JPH01183627A - 液晶表示装置の製法 - Google Patents
液晶表示装置の製法Info
- Publication number
- JPH01183627A JPH01183627A JP63007771A JP777188A JPH01183627A JP H01183627 A JPH01183627 A JP H01183627A JP 63007771 A JP63007771 A JP 63007771A JP 777188 A JP777188 A JP 777188A JP H01183627 A JPH01183627 A JP H01183627A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- display device
- crystal display
- manufacture
- crystal molecules
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、文字や記号、あるいは画像の表示を行う液晶
表示装置に関するものである。より詳しくは、液晶分子
の基板壁面でのブレ・チルト角が比較的、大きくする必
要のあるモード、すなわちスーパー・ツィステッド・ネ
マチック（ＳＴＮ）またはスーパー・ハイアフリンゼン
ト・イフエクト（ＳＢＥ）モード、ダノブ（ＤＡＰ）や
ハン（ＨＡＮ）等の複層折制ｊＴ！ｉモード（ＥＣＢ）
、ポジ型ゲスト・ホスト（ＧＨ）モード等の液晶表示
装置に関する。そのうちでも、特に液晶分子の配向膜に
関する。
表示装置に関するものである。より詳しくは、液晶分子
の基板壁面でのブレ・チルト角が比較的、大きくする必
要のあるモード、すなわちスーパー・ツィステッド・ネ
マチック（ＳＴＮ）またはスーパー・ハイアフリンゼン
ト・イフエクト（ＳＢＥ）モード、ダノブ（ＤＡＰ）や
ハン（ＨＡＮ）等の複層折制ｊＴ！ｉモード（ＥＣＢ）
、ポジ型ゲスト・ホスト（ＧＨ）モード等の液晶表示
装置に関する。そのうちでも、特に液晶分子の配向膜に
関する。
従来の技術
近年、液晶表示装置は薄型・軽量という特徴により、パ
ーソナル・コンピュータ、ワードプロセサーなどの端末
表示や、薄型テレビなどの映像表示に用いられている。
ーソナル・コンピュータ、ワードプロセサーなどの端末
表示や、薄型テレビなどの映像表示に用いられている。
高品位、大容量表示には、色々な液晶パネルの表示モー
ドのうちでも、ＳＴＮないしＳＢＥモードがふされしい
と認められている。このモードは上下基板の間にネマチ
ック液晶分子が捻れ構造を有する、ツィステッド・ネマ
チック構造を有するものであるが、さらにこの捻れ角が
１２０°〜３６０°程度にし、しかも入射、１線偏光も
パネルに対して複屈折に入れられる。場合によっては、
入射直線偏光は液晶分子軸に、はぼ沿って入れる場合も
ある。
ドのうちでも、ＳＴＮないしＳＢＥモードがふされしい
と認められている。このモードは上下基板の間にネマチ
ック液晶分子が捻れ構造を有する、ツィステッド・ネマ
チック構造を有するものであるが、さらにこの捻れ角が
１２０°〜３６０°程度にし、しかも入射、１線偏光も
パネルに対して複屈折に入れられる。場合によっては、
入射直線偏光は液晶分子軸に、はぼ沿って入れる場合も
ある。
液晶分子の捻り角を９０°以上、かなり大きくする場合
、他の捻り角の領域等が発生し、ディスクリネーション
を誘起しやすく、均一表示の障害となる。これは、所望
の液晶分子の捻れの状態と、障害となる液晶分子の捻れ
の状態のエネルギーが、はとんど等しくなるためである
。これを避けるために、基板表面において液晶分子が基
板面に対して３°〜３０°の角度（以後、プレ・チルト
角と称する）で立つようにされる（たとえば、アプライ
ド・フイブラス・レターズ、４５（１０）。
、他の捻り角の領域等が発生し、ディスクリネーション
を誘起しやすく、均一表示の障害となる。これは、所望
の液晶分子の捻れの状態と、障害となる液晶分子の捻れ
の状態のエネルギーが、はとんど等しくなるためである
。これを避けるために、基板表面において液晶分子が基
板面に対して３°〜３０°の角度（以後、プレ・チルト
角と称する）で立つようにされる（たとえば、アプライ
ド・フイブラス・レターズ、４５（１０）。
１９８４年１）月１５日発行）、−船釣なツイス７テド
・ネマチック・モードの場合、プレ・チルト角は０°〜
３°の範囲にある。
・ネマチック・モードの場合、プレ・チルト角は０°〜
３°の範囲にある。
前記のための、すなわち、プレ・チルト角を３°〜３０
’にするために、今まで、液晶分子の配向膜として、−
酸化硅素等の斜方蒸着または特殊な有機樹脂層が使用さ
れる。
’にするために、今まで、液晶分子の配向膜として、−
酸化硅素等の斜方蒸着または特殊な有機樹脂層が使用さ
れる。
また、ＤＡＰやＨＡＮ、ポジ型ＯＨなどのモードの場合
には、基板壁面に対して液晶分子の長軸をほぼ垂直に立
てる、すなわちプレ・チルト角をほぼ９０°にする必要
がある。従来、両親媒性の界面剤の塗布が使われてきた
。たとえば、タンパク質の１種であるレシチンや有機シ
ランの１種であるＤＭＯＡＰ等である（液晶・応用編、
岡野。
には、基板壁面に対して液晶分子の長軸をほぼ垂直に立
てる、すなわちプレ・チルト角をほぼ９０°にする必要
がある。従来、両親媒性の界面剤の塗布が使われてきた
。たとえば、タンパク質の１種であるレシチンや有機シ
ランの１種であるＤＭＯＡＰ等である（液晶・応用編、
岡野。
小林 共編）。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、斜方蒸着法による従来の配向膜の形成法
では、１０’Ｔｏｒｒ程度の真空を使ったプロセスであ
ることから工程が複雑になること、蒸着機が高価である
ゆえに、液晶表示装置のコストが上昇するという課題が
あった。
では、１０’Ｔｏｒｒ程度の真空を使ったプロセスであ
ることから工程が複雑になること、蒸着機が高価である
ゆえに、液晶表示装置のコストが上昇するという課題が
あった。
また、前述の特殊な有機樹脂配向膜の場合、プレ・チル
ト角を約３°以上に均一に、再現性良く実現するために
は、前記有機樹脂の塗布、硬化条件や、これに続くラビ
ング工程の管理を＠格にする必要があり、歩留りも悪く
なる傾向にある。特にプレ・チルトをｌＯ°以上にする
場合には、再現性が非常に難しい。プレ・チルトが均一
でないと、液晶表示装置の質を大きく劣化させる。
ト角を約３°以上に均一に、再現性良く実現するために
は、前記有機樹脂の塗布、硬化条件や、これに続くラビ
ング工程の管理を＠格にする必要があり、歩留りも悪く
なる傾向にある。特にプレ・チルトをｌＯ°以上にする
場合には、再現性が非常に難しい。プレ・チルトが均一
でないと、液晶表示装置の質を大きく劣化させる。
なお、プレ・チルト角を０°〜３°にするのは、確立さ
れた技術であり、容易である。
れた技術であり、容易である。
また、２００℃以下でポリ・イミド層が形成し得るポリ
・イミド・レジンを使用する場合、この温度領域では液
晶分子のプレ・チルトは０°〜ｌ°の範囲しか実現でき
ない。
・イミド・レジンを使用する場合、この温度領域では液
晶分子のプレ・チルトは０°〜ｌ°の範囲しか実現でき
ない。
ここまで、ポリ・イミド層を中心に述べたが、これはポ
リ・イミド層が有機樹脂のなかで抜群の安定性を有する
ことに基づいている。
リ・イミド層が有機樹脂のなかで抜群の安定性を有する
ことに基づいている。
さらに高プレ・チルトを要求する場合、すなわちほとん
ど９０°のプレ・チルト角を求める場合、現状では十分
な安定性と再現性をもたらすものは、現在のところ存在
しない。
ど９０°のプレ・チルト角を求める場合、現状では十分
な安定性と再現性をもたらすものは、現在のところ存在
しない。
課題を解決するための手段
本発明は前述のような課題を解決するために、スバフタ
ー法で形成したフッ素を含む有機薄膜を配向膜となすこ
とを特徴とする液晶表示装置の製法を提供するものであ
る。もちろん、前記有機薄膜の形成後、面内の方向付け
のため必要とあらば、ラビング等の処理はされる。
ー法で形成したフッ素を含む有機薄膜を配向膜となすこ
とを特徴とする液晶表示装置の製法を提供するものであ
る。もちろん、前記有機薄膜の形成後、面内の方向付け
のため必要とあらば、ラビング等の処理はされる。
このスパッター時に、同時に、紫外光を照射して有機薄
膜を形成するのが、より望ましい。
膜を形成するのが、より望ましい。
さらにこのときのターゲットとしてはポリ・４フッ化エ
チレン（１’ＴＦＥ）であるのが、より望ましい。
チレン（１’ＴＦＥ）であるのが、より望ましい。
作用
本発明は前述した構成の液晶表示装置においては、特に
配向膜によって、液晶分子の高いプレ・チルト角を均一
に再現性良く実現でき、質の良い大容量の表示が歩留り
良く得られるようになった。
配向膜によって、液晶分子の高いプレ・チルト角を均一
に再現性良く実現でき、質の良い大容量の表示が歩留り
良く得られるようになった。
高ブレ・チルト角が安定に得られるようになったのは、
表面がフッ素化された有ａ薄膜を配向膜としたことによ
る。これは、前記表面がフン化された樹脂表面によって
、疎水性になることと関係していると思われる。疎水性
になっていることは適当な液体の接触角を測ることによ
り確かめた。
表面がフッ素化された有ａ薄膜を配向膜としたことによ
る。これは、前記表面がフン化された樹脂表面によって
、疎水性になることと関係していると思われる。疎水性
になっていることは適当な液体の接触角を測ることによ
り確かめた。
前記薄膜の膜構造はＥＳＣＡや赤外吸収の測定から、お
およそ推測される。
およそ推測される。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
本実施例で使われたスパッタリング装置を説明する０図
において、ｌはターゲット、２が基板、３がマツチング
回路、４が高周波発振器、５はアルゴン・ガスの導入口
、６は蛍石からなる窓、７はアルミニウムからなる反射
鏡、８は低圧水銀灯、９は油拡散ポンプへの排気口であ
る。
において、ｌはターゲット、２が基板、３がマツチング
回路、４が高周波発振器、５はアルゴン・ガスの導入口
、６は蛍石からなる窓、７はアルミニウムからなる反射
鏡、８は低圧水銀灯、９は油拡散ポンプへの排気口であ
る。
まず、パターン化した錫を含む酸化インヂウム透明導電
膜（ＩＴＯ）を表面に有するガラス基板を１セｙト入手
した。これを良く洗浄し、乾燥後、この基板をスパッタ
リング装置内に設置した。ターゲットには市販のポリ・
４フッ化エチレン、いわゆるテフロンを使った。スパッ
タ・ガスとしてはアルゴン・ガスを用い、高周波電力は
５ Ｗ／ｃｄ程度の条件で膜形成を行った。
膜（ＩＴＯ）を表面に有するガラス基板を１セｙト入手
した。これを良く洗浄し、乾燥後、この基板をスパッタ
リング装置内に設置した。ターゲットには市販のポリ・
４フッ化エチレン、いわゆるテフロンを使った。スパッ
タ・ガスとしてはアルゴン・ガスを用い、高周波電力は
５ Ｗ／ｃｄ程度の条件で膜形成を行った。
さらにもう一つのセットの基板へ同様の条件で、ただし
ユバフタ−時に低圧水銀灯からの紫外光を基板近傍に照
射した。
ユバフタ−時に低圧水銀灯からの紫外光を基板近傍に照
射した。
形成された膜の厚みは、約０．１５μｍであった。
膜構造の解析の結果、はとんどフルオロ・カーボンから
成っていることが判った。この膜は疎水性であることが
確認された。
成っていることが判った。この膜は疎水性であることが
確認された。
これを、捻れ角が２３０°となるように、ラビングなら
びにパネルを組み立てた。すなわち、ＳＴＮタイプの液
晶表示装置の組立を企図した。
びにパネルを組み立てた。すなわち、ＳＴＮタイプの液
晶表示装置の組立を企図した。
この際、紫外光照射した場合の膜のほうが、比較的硬い
という感触を得た。これにＳＴＮ用液晶を注入して液晶
パネルを得た。これに偏光板を貼付け、完成した。なお
、ブレ・チルト角測定用に捻れ角がＯｏの、いわゆるホ
モジーニアス・セルをも同時に作った。
という感触を得た。これにＳＴＮ用液晶を注入して液晶
パネルを得た。これに偏光板を貼付け、完成した。なお
、ブレ・チルト角測定用に捻れ角がＯｏの、いわゆるホ
モジーニアス・セルをも同時に作った。
プレ チルト角測定は磁場法を使った。測定値は約１６
°であった。
°であった。
いわゆるｄ／ｐやギャップ等ある程度の最適化を図った
パネルにおける表示特性においては、１／４００駆動で
、従来のパネルに比べて約５０％以上のコントラストの
向上を見た。
パネルにおける表示特性においては、１／４００駆動で
、従来のパネルに比べて約５０％以上のコントラストの
向上を見た。
以上本発明は液晶表示装面の表示品位を向上させるのに
本質的なものである。
本質的なものである。
なお、本実施例では、ツイスト・ネマティック・モード
に関して述べたが、ＤＡＰやＨＡＮ、ボン型ＧＨ・モー
ドについても、本発明を実施した結果、効果が大きいこ
とが判った。
に関して述べたが、ＤＡＰやＨＡＮ、ボン型ＧＨ・モー
ドについても、本発明を実施した結果、効果が大きいこ
とが判った。
発明の効果
以上のように本発明は、疎水性の安定な配向膜を得て、
良好な表示、モードによっては従来にもまして良好な大
容量表示や、可能な液晶表示装置を得ることができる。
良好な表示、モードによっては従来にもまして良好な大
容量表示や、可能な液晶表示装置を得ることができる。
図は本−実施例で使われたスパッタリング装置の構成断
面図である。 １・・・・・・ターゲット、２・・・・・・基板、３・
・・・・・マツチング回路、４・・・・・・高周波発振
器、５・・・・・・アルゴン・ガスの導入口、６・・・
・・・蛍石からなる窓、７・・・・・・アルミニウムか
らなる反射鏡、８・・・・・・低圧水銀灯、９・・・・
・・油拡散ポンプへの排気口。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名／−−−ク
ーゲ・ント ？−−−差オ反 ３−一一マッ千ンク回ンζ ４−一一七子問グレ元ま展λｉ 、ｆ−−−７ｒしコ゛ンカズのΔ１人口、（−−一蛍石
〃・ら１−ろ定 ７−−− 反４寸鏡 ６−−− イかひｉ→（＃ズＪ γ−−−ぶ￥九℃ ？
面図である。 １・・・・・・ターゲット、２・・・・・・基板、３・
・・・・・マツチング回路、４・・・・・・高周波発振
器、５・・・・・・アルゴン・ガスの導入口、６・・・
・・・蛍石からなる窓、７・・・・・・アルミニウムか
らなる反射鏡、８・・・・・・低圧水銀灯、９・・・・
・・油拡散ポンプへの排気口。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名／−−−ク
ーゲ・ント ？−−−差オ反 ３−一一マッ千ンク回ンζ ４−一一七子問グレ元ま展λｉ 、ｆ−−−７ｒしコ゛ンカズのΔ１人口、（−−一蛍石
〃・ら１−ろ定 ７−−− 反４寸鏡 ６−−− イかひｉ→（＃ズＪ γ−−−ぶ￥九℃ ？
Claims (3)
- （１）スパッター法で形成したフッ素を含む有機薄膜を
配向膜となすことを特徴とする液晶表示装置の製法。 - （２）スパッター時に、同時に、紫外光を照射して有機
薄膜を得ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項
記載の液晶表示装置の製法。 - （３）ターゲットがポリ・４フッ化エチレン（ＰＴＦＥ
）であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項ま
たは第（２）項のいずれかに記載の液晶表示装置の製法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63007771A JPH01183627A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 液晶表示装置の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63007771A JPH01183627A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 液晶表示装置の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01183627A true JPH01183627A (ja) | 1989-07-21 |
Family
ID=11674939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63007771A Pending JPH01183627A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 液晶表示装置の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01183627A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2281977A (en) * | 1993-09-18 | 1995-03-22 | Gold Star Co | Orientation film for a liquid crystal display |
| FR2725534A1 (fr) * | 1994-10-11 | 1996-04-12 | Luder Ernst | Depot de couches d'orientation sur un substrat pour alignement de molecules de cristaux liquides |
| US6753966B2 (en) | 2000-03-10 | 2004-06-22 | Textron Systems Corporation | Optical probes and methods for spectral analysis |
| US6836325B2 (en) | 1999-07-16 | 2004-12-28 | Textron Systems Corporation | Optical probes and methods for spectral analysis |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63007771A patent/JPH01183627A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2281977A (en) * | 1993-09-18 | 1995-03-22 | Gold Star Co | Orientation film for a liquid crystal display |
| GB2281977B (en) * | 1993-09-18 | 1998-01-14 | Gold Star Co | Method for forming an orientation film in a liquid crystal display |
| FR2725534A1 (fr) * | 1994-10-11 | 1996-04-12 | Luder Ernst | Depot de couches d'orientation sur un substrat pour alignement de molecules de cristaux liquides |
| NL1001346C2 (nl) * | 1994-10-11 | 1998-08-26 | Lueder Ernst | Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van oriënteringslagen op een substraat voor het richten van moleculen van vloeibare kristallen. |
| US6836325B2 (en) | 1999-07-16 | 2004-12-28 | Textron Systems Corporation | Optical probes and methods for spectral analysis |
| US6753966B2 (en) | 2000-03-10 | 2004-06-22 | Textron Systems Corporation | Optical probes and methods for spectral analysis |
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