JPH01173934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01173934U JPH01173934U JP7087588U JP7087588U JPH01173934U JP H01173934 U JPH01173934 U JP H01173934U JP 7087588 U JP7087588 U JP 7087588U JP 7087588 U JP7087588 U JP 7087588U JP H01173934 U JPH01173934 U JP H01173934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- washing
- type water
- swingable
- view
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図はその正面断面図、第３図は従来のオーバー
フロー式水洗槽を示す側面断面図、第４図はその
平面図である。 図において、１は水洗槽、３は上底、６は下台
、７はモータ、８は外箱である。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
２図はその正面断面図、第３図は従来のオーバー
フロー式水洗槽を示す側面断面図、第４図はその
平面図である。 図において、１は水洗槽、３は上底、６は下台
、７はモータ、８は外箱である。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- ウエハを水洗するオーバーフロー式水洗装置に
おいて、水洗槽を揺動可能に構成したことを特徴
とするオーバーフロー式水洗装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7087588U JPH01173934U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7087588U JPH01173934U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01173934U true JPH01173934U (ja) | 1989-12-11 |
Family
ID=31296093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7087588U Pending JPH01173934U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01173934U (ja) |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP7087588U patent/JPH01173934U/ja active Pending