JPH01173679A - レーザ共振器内のミラー取付け方法 - Google Patents
レーザ共振器内のミラー取付け方法Info
- Publication number
- JPH01173679A JPH01173679A JP62329923A JP32992387A JPH01173679A JP H01173679 A JPH01173679 A JP H01173679A JP 62329923 A JP62329923 A JP 62329923A JP 32992387 A JP32992387 A JP 32992387A JP H01173679 A JPH01173679 A JP H01173679A
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- Japan
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- laser
- resonator
- laser resonator
- mirror
- rod
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0813—Configuration of resonator
- H01S3/0815—Configuration of resonator having 3 reflectors, e.g. V-shaped resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はレーザ発振装置に設置するレーザ共振器に関す
るものである。
るものである。
（従来の技術）
光励起固体レーザは、各種の材料が開発実用化されてお
り、ＹＡＧレーザもその一種であり、そのレーザ出力を
増し、その指向性をよくするために、レーザ材料は細長
い棒状（以後ロッドと呼ぶ）にして、両端には反射防止
膜をつけるのが一般的である。
り、ＹＡＧレーザもその一種であり、そのレーザ出力を
増し、その指向性をよくするために、レーザ材料は細長
い棒状（以後ロッドと呼ぶ）にして、両端には反射防止
膜をつけるのが一般的である。
レーザ共振器に設置する出力及び反射ミラーはレーザロ
ッドの延長軸上に設置し、このレーザロッドを駆動する
ランプは同じく直線状のものを使用し、このランプから
の光がレーザロッドに集光されるようにするために、楕
円筒集光器を用い、この焦点軸上にランプとレーザロッ
ドを配置する。
ッドの延長軸上に設置し、このレーザロッドを駆動する
ランプは同じく直線状のものを使用し、このランプから
の光がレーザロッドに集光されるようにするために、楕
円筒集光器を用い、この焦点軸上にランプとレーザロッ
ドを配置する。
従ってランプからの光は直接もしくは楕円筒集光器内面
で反射され、効率よくレーザロッドに集められる。
で反射され、効率よくレーザロッドに集められる。
このランプ、レーザロッド及び楕円筒集光器は必要に応
じて強制空冷あるいは水冷される。
じて強制空冷あるいは水冷される。
レーザ共振器にはＱスイッチと呼ばれる高速シャッタを
設置して、発振が開始しない状態のまま励起を行うと反
転分布密度が高くなり、ここでＱスイッチを急に開くと
発振は急速に立上がり、２０ｎｓ程度の極めて短い時間
内にレーザ光が放出され、そのビークパワーは約５０Ｍ
ｌ１ｌと大きな値になる。従って被加工物の加工深さを
大きくすることも可能になる。
設置して、発振が開始しない状態のまま励起を行うと反
転分布密度が高くなり、ここでＱスイッチを急に開くと
発振は急速に立上がり、２０ｎｓ程度の極めて短い時間
内にレーザ光が放出され、そのビークパワーは約５０Ｍ
ｌ１ｌと大きな値になる。従って被加工物の加工深さを
大きくすることも可能になる。
ところでレーザ装置を利用して各種材料即ち被加工物を
加工するに当たっては、その被加工物の種類や加工の程
度に応じてレーザ装置に付属するレーザ共振器の構造を
変更する必要が生じる。
加工するに当たっては、その被加工物の種類や加工の程
度に応じてレーザ装置に付属するレーザ共振器の構造を
変更する必要が生じる。
ここで第２図ａにはパルス発振レーザ共振器の、第２図
すにはＱスイッチ発振レーザ共振器の構造の概略を断面
図により示した。
すにはＱスイッチ発振レーザ共振器の構造の概略を断面
図により示した。
即ちパルス発振レーザ共振器では出力側ミラー１０と反
射側ミラー１１を互いに平行に配置し、その間には２本
のレーザロッド１２．１３を一直線上に離して配置し、
Ｑスイッチ発振レーザ共振器にあっては反射側ミラー１
１とレーザロッド１３間にＱスイッチ１４を設置する構
造が一般的に採用されている。
射側ミラー１１を互いに平行に配置し、その間には２本
のレーザロッド１２．１３を一直線上に離して配置し、
Ｑスイッチ発振レーザ共振器にあっては反射側ミラー１
１とレーザロッド１３間にＱスイッチ１４を設置する構
造が一般的に採用されている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで被加工物の材質や種類に応じてレーザ共振器の
出力を調整する必要が生じて、パルス発振レーザ共振器
からＱスイッチ発振レーザ共振器への変更、あるいはレ
ーザロッド数を２個から単一への変更が必要になる。
出力を調整する必要が生じて、パルス発振レーザ共振器
からＱスイッチ発振レーザ共振器への変更、あるいはレ
ーザロッド数を２個から単一への変更が必要になる。
即ちパルス発振を行うパルス発振レーザ共振器からＱス
イッチ発振レーザ共振器に変更する場合には、第２図す
に示すように反射側ミラー１１とレーザロッド１３間に
Ｑスイッチ１４を取付けていた。
イッチ発振レーザ共振器に変更する場合には、第２図す
に示すように反射側ミラー１１とレーザロッド１３間に
Ｑスイッチ１４を取付けていた。
更にレーザロッド数の変更やこのＱスイッチの取付けに
は当然共振器長の変更が附随して発生して、極端な場合
にはレーザ発振装置全体の寸法変更が必要になって好ま
しくない。
は当然共振器長の変更が附随して発生して、極端な場合
にはレーザ発振装置全体の寸法変更が必要になって好ま
しくない。
本発明は上記難点を除去する新規なレーザ共振器内のミ
ラー取付は方法を提供し、特にレーザ共振器長を変えず
にレーザ共振の変更をを可能とするものである。〔発明
の構成〕 （問題点を解決するための手段） この目的を達成するのに本発明では直列に配置する複数
のレーザロッド間もしくは反射ミラーとこれに隣接して
配置するレーザロッド間に全反射ミラーを設置して、被
加工物に対応した異なるレーザ光出力を一定の共振器長
内で共振可能とする手段を採用する。
ラー取付は方法を提供し、特にレーザ共振器長を変えず
にレーザ共振の変更をを可能とするものである。〔発明
の構成〕 （問題点を解決するための手段） この目的を達成するのに本発明では直列に配置する複数
のレーザロッド間もしくは反射ミラーとこれに隣接して
配置するレーザロッド間に全反射ミラーを設置して、被
加工物に対応した異なるレーザ光出力を一定の共振器長
内で共振可能とする手段を採用する。
（作 用）
このように本発明では、レーザ光出力を低くするのには
複数のレーザロッドの中出力側ミラーと隣接するレーザ
ロッドを選びその端に全反射ミラーを設置する方法を採
り、逆に出力の増大を図るＱスイッチを設置するには直
列に配置するレーザロッドからずれた位置を選び更にこ
のスイッチを挟んで全反射ミラーと反射ミラーを形成す
る。
複数のレーザロッドの中出力側ミラーと隣接するレーザ
ロッドを選びその端に全反射ミラーを設置する方法を採
り、逆に出力の増大を図るＱスイッチを設置するには直
列に配置するレーザロッドからずれた位置を選び更にこ
のスイッチを挟んで全反射ミラーと反射ミラーを形成す
る。
従って共振器長は一定に保持したままレーザ光出力の調
整が可能となるので、被加工物の材質や加工程度への対
応が円滑にでき、更にはレーザ共振器を設置するレーザ
装置の寸法増加をも防止する利点がある。
整が可能となるので、被加工物の材質や加工程度への対
応が円滑にでき、更にはレーザ共振器を設置するレーザ
装置の寸法増加をも防止する利点がある。
（実施例）
第１図ａ、ｂ、ｃにより本発明の詳細な説明するが、従
来の技術と重複する記載が都合によりでてくる場合があ
るが、新しい番号を付けて詳述する。
来の技術と重複する記載が都合によりでてくる場合があ
るが、新しい番号を付けて詳述する。
第１図ａ、ｂはＱスイッチを利用するレーザ共振器であ
り、第１図Ｃはパルス発振レーザ共振器の概略を示す図
である。
り、第１図Ｃはパルス発振レーザ共振器の概略を示す図
である。
出力側ミラー１と反射側ミラー２は一直線上に離れて配
置し、この間にレーザロッド３，４をこの直線上に設置
する。第１図ａではレーザロッド４と反射側ミラー２の
中間に全反射ミラー５．Ｑスイッチ６更に反射ミラー７
をこの順に設置し、第１図すに示す例ではこの全反射ミ
ラー５．Ｑスイッチ６及び反射ミラー７をレーザロッド
３とレーザロッド４の間に設置する。
置し、この間にレーザロッド３，４をこの直線上に設置
する。第１図ａではレーザロッド４と反射側ミラー２の
中間に全反射ミラー５．Ｑスイッチ６更に反射ミラー７
をこの順に設置し、第１図すに示す例ではこの全反射ミ
ラー５．Ｑスイッチ６及び反射ミラー７をレーザロッド
３とレーザロッド４の間に設置する。
この両側はレーザ共振器の長さを増さずに設置すること
ができる。
ができる。
第１図Ｃは前述のようにパルス発振レーザ共振器を示し
ており、レーザロッド３とレーザロッド４の中間に反射
ミラー８を形成し、更に一直線上に出力側ミラー１と反
射側ミラー２を離れて配置するのは第１図ａ、ｂと同様
である。このようなパルス発振レーザ共振器ではレーザ
ロッド３と出力側ミラー１によってパルス発振レーザ共
振器が形成され、その動作時にはレーザロッド４は全く
機能しない。
ており、レーザロッド３とレーザロッド４の中間に反射
ミラー８を形成し、更に一直線上に出力側ミラー１と反
射側ミラー２を離れて配置するのは第１図ａ、ｂと同様
である。このようなパルス発振レーザ共振器ではレーザ
ロッド３と出力側ミラー１によってパルス発振レーザ共
振器が形成され、その動作時にはレーザロッド４は全く
機能しない。
一方レーザロッド４と反射側ミラー２により他のパルス
発振レーザ共振器が得られ、この両パルス発振レーザ共
振器は電気的な切替え操作により交互に動作させる事が
可能になる。このように本発明ではレーザ共振器の長さ
を変更せずにレーザ光の出力が調整できる最大の特徴を
持っている。
発振レーザ共振器が得られ、この両パルス発振レーザ共
振器は電気的な切替え操作により交互に動作させる事が
可能になる。このように本発明ではレーザ共振器の長さ
を変更せずにレーザ光の出力が調整できる最大の特徴を
持っている。
また波長１．０６Ａｍのレーザ光も適用される。
なお前述の第１図ａ、ｂではレーザロッド駆動用ランプ
ならびにこれらを収容する楕円筒集光器についての記述
を省略しているが、従来の技術欄に示した通りの構造で
あることを付記する。
ならびにこれらを収容する楕円筒集光器についての記述
を省略しているが、従来の技術欄に示した通りの構造で
あることを付記する。
このように本発明ではレーザ共振器の長さを変えずにレ
ーザ光出力が調整できるので、被加工物の材料やその加
工度に対応したレーザ光出力が簡単に得られる。この結
果を得るのには一直線状に設置した出力ミラーと反射ミ
ラーの他に全反射ミラーをレーザロッド間等の特定の位
置に配置することによって達成したものである。
ーザ光出力が調整できるので、被加工物の材料やその加
工度に対応したレーザ光出力が簡単に得られる。この結
果を得るのには一直線状に設置した出力ミラーと反射ミ
ラーの他に全反射ミラーをレーザロッド間等の特定の位
置に配置することによって達成したものである。
従ってレーザ発振装置の寸法等を変えずに、しかもその
取付は精度も変えずに設置が可能になって、装置の稼働
率も上昇することができる。
取付は精度も変えずに設置が可能になって、装置の稼働
率も上昇することができる。
第１図ａ、ｂ、ｃは本発明実施例を説明するのに用意し
たレーザ共振器の概略を示す断面図、第２図ａ、ｂは従
来のレーザ共振器の概略を示す断面図である。 代理人 弁理士 井 上 −男
たレーザ共振器の概略を示す断面図、第２図ａ、ｂは従
来のレーザ共振器の概略を示す断面図である。 代理人 弁理士 井 上 −男
Claims (1)
- 一直線上に配置する出力、反射ミラー間に複数のレーザ
ロッドを直列に設置する共振器において、このレーザロ
ッド間もしくは反射ミラーと隣接するレーザロッド間に
全反射ミラーを形成して被加工物に対応した異なるレー
ザ光出力を一定の共振器長内で共振可能とすることを特
徴とするレーザ共振器内のミラー取付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62329923A JPH01173679A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | レーザ共振器内のミラー取付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62329923A JPH01173679A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | レーザ共振器内のミラー取付け方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01173679A true JPH01173679A (ja) | 1989-07-10 |
Family
ID=18226779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62329923A Pending JPH01173679A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | レーザ共振器内のミラー取付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01173679A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USH1424H (en) * | 1993-01-07 | 1995-04-04 | Hutchinson Technology Incorporated | Transducer gimbal structure |
| WO2011132535A1 (ja) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 光学ガラスロッド、光学ガラスロッドの製造方法及びレーザ発生装置 |
| US8509272B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-08-13 | Lee Laser, Inc. | Laser beam combining and power scaling device |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62329923A patent/JPH01173679A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USH1424H (en) * | 1993-01-07 | 1995-04-04 | Hutchinson Technology Incorporated | Transducer gimbal structure |
| US8509272B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-08-13 | Lee Laser, Inc. | Laser beam combining and power scaling device |
| US8693511B2 (en) | 2009-06-10 | 2014-04-08 | Lee Laser, Inc. | Laser device and method |
| US9106054B2 (en) | 2009-06-10 | 2015-08-11 | Lee Laser, Inc. | Laser device and method |
| US9647417B2 (en) | 2009-06-10 | 2017-05-09 | Lee Laser, Inc. | Laser device and method |
| WO2011132535A1 (ja) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 光学ガラスロッド、光学ガラスロッドの製造方法及びレーザ発生装置 |
| JP2011233591A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | V Technology Co Ltd | 光学ガラスロッド、光学ガラスロッドの製造方法及びレーザ発生装置 |
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