JPH01196979A - 固体撮像素子の位置合わせ装置 - Google Patents
固体撮像素子の位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPH01196979A JPH01196979A JP63021545A JP2154588A JPH01196979A JP H01196979 A JPH01196979 A JP H01196979A JP 63021545 A JP63021545 A JP 63021545A JP 2154588 A JP2154588 A JP 2154588A JP H01196979 A JPH01196979 A JP H01196979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- image sensor
- diffracted light
- color separation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、固体撮像素子間の相対的な位置を調整するた
めの固体撮像素子の位置合わせ装置に関する。
めの固体撮像素子の位置合わせ装置に関する。
従来の技術
従来、この種の固体撮像素子の位置合わせ装置としては
、第２図に示すような構成が知られている。以下、従来
の固体撮像素子の位置合わせ装置について第２図を参照
しながら説明する。
、第２図に示すような構成が知られている。以下、従来
の固体撮像素子の位置合わせ装置について第２図を参照
しながら説明する。
第２図に示すように支持台５１上の一側に支持板５２が
取り付けられ、支持板５２に３個のプリズムからなり、
入射光を３つの光路に分割して出射する色分解プリズム
５３が取り付けられ、その前方において結像用レンズ５
４が取り付けられている。支持板５２には色分解プリズ
ム５３の各出射面側において移動装置５５が取り付けら
れ、各移動装置５５の先端には色分解プリズム５３の各
出射面に対峙して固体撮像素子５６が取り付けられてい
る。支持台５１上の他側には支持板５７が取り付けられ
、支持板５７には解像度測定用チャート５８が支持され
ている。各固体撮像素子５６から出力される信号は信号
処理回路５９により処理され、モニタ６０に画像出力さ
れると共に、測定器６１に送られるようになっている。
取り付けられ、支持板５２に３個のプリズムからなり、
入射光を３つの光路に分割して出射する色分解プリズム
５３が取り付けられ、その前方において結像用レンズ５
４が取り付けられている。支持板５２には色分解プリズ
ム５３の各出射面側において移動装置５５が取り付けら
れ、各移動装置５５の先端には色分解プリズム５３の各
出射面に対峙して固体撮像素子５６が取り付けられてい
る。支持台５１上の他側には支持板５７が取り付けられ
、支持板５７には解像度測定用チャート５８が支持され
ている。各固体撮像素子５６から出力される信号は信号
処理回路５９により処理され、モニタ６０に画像出力さ
れると共に、測定器６１に送られるようになっている。
次に上記従来例の動作について説明する。
解像度測定用チャート５８を結像用レンズ５４を介して
固体撮像素子５６によって捕らえ、その出力を信号処理
回路５９によって処理し、モニタ６０に画像出力する。
固体撮像素子５６によって捕らえ、その出力を信号処理
回路５９によって処理し、モニタ６０に画像出力する。
一方、信号処理回路５９によって処理された信号は測定
器６１にも送られる。
器６１にも送られる。
そして、これらモニタ６０ と測定器６１の情報をもと
じして各固体撮像素子５６を移動装置５５によって移動
調整する。
じして各固体撮像素子５６を移動装置５５によって移動
調整する。
このように、上記従来の固体撮像素子の位置合わせ装置
でも、各固体撮像素子５６の出力を見ながらその位置合
わせを行うことができる。
でも、各固体撮像素子５６の出力を見ながらその位置合
わせを行うことができる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の固体撮像素子の位置合わせ装
置では、解像度測定用チャート５８を結像用レンズ５４
を介して固体撮像素子５６で捕らえるようにしているた
め、画像化のための信号処理回路５９や信号を処理する
測定器、結像用レンズ５４、解像度測定用チャート５８
などを必要とし、結像用レンズ５４および解像度測定用
チャート５８はその調整に手間を要し、精度を出しにく
いなどの問題があった。
置では、解像度測定用チャート５８を結像用レンズ５４
を介して固体撮像素子５６で捕らえるようにしているた
め、画像化のための信号処理回路５９や信号を処理する
測定器、結像用レンズ５４、解像度測定用チャート５８
などを必要とし、結像用レンズ５４および解像度測定用
チャート５８はその調整に手間を要し、精度を出しにく
いなどの問題があった。
本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、レーザ光を用いることによって固体撮像素子の機械的
調整を可能とし、高精度に調整することができるように
した固体撮像素子の位置合わせ装置を提供することを目
的とするものである。
、レーザ光を用いることによって固体撮像素子の機械的
調整を可能とし、高精度に調整することができるように
した固体撮像素子の位置合わせ装置を提供することを目
的とするものである。
課題を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するために、入射光を複数の光
路に分割して出射する色分解プリズムの各出射面側で固
体撮像素子を移動させる移動装置と、青色、緑色、赤色
のレーザ光を発するレーザ発振器と、このレーザ発振器
から発した各色のレーザ光を同軸上に合成して色分解プ
リズムに導く光学系と、上記色分解プリズムにより分解
され、それぞれ上記固体撮像素子から反射して得られた
回折光の光路上に順次設けられたフーリエ変換レンズ、
回折光選択用の空間フィルタ、逆フーリエ変換レンズお
よび基準となる回折格子と、この回折格子からの回折光
の強度を検出する検出器とを備えたものである。
路に分割して出射する色分解プリズムの各出射面側で固
体撮像素子を移動させる移動装置と、青色、緑色、赤色
のレーザ光を発するレーザ発振器と、このレーザ発振器
から発した各色のレーザ光を同軸上に合成して色分解プ
リズムに導く光学系と、上記色分解プリズムにより分解
され、それぞれ上記固体撮像素子から反射して得られた
回折光の光路上に順次設けられたフーリエ変換レンズ、
回折光選択用の空間フィルタ、逆フーリエ変換レンズお
よび基準となる回折格子と、この回折格子からの回折光
の強度を検出する検出器とを備えたものである。
作 用
本発明は、上記のような構成により次のような作用を有
する。すなわち、レーザ発振器から発した各色のレーザ
光を同軸上に合成し、色分解プリズムに導く、色分解プ
リズムではレーザ光を各色に分解して固体撮像素子に照
射して回折光を生じさせる。この回折光をフーリエ変換
レンズによりフーリエ変換した後、空間フィルタによっ
て±１次の回折光を選択する。更にこれを逆フーリエ変
換レンズによって逆フーリエ変換し、基準となる回折格
子に照射する。、このときに生じる回折光が最も明るく
なるように固体撮像素子と調整することにより、位置合
わせを行うことができる。
する。すなわち、レーザ発振器から発した各色のレーザ
光を同軸上に合成し、色分解プリズムに導く、色分解プ
リズムではレーザ光を各色に分解して固体撮像素子に照
射して回折光を生じさせる。この回折光をフーリエ変換
レンズによりフーリエ変換した後、空間フィルタによっ
て±１次の回折光を選択する。更にこれを逆フーリエ変
換レンズによって逆フーリエ変換し、基準となる回折格
子に照射する。、このときに生じる回折光が最も明るく
なるように固体撮像素子と調整することにより、位置合
わせを行うことができる。
実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。第１図は本発明の一実施例の構成を示すものであ
る。
する。第１図は本発明の一実施例の構成を示すものであ
る。
第１図において、 １１は色分解プリズムであり、３個
のプリズム２ａ 、 ２ｂ 、 ２ｃからなり、入射光
を３つの光路に分割して出射することができる。
のプリズム２ａ 、 ２ｂ 、 ２ｃからなり、入射光
を３つの光路に分割して出射することができる。
３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃは色分解プリズム１の各プリ
ズム２ａ 、 ２ｂ 、 ２ｃの各出射面に対時するよ
うに配置された固体撮像素子、４ａ 、 ４ｂ 、 ４
Ｇは各固体撮像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの移動装
置、５は赤色のレーザ光６を発するレーザ発振器、７は
青色と緑色のレーザ光８を発するレーザ発振器、９は全
反射ミラーであり、レーザ発振器７から発する青色と緑
色のレーザ光８を反射する。１０はハーフミラ−であり
、全反射ミラー９によって反射された青色と緑色のレー
ザ光８を透過させると共に、レーザ発振器５から発する
赤色のレーザ光６を反射させ、各色のレーザ光６，８を
同軸上に合成する。１１は合成されたレーザ光１２を反
射させて色分解プリズム１の入射匡に入射させるハーフ
ミラ−１１３はハーフミラ−１１と色分解プリズム１の
入射面との間に設けられたハーフミラ−１１４、１５、
１６゜１７は各固体撮像素３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃか
ら反射して得られた回折光の光路上に順次設けられたフ
ーリエ変換レンズ、回折光選択用の空間フィルタ、逆フ
ーリエ変換レンズ１６、基準となる回折格子であり、回
折格子１７として、調整対象と同型の固体撮像素子が用
いられている。１８は空間フィルタＩ５キ逆フーリエ変
換レンズ１６との間に設けられたミラーであり、固体撮
像素子１７に照射され、回折された光を反射する。１９
はミラー１８によって反射された光の強度を検出する光
強度検出器、２０はハーフミラ−１３を利用して固体撮
像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの粗調整を行う拡大鏡
である。
ズム２ａ 、 ２ｂ 、 ２ｃの各出射面に対時するよ
うに配置された固体撮像素子、４ａ 、 ４ｂ 、 ４
Ｇは各固体撮像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの移動装
置、５は赤色のレーザ光６を発するレーザ発振器、７は
青色と緑色のレーザ光８を発するレーザ発振器、９は全
反射ミラーであり、レーザ発振器７から発する青色と緑
色のレーザ光８を反射する。１０はハーフミラ−であり
、全反射ミラー９によって反射された青色と緑色のレー
ザ光８を透過させると共に、レーザ発振器５から発する
赤色のレーザ光６を反射させ、各色のレーザ光６，８を
同軸上に合成する。１１は合成されたレーザ光１２を反
射させて色分解プリズム１の入射匡に入射させるハーフ
ミラ−１１３はハーフミラ−１１と色分解プリズム１の
入射面との間に設けられたハーフミラ−１１４、１５、
１６゜１７は各固体撮像素３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃか
ら反射して得られた回折光の光路上に順次設けられたフ
ーリエ変換レンズ、回折光選択用の空間フィルタ、逆フ
ーリエ変換レンズ１６、基準となる回折格子であり、回
折格子１７として、調整対象と同型の固体撮像素子が用
いられている。１８は空間フィルタＩ５キ逆フーリエ変
換レンズ１６との間に設けられたミラーであり、固体撮
像素子１７に照射され、回折された光を反射する。１９
はミラー１８によって反射された光の強度を検出する光
強度検出器、２０はハーフミラ−１３を利用して固体撮
像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの粗調整を行う拡大鏡
である。
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、拡大鏡２０を見ながら固体撮像素子３ａ。
３ｂ 、 ３ｃの粗調整を行う。次にレーザ発振器７と
５からそれぞれ青色および緑色のレーザ光８と赤色のレ
ーザ光６を発する。青色および緑色のレーザ光８を全反
射ミラー９によりハーフミラ−１０に導びく。一方、レ
ーザ発振器５から発した赤色のレーザ光６もハーフミラ
−１０に導びき、上記青色および緑色のレーザ光８と同
軸上に合成する。
５からそれぞれ青色および緑色のレーザ光８と赤色のレ
ーザ光６を発する。青色および緑色のレーザ光８を全反
射ミラー９によりハーフミラ−１０に導びく。一方、レ
ーザ発振器５から発した赤色のレーザ光６もハーフミラ
−１０に導びき、上記青色および緑色のレーザ光８と同
軸上に合成する。
合成したレーザ光１２はハーフミラ−１１により反射し
、ハーフミラ−１３を透過して色分解プリズム１に導び
く。合成したレーザ光１２は色分解プリズム１で赤色と
青色と緑色のレーザ光に分解し、それぞれ固体撮像素子
３ａ 、 ３ｂ 、 ３Ｃに照射する。ここで生じた回
折光は色分解プリズム１、ハーフミラ−１３、１１を経
てフーリエ変換レンズ１４によりフーリエ変換し、空間
フィルタ１５ によって±１次の２本の回折光を選択す
る。これを逆フーリエ変換レンズ１６によって逆フーリ
エ変換し、基準となる固体撮像素子１７に照射する。
、ハーフミラ−１３を透過して色分解プリズム１に導び
く。合成したレーザ光１２は色分解プリズム１で赤色と
青色と緑色のレーザ光に分解し、それぞれ固体撮像素子
３ａ 、 ３ｂ 、 ３Ｃに照射する。ここで生じた回
折光は色分解プリズム１、ハーフミラ−１３、１１を経
てフーリエ変換レンズ１４によりフーリエ変換し、空間
フィルタ１５ によって±１次の２本の回折光を選択す
る。これを逆フーリエ変換レンズ１６によって逆フーリ
エ変換し、基準となる固体撮像素子１７に照射する。
ここで２本の回折光は同一方向に再び回折し、干渉を起
こす。この光をミラー１８により反射させ、その強度を
光強度検出器１９により検出し、その強度が最大となる
ように移動装置４ａ 、 ４ｂ 、 ４ｃによって固体
撮像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの位置を調整する。
こす。この光をミラー１８により反射させ、その強度を
光強度検出器１９により検出し、その強度が最大となる
ように移動装置４ａ 、 ４ｂ 、 ４ｃによって固体
撮像素子３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃの位置を調整する。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、レーザ発振器から発
した各色のレーザ光を同軸上に合成し、色分解プリズム
に導く、色分解プリズムではレーザ光を各色に分解して
固体撮像素子に照射して回折光を生じさせ、この回折光
をフーリエ変換レンズによりフーリエ変換した後、空間
フィルタによって±１次の回折光を選択し、更にこれを
逆フーリエレンズによって逆フーリエ変換して基準とな
る回折格子に照射し、このときに生じる回折光が最も明
るくなるように固体撮像素子を調整することにより、位
置合わせを行うようにしている。したがって、従来のよ
うに固体撮像素子からの信号を処理する信号処理回路、
測定器、解像度測定用チャート、結像用レンズなどが不
必要となり、精度よく固体撮像素子の位置合わせな行う
ことができる。
した各色のレーザ光を同軸上に合成し、色分解プリズム
に導く、色分解プリズムではレーザ光を各色に分解して
固体撮像素子に照射して回折光を生じさせ、この回折光
をフーリエ変換レンズによりフーリエ変換した後、空間
フィルタによって±１次の回折光を選択し、更にこれを
逆フーリエレンズによって逆フーリエ変換して基準とな
る回折格子に照射し、このときに生じる回折光が最も明
るくなるように固体撮像素子を調整することにより、位
置合わせを行うようにしている。したがって、従来のよ
うに固体撮像素子からの信号を処理する信号処理回路、
測定器、解像度測定用チャート、結像用レンズなどが不
必要となり、精度よく固体撮像素子の位置合わせな行う
ことができる。
第１図は本発明の一実施例における固体撮像素子の位置
合わせ装置を示す概略図、第２図は従来の固体撮像素子
の位置合わせ装置を示す概略斜視図である。 ■・・・色分解プリズム、３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃ・
・・固体撮像素子、４ａ、 ４ｂ 、 ４ｃ・・・移動
装置、５，７・・・レーザ発振器、１４・・・フーリエ
変換レンズ、１５・・・空間フィルタ、１６・・逆フー
リエ変換レンズ、１７ ・・・回折格子（固体撮像素子
）、１９・・・光強度検出器、２０・・・拡大鏡。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名＠ｌ
ｒＭ ４Ｃ 第２図
合わせ装置を示す概略図、第２図は従来の固体撮像素子
の位置合わせ装置を示す概略斜視図である。 ■・・・色分解プリズム、３ａ 、 ３ｂ 、 ３ｃ・
・・固体撮像素子、４ａ、 ４ｂ 、 ４ｃ・・・移動
装置、５，７・・・レーザ発振器、１４・・・フーリエ
変換レンズ、１５・・・空間フィルタ、１６・・逆フー
リエ変換レンズ、１７ ・・・回折格子（固体撮像素子
）、１９・・・光強度検出器、２０・・・拡大鏡。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名＠ｌ
ｒＭ ４Ｃ 第２図
Claims (1)
- 入射光を複数の光路に分割して出射する色分解プリズ
ムの各出射面側で固体撮像素子を移動させる移動装置と
、青色、緑色、赤色のレーザ光を発する発振器と、この
レーザ発振器から発した各色のレーザ光を同軸上に合成
して色分解プリズムに導く光学系と、上記色分解プリズ
ムにより分解され、それぞれ上記固体撮像素子から反射
して得られた回折光の光路上に順次設けられたフーリエ
変換レンズ、回折光選択用の空間フィルタ、逆フーリエ
変換レンズおよび基準となる回折格子と、この回折格子
からの回折光の強度を検出する検出器とを備えたことを
特徴とする固体撮像素子の位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63021545A JPH01196979A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 固体撮像素子の位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63021545A JPH01196979A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 固体撮像素子の位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01196979A true JPH01196979A (ja) | 1989-08-08 |
Family
ID=12057955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63021545A Pending JPH01196979A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 固体撮像素子の位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01196979A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6476870B2 (en) | 1994-10-28 | 2002-11-05 | Tvi Vision Oy | Method for adjusting a photodetector array and a beam-splitting and detector structure for a line scan camera |
| JP2010098365A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc | テレビカメラ装置 |
-
1988
- 1988-02-01 JP JP63021545A patent/JPH01196979A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6476870B2 (en) | 1994-10-28 | 2002-11-05 | Tvi Vision Oy | Method for adjusting a photodetector array and a beam-splitting and detector structure for a line scan camera |
| JP2010098365A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc | テレビカメラ装置 |
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