JPH01190013A - High frequency signal generator - Google Patents

High frequency signal generator

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JPH01190013A
JPH01190013A JP1427388A JP1427388A JPH01190013A JP H01190013 A JPH01190013 A JP H01190013A JP 1427388 A JP1427388 A JP 1427388A JP 1427388 A JP1427388 A JP 1427388A JP H01190013 A JPH01190013 A JP H01190013A
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JP
Japan
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light source
signal
gap
strip line
optical switch
Prior art date
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Pending
Application number
JP1427388A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Haruo Yoshikiyo
吉清 治夫
Shingo Uehara
上原 信吾
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、超広帯域な高周波信号を発生することができ
る高周波信号発生装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a high frequency signal generating device capable of generating an ultra-wideband high frequency signal.

[従来の技術] 従来、電子デバイスやマイクロストリップ線路、実装部
品などの周波数応答性を低周波から100GHz程度以
上に及ぶまで得ようとすると、その対象周波数範囲が広
いため、掃引発振器の発振周波数範囲の問題や、接続部
における大きな減衰や反射等の問題により、周波数特性
を一度の構成で精度良く測定する良い方法がなかった。
[Prior Art] Conventionally, when trying to obtain frequency response of electronic devices, microstrip lines, mounted components, etc. from low frequencies to approximately 100 GHz or more, the target frequency range is wide, so the oscillation frequency range of a sweep oscillator is Due to problems such as large attenuation and reflections at connections, there has been no good way to accurately measure frequency characteristics in one configuration.

[発明が解決しようとする課題] このような困難性に対しては、まず、接続部の広帯域化
を図ることが考えられるが、コネクタを介する場合には
、その帯域制限がある。現在、広帯域なコネクタでは4
0〜50GHzが限度と考えられる。また、信号源にし
ても、単一で低周波から100GHz程度を越えるよう
な発振器は見当たらない、などの解決すべき課題があっ
た。
[Problems to be Solved by the Invention] One possible solution to such difficulties is to increase the bandwidth of the connection section, but when using a connector, there is a bandwidth limitation. Currently, broadband connectors have 4
0 to 50 GHz is considered to be the limit. In addition, there were problems to be solved regarding the signal source, such as the fact that no single oscillator capable of generating frequencies from low to over 100 GHz has been found.

本発明は、上記課題を解決するために創案されたもので
、単一の装置で低周波から100GHz以上にわたり広
帯域に信号を発生することができ、かつその発生信号を
コネクタを通さず直接利用し易いように配置することが
できる高周波信号発生装置を提供することを目的とする
The present invention was devised to solve the above problems, and is capable of generating signals in a wide band from low frequencies to 100 GHz or more with a single device, and directly using the generated signals without passing through a connector. It is an object of the present invention to provide a high frequency signal generator that can be easily arranged.

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するための本発明の高周波信号発生装置
の構成は、 第1の光源と第2の光源を有し、 かつ、該第1の光源と第2の光源の発振波長の差を変化
させ得る制御装置を有し、 前記第1の光源および第2の光源の出力を光カプラを介
して合波し、 該光カプラの合波出力を誘電体基板表面に対向して形成
した二つの電極と光導電性物質で形成した該二つの電極
のギャップ部分とから成るストリップ線路上に照射し、 該電極間ギャップ部分で誘起する前記第1の光源と第2
の光源の発振波のヘテロダイン検波によるビート信号を
前記ストリップ線路から出力信号として得ることを特徴
とする。
[Means for Solving the Problems] A configuration of a high-frequency signal generating device of the present invention for achieving the above object includes a first light source and a second light source, and a combination of the first light source and the second light source. has a control device capable of changing the difference in oscillation wavelength of the light sources, combines the outputs of the first light source and the second light source via an optical coupler, and connects the combined output of the optical coupler to the dielectric substrate. The first light source and the first light source are irradiated onto a strip line consisting of two electrodes formed opposite to each other on the surface and a gap between the two electrodes formed of a photoconductive material, and are induced in the gap between the electrodes. 2
A beat signal obtained by heterodyne detection of the oscillation wave of the light source is obtained as an output signal from the strip line.

[作用] 本発明は、ストリップ線上に形成したギャップ部分で超
高速な光導電性スイッチを構成し、このスイッチにおい
て可干渉性の第1の光源の光波と第2の光源の光波との
合波のビート信号を出力信号として得る。上記光源の波
長差を変化させることにより、ビート信号は低周波から
100GH2以上の出力信号となる。また、この出力信
号の発生源としては微小なストリップ線路とすることに
より、この発生信号を利用する例えば微小な超高速デバ
イス等の被測定対象物の近傍への配置を可能にし、減衰
のない利用を可能とする。
[Function] The present invention constitutes an ultra-high-speed photoconductive switch using a gap formed on a strip line, and in this switch, a coherent light wave from a first light source and a coherent light wave from a second light source are combined. The beat signal of is obtained as the output signal. By changing the wavelength difference of the light sources, the beat signal changes from a low frequency to an output signal of 100 GH2 or more. In addition, by using a minute strip line as the source of this output signal, it is possible to place the generated signal near the object to be measured, such as a minute ultra-high-speed device, and use it without attenuation. is possible.

[実施例コ 本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。[Example code] Embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

lおよび2はその発振角周波数が、各々ω1.ω、。The oscillation angular frequencies of l and 2 are respectively ω1. ω,.

(ω、−ω1=Δω)で、発振波の電界強度が各々E、
、E、のレーザダイオード光源である。光源1および光
源2の発振波長を高安定性化するため、ペルチェ素子お
よび制御電源から成る温度制御装置3および4を設けで
ある。さらに、前記温度制御装置3.4の少な(とも一
方によりレーザダイオードの温度を変化させることによ
って、光源lおよび2の相対的な発振波長差を掃引させ
るように前記温度制御装置3,4を設定する。なお、発
振波長を変化させる方法として、レーザダイオードのバ
イアス電流を制御する手法を用いてもよい。
(ω, -ω1=Δω), the electric field strength of the oscillation wave is E, respectively.
, E, is a laser diode light source. In order to make the oscillation wavelengths of the light sources 1 and 2 highly stable, temperature control devices 3 and 4 are provided, each of which includes a Peltier element and a control power source. Further, the temperature control devices 3 and 4 are set so as to sweep the relative oscillation wavelength difference between the light sources 1 and 2 by changing the temperature of the laser diode using one of the temperature control devices 3 and 4. Note that as a method of changing the oscillation wavelength, a method of controlling the bias current of the laser diode may be used.

光源lおよび2の出力は単一モード光ファイバ5を介し
て光カプラ6に入力する。光カプラ6では光源lの光波
と光源2の光波とが合波される。また、必要に応じて上
記合波の一部を一定の割合に分岐し、一方の出力を入力
側と同じ単一モード光ファイバ5および収束用の光学系
7を介し光ビームスポットBとして光導電性スイッチ(
以下光スィッチと記す)8に導く。また、他の出力は整
合終端(ターミネーション)するかモニタ出力として利
用する。ここで、単一モード光ファイバを用いずに、空
間伝搬させても原理的には問題ないが、各光学要素への
入出力が光モード整合のために繁一 雑になる。光スィッチ8において照射された光波は吸収
されると同時にヘテロダイン検波され、光励起キャリヤ
に変換される。この場合、検波部即ち光スィッチ8にお
ける光源1.2の発振波の偏波面を一致させ干渉効果を
最大限に高めるため、光ファイバ5は偏波面を保持する
単一モードファイバを用いる。あるいは、光ファイバ5
は通常の単一モードファイバを用いるが偏波面を合わせ
るための光偏波面制御器(図示せず)を光ファイバ5の
経路の途中に挿入する方式としてもよい。
The outputs of light sources 1 and 2 are input to an optical coupler 6 via a single mode optical fiber 5. In the optical coupler 6, the light waves from the light source 1 and the light waves from the light source 2 are combined. In addition, if necessary, a part of the above-mentioned multiplexed wave is branched at a certain ratio, and one output is sent through the same single mode optical fiber 5 as the input side and the converging optical system 7 as a light beam spot B for photoconduction. sex switch (
8) (hereinafter referred to as an optical switch). Other outputs are either matched terminated or used as monitor outputs. Here, although there is no problem in principle if space propagation is performed without using a single mode optical fiber, input/output to each optical element becomes complicated due to optical mode matching. The light wave irradiated by the optical switch 8 is absorbed and simultaneously subjected to heterodyne detection and converted into optically excited carriers. In this case, in order to match the polarization planes of the oscillated waves of the light source 1.2 in the detection section, that is, the optical switch 8, and maximize the interference effect, a single mode fiber that maintains the polarization plane is used as the optical fiber 5. Alternatively, optical fiber 5
Although a normal single mode fiber is used, an optical polarization controller (not shown) may be inserted in the path of the optical fiber 5 to adjust the polarization plane.

光スィッチ8における検波後の電力1は、Δωの交流成
分のみを有し、光波電界E 1. E tの偏波面間の
角度φとすれば、次式で表せる。(文献[1]S、Ka
wanishi and M、Saruwatari:
Electron、Lett、。
The detected power 1 in the optical switch 8 has only an alternating current component of Δω, and has a light wave electric field E1. If the angle φ between the planes of polarization of Et is set, it can be expressed by the following equation. (Reference [1] S, Ka
wanishi and M, Saruwatari:
Electron, Lett.

vol、22(1986)pp、337−338.)■
(Δω) = E+ ” + Et ” + 2cos
φE+EtCO8(Δωt)−(1)これにより、光源
1.2の発振波長を制御し変化させれば、この検波部は
、ビート周波数f、(=Δω/2π)で、振幅がE、E
、に比例した可変周波数の正弦波信号を発生することが
分かる。即ち、戸9 光スィッチ8は、局所的な高周波信号発生源となる。前
記文献[1]によれば、1.3μm帯のDF’Bレーザ
(分布帰還形レーザ)において、温度制御法で一12G
Hz/℃の変化を実現できる。
vol, 22 (1986) pp, 337-338. )■
(Δω) = E+ ” + Et ” + 2cos
φE+EtCO8(Δωt)−(1) Accordingly, if the oscillation wavelength of the light source 1.2 is controlled and changed, this detection section will detect amplitudes E and E at the beat frequency f, (=Δω/2π).
It can be seen that a sinusoidal signal of variable frequency proportional to , is generated. That is, the door 9 optical switch 8 becomes a local high frequency signal generation source. According to the above-mentioned document [1], in a 1.3 μm band DF'B laser (distributed feedback laser), the temperature control method
Changes in Hz/°C can be achieved.

第2図(a)、(b)は、本発明の主要構成要素である
光スィッチ8の構造例を示したものである。本光スィッ
チの構造、特性については、文献[2] 、C,H,L
ee 編:Picogecond 0ptoelctr
onicDevices、Acaden+ic Pre
ss(1984)pp、73−117に詳しく論じられ
ている。第2図(a)において、9は誘電体基板で、1
0.2は上部電極、12は下部電極である。対向する上
部電極10とllの間はギャップ13が設けられている
。13は誘電体基板9の表面部における光導電性のギャ
ップであり、光ビームBの照射により、ギャップ13は
そこにおけるキャリアの生成によって電気的に短絡され
る。したがって、以後ギャップ13の形態の光スィッチ
をギャップ形光スイッチと呼ぶ。第2図(a)の構造に
おいて、上部電極to、tt。
FIGS. 2(a) and 2(b) show an example of the structure of the optical switch 8, which is the main component of the present invention. Regarding the structure and characteristics of this optical switch, please refer to the literature [2], C, H, L
Edited by ee: Picogecond 0ptoelctr
onicDevices, Acaden+ic Pre
ss (1984) pp. 73-117. In FIG. 2(a), 9 is a dielectric substrate, 1
0.2 is the upper electrode, and 12 is the lower electrode. A gap 13 is provided between the opposing upper electrodes 10 and 11. Reference numeral 13 denotes a photoconductive gap in the surface portion of the dielectric substrate 9, and upon irradiation with the light beam B, the gap 13 is electrically short-circuited by generation of carriers therein. Therefore, hereinafter, the optical switch in the form of the gap 13 will be referred to as a gap type optical switch. In the structure of FIG. 2(a), the upper electrodes to, tt.

誘電体91L、下部電極12とによりストリップ線路が
形成されており、その結果キャリアにより誘起された電
磁波はストリップ線路中へ伝搬する。
A strip line is formed by the dielectric 91L and the lower electrode 12, and as a result, electromagnetic waves induced by carriers propagate into the strip line.

ここで、誘電体基板9としては、サファイア上にシリコ
ン薄膜を形成した基板(SO9)とし、ギャップ13の
部分は、その表面を酸素イオン・インプランテーション
によりダメージを与える処理をしたものである。これに
より、光励起されたキャリアのライフタイムはサブピコ
セカンドと短かく、高速応答性が得られる。あるいは、
前記ギャップ13の部分を含む表面をアモルファス・シ
リコンとしたものも適す。この他、誘電体基板9にガリ
ウム砒素基板、鉄元素をドープしたインジウム燐基板等
の化合物半導体を用いた基板、P形ゲルマニウムの多結
晶等を用いた基板も適する。
Here, the dielectric substrate 9 is a substrate (SO9) in which a silicon thin film is formed on sapphire, and the surface of the gap 13 is damaged by oxygen ion implantation. As a result, the lifetime of photoexcited carriers is as short as sub-picoseconds, and high-speed response can be achieved. or,
It is also suitable that the surface including the gap 13 is made of amorphous silicon. In addition, a substrate using a compound semiconductor such as a gallium arsenide substrate, an indium phosphorous substrate doped with iron element, or a P-type germanium polycrystal is also suitable for the dielectric substrate 9.

第2図(b)は前記ギャップ形光スイッチの池の形態を
示したものである。9,10,11.12は第2図(a
)と同様の要素から成る導波部を形成しているが、14
は第2図(&)のギャップ形光スイッチ13とは異なる
材質からなるギャップ形光スイッチである。即ち、導波
部とは別個に光導電性スイッチを製作し、被測定物に近
い所望の場所に設置している。この形態は測定対象物の
範囲を広げるとともに、最適な光スィッチを選択して用
いることができる利点もある。
FIG. 2(b) shows the shape of the pond in the gap type optical switch. 9, 10, 11.12 are shown in Figure 2 (a
), but 14
is a gap type optical switch made of a different material from the gap type optical switch 13 shown in FIG. 2(&). That is, a photoconductive switch is manufactured separately from the waveguide and installed at a desired location near the object to be measured. This configuration has the advantage of widening the range of objects to be measured and allowing selection and use of the optimal optical switch.

第3図(a)、(b)は、第2図と異なる構成のギャッ
プ形光スイッチであり、その特徴は、光スイツチ部とし
てコーブレナ形のストリップ線路の電極15間のギャッ
プを利用している点であり、光ビームスポットBをスト
リップ線路に沿って移動させることにより、この光スイ
ツチ部は、連続的に移動可能な点である。即ち、ストリ
ップ線路単体の特性が評価できる等の利点がある。この
FIGS. 3(a) and 3(b) show a gap-type optical switch with a configuration different from that in FIG. 2, and its feature is that the gap between the electrodes 15 of a co-branched strip line is used as the optical switch part. This optical switch section is a point that can be continuously moved by moving the optical beam spot B along the strip line. That is, there are advantages such as the ability to evaluate the characteristics of a single strip line. this.

スライド式”スイッチの構成は、文献[3] M、B、
Ketchen他、Appl、Phys、Lett、、
vol、48(1986)pp、751−753.およ
び文献[4] 11.J、Galla−gher他、A
ppt、phys、Lett、 、Yol、50(19
g?)pp、350−352.に記述されている。
The configuration of the slide type switch is shown in the document [3] M, B,
Ketchen et al., Appl, Phys, Lett,
vol, 48 (1986) pp, 751-753. and literature [4] 11. J., Galla-gher et al., A.
ppt, phys, Lett, , Yol, 50 (19
G? ) pp, 350-352. It is described in

以上の実施例の信号発生装置の適用例について述べる。An application example of the signal generator of the above embodiment will be described.

最初にも述べたように、本発明は、低周波から100G
Hz以上にもわたる超広帯域信号発生システムであり、
被測定対象は超広帯域なストリップ線路そのものや、超
高速デバイス、実装部品などである。第4図はそれら被
測定物16を接続し、その透過特性を測定するために高
速信号波形測定に用いられる光サンプリング検出系を適
用した測定系の例である。1.2の光源、6の光カプラ
、8の光スィッチは、第1図、第2図と同じ機能、構造
を有するものである。光スィッチ8に続くストリップ線
路11の途中一部分を切断した構造にし、その間に被測
定物16としてデバイスを短かいワイヤーボンドや、フ
リップ・チップボンドにより接続し、ストリップ線路1
1の他端は電気的に整合終端(ターミネーション)ll
aとしてお(。被測定物16を透過した後の位置で前記
ターミネーションllaの直前に、光スィッチ8と同様
な信号検出用のギャップ形光スイッチ17を、ストリッ
プ線路11とは直角方向に形成する。光スィッチ17で
は、検出用光源19からの極めて短時間幅の光パルスB
′が照射され、極めて短時間のスイッチ機能によってス
トリップ線路11を伝搬してくる信号をサンプリングす
る。
As mentioned at the beginning, the present invention can be applied from low frequency to 100G.
It is an ultra-wideband signal generation system that extends over Hz,
The objects to be measured include the ultra-wideband strip line itself, ultra-high speed devices, and mounted components. FIG. 4 is an example of a measurement system in which the objects to be measured 16 are connected and an optical sampling detection system used for high-speed signal waveform measurement is applied to measure the transmission characteristics thereof. The light source 1.2, the optical coupler 6, and the optical switch 8 have the same functions and structures as in FIGS. 1 and 2. A part of the strip line 11 following the optical switch 8 is cut off in the middle, and a device as the object to be measured 16 is connected by a short wire bond or flip chip bond.
The other end of 1 is an electrically matched termination.
A gap-type optical switch 17 for signal detection similar to the optical switch 8 is formed in a direction perpendicular to the strip line 11 at a position after passing through the object to be measured 16 and immediately before the termination lla. The optical switch 17 receives an extremely short-time width optical pulse B from the detection light source 19.
' is irradiated, and the signal propagating through the strip line 11 is sampled by an extremely short-time switching function.

この場合、光源19は、基準信号発生器18を介して光
源1.2と同期関係にある。光源19としては、例えば
、モード・ロックされ、かつ、パルス圧縮させたダイレ
ーザが使われる。短パルス化されたレーザダイオード光
源も光スィッチがその波長に高感度な場合、コンパクト
であり、好適である。サンプリング信号は、電極20を
介して外部に導かれ、信号処理系21により処理され、
表示系22に表示される。このようにして得られるのは
、前記ビート周波数f、の正弦波信号波形であり、この
波形の相対振幅をビート周波数f、に対してトレースす
ることにより、被測定物の周波数特性を得ることができ
る。信号処理系21の同期や平均化処理用には、必要に
応じて光チヨツパ−23を利用する。第4図におけるギ
ャップ形光スイッチ8としては、第5図のように第3図
(a)で示したコーブレナ形のスライド式スイッチ(第
3図(b)も同様)を用いるもの有効である。
In this case, the light source 19 is in synchronous relationship with the light source 1.2 via the reference signal generator 18. As the light source 19, for example, a mode-locked and pulse-compressed dye laser is used. A short-pulsed laser diode light source is also compact and suitable if the optical switch is highly sensitive to that wavelength. The sampling signal is led to the outside via the electrode 20, processed by the signal processing system 21,
It is displayed on the display system 22. What is obtained in this way is a sine wave signal waveform of the beat frequency f, and by tracing the relative amplitude of this waveform with respect to the beat frequency f, the frequency characteristics of the object under test can be obtained. can. For synchronization and averaging processing of the signal processing system 21, an optical chopper 23 is used as necessary. As the gap-type optical switch 8 in FIG. 4, it is effective to use the covarna type slide switch shown in FIG. 3(a) (the same applies to FIG. 3(b)) as shown in FIG.

第6図は、他の適用例の図である。この適用例は、被測
定物24として分周器等のような処理機能を持ったデバ
イスを対象とした応用であり、被測定物24の出力周波
数が、40〜50GHz以下の領域になる場合である。
FIG. 6 is a diagram of another application example. This application example is for a device with a processing function such as a frequency divider as the device under test 24, and when the output frequency of the device under test 24 is in the range of 40 to 50 GHz or less. be.

この場合には、出力端に広帯域なコネクタ25を用いる
ことができ、それを通して外部に処理信号を取り出して
も良い。
In this case, a broadband connector 25 can be used at the output end, and the processed signal may be taken out to the outside through it.

上記いずれの適用例においても、信号発生源が微小なス
トリップ線路で形成されるため、被測定物に対し、超広
帯域な信号発生源を減衰させることなく、コネクタを介
さずに直近で利用していることが特徴になっている。
In any of the above application examples, the signal generation source is formed by a minute strip line, so the ultra-wideband signal generation source can be used close to the object under test without attenuation and without going through a connector. It is characterized by the presence of

以上に述べたように、本実施例は、コネクタなど接続部
等での高周波信号の減衰の防止という課題に対して、そ
の発生源をストリップ線路という微小な形態にすること
により、コネクタ等を介せず被測定物の近傍に信号発生
源を設置可能にし対応する。また、低周波から100G
Hz程度を越えるまでの広帯域な発振を単一の信号発生
源で行うという課題に対しては、2つの光波を合波した
光周波数のヘテロダイン検波による差周波信号(ビート
信号)を利用する考え方を取り、具体的には、その検波
機能を極めて高速な光導電性のギャップ・スイッチの機
能をもつ検出部で行わせることにより、極めて広帯域−
な可変信号発生装置を実現している。
As described above, this embodiment solves the problem of preventing the attenuation of high-frequency signals at connection parts such as connectors by making the source of the signal in the micro form of a strip line. This allows the signal generation source to be installed near the object to be measured. Also, from low frequency to 100G
To solve the problem of performing broadband oscillation up to about Hz using a single signal source, we have developed an idea that uses a difference frequency signal (beat signal) obtained by heterodyne detection of an optical frequency obtained by combining two light waves. Specifically, by performing the detection function with a detection section that has the function of an extremely high-speed photoconductive gap switch, an extremely wide band can be achieved.
This realizes a variable signal generator.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
その主旨に沿って種々に応用され、種々の実施態様を取
り得るものである。
Note that the present invention is not limited to the above embodiments,
It can be applied in various ways and can be implemented in various ways according to its main purpose.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明は、可干渉性の光波ビート
信号を、超高速な光導電性ギヤツブ形スイッチにおいて
発生させ、かつ、波長を変化させろことによって、従来
得られなかった低周波から100GHzを越える高周波
までの超広帯域な信号発生源を提供できる装置である。
[Effects of the Invention] As explained above, the present invention generates a coherent optical beat signal in an ultra-high-speed photoconductive gear-shaped switch and changes the wavelength, thereby achieving an advantage that could not be obtained conventionally. This device can provide an ultra-wideband signal generation source ranging from low frequencies to high frequencies exceeding 100 GHz.

さらに、その発生源は、微小なストリップ線路の一端に
局所的に配置することができ、したがって、微小な超高
速デバイスや実装部品等の被測定物の近傍に信号発生部
を配置することにより、その信号を直接減衰させること
な(利用できる利点とともに、被測定対象物の周波数特
性を、従来測定できなかったか、若しくは、種々の測定
法を組合せなくては測定できなかった極めて広い帯域に
わたって一度に精密に評価することができる利点がある
。また、新しい未知の材料、例えば、酸化物超伝導材料
等の表面抵抗の周波数特性を精密に測定し、その物性を
明らかにする一手法として極めて有効である。
Furthermore, the source of the signal can be placed locally at one end of a minute strip line. Therefore, by placing the signal generator near the object to be measured, such as a minute ultra-high-speed device or mounted component, The frequency characteristics of the object under test can be measured at once over an extremely wide band, which previously could not be measured or without a combination of different measurement methods, without directly attenuating the signal. It has the advantage of allowing precise evaluation. It is also extremely effective as a method for precisely measuring the frequency characteristics of the surface resistance of new and unknown materials, such as oxide superconducting materials, and clarifying their physical properties. be.

この測定の場合、損失が小さいため、100G82以上
の周波数の信号を要するが、他の信号源ではこのような
広帯域な可変信号源は得られない、など、本発明の効果
は極めて大である。
In the case of this measurement, since the loss is small, a signal with a frequency of 100G82 or higher is required, but such a wideband variable signal source cannot be obtained with other signal sources, and the effects of the present invention are extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の実施例を示す構成図、第2図(a)
、(b)は本発明の主要構成部品である光スィッチの構
成を示す図、第3図(a)、(b)はギャップ形光スイ
ッチの他の構成を示す図、第4図は本発明の実施例の適
用例を示す図、第5図は第4図におけるギャップ形光ス
イッチの他の構成を示す図、第6図は他の適用例を示す
図である。 1.2・・・光源、5・・・単一モード光ファイバ、6
・・・光カプラ、 7・・・光学系、 8.13,14
゜17・・・ギャップ形光スイッチ(ギャップ)、9・
・・誘電体基板、10,11,12,15.20・・・
電極、16.24・・・被測定物。 (G)         (b) 第3図 第4図
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2(a)
, (b) are diagrams showing the configuration of an optical switch which is the main component of the present invention, FIGS. 3(a) and (b) are diagrams showing other configurations of the gap type optical switch, and FIG. FIG. 5 is a diagram showing another configuration of the gap type optical switch in FIG. 4, and FIG. 6 is a diagram showing another example of application. 1.2...Light source, 5...Single mode optical fiber, 6
...Optical coupler, 7...Optical system, 8.13,14
゜17...Gap type optical switch (gap), 9.
...Dielectric substrate, 10, 11, 12, 15.20...
Electrode, 16.24... object to be measured. (G) (b) Figure 3 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)第1の光源と第2の光源を有し、 かつ、該第1の光源と第2の光源の発振波長の差を変化
させ得る制御装置を有し、 前記第1の光源および第2の光源の出力を光カプラを介
して合波し、 該光カプラの合波出力を誘電体基板表面に対向して形成
した二つの電極と光導電性物質で形成した該二つの電極
のギャップ部分とから成るストリップ線路上に照射し、 該電極間ギャップ部分で誘起する前記第1の光源と第2
の光源の発振波のヘテロダイン検波によるビート信号を
前記ストリップ線路から出力信号として得ることを特徴
とする高周波信号発生装置。
(1) It has a first light source and a second light source, and it has a control device that can change the difference in oscillation wavelength between the first light source and the second light source, and the first light source and the second light source The outputs of the two light sources are combined via an optical coupler, and the combined output of the optical coupler is applied to two electrodes formed facing the surface of the dielectric substrate, and a gap between the two electrodes formed of a photoconductive material. The first light source and the second light source are irradiated onto the strip line consisting of the first light source and the second light source, and
A high-frequency signal generating device characterized in that a beat signal obtained by heterodyne detection of an oscillation wave of a light source is obtained as an output signal from the strip line.
JP1427388A 1988-01-25 1988-01-25 High frequency signal generator Pending JPH01190013A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09304277A (en) * 1996-05-15 1997-11-28 Nec Corp Optical fiber remote measuring apparatus
GB2438215A (en) * 2006-05-19 2007-11-21 Teraview Ltd Terahertz investigation apparatus and method

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