より０゛位相
の方形波と、端子１３より９０°位相の方形波とを出力
し、端子１２のＯ°位相方形波を低域通過濾波器１４を
通して正弦波出力とし、増幅器１５で増幅した後、被測
定物１６へ供給する。被測定物１６の電流出力１．を電
流電圧変換器１７で電圧信号に変換し、その電圧信号を
同期検波器１８．１９へそれぞれ供給し、端子１２゜１
３よりの方形波と掛算して同期検波を行い、これら同期
検波器１８．１９の出力を積分器２１゜２２でそれぞれ
積分して、積分出力Ｒ，とＩＩＩとを得、これらをスイ
ッチ２３で切替えてＡＤ変換器２４へ供給してデジタル
信号に変換する。電流電圧変換器１７の帰還抵抗器２５
の抵抗値をＲとすると、ＡＤ変換器２４からデジタルの
ベクトル電圧Ｒ−１，＝Ｒ，＋ｊ Ｉ、が得られる。
低域通過濾波器１４から周波数ｆｃの出力Ｓｉｔが第５
図Ａに示すように得られるとすると、被測定物１６、電
流電圧変換器１７から第５図Ａに示すように歪ｓｔｙ、
Ｓｔ３・・・が発生する。一方、方形波のスペクトラ
ムは第５図Ｂに示すように比較的大きい奇数次の高調波
を含む、従って同期検波器１８．１９では前記量が、高
調波により同期検波され、出力に現れる。つまりこの従
来の測定装置は被測定物１６、電流電圧変換器１７の歪
が直接測定誤差となる問題があった。
図Ａに示すように得られるとすると、被測定物１６、電
流電圧変換器１７から第５図Ａに示すように歪ｓｔｙ、
Ｓｔ３・・・が発生する。一方、方形波のスペクトラ
ムは第５図Ｂに示すように比較的大きい奇数次の高調波
を含む、従って同期検波器１８．１９では前記量が、高
調波により同期検波され、出力に現れる。つまりこの従
来の測定装置は被測定物１６、電流電圧変換器１７の歪
が直接測定誤差となる問題があった。
またインピーダンス測定装置として第６図に示すものが
考えられる。すなわち正弦波発振器２６の出力電圧■五
〇を被測定物１６へ供給し、被測定物１６の電流出力Ｉ
つを電流電圧変換器１７で電圧信号に変換し、その電圧
信号をＡＤ変換器２７でデジタル信号に変換する。その
デジタル信号をフーリエ変換器２８でフーリエ変換して
−Ｒ１゜と対応したＳ、を得る。一方、正弦波発振器２
６の出力ＶいをＡＤ変換器２９でデジタル信号に変換し
、そのデジタル信号をフーリエ変換器３１でフーリエ変
換してＶ’ｓと対応したＳ、を得る。従ってＺ−−■＝
、／１．− Ｒ−Ｓ−／Ｓｂを求めることができる。
考えられる。すなわち正弦波発振器２６の出力電圧■五
〇を被測定物１６へ供給し、被測定物１６の電流出力Ｉ
つを電流電圧変換器１７で電圧信号に変換し、その電圧
信号をＡＤ変換器２７でデジタル信号に変換する。その
デジタル信号をフーリエ変換器２８でフーリエ変換して
−Ｒ１゜と対応したＳ、を得る。一方、正弦波発振器２
６の出力ＶいをＡＤ変換器２９でデジタル信号に変換し
、そのデジタル信号をフーリエ変換器３１でフーリエ変
換してＶ’ｓと対応したＳ、を得る。従ってＺ−−■＝
、／１．− Ｒ−Ｓ−／Ｓｂを求めることができる。
このインピーダンス測定装置は被測定物１６、電流電圧
変換器１７の歪の影響を受けないが、へ〇変換器２７．
２９は波形をデジタル信号に変換するため高速、高精度
が要求され高価になる。またフーリエ変換数値処理が必
要なため高速に実行することが難しい問題があった。
変換器１７の歪の影響を受けないが、へ〇変換器２７．
２９は波形をデジタル信号に変換するため高速、高精度
が要求され高価になる。またフーリエ変換数値処理が必
要なため高速に実行することが難しい問題があった。
ｒ問題点を解決するための手段」
この発明によれば少（とも１つの正弦波波形メモリを含
む数値正弦波発生手段がフェーズアキュムレータの出力
で読出され、第１デジタル正弦波、第２デジタル正弦波
、デジタル余弦波を発生する。
む数値正弦波発生手段がフェーズアキュムレータの出力
で読出され、第１デジタル正弦波、第２デジタル正弦波
、デジタル余弦波を発生する。
その第１デジタル正弦波はＤＡ変換器でアナログ信号に
変換されて被測定物へ供給される。被測定物の出力と第
２デジタル正弦波とが第１乗算形ＯＡ変換器で掛算され
、被測定物の出力とデジタル余弦波とが第２乗鼻形ＤＡ
変換器で掛算される。第１乗算形ＤＡ変換器、第２乗鼻
形ＤＡ変換器の各出力は第１積分器、第２積分器でそれ
ぞれ正弦波周期の整数倍の区間積分される。
変換されて被測定物へ供給される。被測定物の出力と第
２デジタル正弦波とが第１乗算形ＯＡ変換器で掛算され
、被測定物の出力とデジタル余弦波とが第２乗鼻形ＤＡ
変換器で掛算される。第１乗算形ＤＡ変換器、第２乗鼻
形ＤＡ変換器の各出力は第１積分器、第２積分器でそれ
ぞれ正弦波周期の整数倍の区間積分される。
「実施例」
第１図はこの発明の実施例を示す。この発明ではフェー
ズアキュムレータ３２が設けられる。フェーズアキュム
レータ３２は与えられた数値ｎをクロックごとに累加算
し、数値波形３３を端子３４に出力し、内部の累加算器
のオーバーフローごとに端子３５にパルス３６を出力す
る０発振器３７の出力が可変分周器３８でｍ分の１に分
周され、周波数ｒ１のクロックがアキュムレータ３２に
入力される。
ズアキュムレータ３２が設けられる。フェーズアキュム
レータ３２は与えられた数値ｎをクロックごとに累加算
し、数値波形３３を端子３４に出力し、内部の累加算器
のオーバーフローごとに端子３５にパルス３６を出力す
る０発振器３７の出力が可変分周器３８でｍ分の１に分
周され、周波数ｒ１のクロックがアキュムレータ３２に
入力される。
アキュムレータ３２の端子３４の出力３３は数値正弦波
発生手段３９へ出力される。数値正弦波発生手段３９は
この例では第１正弦波波形メモリ４１、第２正弦波波形
メモリ４２、余弦波波形メモリ４３を備え、これらメモ
リ４１，４２．４３は端子３４からの数値をアドレスと
して読出されてクロックによりラッチ回路４４，４５．
４６に格納される。
発生手段３９へ出力される。数値正弦波発生手段３９は
この例では第１正弦波波形メモリ４１、第２正弦波波形
メモリ４２、余弦波波形メモリ４３を備え、これらメモ
リ４１，４２．４３は端子３４からの数値をアドレスと
して読出されてクロックによりラッチ回路４４，４５．
４６に格納される。
ラッチ回路４４の出力はＤＡ変換器４７でアナログ信号
に変換され、そのアナログ信号は低域通過ろ波器４８を
通され、必要に応じて増幅器４９で増幅され、更に必要
に応じて端子５１からの直流バイアスが加算器５２で加
算され、その加算出力ＶｉＭが被測定物５３へ供給され
る。被測定物５３の出力電流Ｉ８は電流電圧変換器５４
で電圧出力ｖｌ、ｌｌＬに変換される。
に変換され、そのアナログ信号は低域通過ろ波器４８を
通され、必要に応じて増幅器４９で増幅され、更に必要
に応じて端子５１からの直流バイアスが加算器５２で加
算され、その加算出力ＶｉＭが被測定物５３へ供給され
る。被測定物５３の出力電流Ｉ８は電流電圧変換器５４
で電圧出力ｖｌ、ｌｌＬに変換される。
この電圧出力■。□は第１．第２乗算形ＤＡ変換器５５
．５６にそれぞれ基準電圧として供給される。第１．第
２乗算形ＤＡ変換器５５．５６のデータ入力端子にはラ
ッチ回路４５．４６の各出力が供給される。第１．第２
乗算形ＤＡ変換器５５゜５６のデータ入力端子にはラッ
チ回路４５．４６の各出力が供給される。第１．第２乗
算形ＤＡ変換器５５．５６の出力はそれぞれスイッチ５
７゜５８を通じて第１．第２積分器６１．６２へ供給さ
れる。第１．第２積分器６１．６２の出力は切替スイッ
チ６３を通じ７ＡＤ変換器６４へ供給される。
．５６にそれぞれ基準電圧として供給される。第１．第
２乗算形ＤＡ変換器５５．５６のデータ入力端子にはラ
ッチ回路４５．４６の各出力が供給される。第１．第２
乗算形ＤＡ変換器５５゜５６のデータ入力端子にはラッ
チ回路４５．４６の各出力が供給される。第１．第２乗
算形ＤＡ変換器５５．５６の出力はそれぞれスイッチ５
７゜５８を通じて第１．第２積分器６１．６２へ供給さ
れる。第１．第２積分器６１．６２の出力は切替スイッ
チ６３を通じ７ＡＤ変換器６４へ供給される。
フェーズアキュムレータ３２の端子３５のパルスはサイ
クルカウンタ６５で計数され、カウンタ６５の出力６６
により第１．第２積分器６１．６２のリセットスイッチ
６７．６８が短時間オンとされて第１．第２積分器６１
．６２がリセットされる。そのリセット後の所定期間に
／ｆ、（ｆｃはパルス３６の周波数、ｋは整数）、スイ
ッチ５７゜５８はカウンタ６５の出力６９で第１．第２
乗算形１）Ａ変換器５５．５６の出力側を第１．第２積
分器６１．６２に接続する。出力６９の後縁からリセッ
トパルス６６の直前までの間に、第１．第２積分器６１
．６２の出力がＡＤ変換器６４でそれぞれディジタル値
に変換される。
クルカウンタ６５で計数され、カウンタ６５の出力６６
により第１．第２積分器６１．６２のリセットスイッチ
６７．６８が短時間オンとされて第１．第２積分器６１
．６２がリセットされる。そのリセット後の所定期間に
／ｆ、（ｆｃはパルス３６の周波数、ｋは整数）、スイ
ッチ５７゜５８はカウンタ６５の出力６９で第１．第２
乗算形１）Ａ変換器５５．５６の出力側を第１．第２積
分器６１．６２に接続する。出力６９の後縁からリセッ
トパルス６６の直前までの間に、第１．第２積分器６１
．６２の出力がＡＤ変換器６４でそれぞれディジタル値
に変換される。
第１．第２乗算形ＤＡ変換器５５．５６の各出力は、
Ｖ、、、（ｔ）Ｓｉｎ（ωｔ＞
Ｖｏｕｔ（ｔ）Ｃｏｓ（ωｔ）
となり、ω＝２πｆｃｓ第２πｆｃｓ分器６１゜６２の
各出力は、 とそれぞれなる。ｔｚ −ｔｌ−に７／ｆｃ、つまりＶ
ｏｕｔがフーリエ変換された出力Ｒ，，！、が得られ
る。この観測される出力Ｒ，＋ｊ１．は被測定物５３を
流れる電流１．に比例する。
各出力は、 とそれぞれなる。ｔｚ −ｔｌ−に７／ｆｃ、つまりＶ
ｏｕｔがフーリエ変換された出力Ｒ，，！、が得られ
る。この観測される出力Ｒ，＋ｊ１．は被測定物５３を
流れる電流１．に比例する。
Ｖｏｕｔ ＝ ＲＩ ＊ ＝ Ｊ ＋ Ｊ Ｉ ｍＲは
電流電圧変換器５４の帰還抵抗器７１の抵抗値である。
電流電圧変換器５４の帰還抵抗器７１の抵抗値である。
従って被測定物５３のインピーダンスＺＸは
Ｒ，＋ｊ’ｌ。
で求まる。Ｖ ｉ ｎは被測定物５３に加える正弦波振
幅、冴は測定システムの補正ベクトルである。
幅、冴は測定システムの補正ベクトルである。
ｖ０□を検波する信号、つまりラッチ回路４５゜４６の
出力のスペクトラムは第５図Ｃに示すようになる。測定
対象スペクトルＳ１と一致したスペクトルＳｂ＋は検波
に有効な成分となる。スペクトルＳ。、Ｓ、３・・・被
測定物５３、電流電圧変換器５４の歪スペクトルと一致
したものであり、測定誤差と成るが、一般に極く微少、
１／１０００以下であるため影響は少ない。スペクトル
Ｓ ＣＩ ｒ Ｓ Ｃ！はｍｆ。
出力のスペクトラムは第５図Ｃに示すようになる。測定
対象スペクトルＳ１と一致したスペクトルＳｂ＋は検波
に有効な成分となる。スペクトルＳ。、Ｓ、３・・・被
測定物５３、電流電圧変換器５４の歪スペクトルと一致
したものであり、測定誤差と成るが、一般に極く微少、
１／１０００以下であるため影響は少ない。スペクトル
Ｓ ＣＩ ｒ Ｓ Ｃ！はｍｆ。
±ｆｃ （ｍ＝１．２．・・・）で発生するサンプル不
要スペクトルである。ｒ、／ｒＣを非整数、例えば１０
．２４に選択すれば、このスペクトルは被測定物５３、
電流電圧変換器５４の歪スペクトルと一致しないため、
測定誤差とはならない。積分区間１、−１．を１／ｆ、
の整数倍でかつ１／ｆ、の整数倍例えば４０ ｏ７ｒｃ
＝４０９６／ｒ、に選択されない場合は、スペクトルＳ
Ｃ１＋ ｓｃｚ成分はフーリエ変換切り取り誤差とし
て観測される。この誤差は積分区間Ｌｔｔ＋＝に／ｆｃ
で選択される整数ｋ及びｆ、／ｆｃに反比例して減少す
るため、例えばｆ、 ／ｆｃ＝１０．２４ 、ｋ＝ １
０で切り取り誤差は０．１％以下である。
要スペクトルである。ｒ、／ｒＣを非整数、例えば１０
．２４に選択すれば、このスペクトルは被測定物５３、
電流電圧変換器５４の歪スペクトルと一致しないため、
測定誤差とはならない。積分区間１、−１．を１／ｆ、
の整数倍でかつ１／ｆ、の整数倍例えば４０ ｏ７ｒｃ
＝４０９６／ｒ、に選択されない場合は、スペクトルＳ
Ｃ１＋ ｓｃｚ成分はフーリエ変換切り取り誤差とし
て観測される。この誤差は積分区間Ｌｔｔ＋＝に／ｆｃ
で選択される整数ｋ及びｆ、／ｆｃに反比例して減少す
るため、例えばｆ、 ／ｆｃ＝１０．２４ 、ｋ＝ １
０で切り取り誤差は０．１％以下である。
第１図において電流電圧変換器５４の替りに電圧電圧変
換器を用いれば被測定物５３の伝達関数を測定すること
ができる。
換器を用いれば被測定物５３の伝達関数を測定すること
ができる。
第１図中の数値正弦波発生手段３９としては第２図に示
すように構成してもよい。つまりフェーズアキュムレー
タ３２の出力をフェーズシフタ７２へ供給し、０°出力
と９０°出力とを第３図ａに示すように交互に出力し、
これら出力により正弦波波形メモリ７３が読出され、つ
まり正弦波波形メモリ７３から０°の正弦波とこれより
９０°進んだ正弦波、つまり余弦波とが交互に読出され
る。
すように構成してもよい。つまりフェーズアキュムレー
タ３２の出力をフェーズシフタ７２へ供給し、０°出力
と９０°出力とを第３図ａに示すように交互に出力し、
これら出力により正弦波波形メモリ７３が読出され、つ
まり正弦波波形メモリ７３から０°の正弦波とこれより
９０°進んだ正弦波、つまり余弦波とが交互に読出され
る。
余弦波が読出された時に、第３図すのパルスによりラッ
チ回路７４にラッチされ、正弦波が読出された時に第３
図Ｃのパルスによりラッチ回路７５にラッチされると共
にラッチ回路７４の出力がラッチ回路７６にラッチされ
る。ラッチ回路７５の出力はＤＡ変換器４７及び第１乗
算形ＤＡ変換器５５へ供給され、ラッチ回路７６の出力
は第２乗算形ＤＡ変換器５６へ供給される。
チ回路７４にラッチされ、正弦波が読出された時に第３
図Ｃのパルスによりラッチ回路７５にラッチされると共
にラッチ回路７４の出力がラッチ回路７６にラッチされ
る。ラッチ回路７５の出力はＤＡ変換器４７及び第１乗
算形ＤＡ変換器５５へ供給され、ラッチ回路７６の出力
は第２乗算形ＤＡ変換器５６へ供給される。
第１図中の第１積分器６１の出力Ｒ，は被測定インピー
ダンスＺ、のコンダクタンス成分でアリ、第２積分器６
２の出力Ｉ７はリセブタンス成分であり、これらＲ，，
１，をオシロスコープで直接観測してもよい。
ダンスＺ、のコンダクタンス成分でアリ、第２積分器６
２の出力Ｉ７はリセブタンス成分であり、これらＲ，，
１，をオシロスコープで直接観測してもよい。
「発明の効果」
以上述べたようにこの発明においては高速、高精度のＡ
Ｄ変換器を使用しないため、第６図に示したものと比較
して、安価に構成することができる。デジタルフーリエ
変換数値処理を必要とせず高速度に動作する。被測定物
や電流電圧変換器の歪の影響を受けないため高精度の測
定が可能である。更に第４図に示した従来のものにおい
ては測定周波数を変化させるには低域通過ろ波器１４の
通過特性をも変更させる必要があり、周波数を可変とす
ることは困難であるが、この発明においては周波数を変
化させても第５図Ｃ中のスペクトルＳ Ｃ１＋ ｓｃｉ
はわずかじか変化しないため、これを除去するためのる
波器のろ波特性を可変とする必要がなく、容易に測定周
波数ｆｃを変化させることができる。
Ｄ変換器を使用しないため、第６図に示したものと比較
して、安価に構成することができる。デジタルフーリエ
変換数値処理を必要とせず高速度に動作する。被測定物
や電流電圧変換器の歪の影響を受けないため高精度の測
定が可能である。更に第４図に示した従来のものにおい
ては測定周波数を変化させるには低域通過ろ波器１４の
通過特性をも変更させる必要があり、周波数を可変とす
ることは困難であるが、この発明においては周波数を変
化させても第５図Ｃ中のスペクトルＳ Ｃ１＋ ｓｃｉ
はわずかじか変化しないため、これを除去するためのる
波器のろ波特性を可変とする必要がなく、容易に測定周
波数ｆｃを変化させることができる。
第１図はこの発明の実施例を示すブロック図、第２図は
その数値正弦波発生手段の変形例を示すブロック図、第
３図はその動作の説明に供する波形図、第４図は従来の
インピーダンス測定装置を示すブロック図、第５図はこ
の発明の説明に供するためのスペクトラムを示す図、第
６図は従来の他のインピーダンス測定装置を示すブロッ
ク図である。 特許出願人：株式会社アトパンテスト
その数値正弦波発生手段の変形例を示すブロック図、第
３図はその動作の説明に供する波形図、第４図は従来の
インピーダンス測定装置を示すブロック図、第５図はこ
の発明の説明に供するためのスペクトラムを示す図、第
６図は従来の他のインピーダンス測定装置を示すブロッ
ク図である。 特許出願人：株式会社アトパンテスト
Claims (1)
- （１）フェーズアキュムレータと、 少くとも１つの正弦波波形メモリを含み、上記フェーズ
アキュムレータの出力で読出され、第１デジタル正弦波
と、第２デジタル正弦波と、デジタル余弦波とを発生す
る数値正弦波発生手段と、上記第１デジタル正弦波をア
ナログ信号に変換して被測定物へ供給するＤＡ変換器と
、 上記被測定物の出力と上記第２デジタル正弦波とを掛算
する第１乗算形ＤＡ変換器と、 上記被測定物の出力と上記デジタル余弦波とを掛算する
第２乗算形ＤＡ変換器と、 上記第１乗算形ＤＡ変換器の出力を正弦波周期の整数倍
の区間積分する第１積分器と、 上記第２乗算形ＤＡ変換器の出力を正弦波周期の整数倍
の区間積分する第２積分器とを具備するインピーダンス
測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32827687A JP2587970B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | インピーダンス測定装置 |
| US07/284,352 US4947130A (en) | 1987-12-23 | 1988-12-14 | Impedance measuring apparatus |
| DE88121429T DE3880648T2 (de) | 1987-12-23 | 1988-12-21 | Impedanzmessgerät. |
| EP88121429A EP0321963B1 (en) | 1987-12-23 | 1988-12-21 | Impedance measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32827687A JP2587970B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | インピーダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167679A true JPH01167679A (ja) | 1989-07-03 |
| JP2587970B2 JP2587970B2 (ja) | 1997-03-05 |
Family
ID=18208415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32827687A Expired - Lifetime JP2587970B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2587970B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014104188A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | 学校法人早稲田大学 | 電気化学解析装置および電気化学システム |
| CN104781679A (zh) * | 2012-12-03 | 2015-07-15 | 三菱电机株式会社 | 电压检测装置 |
| JP2018036205A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 日置電機株式会社 | インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 |
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1987
- 1987-12-23 JP JP32827687A patent/JP2587970B2/ja not_active Expired - Lifetime
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