JPH01189618A - プラスチツク光フアイバーコード - Google Patents
プラスチツク光フアイバーコードInfo
- Publication number
- JPH01189618A JPH01189618A JP63013710A JP1371088A JPH01189618A JP H01189618 A JPH01189618 A JP H01189618A JP 63013710 A JP63013710 A JP 63013710A JP 1371088 A JP1371088 A JP 1371088A JP H01189618 A JPH01189618 A JP H01189618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- cord
- plastic optical
- fibrous reinforcing
- reinforcing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、信号伝送用、計測制御用などの工業的分野に
おいて使用するのに好適なプラスチック光ファイバーコ
ードに関するものである。
おいて使用するのに好適なプラスチック光ファイバーコ
ードに関するものである。
従来の技術
光ファイバーを信号伝送用、計測制御用などの工業的用
途に供する場合に１本又は２本以上のプラスチック光フ
ァイバーを複数本の繊維状補強材と集束させ、全体を樹
脂ジャケットで被覆したコードとして用いることが行わ
れている。
途に供する場合に１本又は２本以上のプラスチック光フ
ァイバーを複数本の繊維状補強材と集束させ、全体を樹
脂ジャケットで被覆したコードとして用いることが行わ
れている。
例えば、光ファイバーを、被覆材よりも高い軟化温度を
有する繊維状補強材と共に集束し、ポリエステル系又は
ポリ塩化ビニル系重合体の中から選ばれた被覆材で被覆
したコード（特公昭５１−４７６２８号公報）や、光学
フィラメントの周囲を多数の無撚フィラメントのヤーン
で囲んだのち、樹脂ジャケットで被覆することにより、
被覆の際の熱により光学フィラメントの物性がそこなわ
れるのを制御したもの（特公昭６１−１０８０２号公報
）などが知られている。
有する繊維状補強材と共に集束し、ポリエステル系又は
ポリ塩化ビニル系重合体の中から選ばれた被覆材で被覆
したコード（特公昭５１−４７６２８号公報）や、光学
フィラメントの周囲を多数の無撚フィラメントのヤーン
で囲んだのち、樹脂ジャケットで被覆することにより、
被覆の際の熱により光学フィラメントの物性がそこなわ
れるのを制御したもの（特公昭６１−１０８０２号公報
）などが知られている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、これらの繊維状補強材を用いた光ファイ
バーコードにおいては、光ファイバーと補強材の物性に
差があるためコードに熱が加えられるとカールしたり、
凹凸を生じ、その機能が低下するのを免れないし、また
光学フィラメントと多数の無撚フィラメントとを集束し
た場合には両者の識別が困難で、コードの端末部分をコ
ネクターやプラグに接続する際、信頼性が欠けるため実
用上多くの不便を伴う。
バーコードにおいては、光ファイバーと補強材の物性に
差があるためコードに熱が加えられるとカールしたり、
凹凸を生じ、その機能が低下するのを免れないし、また
光学フィラメントと多数の無撚フィラメントとを集束し
た場合には両者の識別が困難で、コードの端末部分をコ
ネクターやプラグに接続する際、信頼性が欠けるため実
用上多くの不便を伴う。
本発明は、これらの従来の光ファイバーコードがもつ欠
点を克服し、熱が加えられたときにも変形を起こすこと
のない、しかも接続作業においても高い信頼性を示すプ
ラスチック光ファイバーコードを提供することを目的と
してなされたものである。
点を克服し、熱が加えられたときにも変形を起こすこと
のない、しかも接続作業においても高い信頼性を示すプ
ラスチック光ファイバーコードを提供することを目的と
してなされたものである。
問題点を解決するための手段
本発明者らは、優れた性能を有し、工業的用途にも広く
供しうるプラスチック光ファイバーコードを開発するた
めに、種々研究を重ねた結果、繊維状補強材として、特
定の材料を選択使用することにより、熱が加えられても
変形を生じることがなく、シかも接続時における信頼性
の高いプラスチック光ファイバーコードか得られること
を見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至った。
供しうるプラスチック光ファイバーコードを開発するた
めに、種々研究を重ねた結果、繊維状補強材として、特
定の材料を選択使用することにより、熱が加えられても
変形を生じることがなく、シかも接続時における信頼性
の高いプラスチック光ファイバーコードか得られること
を見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至った。
すなわち、本発明は、プラスチック光ファイバーと繊維
状補強材との集束体を樹脂ジャケットで被覆して構成さ
れたコードにおいて、該繊維状補強材として光ファイバ
ーのコアと実質上同一の組成を有し、かつ光ファイバー
と識別可能な外観を有するもの、あるいは前記光ファイ
バーと類似した材料から成る光ファイバーで、かつ前記
光ファイバーと識別可能な外観をもつプラスチック光フ
ァイバーを提供するものである。
状補強材との集束体を樹脂ジャケットで被覆して構成さ
れたコードにおいて、該繊維状補強材として光ファイバ
ーのコアと実質上同一の組成を有し、かつ光ファイバー
と識別可能な外観を有するもの、あるいは前記光ファイ
バーと類似した材料から成る光ファイバーで、かつ前記
光ファイバーと識別可能な外観をもつプラスチック光フ
ァイバーを提供するものである。
次に添付図面により本発明のコードの構造を説明すると
、第１図は、本発明の光ファイバーコードの１例を示す
断面図であり、光ファイバー１の周囲に４本の繊維状補
強材２・・・・が配置された集束体を、樹脂ジャケット
３が被覆して構成されている。このコードを構成する光
ファイバー１は、屈折率の大きいコア部と屈折率の小さ
いクラッド部から成っており、コア部の素材としては、
通常メチルメタクリレート系樹脂、スチレン系樹脂、カ
ーボネート系樹脂などが、またクラッド部の素材として
はフッ化ビニリデンなどを主体とした重合体が用いられ
ている。この光ファイバーの径には特に制限はないが、
通常、０．１〜３ｍｍの範囲のものが用いられる。
、第１図は、本発明の光ファイバーコードの１例を示す
断面図であり、光ファイバー１の周囲に４本の繊維状補
強材２・・・・が配置された集束体を、樹脂ジャケット
３が被覆して構成されている。このコードを構成する光
ファイバー１は、屈折率の大きいコア部と屈折率の小さ
いクラッド部から成っており、コア部の素材としては、
通常メチルメタクリレート系樹脂、スチレン系樹脂、カ
ーボネート系樹脂などが、またクラッド部の素材として
はフッ化ビニリデンなどを主体とした重合体が用いられ
ている。この光ファイバーの径には特に制限はないが、
通常、０．１〜３ｍｍの範囲のものが用いられる。
次に、本発明のコードにおいては、繊維状補強材として
、前記した光ファイバーのコアと実質上同一の組成を有
するものを用いることが必要であるが、ここでコアと実
質上同一の組成を有するものとは、組成が全く同一であ
るもののみを意味することではなく、コアとして用いら
れている重合体の組成と、繊維状補強材を構成する重合
体の組成とが類似したものも包含する。すなわち、コア
がポリメチルメタクリレートを主体とする樹脂組成物で
あれば、繊維状補強材としてもポリメチルメタクリレー
トを主体とする樹脂組成物を用い、またコアがポリスチ
レンを主体とする樹脂組成物であれば、繊維状補強材と
してもポリスチレンを主体とする樹脂組成物を用い、さ
らにコアがポリカーボネートを主体する樹脂組成物であ
れば、繊維状補強材としてもポリカーボネートを主体と
する樹脂組成物を用いればよい。
、前記した光ファイバーのコアと実質上同一の組成を有
するものを用いることが必要であるが、ここでコアと実
質上同一の組成を有するものとは、組成が全く同一であ
るもののみを意味することではなく、コアとして用いら
れている重合体の組成と、繊維状補強材を構成する重合
体の組成とが類似したものも包含する。すなわち、コア
がポリメチルメタクリレートを主体とする樹脂組成物で
あれば、繊維状補強材としてもポリメチルメタクリレー
トを主体とする樹脂組成物を用い、またコアがポリスチ
レンを主体とする樹脂組成物であれば、繊維状補強材と
してもポリスチレンを主体とする樹脂組成物を用い、さ
らにコアがポリカーボネートを主体する樹脂組成物であ
れば、繊維状補強材としてもポリカーボネートを主体と
する樹脂組成物を用いればよい。
本発明においては、このように繊維状補強材として光フ
ァイバーのコアと実質上同一の組成のもの、あるいは光
ファイバーと類似した材料から成る別の光ファイバーを
用いているため、両者の熱に対する挙動が類似しており
、熱が加えられた際にカール状になったり、凹凸状に変
形することはない。
ァイバーのコアと実質上同一の組成のもの、あるいは光
ファイバーと類似した材料から成る別の光ファイバーを
用いているため、両者の熱に対する挙動が類似しており
、熱が加えられた際にカール状になったり、凹凸状に変
形することはない。
次に、この繊維状補強材は、光ファイバーと識別可能な
外観を有することが必要である。このような識別しうる
外観とするのは、例えば両者の外径や形状を変えたり、
色や光の透過性に差を設けることにより行うことができ
る。特に好適なのは、繊維状補強材中に光吸収物質又は
光散乱物質、例えばカーボン、ガラスピーズ、各種顔料
を含有させることにより外観に差異を形成させることで
ある。このようにして、光ファイバーと識別可能にした
ものは、信号伝送を行う場合、このものは信号の伝送を
行わずプラスチック光フアイバーノミが伝送を行うので
、形状や外径を変えたものを用いた場合のように、ノイ
ズが混入することがないという利点がある。この繊維状
補強材の断面形状は必ずしも円形である必要はなく、長
円形、四角形その他の多角形状であってもよい。また、
このものの径には特に制限はないが、通常０．１〜３ｍ
ｍの範囲内で選ばれる。
外観を有することが必要である。このような識別しうる
外観とするのは、例えば両者の外径や形状を変えたり、
色や光の透過性に差を設けることにより行うことができ
る。特に好適なのは、繊維状補強材中に光吸収物質又は
光散乱物質、例えばカーボン、ガラスピーズ、各種顔料
を含有させることにより外観に差異を形成させることで
ある。このようにして、光ファイバーと識別可能にした
ものは、信号伝送を行う場合、このものは信号の伝送を
行わずプラスチック光フアイバーノミが伝送を行うので
、形状や外径を変えたものを用いた場合のように、ノイ
ズが混入することがないという利点がある。この繊維状
補強材の断面形状は必ずしも円形である必要はなく、長
円形、四角形その他の多角形状であってもよい。また、
このものの径には特に制限はないが、通常０．１〜３ｍ
ｍの範囲内で選ばれる。
本発明においては、前記した光ファイバーと繊維状補強
材とを集束体に構成するが、この際光ファイバーは１本
だけでもよいし、また２本以上としてもよい。
材とを集束体に構成するが、この際光ファイバーは１本
だけでもよいし、また２本以上としてもよい。
他方、繊維状補強材も、１本以上任意の数とすることが
でき、この数を適正に選ぶことにより、実用上必要な強
度を得ることができる。
でき、この数を適正に選ぶことにより、実用上必要な強
度を得ることができる。
本発明においては、このようにして構成された集束体を
さらに樹脂ジャケットで被覆することが必要であるが、
このジャケット用の樹脂としては、ポリエステル、ポリ
アミド、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレ
ンなどが用いられる。
さらに樹脂ジャケットで被覆することが必要であるが、
このジャケット用の樹脂としては、ポリエステル、ポリ
アミド、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレ
ンなどが用いられる。
次に本発明の好適な実施態様の１例を示すと、プラスチ
ック光ファイバーとして、メチルメタクリレート単位成
分９５モル％以上の、数平均分子量８万〜２０万の樹脂
をコアとし、フッ化ビニリデン５０モル％以上の樹脂を
クラッドとするものを、また繊維状補強材としてメチル
メタクリレートを主成分とした数平均分子量８万〜４０
万の樹脂を用い、これらの１本以上を一緒に集束し、さ
らにポリエチレンジャケットで被覆したものがある。
ック光ファイバーとして、メチルメタクリレート単位成
分９５モル％以上の、数平均分子量８万〜２０万の樹脂
をコアとし、フッ化ビニリデン５０モル％以上の樹脂を
クラッドとするものを、また繊維状補強材としてメチル
メタクリレートを主成分とした数平均分子量８万〜４０
万の樹脂を用い、これらの１本以上を一緒に集束し、さ
らにポリエチレンジャケットで被覆したものがある。
この場合、繊維状補強材は、１２０°Ｃで１時間加熱し
たときの長さが、加熱前の長さの４０〜６０％の範囲内
になるように延伸処理するのが有利である。
たときの長さが、加熱前の長さの４０〜６０％の範囲内
になるように延伸処理するのが有利である。
発明の効果
本発明の光ファイバーコードは、熱に対する外形安定性
が高い上に、伝送損失は著しく低いので、例えば自動車
信号伝送リンクや光電センサーなどのための信頼性の高
い光ファイバーコードを提供することができる。
が高い上に、伝送損失は著しく低いので、例えば自動車
信号伝送リンクや光電センサーなどのための信頼性の高
い光ファイバーコードを提供することができる。
実施例
次に実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
実施例１
プラスチック光ファイバーとして、メタクリレート系樹
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
０．７５ｍｍ１の旭化成工業（株）製ルミナスＴＢ７５
０を３本使用した。繊維状補強材として、メタクリレー
ト系樹脂のペレットである旭化成工業（株）製デルベッ
ト８ＯＮを用い、この１００重量部に対し、顔料として
バイエル社製のマクロレックスグリーン５Ｂを０．０２
５重量部、同じくマクロレックスバイオレット３Ｒを０
．００８重量部、同じくマクロレックスイエロー３Ｒを
０．００５重量部を配合したものを、押出機により混練
して、直径０．７５ｍｍ１の繊維状体として、４本使用
した。この繊維状体は、１２０°Ｃで１時間放置したと
きの長さは放置前の５４％であった。
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
０．７５ｍｍ１の旭化成工業（株）製ルミナスＴＢ７５
０を３本使用した。繊維状補強材として、メタクリレー
ト系樹脂のペレットである旭化成工業（株）製デルベッ
ト８ＯＮを用い、この１００重量部に対し、顔料として
バイエル社製のマクロレックスグリーン５Ｂを０．０２
５重量部、同じくマクロレックスバイオレット３Ｒを０
．００８重量部、同じくマクロレックスイエロー３Ｒを
０．００５重量部を配合したものを、押出機により混練
して、直径０．７５ｍｍ１の繊維状体として、４本使用
した。この繊維状体は、１２０°Ｃで１時間放置したと
きの長さは放置前の５４％であった。
これらの７本のうちプラスチック光ファイバーの１本が
真中にくるように配置し、その周りを６本のプラスチッ
ク光ファイバー又は繊維状体で囲んで集束体を形成させ
、ポリエチレンジャケットで被覆をして、外径を３．２
ｍｍ−のコードを得た。
真中にくるように配置し、その周りを６本のプラスチッ
ク光ファイバー又は繊維状体で囲んで集束体を形成させ
、ポリエチレンジャケットで被覆をして、外径を３．２
ｍｍ−のコードを得た。
このものの断面図を第２図に示す。
伝送損失はジャケット被覆前が１２５ｄＢ／ｋｍに対し
て、ジャケット被覆後が１２６ｄＢ／＆ｍとほとんど変
わりなかった。引張強度は破断強度でジャケット１本当
り４０に９以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１０
００時間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
て、ジャケット被覆後が１２６ｄＢ／＆ｍとほとんど変
わりなかった。引張強度は破断強度でジャケット１本当
り４０に９以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１０
００時間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
実施例２
プラスチック光ファイバーコードとして、メタクリレー
ト系樹脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとす
る外径０．２５ｍｍｄの旭化成工業（株）製ルミナスＬ
Ｂ２５０を１本使用した。繊維状補強材として実施例１
と同様の組成の物を用い、押出機を用い、直径０．２５
ｍｍｄのものを６本作成した。繊維状補強材を１２０°
Ｃで１時間放置したときの長さは放置前の４５％であっ
た。
ト系樹脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとす
る外径０．２５ｍｍｄの旭化成工業（株）製ルミナスＬ
Ｂ２５０を１本使用した。繊維状補強材として実施例１
と同様の組成の物を用い、押出機を用い、直径０．２５
ｍｍｄのものを６本作成した。繊維状補強材を１２０°
Ｃで１時間放置したときの長さは放置前の４５％であっ
た。
これらプラスチック光ファイバーが真中にくるように配
置し、その周りを６本の繊維状体で囲んで集束体とし、
ポリエチレンジャケラトチ被覆ヲして、外径を１．２ｍ
ｍｌ１１にした。このものの断面図を第３図に示す。
置し、その周りを６本の繊維状体で囲んで集束体とし、
ポリエチレンジャケラトチ被覆ヲして、外径を１．２ｍ
ｍｌ１１にした。このものの断面図を第３図に示す。
伝送損失はジャケット被覆前が１６５ｄＢ／ｋｍに対し
て、ジャケット被覆後が１６７ｄＢ／ｋｍとほとんど変
わりなかった。引張強度は破断強度でジャケット１本当
り６に９以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１００
０時間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
て、ジャケット被覆後が１６７ｄＢ／ｋｍとほとんど変
わりなかった。引張強度は破断強度でジャケット１本当
り６に９以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１００
０時間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
実施例３
プラスチック光ファイバーとして、メタクリレート系樹
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
１．０ｍｍ１の旭化成工業（株）製ルミナスＴＢ１００
Ｏを１本使用した。繊維状補強材として、゛外径０．２
５ｍｍの旭化成工業（株）製ルミナスＬＢ２５０を３２
本使用した。これらを、プラスチック光ファイバーＴＢ
１００Ｏが真中にくるように配置し、その周りを３２本
の繊維状補強材で囲んで集束体とし、ポリエチレンジャ
ケットで被覆をして、外径を３．０ｍｍ１にした。この
ものの断面図を第４図に示す。
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
１．０ｍｍ１の旭化成工業（株）製ルミナスＴＢ１００
Ｏを１本使用した。繊維状補強材として、゛外径０．２
５ｍｍの旭化成工業（株）製ルミナスＬＢ２５０を３２
本使用した。これらを、プラスチック光ファイバーＴＢ
１００Ｏが真中にくるように配置し、その周りを３２本
の繊維状補強材で囲んで集束体とし、ポリエチレンジャ
ケットで被覆をして、外径を３．０ｍｍ１にした。この
ものの断面図を第４図に示す。
伝送損失はジャケット前が１２６ ＃Ｂ／ｋｍに対して
、ジャケット後が１２５ｄＢ／ｋｍとほとんど変わりな
かった。引張強度は破断強度でジャケット１本当り３０
ｋｇ以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１０００時
間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
、ジャケット後が１２５ｄＢ／ｋｍとほとんど変わりな
かった。引張強度は破断強度でジャケット１本当り３０
ｋｇ以上であった。８５°Ｃのオーブン中に１０００時
間放置した結果、外観の凹凸は見られなかった。
比較例
プラスチック光ファイバーとして、メタクリレート系樹
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
０．２５ｍｍｕの旭化成工業（株）製ルミナスＬＢ２５
０を１本使用した。繊維状補強材としてポリエステルの
外径０．２５ｍｍＬｆｉのものを６本使用した。プラス
チック光ファイバーが真中にくるように配置し、その周
りを６本の繊維状補強材で囲んで集束体とし、これをポ
リエチレンジャケットで被覆をして、外径を１．２ｍｍ
−にした。
脂をコアとし、特殊なフッ素樹脂をクラッドとする外径
０．２５ｍｍｕの旭化成工業（株）製ルミナスＬＢ２５
０を１本使用した。繊維状補強材としてポリエステルの
外径０．２５ｍｍＬｆｉのものを６本使用した。プラス
チック光ファイバーが真中にくるように配置し、その周
りを６本の繊維状補強材で囲んで集束体とし、これをポ
リエチレンジャケットで被覆をして、外径を１．２ｍｍ
−にした。
８５°Ｃのオーブン中に１０００時間放置した結果、外
観の凹凸は見られ、使用に支障のあることが分った。
観の凹凸は見られ、使用に支障のあることが分った。
第１図は本発明のプラスチック光ファイバーコードの一
例の断面図、第２図、第３図及び第４図は実施例で得た
光ファイバーコードの断面図を示す。 図中符号１はプ
ラスチック光ファイバー、２は繊維状補強材、３はジャ
ケットを示す。 特許出願人 旭化成工業株式会社
例の断面図、第２図、第３図及び第４図は実施例で得た
光ファイバーコードの断面図を示す。 図中符号１はプ
ラスチック光ファイバー、２は繊維状補強材、３はジャ
ケットを示す。 特許出願人 旭化成工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ プラスチック光ファイバーと繊維状補強材との集束
体を樹脂ジャケットで被覆して構成されたコードにおい
て、該繊維状補強材として光ファイバーのコアと実質上
同一の組成を有し、かつ光ファイバーと識別可能な外観
を有するものを用いたことを特徴とするプラスチック光
ファイバーコード。 ２ プラスチック光ファイバーと繊維状補強材との集束
体を樹脂ジャケットで被覆して構成されたコードにおい
て、該繊維状補強材として、前記光ファイバーと類似し
た材料から成る光ファイバーで、かつ前記光ファイバー
と識別可能な外観を有するものを用いたことを特徴とす
るプラスチック光ファイバーコード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013710A JPH01189618A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | プラスチツク光フアイバーコード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013710A JPH01189618A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | プラスチツク光フアイバーコード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189618A true JPH01189618A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11840788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013710A Pending JPH01189618A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | プラスチツク光フアイバーコード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01189618A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011513975A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-04-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 近赤外スペクトル反射測定を利用した進化したプロセス検出及び制御 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222617B2 (ja) * | 1978-02-16 | 1987-05-19 | Heere Anton |
-
1988
- 1988-01-26 JP JP63013710A patent/JPH01189618A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222617B2 (ja) * | 1978-02-16 | 1987-05-19 | Heere Anton |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011513975A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-04-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 近赤外スペクトル反射測定を利用した進化したプロセス検出及び制御 |
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