JPH01177268U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01177268U JPH01177268U JP7370488U JP7370488U JPH01177268U JP H01177268 U JPH01177268 U JP H01177268U JP 7370488 U JP7370488 U JP 7370488U JP 7370488 U JP7370488 U JP 7370488U JP H01177268 U JPH01177268 U JP H01177268U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- ion source
- filaments
- switch
- arc chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
装置を示す概略図である。第２図は、従来のイオ
ン源装置の一例を示す概略図である。 ６…アークチヤンバー、８ａ，８ｂ…フイラメ
ント、１６…フイラメント電源、２０…イオン源
、２２ａ，２２ｂ…スイツチ、２４…制御回路。
装置を示す概略図である。第２図は、従来のイオ
ン源装置の一例を示す概略図である。 ６…アークチヤンバー、８ａ，８ｂ…フイラメ
ント、１６…フイラメント電源、２０…イオン源
、２２ａ，２２ｂ…スイツチ、２４…制御回路。
Claims (1)
- プラズマ生成用のアークチヤンバー内にフイラ
メントを設けて成るイオン源と、このフイラメン
トを加熱するフイラメント電源とを備えるイオン
源装置において、前記アークチヤンバー内に複数
本のフイラメントを互いに並設し、かつこれらの
フイラメントを前記フイラメント電源に択一的に
接続するスイツチと、使用中のフイラメントの断
線を検出し、それに基づいて前記スイツチを別の
フイラメント側に切り換える制御回路とを設けた
ことを特徴とするイオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7370488U JPH01177268U (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7370488U JPH01177268U (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01177268U true JPH01177268U (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=31298836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7370488U Pending JPH01177268U (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01177268U (ja) |
-
1988
- 1988-06-02 JP JP7370488U patent/JPH01177268U/ja active Pending