JPH01182822A - ビーム走査装置 - Google Patents
ビーム走査装置Info
- Publication number
- JPH01182822A JPH01182822A JP63004677A JP467788A JPH01182822A JP H01182822 A JPH01182822 A JP H01182822A JP 63004677 A JP63004677 A JP 63004677A JP 467788 A JP467788 A JP 467788A JP H01182822 A JPH01182822 A JP H01182822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric elements
- reflection mirror
- deflector
- laser beam
- hinge part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザービームプリンター等の電子ビーム走
査系に関するものである。
査系に関するものである。
（従来の技術）
近時、記録すべき画像パターンに応じた画信号により強
度変調されたレーザービームで記録媒体を光走査して画
像記録を行なう記録方式がプリンターや、ファクシミリ
の受信装置等として実用化されるようになった。以下、
従来例を第４図を用いて説明すると、ＬＤ光源１から画
信号により強度変調されて出射したレーザービームは、
コリメータレンズ２ａにより実質的な平行光束とされて
、回転多面鎖３の偏向手段に入射し、この偏向手段によ
って実質的に等角速度的に偏向される。偏向されたレー
ザービームは、ｆθレンズ４ａ、４ｂに入射し、このｆ
θレンズ４ａ、４ｂによって感光性の記録媒体の記録面
２０上に集束され、偏向に応じて記録面２０上を光走査
する。ｆθレンズは１等角速度的に行なわれるレーザー
ビームの偏向を補正して、その集束スポットが記録面上
で等速的に移動するようにする機能を有する。すなわち
、焦点距Ｈｆなるｆθレンズの光軸に対し、θの角度を
もって、入射瞳に入射するレーザービームは、記録面上
で上記光軸からｆθの距離の位置に集束する。このため
にｆθレンズという名称が冠せられている。
度変調されたレーザービームで記録媒体を光走査して画
像記録を行なう記録方式がプリンターや、ファクシミリ
の受信装置等として実用化されるようになった。以下、
従来例を第４図を用いて説明すると、ＬＤ光源１から画
信号により強度変調されて出射したレーザービームは、
コリメータレンズ２ａにより実質的な平行光束とされて
、回転多面鎖３の偏向手段に入射し、この偏向手段によ
って実質的に等角速度的に偏向される。偏向されたレー
ザービームは、ｆθレンズ４ａ、４ｂに入射し、このｆ
θレンズ４ａ、４ｂによって感光性の記録媒体の記録面
２０上に集束され、偏向に応じて記録面２０上を光走査
する。ｆθレンズは１等角速度的に行なわれるレーザー
ビームの偏向を補正して、その集束スポットが記録面上
で等速的に移動するようにする機能を有する。すなわち
、焦点距Ｈｆなるｆθレンズの光軸に対し、θの角度を
もって、入射瞳に入射するレーザービームは、記録面上
で上記光軸からｆθの距離の位置に集束する。このため
にｆθレンズという名称が冠せられている。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来の光学構成において、光束を偏向させる偏向器
として、多面鏡を回転させる方式の回転多面鏡を用いて
、揺動鏡を用いるガルバノミラ−よりも走査速度を上げ
ているが、この回転多面鏡における高速のもので１例え
ば６面体の多面鏡を３万ｐｐｍで回転させても１秒あた
り３０００回の走査しか行なえず、さらに高速化をはか
るには、モータの性能限界より困難なものとなっている
。
として、多面鏡を回転させる方式の回転多面鏡を用いて
、揺動鏡を用いるガルバノミラ−よりも走査速度を上げ
ているが、この回転多面鏡における高速のもので１例え
ば６面体の多面鏡を３万ｐｐｍで回転させても１秒あた
り３０００回の走査しか行なえず、さらに高速化をはか
るには、モータの性能限界より困難なものとなっている
。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、前記目的を達成するため、ＬＤ光源１よりの
光を集光レンズ２で反射面に集光させ、このレーザービ
ームを偏向させる偏向器を反射ミラー１０を固着かつ一
部弾性材のヒンジ部ｐを備えた支持板９を２個の圧電素
子１１．１２のそれぞれの変位面に架設して形成し、前
記２個の圧電素子１１．１２を互いに半周期ずらして振
動させることにより前記反射ミラー１０を揺動させるよ
うにしたものである。
光を集光レンズ２で反射面に集光させ、このレーザービ
ームを偏向させる偏向器を反射ミラー１０を固着かつ一
部弾性材のヒンジ部ｐを備えた支持板９を２個の圧電素
子１１．１２のそれぞれの変位面に架設して形成し、前
記２個の圧電素子１１．１２を互いに半周期ずらして振
動させることにより前記反射ミラー１０を揺動させるよ
うにしたものである。
（作用）
本発明によれば、偏向器として応答速度の非常に速い圧
電素子を用いた偏向器を使用しているので、高速走査が
可能になり、小型化、低コスト化が実現できる。
電素子を用いた偏向器を使用しているので、高速走査が
可能になり、小型化、低コスト化が実現できる。
（実施例）
第１図は、本発明の一実施例を説明する図であって、Ｌ
Ｄ光源１から画信号により強度変調されて出射したレー
ザービームは、集光レンズ２により反射ミラー１０に入
射され、この反射ミラー１゜が揺動することにより等角
速度的に偏向される。
Ｄ光源１から画信号により強度変調されて出射したレー
ザービームは、集光レンズ２により反射ミラー１０に入
射され、この反射ミラー１゜が揺動することにより等角
速度的に偏向される。
偏向されたレーザービームは、ｆθレンズ５ａ。
５ｂに入射し、このｆθレンズ５ａ、５ｂによって記録
面２０上を光走査する。
面２０上を光走査する。
前記反射ミラー１０を揺動させる偏向器を第２図を用い
て説明する。２個の圧電素子１１．１２は、部材８に設
置され反射ミラー１０を固着した一部弾性材のヒンジ部
を備えた支持板９が、圧電素子１１．１２の変位面に架
設されている。第３図に前記支持板９の詳細図を示す、
支持板９は、斜線部を弾性材ｐでヒンジ部を形成した剛
性体で、接着面０が圧電素子１１．１２に固着されてい
る。
て説明する。２個の圧電素子１１．１２は、部材８に設
置され反射ミラー１０を固着した一部弾性材のヒンジ部
を備えた支持板９が、圧電素子１１．１２の変位面に架
設されている。第３図に前記支持板９の詳細図を示す、
支持板９は、斜線部を弾性材ｐでヒンジ部を形成した剛
性体で、接着面０が圧電素子１１．１２に固着されてい
る。
圧電素子は、電気エネルギーを応力や変位などの機械エ
ネルギーに換えるための変換器の役割をするもので、最
近のものでは、セラミック層を積層した圧電素子が開発
され、応答速度が数１０μ秒変位量が１６μｍといった
過酷な伸縮にも耐えつる高信頼性を実現している。この
ような圧電素子を前記構成に使用すると、圧電素子１１
．１２の変位量矢印Ａ、矢印Ｂを１６μｍで振動させ、
支持板９の設置間距離ｌを６４μｍとって圧電素子１１
．１２を半周期ずらして振動させるとすると。
ネルギーに換えるための変換器の役割をするもので、最
近のものでは、セラミック層を積層した圧電素子が開発
され、応答速度が数１０μ秒変位量が１６μｍといった
過酷な伸縮にも耐えつる高信頼性を実現している。この
ような圧電素子を前記構成に使用すると、圧電素子１１
．１２の変位量矢印Ａ、矢印Ｂを１６μｍで振動させ、
支持板９の設置間距離ｌを６４μｍとって圧電素子１１
．１２を半周期ずらして振動させるとすると。
ミラー１０の揺動角θは３０度とれレーザービームを６
０度偏向させることができる。これを５０μ秒の応答速
度で振動させれば、１秒間に５万回の走査が行なえる。
０度偏向させることができる。これを５０μ秒の応答速
度で振動させれば、１秒間に５万回の走査が行なえる。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように本発明によれば、圧電素子
を利用した偏向器を実現したので、走査速度をより高速
化でき、かつ低コスト化、小型化を実現可能としたもの
である。
を利用した偏向器を実現したので、走査速度をより高速
化でき、かつ低コスト化、小型化を実現可能としたもの
である。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は本発
明の偏向器の詳細図、第３図は支持板の詳細図、第４図
は従来例を示す概略図である。 １・・・ＬＤ光源 ２・・・集光レンズ３・・
・回転多面鏡 ２ａ・・・コリメータレンズ４ ａ
、 ４ ｂ 、 ５ ａ 、 ５ ｂ −ｆθレンズ
８・・・部材 ９・・・支持板１０・・・
ミラー １１，１２・・・圧電素子２０・・・
記録面 ｐ・・・弾性材特許登録出願人
コパル電子株式会社第２図 １１圧電素子 ＼
明の偏向器の詳細図、第３図は支持板の詳細図、第４図
は従来例を示す概略図である。 １・・・ＬＤ光源 ２・・・集光レンズ３・・
・回転多面鏡 ２ａ・・・コリメータレンズ４ ａ
、 ４ ｂ 、 ５ ａ 、 ５ ｂ −ｆθレンズ
８・・・部材 ９・・・支持板１０・・・
ミラー １１，１２・・・圧電素子２０・・・
記録面 ｐ・・・弾性材特許登録出願人
コパル電子株式会社第２図 １１圧電素子 ＼
Claims (1)
- 光源よりの光を光偏向器を用い走査面上を走査するビー
ム走査装置において、前記光偏向器を反射ミラーを固着
かつ一部弾性材のヒンジ部を備えた支持板を２個の圧電
素子のそれぞれの変位面に架設して形成し、前記２個の
圧電素子を互いに半周期ずらして振動させることにより
前記反射ミラーを揺動させるようにしたことを特徴とす
るビーム走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004677A JPH01182822A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004677A JPH01182822A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ビーム走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182822A true JPH01182822A (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=11590526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004677A Pending JPH01182822A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ビーム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01182822A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160496A1 (en) | 2000-05-31 | 2001-12-05 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fuel hose |
| JP2005352300A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光走査素子及びこれを用いた走査光学装置 |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63004677A patent/JPH01182822A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160496A1 (en) | 2000-05-31 | 2001-12-05 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fuel hose |
| JP2005352300A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光走査素子及びこれを用いた走査光学装置 |
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