JPH01181488A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
半導体レーザ装置Info
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- JPH01181488A JPH01181488A JP239288A JP239288A JPH01181488A JP H01181488 A JPH01181488 A JP H01181488A JP 239288 A JP239288 A JP 239288A JP 239288 A JP239288 A JP 239288A JP H01181488 A JPH01181488 A JP H01181488A
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- Japan
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- chip
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- semiconductor laser
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は半導体レーザ装置に関するものである。
従来、金属キャップを用いた円筒形パッケージを有する
半導体レーザ装置では、半導体レーザチップはサブマウ
ント等のヒートシンクの端部かつ円筒中央に位置するよ
うに固定される。キャップは、スチームペースの上にあ
り、レーザチップの位置合わせは、ステム下側(ビン側
)の面を基準として行なわれていた。
半導体レーザ装置では、半導体レーザチップはサブマウ
ント等のヒートシンクの端部かつ円筒中央に位置するよ
うに固定される。キャップは、スチームペースの上にあ
り、レーザチップの位置合わせは、ステム下側(ビン側
)の面を基準として行なわれていた。
上述の従来の半導体レーザ装置は下記の欠点が−ある。
1、構成部材の形状が複雑であり、加工コストおよび組
立てコストが高い・ 2、ヒートシンクの平行度のばらつき、あるいはそのセ
ツティング誤差、あるいはステムベースとヒートシンク
との位置ばらつき、あるいはチップ固定位置の誤差によ
り、基準面に対するチップの平行度が影響される。これ
により、基準面と出射光とが直角とならない場合が生じ
、品質が低下する。
立てコストが高い・ 2、ヒートシンクの平行度のばらつき、あるいはそのセ
ツティング誤差、あるいはステムベースとヒートシンク
との位置ばらつき、あるいはチップ固定位置の誤差によ
り、基準面に対するチップの平行度が影響される。これ
により、基準面と出射光とが直角とならない場合が生じ
、品質が低下する。
3、コリメータレンズ等の光学系(キャップと一体とな
っている)とレーザチップとの光学的位置合せを行なう
場合、キャップを動かすか、光学系自体を調整する必要
があるが、これらの作業は面倒である。これと同様の問
題は、光ファイバ等との結合をとる場合にも生じる。
っている)とレーザチップとの光学的位置合せを行なう
場合、キャップを動かすか、光学系自体を調整する必要
があるが、これらの作業は面倒である。これと同様の問
題は、光ファイバ等との結合をとる場合にも生じる。
本発明の半導体レーザ装置では、ステム、ヒートシンク
等は一体型構造となっており、これによりチップ支持部
か構成されている。また、このチップ支持部は円形を主
体として回転可能な形状となっている。また、チップを
保護するためのキャップは、チップ支持部と嵌合する円
形を主体とした形状となっており、チップ支持部とキャ
ップとが嵌合され、その接合部が接着剤等で固定されて
気密封止パッケージが構成されている。
等は一体型構造となっており、これによりチップ支持部
か構成されている。また、このチップ支持部は円形を主
体として回転可能な形状となっている。また、チップを
保護するためのキャップは、チップ支持部と嵌合する円
形を主体とした形状となっており、チップ支持部とキャ
ップとが嵌合され、その接合部が接着剤等で固定されて
気密封止パッケージが構成されている。
チップ支持部(ステム、ヒートシンク等)を−体構造と
したことによって加工工数が減り、また、このチップ支
持部とキャップとを嵌合させ、固定することにより組立
を行なうので、組立が容易である。このためコストダウ
ンが図れる。
したことによって加工工数が減り、また、このチップ支
持部とキャップとを嵌合させ、固定することにより組立
を行なうので、組立が容易である。このためコストダウ
ンが図れる。
また、チップと光学系との位置合せは、チップ支持部と
キャップとの相対関係を調整するだけでよく、調整が簡
単である。
キャップとの相対関係を調整するだけでよく、調整が簡
単である。
また、チップ支持部とキャップとの相対関係を調整する
ことにより出射ビームの方向を変化させることも容易と
なる。
ことにより出射ビームの方向を変化させることも容易と
なる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
実施例1
第1図は本発明の第1の実施例の斜視図、第2図は本実
施例の断面図、第3図(a) 、 (b)はそれぞれ、
本実施例におけるチップ支持部材の斜視図および平面図
、第4図(a) 、 (b)はそれぞれ本実施例におけ
るキャップの斜視図および平面図、第5図は本実施例の
組立方法を説明するための図である。
施例の断面図、第3図(a) 、 (b)はそれぞれ、
本実施例におけるチップ支持部材の斜視図および平面図
、第4図(a) 、 (b)はそれぞれ本実施例におけ
るキャップの斜視図および平面図、第5図は本実施例の
組立方法を説明するための図である。
本実施例は、レーザチップ3と、このレーザチップ3を
支持する、熱放散性良好な材料からなる一体型の支持部
材2と、レーザチップ3を保護するための円筒形キャッ
プ4と、レーザチップ3から出射された、放射状に広が
ったレーザ光を平行化させるコリメータレンズ5とを有
している。図示されるように、円柱形状のキャップ4に
は、開口13が設けられており、ここには、支持部材2
との接合面を固定するために樹脂からなる接着剤6が注
入される。支持部材2は第3図(a)。
支持する、熱放散性良好な材料からなる一体型の支持部
材2と、レーザチップ3を保護するための円筒形キャッ
プ4と、レーザチップ3から出射された、放射状に広が
ったレーザ光を平行化させるコリメータレンズ5とを有
している。図示されるように、円柱形状のキャップ4に
は、開口13が設けられており、ここには、支持部材2
との接合面を固定するために樹脂からなる接着剤6が注
入される。支持部材2は第3図(a)。
(b)に示されるように、円柱の片側半分を切欠き、そ
の結果平坦面が形成されており、この端部にレーザチッ
プを載置するものである。チップ3に通電するための電
極1は、この支持部材2の中心を貫通して一体的に固定
されている。また、第4図(a) 、 (b)に示され
るように、キャップ4は円筒形状を有していおり、その
内径は支持部材2の内径と約20〜300鱗程度のクリ
アランスをもって嵌合するようになっている。
の結果平坦面が形成されており、この端部にレーザチッ
プを載置するものである。チップ3に通電するための電
極1は、この支持部材2の中心を貫通して一体的に固定
されている。また、第4図(a) 、 (b)に示され
るように、キャップ4は円筒形状を有していおり、その
内径は支持部材2の内径と約20〜300鱗程度のクリ
アランスをもって嵌合するようになっている。
次に、本実施例の組立方法について第5図を用いて説明
する。
する。
まず、レーザチップ3に動作電流を供給し、レーザ発振
を開始する。次に、コリメータレンズ付きキャップ4を
支持部材2に挿入する。そして、結像レンズ9、カメラ
IOおよび波形モニタ11で構成され、結像ビームをモ
ニタするための光軸調整治具の光軸上に、本実施例のレ
ーザ装置を設置する。コリメータレンズの焦点位置にレ
ーザチップ端面がきた時、波形モニタ上の光ビーム径は
最小になり輝度は最大になるので、このことを利用して
キャップを光軸上を前後させながらその位置決めを行な
う。その後、キャップの円周上の一部に設けられた開口
13から接着剤6を注入し、レーザ支持部材2とキャッ
プ4とを一体化固定する。このように、レーザ支持部材
2とキャップ4とを嵌合させ、光軸方向にキャップ筒4
を動かすのみで光軸調整を行なうので、調整がきわめて
容易である。
を開始する。次に、コリメータレンズ付きキャップ4を
支持部材2に挿入する。そして、結像レンズ9、カメラ
IOおよび波形モニタ11で構成され、結像ビームをモ
ニタするための光軸調整治具の光軸上に、本実施例のレ
ーザ装置を設置する。コリメータレンズの焦点位置にレ
ーザチップ端面がきた時、波形モニタ上の光ビーム径は
最小になり輝度は最大になるので、このことを利用して
キャップを光軸上を前後させながらその位置決めを行な
う。その後、キャップの円周上の一部に設けられた開口
13から接着剤6を注入し、レーザ支持部材2とキャッ
プ4とを一体化固定する。このように、レーザ支持部材
2とキャップ4とを嵌合させ、光軸方向にキャップ筒4
を動かすのみで光軸調整を行なうので、調整がきわめて
容易である。
なお、キャップのレーザ光出射部にコリメータレンズで
はなく、通常の光学ガラスを配置するときは、上述した
ような正確な調整は必要とされず、任意の位置で接着剤
を固化させるだけでよい。
はなく、通常の光学ガラスを配置するときは、上述した
ような正確な調整は必要とされず、任意の位置で接着剤
を固化させるだけでよい。
実施例2
第6図は本発明の第2の実施例の断面図、第7図はその
斜視図、第8図は本実施例の組立て方法を説明するため
の図、第9図(a) 、 (b)はそれぞれ本実施例に
おける支持部材2の斜視図および平面図、第10図(a
) 、 (b)はそれぞれ本実施例におけるキャップ4
の斜視図および平面図、同図(C)は、キャップ4の変
形例の斜視図である。
斜視図、第8図は本実施例の組立て方法を説明するため
の図、第9図(a) 、 (b)はそれぞれ本実施例に
おける支持部材2の斜視図および平面図、第10図(a
) 、 (b)はそれぞれ本実施例におけるキャップ4
の斜視図および平面図、同図(C)は、キャップ4の変
形例の斜視図である。
本実施例の特徴は、支持部材2を球形とし、キャップ4
の内径をテーパー状としたことである。また、レーザ光
は光ファイバ7を介して外部へ導出されるようになって
おり、この光ファイバ7は円筒形状を有し、かつ円筒内
径の一部にネジを有するコネクタ8に貫通固定されてお
り、このコネクタ8はキャップ4とネジにより一体化さ
れている。
の内径をテーパー状としたことである。また、レーザ光
は光ファイバ7を介して外部へ導出されるようになって
おり、この光ファイバ7は円筒形状を有し、かつ円筒内
径の一部にネジを有するコネクタ8に貫通固定されてお
り、このコネクタ8はキャップ4とネジにより一体化さ
れている。
次に、本実施例の組立て方法について第6図および第8
図を用いて説明する。
図を用いて説明する。
まず、支持部材2とキャップ4さらには光ファイバ7の
ついたコネクタ8とを接続する。次に、レーザチップ3
に電流を投入し、レーザ発振させる。そして第8図に示
す如く、光ファイバ7の他端にパワーメータ12を設置
する。光ファイバ7との接結でキップ3より射出したレ
ーザビームのパワーがほとんどファイバ7に入る時にパ
ワーメータ12の値は最大になり、ファイバ7に入らな
い時にパワーメータI2の値は最小になるので、このこ
とを利用して円筒内側テーバのついたキャップ4内で球
状支持部材2を上下、左右に動かすことにより、さらに
は、コネクタに取付けられているネジを回すことにより
最適位置を検出し、光ファイバ7との適確な結合を得る
ことができる。その後、キャップ4の電極側より接着剤
を注入し、レーザ支持部材2とキャップ4を一体化にす
る。
ついたコネクタ8とを接続する。次に、レーザチップ3
に電流を投入し、レーザ発振させる。そして第8図に示
す如く、光ファイバ7の他端にパワーメータ12を設置
する。光ファイバ7との接結でキップ3より射出したレ
ーザビームのパワーがほとんどファイバ7に入る時にパ
ワーメータ12の値は最大になり、ファイバ7に入らな
い時にパワーメータI2の値は最小になるので、このこ
とを利用して円筒内側テーバのついたキャップ4内で球
状支持部材2を上下、左右に動かすことにより、さらに
は、コネクタに取付けられているネジを回すことにより
最適位置を検出し、光ファイバ7との適確な結合を得る
ことができる。その後、キャップ4の電極側より接着剤
を注入し、レーザ支持部材2とキャップ4を一体化にす
る。
このように、レーザ支持部材2を球体とし、キャップ4
の円筒をテーパー状とすることによって、ファイバ7と
の接続や出射ビームのビームの方向の変更が容易にでき
接続をとりやすくすることが可能となる。
の円筒をテーパー状とすることによって、ファイバ7と
の接続や出射ビームのビームの方向の変更が容易にでき
接続をとりやすくすることが可能となる。
なお、キャップ4の内筒は必ずしもテーパー状でなくて
もよく、第10図(C)のように通常の円筒形状であっ
てもよい。
もよく、第10図(C)のように通常の円筒形状であっ
てもよい。
実施例3
第11図は本発明の第3の実施例の斜視図、第12図(
a) 、 (b) 、 (c)はそれぞれ支持部材2の
斜視図、平面図、拡大平面図である。
a) 、 (b) 、 (c)はそれぞれ支持部材2の
斜視図、平面図、拡大平面図である。
本実施例は、支持部材2を円錐形にしたものであり、こ
のようにすると、円柱形の支持部材と比べてチップ3を
支持部材2の中心に設置することが容易となる。すなわ
ち、第12図(C)に示されるように支持部材2が三角
形であるので、2辺で接するb点でチップ3をセットす
れば、当然aの位置が決まりやすく、チップの位置決め
がしやすく、また、チップ3を円柱に平行に設置しやす
くなるものである。このように円錐ステムにすると、チ
ップを支持部材2の中心に設置することができチップの
前後方向の位置、平行度もあわせやすくなる。
のようにすると、円柱形の支持部材と比べてチップ3を
支持部材2の中心に設置することが容易となる。すなわ
ち、第12図(C)に示されるように支持部材2が三角
形であるので、2辺で接するb点でチップ3をセットす
れば、当然aの位置が決まりやすく、チップの位置決め
がしやすく、また、チップ3を円柱に平行に設置しやす
くなるものである。このように円錐ステムにすると、チ
ップを支持部材2の中心に設置することができチップの
前後方向の位置、平行度もあわせやすくなる。
以上説明したように本発明によれば、下記の効果が得ら
れる。
れる。
(1)加工工数、組立工程の軽減によってコストダウン
が図れる。
が図れる。
(2)一体ものであるためチップ位置精度も出しやすく
、位置調整も容易である。
、位置調整も容易である。
(3)出射ビームの方向を容易に調整できる。
第1図は本発明の第1の実施例の斜視図、第2図はこの
第1の実施例の断面図、第3図(a) 、 (b)はそ
れぞれ第1の実施例におけるチップ支持部材の斜視図お
よび平面図、第4図(a) 、 (b)は第1の実施例
におけるキャップの斜視図および平面図、第5図は第1
の実施例の組立方法を説明するための図、第6図は本発
明の第2の実施例の断面図、第7図は第2の実施例の斜
視図、第8図は第2の実施例の組立て方法を説明するた
めの図、第9図(a) 、 (b)はそれぞれ第2の実
施例における支持部材2の斜視図および平面図、第10
図(a) 、 (b)はそれぞれ第2の実施例における
キャップ4の斜視図および平面図、第10図(C)は、
キャップ4の変形例の斜視図、第11図は本発明の第3
の実施例の斜視図、第12図(a) 、 (b) 、
(c)はそれぞれ第3の実施例の支持部材の斜視図、平
面図、拡大平面図である。 1・・・・・・電極、 2・・・・・・支持部材(ステム・ヒートシンク)、3
・・・・・・レーザチップ、 4・・・・・・保護キ
ャップ、5・・・・・・ガラス(光学系、レンズ)、6
・・・・・・接着剤(樹脂)、7・・・・・・光ファイ
バー、8・・・・・・コネクタ、 9・・・・・
・結像レンズ、lO・・・・・・テレビ・カメラ、11
−−−−−−波形モニタ、12・・・・・・パワーメー
タ。 第1図 第2図 (a) 第3図 (a) 第4図 ?り7図 第8図 (a) (b)第9図 (a) (b)(C) 第10図 !A11図 (a) (b)1
電才鉦 (C) 第12図
第1の実施例の断面図、第3図(a) 、 (b)はそ
れぞれ第1の実施例におけるチップ支持部材の斜視図お
よび平面図、第4図(a) 、 (b)は第1の実施例
におけるキャップの斜視図および平面図、第5図は第1
の実施例の組立方法を説明するための図、第6図は本発
明の第2の実施例の断面図、第7図は第2の実施例の斜
視図、第8図は第2の実施例の組立て方法を説明するた
めの図、第9図(a) 、 (b)はそれぞれ第2の実
施例における支持部材2の斜視図および平面図、第10
図(a) 、 (b)はそれぞれ第2の実施例における
キャップ4の斜視図および平面図、第10図(C)は、
キャップ4の変形例の斜視図、第11図は本発明の第3
の実施例の斜視図、第12図(a) 、 (b) 、
(c)はそれぞれ第3の実施例の支持部材の斜視図、平
面図、拡大平面図である。 1・・・・・・電極、 2・・・・・・支持部材(ステム・ヒートシンク)、3
・・・・・・レーザチップ、 4・・・・・・保護キ
ャップ、5・・・・・・ガラス(光学系、レンズ)、6
・・・・・・接着剤(樹脂)、7・・・・・・光ファイ
バー、8・・・・・・コネクタ、 9・・・・・
・結像レンズ、lO・・・・・・テレビ・カメラ、11
−−−−−−波形モニタ、12・・・・・・パワーメー
タ。 第1図 第2図 (a) 第3図 (a) 第4図 ?り7図 第8図 (a) (b)第9図 (a) (b)(C) 第10図 !A11図 (a) (b)1
電才鉦 (C) 第12図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体レーザチップと、該半導体レーザチップを支
持し、かつ放熱機能を有する支持部材と、半導体レーザ
に電流を投入するための電極と、前記レーザチップを保
護するためのキャップとを有する半導体レーザ装置にお
いて、 前記支持部材がキャップと嵌合しており、これにより気
密封止パッケージが形成されている半導体レーザ装置。 2、前記支持部材が円柱形状であり、キャップがこの支
持部材と嵌合可能な円筒形状である特許請求の範囲第1
項記載の半導体レーザ装置。 3、前記支持部材が円錐形状である特許請求の範囲第1
項記載の半導体レーザ装置。 4、前記支持部材の一部が球状である特許請求の範囲第
1項記載の半導体レーザ装置。 5、キャップ内径がテーパー状になっている特許請求の
範囲第1項から第4項までのいずれかに記載の半導体レ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP239288A JPH01181488A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 半導体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP239288A JPH01181488A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 半導体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01181488A true JPH01181488A (ja) | 1989-07-19 |
Family
ID=11527964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP239288A Pending JPH01181488A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 半導体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01181488A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5351264A (en) * | 1992-02-14 | 1994-09-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus for emitting light and automatic adjustment apparatus therefor |
| JP2006013551A (ja) * | 2002-03-25 | 2006-01-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
| WO2012020796A1 (ja) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 光検出装置、光学装置、光学的情報読取装置及び光源固定方法 |
| JP2012042538A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Optoelectronics Co Ltd | 光学装置、光学的情報読取装置及び光源固定方法 |
| JP2014150222A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置とその製造方法 |
-
1988
- 1988-01-11 JP JP239288A patent/JPH01181488A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5351264A (en) * | 1992-02-14 | 1994-09-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus for emitting light and automatic adjustment apparatus therefor |
| JP2006013551A (ja) * | 2002-03-25 | 2006-01-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
| WO2012020796A1 (ja) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 光検出装置、光学装置、光学的情報読取装置及び光源固定方法 |
| JP2012042538A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Optoelectronics Co Ltd | 光学装置、光学的情報読取装置及び光源固定方法 |
| US8654425B2 (en) | 2010-08-13 | 2014-02-18 | Optoelectronics Co., Ltd. | Optical detection device, optical device, optical information reading device, and light source fixing method |
| JP2014150222A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置とその製造方法 |
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