JPH0117094B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明はレンズアレイ検査装置に関するもので
ある。 本発明は主としてレンズアレイを検査測定する
のに適する。ところで、上記レンズアレイとは、
ここでは電子写真複写機等においてスリツト露光
用として用いられるものを主としており、機能的
には正立実像を得るようにかつアレイ状に構成さ
れているものをいう。その代表的なものを例示す
ると、まず、第１図に示されているのは集束性光
伝送体になるレンズアレイであり、多数の集束性
光伝送体が２列に千鳥状に配列してフレームに取
付けてある。第２図は上記集性光伝送体による結
像状態を示している。第３図は３枚のレンズを組
合せて正立実像を得るようにした例を示してお
り、１列又は複数列のアレイとして使用される。
第４図はプリズム入レンズの例で、１列のアレイ
で使用される。 本発明に係る従来技術としては、例えば次の技
術が知られている。その１つは(1)第５図に示され
るようにレンズアレイ２の長手方向上での長さに
等しい矩形波チヤート１を用意し、スリツトＳ及
びレンズＬを介して得られるそのチヤート像が光
電管（ホトマル）３で受光されるよう設定し、固
定的に配置されているスリツトＳ、レンズＬ、光
電管３等に対して被検レンズアレイ２と矩形波チ
ヤート１とを一体的に移動しながら走査して光電
管３の出力４を得、この出力４に含まれている正
弦波信号からMTF（Modulation Transfer
Function）を求める方法である。 他の１つは、(2)矩形波チヤート像を固体走査素
子で受光し、白レベルの信号の平均値と黒レベル
の信号の平均値からMTFを計算する方法である。
例えば第６図において、符号Ａ，ａは白レベルの
極大値、符号Ｂ，ｂは黒レベルの極小値をそれぞ
れ示し、MTF＝ａ−ｂ／ａ＋ｂ／Ａ−Ｂ／Ａ＋Ｂとして
算出さ れる。 しかしながら上記(1)の技術は、レンズアレイ２
と同じ長さを有する矩形波チヤートを用いる必要
があり、このような長さの長いチヤートを高精度
にむらなく製造することは困難でかつ高価である
という難点がある。又、レンズアレイの長手方向
と直交する方向でのMTFを検査することができ
ないという欠点もある。 次に上記(2)の技術は元来単レンズのMTF検査
に適した技術であり、レンズアレイ一般に生じて
いる光量むら（第１２図参照）を加味して（例え
ば極大値、極小値を平均化する）のMTFを算出
することができず、従つて、レンズアレイの
MTF検査に当該技術を適用することは精度の信
頼性等の点で不適当である。 本発明は上記従来技術におけるが如き欠点を何
ら有しないレンズアレイ検査方法を提供すること
を目的とする。 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳
細に説明する。 矩形波チヤート像を固体走査素子上に結像させ
てレンズアレイの性能を検査する方法において、 固体走査素子とチヤトに対し、レンズアレイを
相対的に移動させながらレンズアレイの全域又は
一部を走査して固体走査素子より出力される１ビ
ツトの信号に対応する隣り同士のビツト信号を比
較して極大値（M₁、M₂…M_o）、極小値（N₁、
N₂…N_o）を求め、 上記により求めた各極大値（M₁、M₂…M_o）、
極小値（N₁、N₂…N_o）における隣り同士の値
（（M₁、N₁）、（M₂、N₂）…（M_o、N_o）及び
（M₂、N₁）、（M₃、N₂）…（M_o、N_o-1））から平
均光量（S_1.1＝M₁＋N₁／２、S_2.2＝M₂＋N₂／２ …S_o.o＝M_o＋N_o／２及びS_2.1＝M₂＋N₁／２ S_3.2＝M₃＋N₂／２、…S_o.o-1M_o＋N_o-1／２） を求め、 上記により求めた各平均光量（S_ii(i=1-o)、
S_{j.j-1(j=2〜o)}）の更に平均値の逆数を上記各極大値
（M₁、M₂…M_o）、極小値（N₁、N₂…N_o）に乗じ
て、正規化された極大値 （M′₂＝２／S_2.1＋S_2.2×M₂、M′₃＝２／S_3.2＋S_3.3×
M₃ … M_j＝２／S_j.j-1＋S_j.j×M_j）及び正規化された極小 値（N′₁＝２／S_1.1＋S_2.1×N₁、N′₂＝２／S_2.2＋S_3.2
×N₂ …N_i′＝２／S_i.i＋S_1.i×N_i）を求め、 上記正規化された極大値、極小値をそれぞれ平
均して極大値の平均光量

【式】 及び極小値の平均光量

【式】 を求め、これらの平均光量（Imax、Imin）を用
いて（Imax−Imin／Imax＋Imin）によりレンズアレイの MTFを求めることを特徴とする（但しｎは自然
数）。 本発明は例えば、第７図に示されるように、
(1)、水平面内90゜以上回転可能な矩形波チヤート
４６(2)、上記矩形波チヤート４６を照明する照明
装置５１(3)、レンズアレイ２を取付けるレンズ取
付台３０(4)、上記レンズ取付台３０をレンズアレ
イ２の長手方向（後述するｘ方向）に駆動させる
ステツプモーター１７０(5)、水平面内90゜以上回
転可能な固体走査素子５２等を有し、さらに上記
固体走査素子５２の出力を処理、演算する電気回
路及び演算結果を出力する出力部等（第８図参
照）を付帯具備しているレンズアレイ検査装置９
を用いて実施される。 上記レンズアレイ検査装置９の詳細な構成、作
用については後述することとし、ここでは上記電
気回路と、上記出力部について説明する。第８図
を参照するに、上記電気回路は、固体走査素子駆
動回路７０、信号処理、モーター駆動部７１、上
記信号処理、モーター駆動部７１を制御するコン
トロールスイツチ及び表示部７２、固体走査素子
５２の出力を演算するCPU７３、レンズアレイ
を第７図でｘ方向に駆動するｘ方向モーター駆動
回路７４、同上ｙ方向に駆動位置調整するｙ方向
モーター駆動回路７５等で構成され、CPU７３
での演算結果を出力する出力部はプリンター７６
又はＸ−Ｙレコーダー７７又はオシロスコープ７
８等で構成されている。 なお上記中、信号処理、モーター駆動部７１内
に含まれている信号処理部は、第９図に仮想線で
囲まれた範囲内での各要素部により構成されてい
る。 上記各要素部とは、固体走査素子５２の出力を
演算処理に必要な所要のレベルまで増巾する増巾
器７９と、この増巾器７９の出力をデジタル変換
してCPU７３に出力するＡ／Ｄ変換器８２等の
ことである。 本発明の実施に際し、主要部材は例えば第１０
図のように部材の方向関係が設定される。すなわ
ち、レンズアレイ２の並び方向（長手方向）と平
行に矩形波チヤート４６のチヤートライン４６ａ
の長手方向が合わせてあり、かつ、上記チヤート
ライン４６ａの長手方向と直交する方向に固体走
査素子５２の並び方向（長手方向）が合わせてあ
る。これらの関係は平面図的にみると第１１図に
示される如き関係になつている。なお、第１１図
で示されている多数の円はレンズアレイ２による
固体走査素子５２上での像面を示す。 第１０図、第１１図に示される状態のときに、
オシロスコープ７８には第１２図に示されるよう
な波形が出力される。これは固体走査素子５２の
出力を表わしており、中央部と左右端部とで光量
にむらを生じている。 一方、固体走査素子５２の出力は信号処理、モ
ーター駆動部７１内の信号処理部（第９図参照）
に導かれ、増巾器７９により演算に必要なレベル
まで増巾された後、Ａ／Ｄ変換器８２に入力さ
れ、CPU７３の演算に適するようなデジタル値
に変換される。そして以下CPU７３にて次の如
き演算が行なわれる。 説明の便宜上Ａ／Ｄ変換前の波形（第１２図参
照）を用いて説明する。 演算ステツプ(1) 固体走査素子５２からの１ビツトの信号Sb（第
１３図参照）に対応する隣り同士のビツト信号を
比較して極大値、極小値を求める。そして各極大
値を仮にM₁、M₂、M₃、M₄…M_oとし、各極小値
を仮にN₁、N₂、N₃、N₄…N_oとする。 演算ステツプ(2) 上記により求めた各極大値、各極小値における
隣り同士の値から平均光量S_i,i（ｉ＝１〜ｎ）及び
平均光量S_j.j-1（ｊ＝２〜ｎ）を求める。 それらは例えば、S_1,1＝M₁＋N₁／２、S_2,2＝ M₂＋N₂／２、S_3,3＝M₃＋N₃／２、S_o,o＝M_o＋N_o／２又、 S_2,1＝M₂＋N₁／２、S_3,2＝M₃＋N₂／２、S_4,3＝ M₄＋N₃／２…S_o,o-1＝M_o＋N_o-1／２等であり、各々第 １４図に便宜上同一符号を用いて示した位置にお
ける値を有する。 演算ステツプ(3) 上記により求めた各平均光量の更に平均値、例
えば第１５図にS_2,1＋S_2,2／２及びS_2,2＋S_3,2／２で示
し た各位置での値の逆数で各極値を正規化する。こ
こで、正規化された極大値をM′_j（ｊ＝２〜ｎ）、
極小値をN′_i（ｉ＝１〜ｎ）とすれば、これらは具
体的には次式を以て示される。 つまり正規化された極大値に関しては、M′₂＝
２／S_2,1＋S_2,2×M₂、M′₃＝２／S_3,2＋S_3,3×M₃ …M′_j＝２／S_j,j-1＋S_j,j×M_jであり、正規化された極 小値に関しては、N′₁＝２／S_1,1＋S_2,1×N₁、N′₂＝ ２／S_2,2＋S_3,2×N₂…N′_i＝２／S_i,i＋S_i+1,i×N_iであ
る。 このように正規化された波形は第１６図に示さ
れる如きものとなる。図中、正規化された各極値
M′_j、N′_i等は上記式に用いたのと同一の符号で示
してある。 演算ステツプ(4) 上記演算ステツプ(3)により正規化された極大値
を更に平均して、正規化された極大値の平均光量
I_naxを求め、同様にして極小値の平均光量I_nioを
求める。そられは各々、次式により求められる。

【式】

【式】 演算ステツプ(5) 上記の結果に基き、レンズアレイ２上の或る位
置ｘにおけるMTFの値R_xが次式により求められ
る。 R_x＝I_nax−I_nio／I_nax＋I_nio 演算ステツプ(6) 上記MTFの値R_xと位置ｘを記憶するととも
に、レンズアレイ２の長手方向全或（若しくは所
有範囲）にわたつてのMTFの最大値、最小値を
めるべく、既に異なる位置にて求めたMTFの値
R_x-1、R_x-2等と比較する。 演算ステツプ(7) MTF以外に照度むらを求めるために、当該位
置ｘにおける明るさE_xを求める。この明るさE_x
は次式により算出される。 E_x＝_o 〓ⁱ⁼¹ I_i 但し、I_iは第１３図に示す如き、固体走査素子
１ビツトの信号Sbの出力値とする。 演算ステツプ(8) 上記により求めた明るさE_xと位置ｘを記憶す
るとともに、レンズアレイ２の長手方向全域（若
しくは所要範囲）にわたつての明るさの最大値、
最小値を求めるべく、既に異なる位置にて求めた
明るさの値E_x-1、E_x-2等と比較する。 演算ステツプ(9) レンズアレイ２をｘ方向上、所定量分だけ移動
走査して上記した演算ステツプ(1)〜(8)までの演算
を行なう。 演算ステツプ(10) レンズアレイ２の全域（若しくは所要範囲内）
にわたつての演算が終了したら、必要に応じてプ
リンター７６、Ｘ−Ｙリコーダー７７等に演算結
果値を出力する。なおＸ−Ｙレコーダー７７の場
合、レンズアレイ２の走査過程において出力され
る。 例えば、Ｘ−Ｙレコーダー７７には、第１７図
に示されるようにＸ方向にレンズアレイ２上での
検査位置、Ｙ方向にMTFの値Ｒと明るさＥが出
力される。 又、プリンター７６には、第１８図に示される
ようなデータシート形式で出力される。第１８図
の例で説明すると、左最上欄にはレンズNo.が記録
され、以下、MTF_nax、MTF_nio、明るさE_nax、
明るさE_nio、照度むら等の値がそれぞれの値を得
た位置とともに記録される。 なお、照度むらは、E_nax−E_nio／E_nax×100（％）と して算出した値が記録される。 以上がレンズアレイの検査に際しての演算ステ
ツプである。上記検査に際してのレンズアレイ２
の移動走査はステツプモーターで間欠的に行なつ
てもよいが、サーボモーターで連続的に行なつて
もよい。又、ｘ方向サンプリング間隔は、被検レ
ンズが集束性光伝送体の場合には集束性光伝送体
の直径が約１mmであることから0.1mm程度のサン
プリング間隔でよい。レンズアレイ２の長手方向
（ｘ方向）に対しての測定範囲はコントロールス
イツチ７２（第８図参照）で指定することができ
る。同様に固体走査素子５２の測定範囲もコント
ロールスイツチ７２で指定することができる。 なお、特に、MTFを測定する場合には、出力
の両端部はフレアー等で精度が悪くなるおそれが
あるので除外する方が望ましい。このことを第１
９図を以て説明すれば、MTF算出の対象範囲は
符号９０で示される如きフレアーの影響の及んで
いない範囲とし、明るさの測定範囲は符号９１で
示される如き出力の全域とする。 以上説明した様に本発明によれば、矩形波チヤ
ート４６は第５図に示した従来技術の如き長さを
必要とせず、高精度かつ安価なものを使用でき
る。又、レンズアレイの全域にわたつて走査され
るので、レンズアレイのあらゆる方向でのMTF
を検査できる。 さらに、第６図に則して説明した如き光量むら
の影響を排除したMTFを算出できる利点がある。
つまり、ビツトに対応して元からあるレンズアレ
イの光量によつて正規化する事により、中央と周
辺とで精度の変わらない測定を行なうことができ
るのである。 なお、上記の実施例ではレンズアレイ２の並び
方向（長手方向）と平行にチヤートライン４６ａ
の長手方向を設定した例で説明したが、チヤート
ライン４６ａの長手方向をレンズアレイ２の並び
方向（長手方向）に対し45゜の範囲内でならば、
傾けて検査しても何ら問題は生じない。 最後に、本発明を実施する一手段の例として第
７図に示したレンズアレイ検査装置各部の構成に
ついて以下、補足説明をする。 第７図に示すレンズアレイ検査装置９は、物体
面部を照明する照明装置と、レンズアレイを着脱
自在に装着するレンズアレイ取付装置と、上記照
明装置より発せられた後上記レンズアレイを透過
した光を検知する固体走査素子と、上記固体走査
素子で受光した光強度信号を演算して出力する電
気回路及び出力部を有していて、さらに、 上記照明装置はレンズアレイの光軸方向（以下
ｚ方向という）に移動可能であり、 上記レンズアレイ取付装置はレンズアレイの長
手方向（以下ｘ方向という）と、ｚ方向に直交す
る平面（以下水平面という）内であつてかつｘ方
向に直交する方向（以下ｙ方向という）に移動が
可能であり、 上記固体素子はｘ方向、ｙ方向の各移動と水平
面内での旋回運動が可能であり、 上記物体面部は検査の目的に応じてチヤート板
の着脱が自在でありしかもチヤート板は水平面内
にて旋回可能に装着されている。 さて、第７図の左上に示した立方体の図形は、
以下に説明するレンズアレイ検査装置９の構成を
説明する上で必要な空間的な方向を定義するため
の補助図で、互いに直交する３つの稜線６，７，
８の各方向をそれぞれこの明細書でいうｘ方向、
ｙ方向、ｚ方向とする。又、稜線６，７に囲まれ
た平面１０をこの明細書でいう水平面とする。 このレンズアレイ検査装置の本体フレームは符
号１１で示され、断面が長方形のパイプを輪切り
にした如き形状をしている。この本体フレーム１
１を構成していてｘ方向上に対向した関係にある
２つの壁面１１ａ，１１ｂ間には２本の真直なガ
イドバー１２，１３が互いに平行をなしてさし渡
されていて、それぞれの両端部は上記各壁面１１
ａ，１１ｂを貫通し、固着されている。ガイドバ
ー１２，１３は長手方向をｘ方向に合わせてあ
り、又、ｚ方向に整列しており、ガイドバー１２
はガイドバー１３の上方に位置している。 符号１４は側面形状がＬ字型に折曲されている
プレートから成る第１移動台を示している。この
第１移動台１４はｘ方向上、レンズアレイの長さ
に合わせて製作されていて、例えば通常最も多く
検査されるレンズアレイの長さよりも若干長めに
設定されている。第１移動台１４の垂直面部には
４つの角ブロツク１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４
ｄが固着されている。角ブロツク１４ａ，１４ｂ
はそれぞれ第１移動台１４のｘ方向上両端に位置
していてガイドバー１２が摺動自在に挿通してい
る。又、角ブロツク１４ｃ，１４ｄもそれぞれ第
１移動台１４のｘ方向上両端に位置していて、ガ
イドバー１３が摺動自在に挿通している。 角ブロツク１４ｄにはピン１４d₁が植設されて
いて、このピン１４d₁にはワイヤー１５の一端が
固着されている。このように一端をピン１４d₁に
固着されているワイヤー１５は、いくつかのプー
リーに掛け回された後、その他端を、角ブロツク
１４ｃに植設されたピン１４c₁に固着されてい
る。上記いくつかのプーリーとは、本体フレー
ム１１の底面１１ｃ上であつてそのｘ方向上右端
部に設置された台１６に枢支されているプーリー
P₁₆、底面１１ｃ上に配設されているステツプ
モーター１７０の回転軸と一体のプーリーR₁₇、
底面１１ｃ上であつてそのｘ方向上左端部に設
置された台に枢支されているプーリー（第７図に
は図示されてないがプーリーP₁₆と同一構成）等
である。このように構成したことにより、ステツ
プモーター１７０の駆動に応じて第１移動台１４
をガイドバー１２，１３にそわせてｘ方向に送り
移動させることができる。 次に、第１移動台１４のｘ方向上での左端水平
面部には２つのＬ字片１７，１８がｙ方向上に対
向して切り起こし状に形成されており、これらの
Ｌ字片１７，１８間にはガイドバー１９がｙ方向
にその長手方向を合わせてさし渡され、固着され
ている。第１移動台１４のｘ方向上での右端水平
面部にも上記と同様の構成が施されていて、ガイ
ドバー１９と平行に、ガイドバー２０が設けられ
ている。 上記ガイドバー１９，２０はそれぞれ、角ブロ
ツク２１，２２を摺動自在に、挿通している。角
ブロツク２１，２２の各上面にはコの字形をした
板からなる第２移動台２３が固着されている。次
に、角ブロツク２１の側部には２本のピン２１
ａ，２１ｂが植設されている。又、第１移動台１
４には補助台２４が固着されている。この補助台
２４上にはステツプモーター２５が取付けられて
いて、このステツプモーター２５に並設してプー
リーP₂₆が枢支されている。このプーリーP₂₆と、
ステツプモーター２５の回転軸に固着されている
プーリーP₂₅との間にはワイヤー２８が巻き回さ
れている。又、第１移動台１４上には、、Ｌ字片
１８の近傍位置にプーリーP₁₈が枢支されている。
これらプーリーP₂₆，P₂₅，P₁₈はｙ方向上に一直
線に並んでいる。そして、一端を上記ピン２１ａ
に固着されたワイヤー２７はプーリーP₂₅，P₁₈を
巻き回された後、上記ピン２１ｂに他端を固着さ
れている。このような構成により、ステツプモー
ター２５の駆動に応じて第２移動台２３をガイド
バー１９，２０にそつてｙ方向に送り移動させる
ことができる。なお、プーリーP₂₆を設けたのは、
ステツプモーター２５の駆動力を、角ブロツク２
１ばかりでなく、角ブロツク２２にも伝達して、
ｙ方向に長さを有する第２移動台２３をｙ方向に
円滑に移動させるための配慮であり、該プーリー
P₂₆の軸２９を介して角ブロツク２２部へ動力が
伝達される。角ブロツク２２部における移動機構
は上記説明した角ブロツク２１の移動機構に準ず
る。 第２移動台２３において、角ブロツク２１を固
着している部分と、角ブロツク２２を固着してる
部分には、レンズ取付台３０がさし渡されてい
て、このレンズ取付台３０は図示されないねじを
似て第２移動台２３に固定されている。そしてレ
ンズ取付台３０にレンズアレイ２を保持したフレ
ーム３５，３６が嵌入装置されて図示されないね
じにて止められている。つまり、レンズアレイ２
は、あらかじめプレート３５，３６に挾まれた
上、図示されないねじにより止められていて、こ
のような組合せがいくつか用意されている。検査
に際しては上記のセツトがレンズ取付台３０に
次々と着脱される。このようなレンズ取付台３０
及びプレート３５，３６等を以てレンズアレイ取
付装置が構成されている。 本体レーム１１の上面１１ｄ上であつて、ｘ方
向上のほぼ中央部分には、いくつかの円筒と、こ
れら円筒の周面に刻まれたねじの噛み合わせによ
り構成されたいわゆる直進へリコイド方式になる
ｚ方向への移動調節機構４２が上面１１ｄを貫い
て組立ててある。この移動調節機構を構成する一
番内側の円筒４３の下端部には物体面部４４が設
けてある。この物体面部４４は円筒４３に枢着さ
れたリング状の支持部材４５と、この支持部材４
５に形成された溝に装着して支持されている矩形
波チヤート４６、及び該矩形波チヤート４６に重
ねる如くして配設された拡散板や色補正フイルタ
ー等（図示されず）から成る。 なお、通常、ｚ方向上、矩形波チヤート４６は
最下位に、拡散板はその上に、色補正フイルター
は最上位に設置される。上記中、特に矩形波チヤ
ート４６は必要に応じて交換可能であり、水平面
内にて、ｘ方向からｙ方向へ向けて旋回可能であ
る。符号５０は、矩形波チヤート４６を交換した
り、旋回したりする際に把むためのつまみを示し
ている。 次に、円筒４３内であつて物体面部４４よりも
上方の位置には、物体面部４４を照明する照明装
置５１が装着されている。この照明装置５１内に
は照明ランプ（図示されず）が設けてある。照明
装置５１の上方部には冷却フアン５２′が装着さ
れていて、移動調節機構４２部を冷却する。リン
グ状のつまみ５７を回すことにより、周知の直進
へリコイド方式により円滑４３はｚ方向に上下移
動調節される。 照明装置５１と物体面部４４とを結ぶ、ｚ方向
上の下方位置にはレンズアレイ２が位置してお
り、そのさらに下方位置に固体走査素子５２が位
置している。固体走査素子５２は支持台５３を介
してプレート５４上に装着されており、このプレ
ート５４はｘ，ｙ方向に3゜程傾斜させることが自
在な傾斜ステージ５５上に取付けられている。こ
の傾斜ステージ５５は又、符号号５８で示される
ｚ微動スタンド上に載置されている。このｚ微動
スタンド５８はつまみ５８ａを回すことによりｚ
方向に微動される。このｚ微動スタンド５８はｘ
方向及びｙ方向に移動可能なメカニカルステージ
５９上に載置されており、つまみ５９ａを回すこ
とによりｙ方向への微動が、つまみ５９ｂを回す
ことによりｘ方向の微動が可能能である。メカニ
カルステージ５９は、回転微動ステージ６０上に
載置されている。つまみ６０ａを回すことによ
り、回転微動ステージ６０は水平面内で旋回させ
られる。 このような構成により、固体走査素子５２はｘ
方向、ｙ方向、ｚ方向に対して移動調節が可能で
あり、又、水平面内での旋回、水平面に対する傾
き調節が可能である。 第７図に符号８０，８１で示されている矩形の
穴は長尺のレンズアレイが装着された場合の逃げ
穴であり、これにより長尺のレンズアレイに対す
る検査も可能である。 上記したレンズアレイ検査装置９では、矩形波
チヤート１及び固体走査素子５２は90゜以上旋回
可能であるのでレンズアレイ２の長手方向に対し
ていろいろな方向でのMTFも測定できる。 第２０図、第２１図は、上記いろいろな方向に
て測定できる例を示しており、第２２図は第２０
図に示す構成時におけるオシロスコープ出力例、
第２３図は第２１図に示す構成時におけるオシロ
スコープ出力例をそれぞれ示している。

【図面の簡単な説明】

第１図は集束性光伝送体になるレンズアレイの
斜視図、第２図は同上図に示すレンズアレイによ
る結像状態を説明した図、第３図はレンズアレイ
として用いられるレンズの組合せを、結像状態と
ともに示した説明図、第４図はプリズム入レンズ
による結像状態を説明した図、第５図は従来技術
による検査装置の構成を説明した斜視図、第６図
は従来技術による固体走査素子の出力波形を示し
た図、第７図は本発明を実施するのに適する検査
装置の一例としてのレンズアレイ検査装置の斜視
図、第８図は同上レンズアレイ検査装置に付帯し
ている電気回路及び出力部の説明図、第９図は信
号処理部の構成図、第１０図は本発明の実施に際
しての主要部材の構成を説明した斜視図、第１１
図は同上図を平面図的に説明した図、第１２図は
本発明の実施に際して固体走査素子よりオシロス
コープに出力された波形図、第１３図は第１２図
中の円形で示した部分の拡大図、第１４図は演算
ステツプ(2)で求められる平均光量をオシロスコー
プ上の波形を用いて説明した図、第１５図は第１
４図の波形の部分拡大図、第１６図は本発明によ
り正規化された波形を示した図、第１７図は本発
明による検査結果のＸ−Ｙレコーダーでの出力を
示した図、第１８図は本発明による検査結果のプ
リンターでの出力を示した図、第１９図は本発明
の実施に際し、フレアーの影響を配慮した上で採
用すべき出力範囲を説明した固体走査素子の出力
波形図、第２０図、第２１図はそれぞれ検査にあ
たつてレンズアレイ、チヤートラインの方向、固
体走査素子の方向等の関係位置ついて採り得るケ
ースを例示した図、第２２図は第２０図の配置の
場合における出力波形図、第２３図は第２１図の
配置の場合における出力波形図である。 ２……レンズアレイ、４６……矩形波チヤー
ト、４６ａ……チヤートライン、５２……固体走
査素子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 矩形波チヤート像を固体走査素子上に結像さ
   せてレンズアレイの性能を検査する方法におい
   て、 固体走査素子とチヤートに対し、レンズアレイ
   を相対的に移動させながらレンズアレイの全域又
   は一部を走査して固体走査素子より出力される１
   ビツトの信号に対応する隣り同士のビツト信号を
   比較して極大値（M₁、M₂…M_o）、極小値（N₁、
   N₂…N_o）を求め、 上記により求めた各極大値（M₁、M₂…M_o）、
   極小値（N₁、N₂…N_o）における隣り同士の値
   （（M₁、N₁）、（M₂、N₂）…（M_o、N_o）及び
   （M₂、N₁）（M₃、N₂）…（M_o、N_o-1））から平
   均光量（S_1.1＝M₁＋N₁／２、S_2.2＝M₂＋N₂／２…S_o.o＝ M_o＋N_o／２及びS_2.1＝M₂＋N₁／２、S_3.2＝M₃＋N₂／２、 …S_o.o-1M_o＋N_o-1／２） を求め、 上記により求めた各平均光量 （S_i.i(i=1〜o)、S_{j.j-1(j=2〜o))}の更に平均値の逆数
   を上
   記各極大値（M₁、M₂…M_o）、極小値（N₁、N₂
   …N_o）に乗じて、正規化された極大値 （M′₂＝２／S_2.1＋S_2.2×M₂、M′₃＝２／S_3.2＋S_3.3×
   M₃ … M_j＝２／S_j.j-1＋S_j.j×M_j）及び正規化された極小値 （N′₁＝２／S_1.1＋S_2.1×N₁、N′₂＝２／S_2.2＋S_3.2×
   N₂ …N′_i＝２／S_i.i＋S_1.i×N_i）を求め、 上記正規化された極大値、極小値をそれぞれ平
   均して極大値の平均光量【式】 及び極小値の平均光量【式】 を求め、これらの平均光量（Imax、Imin）を用
   いて（Imax−Imin／Imax＋Imin）によりレンズアレイの MTFを求めることを特徴とするレンズアレイ検
   査方法（但し、ｎは自然数）。