JPH01195872A - エアラインマスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエアラインマスクに関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体装置の製造工程において、有機溶媒等を扱
う作業に用いられるエアラインマスクは、一端が空気供
給用減圧弁に接続された配管と、この配管の他端に接続
され空気を吐き出す面体とから構成されており、空気の
供給は、一般に工場の乾燥空気の配管に接続された減圧
弁を介して行なわれていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のエアラインマスクは、配管と減圧弁と面
体とから構成されており、このエアラインマスクに供給
される空気は工場で使用される乾燥したままのものであ
った。そのため、エアラインマスクを使用する作業者は
喉をいためやすいという欠点があった。

本発明の目的は、喉をいためることのないエアラインマ
スクを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のエアラインマスクは、一端が空気供給用減圧弁
に接続された配管と該配管の他端に接続された面体とか
らなるエアラインマスクであって、前記配管の途中に加
湿器を接続したものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第１図に
示す実施例に用いられる加湿器の断面図である。

工場配管等の空気源１から送られた空気は、減圧弁２と
圧力ゲージ３により所望圧まで減圧された後、加湿器４
を通り加湿され、空気吐出口を有゛′する面体５より作
業者へと供給される。

−加湿器４は第２図に示す様に内部に水を入れその内部
に空気源１からの配管６Ａを導き入れ、上部の空間より
配管６Ｂを通して面体５へ加湿された空気を導く構造と
なっている。すなわち、水中で乾燥空気をバブリングさ
せる事により湿気を帯びた空気に変えて空気吐出口を有
する面体５へ空気を導くものである。

このように構成された本実節°例によれば、空気が加湿
されるため作業者は喉をいためることはなくなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、エアラインマスクの配管
途中に加湿器を設ける事により、乾燥空気により作業者
が喉をいためることはなくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の−★施例の構成図、第２図は加湿器の
断面図である。 １・・・空気源、２・・・減圧弁、３・・・圧力ゲージ
、４・・・加湿器、５・・・面体、６Ａ、６Ｂ・・・配
管、７・・・水。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一端が空気供給用減圧弁に接続された配管と該配管の他
   端に接続された面体とからなるエアラインマスクにおい
   て、前記配管の途中に加湿器を接続したことを特徴とす
   るエアラインマスク。