JPH01189382A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH01189382A JPH01189382A JP957088A JP957088A JPH01189382A JP H01189382 A JPH01189382 A JP H01189382A JP 957088 A JP957088 A JP 957088A JP 957088 A JP957088 A JP 957088A JP H01189382 A JPH01189382 A JP H01189382A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- diaphragm
- opening
- chemical
- tank
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明はシリコウェハなどを超音波によって洗浄を行
う洗浄装置に関する。
う洗浄装置に関する。
〈従来の技術〉
従来の超音波洗浄装置の洗浄槽はステンレス鋼板製で、
これに超音波振動子を取付けている。
これに超音波振動子を取付けている。
このため酸等の腐蝕性薬液を使用して洗浄を行うことは
槽壁のステンレス鋼板か腐蝕するのて不可能であった。
槽壁のステンレス鋼板か腐蝕するのて不可能であった。
従って、腐蝕性薬液を用いて洗浄を行う際は、被洗浄物
と薬液を石英製等の耐薬品性槽に入れ。
と薬液を石英製等の耐薬品性槽に入れ。
この耐薬品槽を、水を入れたステンレス性洗浄槽内に浸
し、超音波振動子を発振させていた。
し、超音波振動子を発振させていた。
〈発明か解決しようとする課題〉
しかし、ステンレス製洗浄槽内の水中に出た超音波は石
英製等の耐薬品性槽で反射されるため、実際に薬品槽内
での超音波の強さは可成り弱まる。そして、この弱まり
かたは２００にＨ２以上等の高周波になればなる程顕著
である。
英製等の耐薬品性槽で反射されるため、実際に薬品槽内
での超音波の強さは可成り弱まる。そして、この弱まり
かたは２００にＨ２以上等の高周波になればなる程顕著
である。
く課題を解決するための手段〉
そこて本発明の超音波による洗浄装置は、耐薬品性の洗
浄槽と、該洗浄槽の周囲壁または底壁に槽内の洗浄液と
接触するように設けられた石英製の振動板と、該振動板
に取付けられ、２００に８２以上の超音波を発振する超
音波振動子とを備えていることを特徴とする。
浄槽と、該洗浄槽の周囲壁または底壁に槽内の洗浄液と
接触するように設けられた石英製の振動板と、該振動板
に取付けられ、２００に８２以上の超音波を発振する超
音波振動子とを備えていることを特徴とする。
く実 施 例〉
図示の各実施例において、ｌは耐薬品性の洗浄槽、２は
石英製の振動板、３は超音波振動子、４は超音波振動子
を振動板２に取付けるためのエポキシ系等の接着剤を示
す。
石英製の振動板、３は超音波振動子、４は超音波振動子
を振動板２に取付けるためのエポキシ系等の接着剤を示
す。
第１図及び第２図の実施例は洗浄槽ｌを耐薬品性の合成
樹脂、例えばＰＰ、ＰＥ、ＰＥＥＫ、ＰＶＤＦ、ＰＴＥ
Ｅ、ＰＶＣて成形した場合のものである。
樹脂、例えばＰＰ、ＰＥ、ＰＥＥＫ、ＰＶＤＦ、ＰＴＥ
Ｅ、ＰＶＣて成形した場合のものである。
第１図の実施例では洗浄槽１の底壁ｌ′に、核種と相似
形て、−回り小さい開口５を設け、上記開口５の縁の上
に、該開口５よりも少し大きな石英製の振動板２を内周
に嵌めた耐薬品性、例えばパイトンなどのゴム製の嵌合
枠６を当て、その上に枠６と同形て、前述の耐薬品性合
成樹脂で成形した押え枠７を載せ、押え枠７、嵌合枠６
、開口の縁にボルト８を貫通し、ナツト８′で締付けて
嵌合枠６ごと石英製の振動板２を洗浄槽の底壁１′に固
定し、開口５を塞ぐ。
形て、−回り小さい開口５を設け、上記開口５の縁の上
に、該開口５よりも少し大きな石英製の振動板２を内周
に嵌めた耐薬品性、例えばパイトンなどのゴム製の嵌合
枠６を当て、その上に枠６と同形て、前述の耐薬品性合
成樹脂で成形した押え枠７を載せ、押え枠７、嵌合枠６
、開口の縁にボルト８を貫通し、ナツト８′で締付けて
嵌合枠６ごと石英製の振動板２を洗浄槽の底壁１′に固
定し、開口５を塞ぐ。
そして、超音波振動子３は振動板２の下面に固定する。
ボルト、ナツト８．８′も耐薬品性合成樹脂製とし、ボ
ルト８には耐薬品性ゴムからなる０リング９を嵌め、押
え枠７の孔の内周との間でのシールを行う。
ルト８には耐薬品性ゴムからなる０リング９を嵌め、押
え枠７の孔の内周との間でのシールを行う。
第２図の実施例の洗浄槽ｌは底面か開放し、周囲壁の下
端部には外周に張出した鍔ｌＯを有するように耐薬品性
合成樹脂で成形する。
端部には外周に張出した鍔ｌＯを有するように耐薬品性
合成樹脂で成形する。
そして、石英製の振動板２は上記鍔１０の外形と同大に
作り、これを鍔ＩＯの下面に耐薬品性ゴムからなるパツ
キン１１を介して当て、ボルト１２を鍔ＩＯ、パツキン
１１．振動板２に貫通し、ナツト１２′て締付けて固定
し、振動板２を洗浄槽の底壁とし、超音波振動子３は振
動板の下面に固定する。
作り、これを鍔ＩＯの下面に耐薬品性ゴムからなるパツ
キン１１を介して当て、ボルト１２を鍔ＩＯ、パツキン
１１．振動板２に貫通し、ナツト１２′て締付けて固定
し、振動板２を洗浄槽の底壁とし、超音波振動子３は振
動板の下面に固定する。
上記第１図、第２図の実施例では洗浄槽か耐薬品性合成
樹脂からなるため被洗浄物をＲＣＡ洗浄て薬洗するため
にアンモニア、過酸化水素、フッ酸、塩酸等の薬液を入
れても腐蝕することはない。
樹脂からなるため被洗浄物をＲＣＡ洗浄て薬洗するため
にアンモニア、過酸化水素、フッ酸、塩酸等の薬液を入
れても腐蝕することはない。
そして、槽壁の一部をなすように水密に取付けた石英製
の振動板２に超音波振動子３を固定しであるため、槽内
の液中に効率よく超音波を発射し、強力な超音波て被洗
浄物の洗浄か行える。
の振動板２に超音波振動子３を固定しであるため、槽内
の液中に効率よく超音波を発射し、強力な超音波て被洗
浄物の洗浄か行える。
尚、超音波振動子は２００にＨ１以上の高周波で、厚み
振動を利用する型式のものか好適である。
振動を利用する型式のものか好適である。
上記両実施例ては振動板２を洗浄槽の底壁に位置して固
定したか、底壁に固定することに限定されず周囲壁に位
置して固定しても同効である。
定したか、底壁に固定することに限定されず周囲壁に位
置して固定しても同効である。
第３図の実施例は底壁を有する洗浄槽の全体を石英製と
し、その壁の外面に超音波振動子３を固定しである。
し、その壁の外面に超音波振動子３を固定しである。
こ＼では底壁の下面に超音波振動子を固定しであるため
、底壁か振動板２になる。
、底壁か振動板２になる。
この実施例は洗浄槽の全体か耐薬品性の石英ガラス製で
あって、超音波振動子３か発射する超音波を減衰させな
いため、壁の外面のどこに超音波振動子を固定しても腐
蝕性薬液を用い、超音波を併用して被洗浄物を効率よく
、短時間で洗浄を行うことかできる。
あって、超音波振動子３か発射する超音波を減衰させな
いため、壁の外面のどこに超音波振動子を固定しても腐
蝕性薬液を用い、超音波を併用して被洗浄物を効率よく
、短時間で洗浄を行うことかできる。
〈発明の効果〉
本発明によれば洗浄槽に腐蝕性薬液を満たし。
そのなかに被洗浄物を浸漬し、２００に８２以上の超音
波を作用させるのて被洗浄物を破損することなく、且つ
効率よく、短時間て被洗浄物を洗浄することかてきる。
波を作用させるのて被洗浄物を破損することなく、且つ
効率よく、短時間て被洗浄物を洗浄することかてきる。
第１図は本発明の第１実施例の要部の断面図、第２図は
同じく第２実施例の要部の断面図、第３図は同じく他の
一実施例の要部の断面図である。 図中、ｌは耐薬品性の洗浄槽、２は石英ガラス製の振動
板、３は超音波振動子を示す。 特許出願人 栗 １）工 業 株式会社°二１
．７ 同 代理人 弁理士 福 １） 武 通 ”ｉ
註ｊ：１１″ノ。イ、９人 弁オヤ 福 □
賢 ヨ 層“””’ ””’！、′１．・ １ ′ 〜
同じく第２実施例の要部の断面図、第３図は同じく他の
一実施例の要部の断面図である。 図中、ｌは耐薬品性の洗浄槽、２は石英ガラス製の振動
板、３は超音波振動子を示す。 特許出願人 栗 １）工 業 株式会社°二１
．７ 同 代理人 弁理士 福 １） 武 通 ”ｉ
註ｊ：１１″ノ。イ、９人 弁オヤ 福 □
賢 ヨ 層“””’ ””’！、′１．・ １ ′ 〜
Claims (1)
- 耐薬品性の洗浄槽と、該洗浄槽の周囲壁または底壁に槽
内の洗浄液と接触するように設けられた石英製の振動板
と、該振動板に取付けられ、２００ＫＨＺ以上の超音波
を発振する超音波振動子とを備えていることを特徴とす
る洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP957088A JPH01189382A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP957088A JPH01189382A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189382A true JPH01189382A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11723958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP957088A Pending JPH01189382A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01189382A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100473785B1 (ko) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | 주식회사 울쏘하이텍 | 수조에 체결되는 초음파진동장치 |
| JP2005265808A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Shimadzu Corp | オートサンプラ |
| JP2010266728A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Tosoh Corp | フォトマスク基板の洗浄方法及び洗浄装置 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP957088A patent/JPH01189382A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100473785B1 (ko) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | 주식회사 울쏘하이텍 | 수조에 체결되는 초음파진동장치 |
| JP2005265808A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Shimadzu Corp | オートサンプラ |
| JP2010266728A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Tosoh Corp | フォトマスク基板の洗浄方法及び洗浄装置 |
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