JPH01169982A - バイモルフ型圧電素子 - Google Patents
バイモルフ型圧電素子Info
- Publication number
- JPH01169982A JPH01169982A JP62326846A JP32684687A JPH01169982A JP H01169982 A JPH01169982 A JP H01169982A JP 62326846 A JP62326846 A JP 62326846A JP 32684687 A JP32684687 A JP 32684687A JP H01169982 A JPH01169982 A JP H01169982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric elements
- vibration
- piezoelectric element
- damping alloy
- bimorph
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は例えば光学式ディスク記録・再生装置における
対物レンズ駆動装置の駆動源などとして好ましく用いる
ことのできるバイモルフ型圧電素子に関するものである
。
対物レンズ駆動装置の駆動源などとして好ましく用いる
ことのできるバイモルフ型圧電素子に関するものである
。
第７図は従来のバイモルフ型圧電素子を使用した情報記
録再生装置に用いる対物レンズ駆動装置の要部を示す斜
視図、第８図は第７図のバイモルフ型圧電素子を示す構
成図、第９図は第７図に示す対物レンズ駆動装置の周波
数特性図である。
録再生装置に用いる対物レンズ駆動装置の要部を示す斜
視図、第８図は第７図のバイモルフ型圧電素子を示す構
成図、第９図は第７図に示す対物レンズ駆動装置の周波
数特性図である。
図において（１）は対物レンズ、（２）はこの対物レン
ズ（１）を保持する対物レンズホルダである。
ズ（１）を保持する対物レンズホルダである。
（３）は固定部であり、この固定部（３）は通例、図示
しない光ヘッドに保持される。 （４ａ）、（４ｂ）は
−端部が前記対物レンズホルダ（２）に接続され、他端
部が固定部（３）に接続された一対のバイモルフ型圧電
素子、（４１） 、 （４２）はそれぞれ同じ厚み方向
に分極された圧電素子、（６）は圧電素子（４１） 、
（４２）の間に介装された銅などの金属材からなる導
電板、（７）、（８）、（９’）はそれぞれ圧電素子（
４１）、導電板（６）、圧電素子（４２）の端部に電気
的に接続された端子である。
しない光ヘッドに保持される。 （４ａ）、（４ｂ）は
−端部が前記対物レンズホルダ（２）に接続され、他端
部が固定部（３）に接続された一対のバイモルフ型圧電
素子、（４１） 、 （４２）はそれぞれ同じ厚み方向
に分極された圧電素子、（６）は圧電素子（４１） 、
（４２）の間に介装された銅などの金属材からなる導
電板、（７）、（８）、（９’）はそれぞれ圧電素子（
４１）、導電板（６）、圧電素子（４２）の端部に電気
的に接続された端子である。
次に動作について説明する。バイモルフ型圧電素子（４
ａ） 、 （４ｂ）の端子（７）、（９）に同極、（８
）に異極の電圧を印加すると圧電素子（４１）、（４２
）のうち一方は第８図の矢印αの長さ方向に伸び、もう
−方は矢印βの長さ方向に縮む。それぞれの圧電素子（
４１）、（４２）の対向する側には導電板（６）が接着
されており、長さは変化しない、その結果、バイモルフ
型圧電素子（４ａ）、（４ｂ）は図のγ方向にたわみ、
変形する。よって、不図示の公知の方法で焦点ずれを検
出し、そのずれ量に応じた電圧をバイモルフ型圧電素子
（４ａ） 、 （４ｂ）に印加することにより、対物レ
ンズホルダ（２）、ひいては対物レンズ〈１）を図の矢
印入方向に駆動し、焦点制御が行なわれる。
ａ） 、 （４ｂ）の端子（７）、（９）に同極、（８
）に異極の電圧を印加すると圧電素子（４１）、（４２
）のうち一方は第８図の矢印αの長さ方向に伸び、もう
−方は矢印βの長さ方向に縮む。それぞれの圧電素子（
４１）、（４２）の対向する側には導電板（６）が接着
されており、長さは変化しない、その結果、バイモルフ
型圧電素子（４ａ）、（４ｂ）は図のγ方向にたわみ、
変形する。よって、不図示の公知の方法で焦点ずれを検
出し、そのずれ量に応じた電圧をバイモルフ型圧電素子
（４ａ） 、 （４ｂ）に印加することにより、対物レ
ンズホルダ（２）、ひいては対物レンズ〈１）を図の矢
印入方向に駆動し、焦点制御が行なわれる。
従来のバイモルフ型圧電素子は以上のように構成されて
いるので、その周波数特性をみると第９図に示すように
、比較的低い周波数で２次、３次の共振が発生し、しか
もその振動レベルが高いため、制御帯域が広くとれない
という問題があった。
いるので、その周波数特性をみると第９図に示すように
、比較的低い周波数で２次、３次の共振が発生し、しか
もその振動レベルが高いため、制御帯域が広くとれない
という問題があった。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、簡単な構成で、制御帯域を広くとれるバイモル
フ型圧電素子を得ることを目的とする。
もので、簡単な構成で、制御帯域を広くとれるバイモル
フ型圧電素子を得ることを目的とする。
本発明に係るバイモルフ型圧電素子は、ほぼ平行に配置
された２枚の圧電素子と、この２枚の圧電素子の間に密
着して介装された制振合金とを備えたものである。
された２枚の圧電素子と、この２枚の圧電素子の間に密
着して介装された制振合金とを備えたものである。
本発明におけるバイモルフ型圧電素子は、制振合金が２
次以上の共振による振動を吸収する。
次以上の共振による振動を吸収する。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第１図、第２図において、（５ａ） 、 （５ｂ）は本
発明に係るバイモルフ型圧電素子であり、厚さ方向に分
極された２枚の圧電素子（５１）、（５２）の間に、制
振合金（１０）が介装されたものである。その他の符号
は上記従来装置と同様であるから説明を省略する。
発明に係るバイモルフ型圧電素子であり、厚さ方向に分
極された２枚の圧電素子（５１）、（５２）の間に、制
振合金（１０）が介装されたものである。その他の符号
は上記従来装置と同様であるから説明を省略する。
なお、上記制振合金（１０）としては、例えばＦｅ−Ｃ
ｒ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｏ、Ｆｅ−Ｃ−
３ｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｍｇ−Ｍｇ２Ｎｉ、Ｍｎ−Ｃｕ、Ｍ
ｎ−Ｃｕ−Ａ Ｉ、Ｃｕ −Ａ Ｉ−Ｎ ｉ、Ｎ ｉ
−Ｔ ｉなどの制振合金を用いることが出来るが、もと
よりこれらのもののみに限定されるものではない、この
制振合金（１０）は導電性を有するものが好ましい。
ｒ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｏ、Ｆｅ−Ｃ−
３ｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｍｇ−Ｍｇ２Ｎｉ、Ｍｎ−Ｃｕ、Ｍ
ｎ−Ｃｕ−Ａ Ｉ、Ｃｕ −Ａ Ｉ−Ｎ ｉ、Ｎ ｉ
−Ｔ ｉなどの制振合金を用いることが出来るが、もと
よりこれらのもののみに限定されるものではない、この
制振合金（１０）は導電性を有するものが好ましい。
次に動作について説明する。制振合金（１０）に接続さ
れた端子（８）及び圧電素子（５１）、（５２）に接続
された端子（７）、（９）に焦点のずれ量に応じた所望
の電圧を印加することにより、バイモルフ型圧電素子（
５ａ） 、 ＜５ｂ）を従来装置と同様の原理で変形さ
せ、対物レンズホルダ（２）、ひいては対物レンズ（１
）を図の矢印Ａ方向に駆動し、焦点制御を行う。その際
制振合金（１０）は動作周波数帯域において振動エネル
ギーを吸収するため、バイモルフ型圧電素子（５ａ）
、 （５ｂ）の共振点においてその振動レベルを軽減さ
せる。第３図は上記実施例について測定された周波数特
性であり、特に２次以上の共振レベルが制御を行うにあ
たり問題のないレベルまで低減されていることが確認さ
れた。
れた端子（８）及び圧電素子（５１）、（５２）に接続
された端子（７）、（９）に焦点のずれ量に応じた所望
の電圧を印加することにより、バイモルフ型圧電素子（
５ａ） 、 ＜５ｂ）を従来装置と同様の原理で変形さ
せ、対物レンズホルダ（２）、ひいては対物レンズ（１
）を図の矢印Ａ方向に駆動し、焦点制御を行う。その際
制振合金（１０）は動作周波数帯域において振動エネル
ギーを吸収するため、バイモルフ型圧電素子（５ａ）
、 （５ｂ）の共振点においてその振動レベルを軽減さ
せる。第３図は上記実施例について測定された周波数特
性であり、特に２次以上の共振レベルが制御を行うにあ
たり問題のないレベルまで低減されていることが確認さ
れた。
なお、上記実施例では対物レンズを焦点方向に駆動し制
御する場合の構成について示したが、これに限定される
ものではなく、たとえば第４図に示すようにトラッキン
グ方向の駆動・制御を行うように構成することも容易で
あり上記実施例と同様の効果を期待できる。なお、この
場合動作の原理は駆動方向が図の矢印Ｂ方向に変化する
だけで、前述のものと全く同様である。さらに、第５図
に示すように焦点制御、トラック制御の両方を行うよう
な構成とすることもできる。
御する場合の構成について示したが、これに限定される
ものではなく、たとえば第４図に示すようにトラッキン
グ方向の駆動・制御を行うように構成することも容易で
あり上記実施例と同様の効果を期待できる。なお、この
場合動作の原理は駆動方向が図の矢印Ｂ方向に変化する
だけで、前述のものと全く同様である。さらに、第５図
に示すように焦点制御、トラック制御の両方を行うよう
な構成とすることもできる。
また、上記実施例ではこの発明を情報記録再生装置にお
ける対物レンズの駆動源として用いる場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえば第６
図に示すように反射ミラー（３１）及び該反射ミラーを
保持する反射ミラー保持台（３２）を本発明に係る第２
図のバイモルフ型圧電素子（５）で支持すると共に駆動
し、光線の反射方向を変化させる手段として使用するこ
ともできる。
ける対物レンズの駆動源として用いる場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえば第６
図に示すように反射ミラー（３１）及び該反射ミラーを
保持する反射ミラー保持台（３２）を本発明に係る第２
図のバイモルフ型圧電素子（５）で支持すると共に駆動
し、光線の反射方向を変化させる手段として使用するこ
ともできる。
この他例えばＶＴＲのヘッドの駆動源など種々の駆動装
置の駆動源として用いることが出来る。
置の駆動源として用いることが出来る。
以上のように本発明によれば、ほぼ平行に配置された厚
さ方向に分極された２枚の圧電素子と、この２枚の圧電
素子の間に密着して介装された制振合金により構成した
ことにより、周波数特性上２次以上の共振レベルを問題
のないレベルまで低減できるので、簡単な構成で制御帯
域を広くとることができるという効果がある。
さ方向に分極された２枚の圧電素子と、この２枚の圧電
素子の間に密着して介装された制振合金により構成した
ことにより、周波数特性上２次以上の共振レベルを問題
のないレベルまで低減できるので、簡単な構成で制御帯
域を広くとることができるという効果がある。
第１図は、本発明の一実施例によるバイモルフ型圧電素
子を用いた対物レンズ駆動装置の要部を示す斜視図、第
２図は上記実施例のバイモルフ型圧電素子を示す断面図
、第３図は上記実施例について測定された周波数特性図
、第４図、第５図、第６図は本発明の他の実施例の要部
を示す斜視図、第７図は従来のバイモルフ型圧電素子を
用いた対物レンズ駆動装置の要部を示す斜視図、第８図
は第７図のバイモルフ型圧電素子を示す断面図、第９図
は第７図に示す従来装置について測定された周波数特性
図である。 図において、（１）は対物レンズ、（５ａ） 、 （５
ｂ） 、 （５）はバイモルフ型圧電素子、＜５１）
、 （５２）は圧電素子、（１０）は制振合金である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 怖１図 ５１．５２：圧電素子 心２ｒＸＪ 形３図 Ｆｒｅｑ。 懲５図 シ 形６図
子を用いた対物レンズ駆動装置の要部を示す斜視図、第
２図は上記実施例のバイモルフ型圧電素子を示す断面図
、第３図は上記実施例について測定された周波数特性図
、第４図、第５図、第６図は本発明の他の実施例の要部
を示す斜視図、第７図は従来のバイモルフ型圧電素子を
用いた対物レンズ駆動装置の要部を示す斜視図、第８図
は第７図のバイモルフ型圧電素子を示す断面図、第９図
は第７図に示す従来装置について測定された周波数特性
図である。 図において、（１）は対物レンズ、（５ａ） 、 （５
ｂ） 、 （５）はバイモルフ型圧電素子、＜５１）
、 （５２）は圧電素子、（１０）は制振合金である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 怖１図 ５１．５２：圧電素子 心２ｒＸＪ 形３図 Ｆｒｅｑ。 懲５図 シ 形６図
Claims (1)
- ほぼ平行に配置された２枚の圧電素子と、この２枚の
圧電素子の間に密着して介装された制振合金とを備えた
ことを特徴とするバイモルフ型圧電素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326846A JPH01169982A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | バイモルフ型圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326846A JPH01169982A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | バイモルフ型圧電素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01169982A true JPH01169982A (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=18192368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62326846A Pending JPH01169982A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | バイモルフ型圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01169982A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713784A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Bimorph piezoelectric element |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP62326846A patent/JPH01169982A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713784A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Bimorph piezoelectric element |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0373426A (ja) | 光学系支持装置 | |
| US6724696B2 (en) | Four-axial driving actuator for optical pickup | |
| JPWO2003098614A1 (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP3407330B2 (ja) | 光学系支持装置 | |
| JPS59221838A (ja) | 光デイスクプレ−ヤの対物レンズ駆動装置 | |
| JPH05266507A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP3110854B2 (ja) | 光学系駆動装置 | |
| JPH01169744A (ja) | バイモルフ型圧電素子アクチュエータ | |
| JPH0744880A (ja) | 対物レンズアクチュエータ | |
| WO2001013368A1 (en) | Device for driving object lens | |
| JP3102280B2 (ja) | 対物レンズアクチュエータ | |
| JPS60263347A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0428025A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPH08129767A (ja) | 光ヘッドのアクチュエータ | |
| JPH09120560A (ja) | レンズ駆動装置 | |
| JPH08321056A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPH0359823A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0770076B2 (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| KR20000013728U (ko) | 단일 마그네트를 사용한 광픽업 액츄에이터 | |
| JP2000173076A (ja) | 光学系駆動装置 | |
| JPH0916995A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JP2001084615A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0215423A (ja) | 対物レンズ支持装置 | |
| JPH06103596A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP2002117561A (ja) | 対物レンズ駆動装置 |