JPH01188816A - 分光型走査顕微鏡 - Google Patents
分光型走査顕微鏡Info
- Publication number
- JPH01188816A JPH01188816A JP1266788A JP1266788A JPH01188816A JP H01188816 A JPH01188816 A JP H01188816A JP 1266788 A JP1266788 A JP 1266788A JP 1266788 A JP1266788 A JP 1266788A JP H01188816 A JPH01188816 A JP H01188816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- lens
- pinhole
- scanning microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、走査顕微鏡に係り、特に、試料から発生する
光を分光する機能を付加した分光型走査顕微鏡に関する
。
光を分光する機能を付加した分光型走査顕微鏡に関する
。
走査顕微鏡は、細く絞り込んだ光を試料上で走査しなが
ら、試料からの反射光、試料を透過した透過光、あるい
は試料から発生する蛍光などを光検出器により検出し、
光の試料への照射場所と光検出器の出力とを対応付けて
表示装置に画像として表示し、試料を観察するものであ
る。この走査顕微鏡の結像特性については、オプチカア
クタ第１０巻（１９７７年）第１０５１〜１０７３頁（
ＯＰＴＩＣＡ ＡＣＴＡ、 １０ （１９７７） ｐｐ
１０５１−１０７３）において詳しく論じられている。
ら、試料からの反射光、試料を透過した透過光、あるい
は試料から発生する蛍光などを光検出器により検出し、
光の試料への照射場所と光検出器の出力とを対応付けて
表示装置に画像として表示し、試料を観察するものであ
る。この走査顕微鏡の結像特性については、オプチカア
クタ第１０巻（１９７７年）第１０５１〜１０７３頁（
ＯＰＴＩＣＡ ＡＣＴＡ、 １０ （１９７７） ｐｐ
１０５１−１０７３）において詳しく論じられている。
従来の走査顕微鏡においては、分光機能についての配慮
がなされていない。例えば、レーザ光を光源として用い
、試料からの反射光や、透過光を［６する場合、当然こ
れらの光は、入射光と同じ波長なので分光をする必要が
ない。通常の光源あるいはレーザ光等からの入射光によ
り励起された蛍光を観察する場合も、ジャーナルオブマ
イクロスコピー第１３３巻パー１−２ （１９８−４年
）第１４９〜１５４頁（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｍｉｃ
ｒｏｓｃｏｐｙ、 １３３． Ｐｔ、２（１９８４）ρ
ｐ、１４９−１５４）に記載されているように、シャー
プカットフィルタを光路中に挿入して蛍光と入射光を分
離する程度であり、本格的な分光は行なわれていない。
がなされていない。例えば、レーザ光を光源として用い
、試料からの反射光や、透過光を［６する場合、当然こ
れらの光は、入射光と同じ波長なので分光をする必要が
ない。通常の光源あるいはレーザ光等からの入射光によ
り励起された蛍光を観察する場合も、ジャーナルオブマ
イクロスコピー第１３３巻パー１−２ （１９８−４年
）第１４９〜１５４頁（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｍｉｃ
ｒｏｓｃｏｐｙ、 １３３． Ｐｔ、２（１９８４）ρ
ｐ、１４９−１５４）に記載されているように、シャー
プカットフィルタを光路中に挿入して蛍光と入射光を分
離する程度であり、本格的な分光は行なわれていない。
分光機能を有する分光型走査顕微鏡を実現するには、従
来の走査顕微鏡にグレーティングあるいはプリズムと、
スリット等から構成される分光器を結合することが考え
られるが、装置全体が大掛かりなものになってしまう。
来の走査顕微鏡にグレーティングあるいはプリズムと、
スリット等から構成される分光器を結合することが考え
られるが、装置全体が大掛かりなものになってしまう。
本発明の課題は、従来の走査顕微鏡の構成を大きく変え
ずに、分光機能を簡単に実現して分光機能を有する分光
型走査顕微鏡を提供することにある。
ずに、分光機能を簡単に実現して分光機能を有する分光
型走査顕微鏡を提供することにある。
上記課題を達成するために、本発明の分光型走査顕微鏡
は、光源と、該光源からの光の焦点位置に配置した試料
と、上記光を収束して上記試料に照射する光学系と、上
記試料を移動させる試料台と、上記試料からの光を収束
する色収差を有するレンズと、該レンズにより収束され
た光が通過するように配置したピンホールと、該ピンホ
ールを光軸に平行に移動させる手段と、上記ピンホール
からの透過光を検出する光検出器と、上記試料面におけ
る上記光の照射場所と上記光検出器の出力とを対応付け
て表示する表示手段とを含んでなることを特徴とする。
は、光源と、該光源からの光の焦点位置に配置した試料
と、上記光を収束して上記試料に照射する光学系と、上
記試料を移動させる試料台と、上記試料からの光を収束
する色収差を有するレンズと、該レンズにより収束され
た光が通過するように配置したピンホールと、該ピンホ
ールを光軸に平行に移動させる手段と、上記ピンホール
からの透過光を検出する光検出器と、上記試料面におけ
る上記光の照射場所と上記光検出器の出力とを対応付け
て表示する表示手段とを含んでなることを特徴とする。
第２図は、本発明の詳細な説明するために、本発明によ
る分光型走査顕微鏡の検出系のみを示す図である。
る分光型走査顕微鏡の検出系のみを示す図である。
図において、５００は当該顕微鏡によりＩＩＲＩすべき
試料であり、収束されたレーザ光が照射されているもの
とする。試料５００へのレーザ光の照射位置からは、多
数の波長を含む光２０が放射され、色収差を有するレン
ズ（以下１色収差レンズと記す）１００に入射する。こ
のレンズ１００は、色収差を有するので、長波長光２１
は、レンズ１００から遠く離れた位置に焦点を持ち、一
方。
試料であり、収束されたレーザ光が照射されているもの
とする。試料５００へのレーザ光の照射位置からは、多
数の波長を含む光２０が放射され、色収差を有するレン
ズ（以下１色収差レンズと記す）１００に入射する。こ
のレンズ１００は、色収差を有するので、長波長光２１
は、レンズ１００から遠く離れた位置に焦点を持ち、一
方。
短波長光２２は、レンズ１００により近い位置に焦点を
持つ、３００はピンホールであり、ピンホール３００が
図に示す位置にあるときは、ピンホール３００は長波長
光２１に対してのみ共焦点の位置にある。従って、長波
長光２１のみがピンホール３００を通過して光検出器４
００に到達し得る。一方、短波長光２２は、ピンホール
３００の手前で収束され、ピンホール３００の位置では
、広がってしまうので、大部分はピンホール３００を通
過できない。すなわち、ピンホール３００の位置を光軸
上で移動させると、ピンホール３００を通過する光の波
長が変化するので、多波長光２００を分光することが可
能となる。
持つ、３００はピンホールであり、ピンホール３００が
図に示す位置にあるときは、ピンホール３００は長波長
光２１に対してのみ共焦点の位置にある。従って、長波
長光２１のみがピンホール３００を通過して光検出器４
００に到達し得る。一方、短波長光２２は、ピンホール
３００の手前で収束され、ピンホール３００の位置では
、広がってしまうので、大部分はピンホール３００を通
過できない。すなわち、ピンホール３００の位置を光軸
上で移動させると、ピンホール３００を通過する光の波
長が変化するので、多波長光２００を分光することが可
能となる。
長波長光２１．短波長光２２の波長をそれぞれ、４８６
１人、６５６３人とする。色収差レンズ１００の材質を
例えばクラウンガラスとしたとき、それぞれの波長に対
する屈折率は、１．５０５２９．１．４９７７６である
。また、色収差レンズ１００の焦点距離を４．３閣とし
、有効径を３．８園とする。このとき、同波長の焦点距
離の差は、約６５Ｉ１ｍとなる。次に、短波長光２２が
、長波長光２１の焦点位置にあるピンホール３００に達
したとき、光軸上では、短波長光２２の焦点位置の光強
度に比べて、１０−３程度に減衰してしまう。これに対
して、長波長光２１は、十分な光強度でピンホール３０
０を通過するので、分光が可能となる。
１人、６５６３人とする。色収差レンズ１００の材質を
例えばクラウンガラスとしたとき、それぞれの波長に対
する屈折率は、１．５０５２９．１．４９７７６である
。また、色収差レンズ１００の焦点距離を４．３閣とし
、有効径を３．８園とする。このとき、同波長の焦点距
離の差は、約６５Ｉ１ｍとなる。次に、短波長光２２が
、長波長光２１の焦点位置にあるピンホール３００に達
したとき、光軸上では、短波長光２２の焦点位置の光強
度に比べて、１０−３程度に減衰してしまう。これに対
して、長波長光２１は、十分な光強度でピンホール３０
０を通過するので、分光が可能となる。
実施例 １
第１図は、本発明の第１の実施例を示す概略構成図であ
る。７００はレーザ光源、７１０はレーザ光、１０１は
レンズ（レンズ１０１は色収差には無関係でレーザ光を
絞り込めるものであればよい。）、５００は試料、６０
１は試料５００を矢印Ａ方向に移動させるステージ（試
料台）。
る。７００はレーザ光源、７１０はレーザ光、１０１は
レンズ（レンズ１０１は色収差には無関係でレーザ光を
絞り込めるものであればよい。）、５００は試料、６０
１は試料５００を矢印Ａ方向に移動させるステージ（試
料台）。
２０１は試料５００から発生される蛍光、１００は色収
差レンズ、３００はピンホール、６００はピンホール３
００を、光軸方向すなわち矢印Ｂ方向に移動させるステ
ージ、４００は光検出器、８００は試料５００の表面に
おけるレーザ光７１０の照射場所と光検出器４００の出
力とを対応付けて画像として表示する表示装置である。
差レンズ、３００はピンホール、６００はピンホール３
００を、光軸方向すなわち矢印Ｂ方向に移動させるステ
ージ、４００は光検出器、８００は試料５００の表面に
おけるレーザ光７１０の照射場所と光検出器４００の出
力とを対応付けて画像として表示する表示装置である。
レーザ光源７００から出射されたレーザ光７１０は、レ
ンズ１０１により試料５００上に収束されて照射される
。すなわち、試料５００はレーザ光７１０の焦点位置に
設置される。試料５００は、レーザ光７１０により励起
されて蛍光２０１を発生する。蛍光２０１には、いろい
ろな波長の光が含まれている。試料５００は、ステージ
６０１上に載っており、焦点面内で、すなわち、矢印入
方向に移動可能である。従って、試料面上でレーザ光の
照射位置を変化させることができる。
ンズ１０１により試料５００上に収束されて照射される
。すなわち、試料５００はレーザ光７１０の焦点位置に
設置される。試料５００は、レーザ光７１０により励起
されて蛍光２０１を発生する。蛍光２０１には、いろい
ろな波長の光が含まれている。試料５００は、ステージ
６０１上に載っており、焦点面内で、すなわち、矢印入
方向に移動可能である。従って、試料面上でレーザ光の
照射位置を変化させることができる。
蛍光２０１は、色収差レンズ１００により共焦点の位置
に配置されたピンホール３００上に絞り込まれる。ピン
ホール３００は、ステージ６００により光軸上（矢印Ｂ
方向）を移動できる。この移動機構により蛍光２０１の
分光が可能になる。ピンホール３００を通過した光は、
光検出器４００により検出され、その後、表示袋！１８
００に画像として表示される。試料５００が、レーザ光
に対して走査されるとき、各々の走査位置における光検
出器４００の光強度を表示装置８００は記憶し。
に配置されたピンホール３００上に絞り込まれる。ピン
ホール３００は、ステージ６００により光軸上（矢印Ｂ
方向）を移動できる。この移動機構により蛍光２０１の
分光が可能になる。ピンホール３００を通過した光は、
光検出器４００により検出され、その後、表示袋！１８
００に画像として表示される。試料５００が、レーザ光
に対して走査されるとき、各々の走査位置における光検
出器４００の光強度を表示装置８００は記憶し。
画像として表示する。ステージ６００によりピンホール
３００を種々の位置に設定しておき、それぞれの状態で
画像をとれば、種々の波長における２次元像を得ること
ができる。また、試料５００の表面上の特定の位置にレ
ーザ光７１０を固定しておき、ピンホール３００を光軸
上で移動させることにより、特定位置での分光が可能と
なる。
３００を種々の位置に設定しておき、それぞれの状態で
画像をとれば、種々の波長における２次元像を得ること
ができる。また、試料５００の表面上の特定の位置にレ
ーザ光７１０を固定しておき、ピンホール３００を光軸
上で移動させることにより、特定位置での分光が可能と
なる。
実施例 ２
第３図は１本発明の第２の実施例を示す概略図である。
本実施例は、レーザ光を用いた完全な共焦点型の走査顕
微鏡を実現したものである。レーザ光の照射収束光学系
は、第１の実施例と同じである。相違点は、試料５００
から発生した蛍光２０１を色収差のない色消しレンズ１
０２により共焦点の位置にあるピンホール３０１上に収
束することである。このレンズ１０２とピンホール３０
１を途中に介在させることで、レーザ光を用いた完全な
共焦点型の走査顕微鏡を実現することができる。ピンホ
ール３０１を通過した光は、第１の実施例と同様の処理
が施される。
微鏡を実現したものである。レーザ光の照射収束光学系
は、第１の実施例と同じである。相違点は、試料５００
から発生した蛍光２０１を色収差のない色消しレンズ１
０２により共焦点の位置にあるピンホール３０１上に収
束することである。このレンズ１０２とピンホール３０
１を途中に介在させることで、レーザ光を用いた完全な
共焦点型の走査顕微鏡を実現することができる。ピンホ
ール３０１を通過した光は、第１の実施例と同様の処理
が施される。
実施例 ３
第４図は、本発明の第３の実施例を示す概略構成図であ
る。本実施例は、レーザ光を用いた反射型の走査顕微鏡
の例である。レーザ光源７００からのレーザ光７１０は
、半透１９００により反射され、色収差レンズ１００に
より試料５００上に絞り込まれる。色収差レンズ１００
は、試料５００から発生する蛍光２０１をピンホール３
００へ導くのにも使用される。ピンホール３００が、光
軸上で移動可能なこと、光検出器４００の信号を表示装
置８００により画像として表示することは、第１、第２
の実施例と同じである。
る。本実施例は、レーザ光を用いた反射型の走査顕微鏡
の例である。レーザ光源７００からのレーザ光７１０は
、半透１９００により反射され、色収差レンズ１００に
より試料５００上に絞り込まれる。色収差レンズ１００
は、試料５００から発生する蛍光２０１をピンホール３
００へ導くのにも使用される。ピンホール３００が、光
軸上で移動可能なこと、光検出器４００の信号を表示装
置８００により画像として表示することは、第１、第２
の実施例と同じである。
実施例 ４
第５図は、本発明の第４の実施例を示す概略構成図であ
る。これまでの実施例では、試料から発生した蛍光を分
光するものであったが、本実施例では、光源として多波
長光源７０１を使用し、試料５００からは蛍光が発生し
ない場合である。測定すべき物理量は、試料の反射分光
特性である。
る。これまでの実施例では、試料から発生した蛍光を分
光するものであったが、本実施例では、光源として多波
長光源７０１を使用し、試料５００からは蛍光が発生し
ない場合である。測定すべき物理量は、試料の反射分光
特性である。
多波長光源７０１から出射した多波長光７１１は、半透
鏡９００により反射され、色消しレンズ１０２へ向かう
。多波長光７１１は、試料５００上に絞り込まれ、試料
面上で反射される。それぞれの波長の反射光の光強度は
、多波長光照射位置の試料の反射分光特性による。試料
５００から反射された多波長光は１色消しレンズ１０２
および半透ｆｉ９００を通過した後、ピンホール３０１
上に集光される。ピンホール３０１は、共焦点走査顕微
鏡を構成するためのものである。ピンホール３０１を通
過した多波長光は１色収差レンズ１００と、ステージ６
００によって光軸上を移動し得るピンホール３００との
作用により分光される。ピンホール３０６を通過した光
は、光検出器４００により検出される。試料５００を、
ステージ６０１により走査しながら、光検出器４００の
信号を得れば、表示装置８００に画像として試料表面の
分光特性を表示できる。
鏡９００により反射され、色消しレンズ１０２へ向かう
。多波長光７１１は、試料５００上に絞り込まれ、試料
面上で反射される。それぞれの波長の反射光の光強度は
、多波長光照射位置の試料の反射分光特性による。試料
５００から反射された多波長光は１色消しレンズ１０２
および半透ｆｉ９００を通過した後、ピンホール３０１
上に集光される。ピンホール３０１は、共焦点走査顕微
鏡を構成するためのものである。ピンホール３０１を通
過した多波長光は１色収差レンズ１００と、ステージ６
００によって光軸上を移動し得るピンホール３００との
作用により分光される。ピンホール３０６を通過した光
は、光検出器４００により検出される。試料５００を、
ステージ６０１により走査しながら、光検出器４００の
信号を得れば、表示装置８００に画像として試料表面の
分光特性を表示できる。
以上説明したように、本発明によれば、色収差を有する
レンズと、光軸上を移動可能なピンホールを使用するこ
とにより、従来の走査顕微鏡の構成を大きく変えずに、
走査顕微鏡に分光機能を簡単に付設できる効果がある。
レンズと、光軸上を移動可能なピンホールを使用するこ
とにより、従来の走査顕微鏡の構成を大きく変えずに、
走査顕微鏡に分光機能を簡単に付設できる効果がある。
第１図は、本発明の第１の実施例の概略構成図、第２図
は、本発明の詳細な説明するための図、第３図は１本発
明の第２の実施例の概略構成図、第４図は、本発明の第
３の実施例の概略構成図、第５図は、本発明の第４の実
施例の概略構成図である。 ２０・・・多波長光 ２１・・・長波長光 ２２・・・短波長光 １００・・・色収差レンズ １０１・・・レンズ １０２・・・色消しレンズ ２０１・・・蛍光 ３００．３０１・・・ピンホール ４００・・・光検出器 ５００・・・試料 ６００・・・ピンホールのステージ ６０１・・・試料のステージ ７００・・・レーザ光源 ７０１・・・多波長光源 ７１０・・・レーザ光 ７１１・・・多波長光 ８００・・・表示装置 ９００・・・半透鏡
は、本発明の詳細な説明するための図、第３図は１本発
明の第２の実施例の概略構成図、第４図は、本発明の第
３の実施例の概略構成図、第５図は、本発明の第４の実
施例の概略構成図である。 ２０・・・多波長光 ２１・・・長波長光 ２２・・・短波長光 １００・・・色収差レンズ １０１・・・レンズ １０２・・・色消しレンズ ２０１・・・蛍光 ３００．３０１・・・ピンホール ４００・・・光検出器 ５００・・・試料 ６００・・・ピンホールのステージ ６０１・・・試料のステージ ７００・・・レーザ光源 ７０１・・・多波長光源 ７１０・・・レーザ光 ７１１・・・多波長光 ８００・・・表示装置 ９００・・・半透鏡
Claims (1)
- １、光源と、該光源からの光の焦点位置に配置した試料
と、上記光を収束して上記試料に照射する光学系と、上
記試料を移動させる試料台と、上記試料からの光を収束
する色収差を有するレンズと、該レンズにより収束され
た光が通過するように配置したピンホールと、該ピンホ
ールを光軸に平行に移動させる手段と、上記ピンホール
からの透過光を検出する光検出器と、上記試料面におけ
る上記光の照射場所と上記光検出器の出力とを対応付け
て表示する表示手段とを含んでなることを特徴とする分
光型走査顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266788A JPH01188816A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 分光型走査顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266788A JPH01188816A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 分光型走査顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188816A true JPH01188816A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11811721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1266788A Pending JPH01188816A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 分光型走査顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188816A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5248876A (en) * | 1992-04-21 | 1993-09-28 | International Business Machines Corporation | Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights |
| JPH07159717A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-23 | Toshiba Tesco Kk | 光学系一軸受信方式 |
| JPH07229720A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-08-29 | Nec Corp | ３次元形状測定装置 |
| JPH09113240A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 光透過物質の三次元情報の検出方法及び装置 |
| JP2002517742A (ja) * | 1998-06-05 | 2002-06-18 | デンタルマティック テクノロジーズ インコーポレーテッド | 軸方向照明による形状の光電獲得方法および装置 |
| JP2006011440A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 顕微鏡 |
| JP2014088041A (ja) * | 2007-10-11 | 2014-05-15 | 3M Innovative Properties Co | 色共焦点センサ |
| CN107966409A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-04-27 | 青岛崂应环境科技有限公司 | 气体浓度分析方法及装置 |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP1266788A patent/JPH01188816A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5248876A (en) * | 1992-04-21 | 1993-09-28 | International Business Machines Corporation | Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights |
| JPH07159717A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-23 | Toshiba Tesco Kk | 光学系一軸受信方式 |
| JPH07229720A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-08-29 | Nec Corp | ３次元形状測定装置 |
| JPH09113240A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 光透過物質の三次元情報の検出方法及び装置 |
| JP2002517742A (ja) * | 1998-06-05 | 2002-06-18 | デンタルマティック テクノロジーズ インコーポレーテッド | 軸方向照明による形状の光電獲得方法および装置 |
| JP2006011440A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 顕微鏡 |
| JP2014088041A (ja) * | 2007-10-11 | 2014-05-15 | 3M Innovative Properties Co | 色共焦点センサ |
| CN107966409A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-04-27 | 青岛崂应环境科技有限公司 | 气体浓度分析方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5719391A (en) | Fluorescence imaging system employing a macro scanning objective | |
| JP4670031B2 (ja) | 試料内で励起および／または後方散乱を経た光ビームの光学的検出のための装置 | |
| JP4315794B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| US7999935B2 (en) | Laser microscope with a physically separating beam splitter | |
| US7480046B2 (en) | Scanning microscope with evanescent wave illumination | |
| US7872799B2 (en) | Device for controlling light radiation | |
| US7554664B2 (en) | Laser scanning microscope | |
| JP2000199855A (ja) | 走査型光学顕微鏡装置 | |
| JP2012047668A (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
| JP2008033263A (ja) | 蛍光検査用の走査型レーザ顕微鏡 | |
| JPH0843739A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| US20050024721A1 (en) | Scanning microscope | |
| JP2001235684A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
| JP4601266B2 (ja) | レーザ顕微鏡 | |
| US7605976B1 (en) | Method and device for changing light in an adjustable manner | |
| JPH1090064A (ja) | 顕微ラマン装置 | |
| JPH01188816A (ja) | 分光型走査顕微鏡 | |
| US7633622B2 (en) | Method for analyzing a sample and microscope for evanescently illuminating the sample | |
| JP2006243731A (ja) | スポット走査式レーザ走査型顕微鏡及び同顕微鏡を調整する方法 | |
| US20050017197A1 (en) | Scanning microscope and method for scanning microscopy | |
| US7391509B1 (en) | Devices and methods for multi-mode analytical microscopy, in particular for UV fluorescence and Raman analysis of samples | |
| JP2002122786A (ja) | サーキュレータを有する走査型顕微鏡および共焦点走査型顕微鏡 | |
| JP4567324B2 (ja) | レーザー走査型共焦点顕微鏡 | |
| US20080297787A1 (en) | Optical Array for the Spectrally Selective Identification of Light of a Light Beam | |
| JPH05172741A (ja) | 分光型走査顕微鏡 |