JPH01193605A - 物体表面検査装置 - Google Patents
物体表面検査装置Info
- Publication number
- JPH01193605A JPH01193605A JP1579288A JP1579288A JPH01193605A JP H01193605 A JPH01193605 A JP H01193605A JP 1579288 A JP1579288 A JP 1579288A JP 1579288 A JP1579288 A JP 1579288A JP H01193605 A JPH01193605 A JP H01193605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- probe
- holder
- interference fringe
- glass plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、物体表面検査装置に関する。
物体表面検査装置は、プレス型、モデル等の各部寸法測
定、或いは対象物間の距離の測定、移動体の定寸送り、
停止位置の制御等々多くの目的に利用されている。
定、或いは対象物間の距離の測定、移動体の定寸送り、
停止位置の制御等々多くの目的に利用されている。
従来、これらの物体表面検査装置のセンサとしては、接
触圧を直接若しくは電気信号に変換して検出する種々の
ものが提案されているが、その検出精度は必ずしも充分
ではなかった。
触圧を直接若しくは電気信号に変換して検出する種々の
ものが提案されているが、その検出精度は必ずしも充分
ではなかった。
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、その目的とするところは、検出精度が高く、多くの
分野で利用可能な物体表面検査装置を提供することにあ
る。
り、その目的とするところは、検出精度が高く、多くの
分野で利用可能な物体表面検査装置を提供することにあ
る。
上記の目的は、 検知すべき物体表面にその先端が当接
される触針と、上記触針をその中心軸方向に移動自在に
保持するホルダと、上記触針にその先端に向かって弾性
力を作用させるスプリングと、触針を物体表面に沿って
相対的に移動させる送り装置と、上記触針に光ビームを
照射しその反射光との間に干渉を生じさせ且つその干渉
縞を検出し得る光学系とから成る物体表面検査装置によ
って達成される。
される触針と、上記触針をその中心軸方向に移動自在に
保持するホルダと、上記触針にその先端に向かって弾性
力を作用させるスプリングと、触針を物体表面に沿って
相対的に移動させる送り装置と、上記触針に光ビームを
照射しその反射光との間に干渉を生じさせ且つその干渉
縞を検出し得る光学系とから成る物体表面検査装置によ
って達成される。
上記の如き構成であると、上記触針の先端が対象物の表
面に触れたときの触針の僅かな変位に対しても、上記干
渉縞が大きく変動するものであるから、従来に比べて格
段に高精度の測定が可能な検知装置が提供されるもので
ある。
面に触れたときの触針の僅かな変位に対しても、上記干
渉縞が大きく変動するものであるから、従来に比べて格
段に高精度の測定が可能な検知装置が提供されるもので
ある。
以下、図面を参照しつ＼本発明の詳細を具体的に説明す
る。 ′ 第１図は本発明にか象る物体表面検査装置の一実施例を
示す説明図であり、図中、１は触針、２はホルダ、３は
スプリング、４は図示されていないクロステーブル上に
載置された表面を検査すべき物体、５はレーザ光源、６
はミラー、７はハーフミラ−１８は標準ガラス板、９は
レンズ、１０ばＣＣＤ、１１は判別回路、１２はホルダ
２を昇降させる昇降送りねじ、１３はガイド−１１４は
ＮＣである。
る。 ′ 第１図は本発明にか象る物体表面検査装置の一実施例を
示す説明図であり、図中、１は触針、２はホルダ、３は
スプリング、４は図示されていないクロステーブル上に
載置された表面を検査すべき物体、５はレーザ光源、６
はミラー、７はハーフミラ−１８は標準ガラス板、９は
レンズ、１０ばＣＣＤ、１１は判別回路、１２はホルダ
２を昇降させる昇降送りねじ、１３はガイド−１１４は
ＮＣである。
触針１は、ホルダ２に図中上下方向に移動可能に保持さ
れ、常態に於ては図に示す如くスプリング３の作用によ
りホルダから押し出される方向に弾性力を受けている。
れ、常態に於ては図に示す如くスプリング３の作用によ
りホルダから押し出される方向に弾性力を受けている。
触針１の端部１ｂは、球面又は中心軸に対しわずかな傾
角を有する平面であり、鏡が取り付けられているか、当
該部分に鏡面仕上げが施こされており、標準ガラス板８
との間に極く薄い空気層を形成する。
角を有する平面であり、鏡が取り付けられているか、当
該部分に鏡面仕上げが施こされており、標準ガラス板８
との間に極く薄い空気層を形成する。
従って、レーザ光源５からのレーザ光がミラー６、ハー
フミラ−７、標準ガラス板８を介して触針１の端部１ｂ
に照射されると、標準ガラス板８の下面に干渉縞が生じ
る。
フミラ−７、標準ガラス板８を介して触針１の端部１ｂ
に照射されると、標準ガラス板８の下面に干渉縞が生じ
る。
而して、触針１の端部１ｂが光軸に対しわずかに傾斜し
た平面であるときは平行直線干渉縞が生じ、端部１ｂが
球面であるときは同心円環状干渉縞が生じる。
た平面であるときは平行直線干渉縞が生じ、端部１ｂが
球面であるときは同心円環状干渉縞が生じる。
触針１の端部１ｂがホルダ２即ち標準ガラス板８に対し
相対的に移動すると、その移動量に応じて干渉縞も移動
する。
相対的に移動すると、その移動量に応じて干渉縞も移動
する。
一方、レンズ９によりこれらの干渉縞の像をＣＣＤｌ０
上に結ばせ、その像の移動を検知し得るよう構成する。
上に結ばせ、その像の移動を検知し得るよう構成する。
而して、被検物体４の表面形状を検するときは、触針１
の先端１ａを物体４に接触させた状態で、ＮＣ１４によ
り図示されていないクロステーブル及び送りねじ１２用
の回動モータを作動させ、あらかじめ定められたプログ
ラムに従って触針１と被検物体４とに相対送り運動を与
、える。
の先端１ａを物体４に接触させた状態で、ＮＣ１４によ
り図示されていないクロステーブル及び送りねじ１２用
の回動モータを作動させ、あらかじめ定められたプログ
ラムに従って触針１と被検物体４とに相対送り運動を与
、える。
然るときは、被検物体４０表面に加工誤差がないときは
、触針１と標準ガラス板８との相対位置が一定であるか
ら干渉縞が移動しないが、加工誤差があると干渉縞が移
動し、その移動する縞の数及び移動方向を知れば加工誤
差の大きさを知ることができる。
、触針１と標準ガラス板８との相対位置が一定であるか
ら干渉縞が移動しないが、加工誤差があると干渉縞が移
動し、その移動する縞の数及び移動方向を知れば加工誤
差の大きさを知ることができる。
即ち、ＣＣＤｌ０上に形成されるパターンの変化を判別
回路１１で検知することにより、被検知面の加工誤差を
検知し得るものである。
回路１１で検知することにより、被検知面の加工誤差を
検知し得るものである。
このとき、上記干渉縞は弾性部材４の極めて僅かな変形
によっても大きく移動するものであるから、被検知面の
形状誤差を極めて高精度で検出し得るものである。
によっても大きく移動するものであるから、被検知面の
形状誤差を極めて高精度で検出し得るものである。
本発明は畝上の如（構成されるから、本発明によるとき
は、従来に比べて格段に高精度の測定が可能で且つ多く
の分野で利用し得る物体表面検査装置が提供されるもの
である。
は、従来に比べて格段に高精度の測定が可能で且つ多く
の分野で利用し得る物体表面検査装置が提供されるもの
である。
なお、本発明は畝上の実施例に限定されるものではなく
、例えば、触針とそのホルダの取付形態、触針端部のの
反射面の形態、使用する光源や干渉縞を形成させるため
の光学系、干渉縞の検知手段等々は適宜変更し得るもの
であり、本発明はその目的の範囲内で上記の説明から当
業者が容易に想到し得るすべての変更実施例を包摂する
ものである。
、例えば、触針とそのホルダの取付形態、触針端部のの
反射面の形態、使用する光源や干渉縞を形成させるため
の光学系、干渉縞の検知手段等々は適宜変更し得るもの
であり、本発明はその目的の範囲内で上記の説明から当
業者が容易に想到し得るすべての変更実施例を包摂する
ものである。
第１図は本発明にか＼る物体表面検査装置の一実施例を
示す説明図である。
示す説明図である。
Claims (1)
- 検知すべき物体表面にその先端が当接される触針と、上
記触針をその中心軸方向に移動自在に保持するホルダと
、上記触針にその先端に向かって弾性力を作用させるス
プリングと、触針を物体表面に沿って相対的に移動させ
る送り装置と、上記触針に光ビームを照射しその反射光
との間に干渉を生じさせ且つその干渉縞を検出し得る光
学系とから成る物体表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1579288A JPH01193605A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 物体表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1579288A JPH01193605A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 物体表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01193605A true JPH01193605A (ja) | 1989-08-03 |
Family
ID=11898688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1579288A Pending JPH01193605A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 物体表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01193605A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007101491A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Mitsutoyo Corp | 変位センサ |
| CN107727009A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-02-23 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 手机盖板玻璃质量检测装置 |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP1579288A patent/JPH01193605A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007101491A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Mitsutoyo Corp | 変位センサ |
| CN107727009A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-02-23 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 手机盖板玻璃质量检测装置 |
| CN107727009B (zh) * | 2017-11-06 | 2023-11-24 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 手机盖板玻璃质量检测装置 |
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