JPH0117066Y2

JPH0117066Y2 -

Info

Publication number: JPH0117066Y2
Application number: JP1982147821U
Authority: JP
Priority date: 1982-09-29
Filing date: 1982-09-29
Publication date: 1989-05-18
Also published as: JPS5952541U

Description

【考案の詳細な説明】［考案の目的］（産業上の利用分野）本考案は真空不良検出構成をとつた真空バルブ
の改良に関する。

（従来の技術および考案が解決しようとする課
題）近年、真空バルブにおいてその真空不良を検出
する方法として、大気圧との圧力差を利用した方
法（例えば、特開昭54−7581号公報、実開昭53−
9468号公報）が提案されている。このような方法
においては、真空不良が大気圧近くに達したとき
は検出可能であるが、10^-4Torrから10^-3Torr程
度に真空度が低下した時には、まだ大気と10^-3の
圧力差があるため不良を検出することが不可能で
ある。

つまり、真空度が10^-4Torrから10^-3Torrに変
化した事は、0.1g／cm²：１Kg／cm²が1g／cm²：１
Kg／cm²に変化したにすぎず0.9g／cm²の差である。
この10^-4Torrと10^-3Torrの差は、真空バルブの
開閉が可能か不可能かの真空度の差であつて非常
に重要な点である。また、真空度検出用のベロー
ズは大気との遮断の役をするため、真空もれは絶
対にあつてはならない。さもないと、真空バルブ
の信頼性を低下させてしまうことになる。そのた
め、ベローズの肉厚を薄くすることについて制約
があり感度を鈍らせる結果となる。

本考案は以上のような事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、真空容器内に該
真空容器内の真空圧力と同一圧力に設定できるベ
ローズからなる真空不良検出用の小室を設けるこ
とにより、真空度低下を高感度に検出可能とし、
かつ、薄肉であつても空気もれを起すことなく確
実に使用し得る真空バルブを提供するものであ
る。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は以上のような目的を達成するために、
真空容器内に固定電極およびこの固定電極に対し
て接離可能に第１の金属ベローズを介して取付け
た可動電極とを収納してなる真空バルブにおい
て、前記真空容器内に設けられ該真空容器内との
圧力差で変位する真空不良検出用の第２の金属ベ
ローズからなる小室と、前記真空容器の外側から
前記小室内と真空容器内とが連通するように設け
られ前記小室内の圧力を真空容器内の真空圧力と
同一の値に設定する金属パイプと、前記真空圧力
に設定された真空容器と小室とを遮断するために
前記真空容器の外側に位置する金属パイプの部位
に形成してなる偏平部とを有し、前記真空容器内
の真空度低下時に生じる前記小室の変位を利用し
て真空不良を検出する構成である。

（作用）従つて、本発明は以上のような手段を講じたこ
とにより、真空容器内部に真空容器内の真空圧力
と同一圧力に設定されたベローズからなる真空不
良検出用の小室を設けたことにより、真空容器内
の真空度が低下したときに小室がつぶれるなどし
て変位するので、この小室の変位から真空容器内
の真空不良を検出でき、また小室が真空容器内の
真空圧力と同一圧力に設定されているので薄肉に
して高感度で真空不良を検出できる。

（実施例）以下、本考案の一実施例について第１図および
第２図を参照して説明する。これらの図において
真空バルブは絶縁物からなる真空容器１内に、固
定電極２および可動電極３が収納され、特に可動
電極３は真空容器１に金属ベローズ４を介して固
定電極２に接離可能に取付けられている。また、
真空容器１内部には金属ベローズからなる真空不
良検出用の小室５が取付けられている。そして、
前記真空容器１の外側から曲状に形成された金属
パイプ１１の各端部が前記小室内部５ｂと真空容
器１内部に挿入され、これら小室５と真空容器１
とが金属パイプ１１を通してのみ連通するように
なつている。この小室５は、その端部に接点５ａ
が設けられ、真空容器１内が真空圧力となつてい
るとき、小室内部５ａも同様に金属バイプ１１を
通して真空圧力に設定され、かつ、小室５が真空
圧力状態に設定されているとき前記接点５ａは真
空容器１を気密に貫通する金属棒１２端部の接点
１２ａに接触するようになつている。すなわち、
真空バルブの製造工程において真空容器１を真空
引きする時に金属パイプ１１により小室内部５ｂ
も同気圧に引かれる。このようにして小室５と真
空容器１が同一の真空圧力になつたとき、真空容
器１を封印し、しかる後、真空容器１の外側に位
置する金属パイプ１の所定部位を第２図の如くつ
ぶすなどして偏平部１１ａを形成し、小室内部５
ｂと真空容器１内部とをしや断する。

しかして、以上のような状態において、真空容
器１の真空度が低下して内圧が上ると、小室内部
５ｂと真空容器１内部の圧力差によつて小室５が
つぶれて変位するため、金属棒１２の接点１２か
ら小室５側の接点５ａが離れるため、真空不良を
容易に検出できる。

従つて、以上のような実施例の構成によれば、
真空容器１が正常な時には小室内部５ｂと真空容
器１内部との間には圧力差がないので、小室５に
は何ら力が作用せず、真空容器１の真空不良が発
生したときのみその圧力差に応じた力により変位
するので、良好なる感度で真空不良を検出でき
る。また、小室５は外気と接しないので、肉厚を
薄くしても真空バルブとしての信頼性が低下せ
ず、かつ、小室５の軽量化が図れ、真空容器の振
動によつて生ずる接点５ａの振動の影響を少なく
できる。さらに、真空容器１の外部から金属パイ
プ１１を小室内部５ｂと真空容器１内部に挿入す
るので、これら小室内部５ｂと真空容器１内部と
のしや断を簡単、かつ、確実に行うことができ
る。

なお、本考案は上記実施例に限定されるもので
はない。

(a) 小室５の変位状態を光フアイバ等を利用して
光の透過または反射により検出してもよい。

(b) また、小室５は、気体の透過しない材料であ
れば金属に限るものではない。

［考案の効果］以上説明したように本考案によれば、小室内と
真空容器内とを同気圧に設定することにより、真
空不良検出用小室の肉厚を薄くできると共に軽量
化が図れ、真空低下時には圧力差零から圧力低下
に伴う圧力差に相当する力によつて変化するので
高感度で真空不良を検出できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は小室と真空容器とが真空圧力状態でしや断続
されている状態を示す図である。１……真空容器、２……固定電極、３……可動
電極、４……金属ベローズ、５……小室、５ａ…
…接点、５ｂ……小室内部、１１……金属パイ
プ、１１ａ……偏平部、１２……検出用電極（金
属棒）、１２ａ……接点。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

絶縁物からなる真空容器内に固定および可動の
一対の電極を収納し、第１の金属ベローズを設け
て前記可動側電極を前記固定側電極に接離可能に
構成した真空バルブにおいて、前記真空容器内に
設けられ該真空容器内との圧力差で変位する真空
不良検出用の第２の金属ベローズからなる小室
と、前記真空容器の外側から前記小室内と真空容
器内とを連通するように設けられ前記小室内の圧
力を真空容器内の真空圧力と同一の値に設定する
金属パイプと、それぞれ真空圧力に設定された真
空容器と小室とを遮断するために前記真空容器の
外側に位置する金属パイプの部位に形成してなる
偏平部とを有し、前記真空容器内の真空低下時に
生じる前記小室の変位を利用して真空不良を検出
することを特徴とする真空バルブ。