JPH01198631A - ポリシラン化合物の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明はポリシラン化合物の製造方法に関し、さらに詳
しくは、特定の金属錯体を触媒として用いてシラン化合
物モノマーからポリシラン化合物を製造するための方法
に関する。

発明の技術的背景ならびにその問題点 近年に至ってケイ素をベースとしたシリコンケ。

ミスドリーが注目を浴びており、たとえば耐熱性、耐候
性に優れたシリコンカーバイドなどの高機能性樹脂の前
駆体として、あるいは分解像度に優れたホトレジストな
どの感光性材料として、さらには従来の材料に比べて著
しく優れた導電性材料としての用途が期待されている。

ところで従来、シリコンケミストリーの根幹をなすポリ
シラン化合物は、下記式［Ｉ］に示すようにして製造し
うろことが知られている。

（式中、ＲＳＲは水素または炭化水素基であす、ＲとＲ
４とは同時に水素ではない。）ところが上記のようなポ
リシラン化合物の製造方法では、金属ナトリウムあるい
はナトリウム−カリウム合金がシラン化合物モノマーの
２倍モル以上が必要であり、しかも金属ナトリウムなど
には発火の危険性があるなど取扱いに困難が伴うととも
に、この方法ではポリシラン化合物の生成に伴って副生
じた微量の塩素をポリシラン化合物除から除くのが難し
い。このようにポリシラン化合物中に塩素が残存すると
ポリシラン化合物の電気的性質を低下させるという問題
点があった。

そこで近年、錯体触媒を用いてポリシランを合成する研
究が行なわれ、Ｒｈ　（ＰΦ３）（１！を触媒に用いれ
ば、ジヒＰロシラン化合物の脱水素反応が起こり、ジシ
ランおよびトリシラン化合物が生成することが水弁らに
よってＪ、Ｑｒｇ２ｎｏＩＩｌｅｔ。

Ｃｈｅｍ、５５．Ｃ７（１９７３）に報告された。しか
し、コノ方法ではケイ素に付いている置換基の再分配反
応が同時に相当量起こり、このため反応系が複雑になる
ことが知られている。

また最近に至って発表されたＪ、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔ。

４０５９（１９８６）には、Ｔ１有機錯体を用いて、Ｈ
−Ｓｉ　−Ｈ Ｒ６（式中、Ｒ５は水素であり、 Ｒ６はフェニル基である）で示されるシラン化合物モノ
マーから 同様であり、ｎは６程度である）で示されるポリシラン
化合物を合成しうろことが教示されている。

同様にＣａｎ、Ｊ、Ｃｈｅｍ、　８４．１８７７（１９
８Ｂ）には、Ｚｒ有機錯体を用いて上記のようなシラン
化合物モノマーからポリシラン化合物を合成しうろこと
が教示されている。

本発明者らは、上記のような情況に鑑みて鋭意検討した
結果、特定の金属錯体を用いれば、シラン化合物モノマ
ーからポリシラン化合物を効率よく製造しつることを見
出して本発明を完成するに至った。

発明の目的 本発明は、上記のようなシリコンケミストリーの技術的
背景に鑑みてなされたものであって、シラン化合物モノ
マーからポリシラン化合物を、金属ナトリウムあるいは
ナトリウム−カリウム合・金などの危険な金属を用いる
ことなく、少ない触媒量でしかも効率よく製造しうるよ
うな、ポリシラン化合物の製造方法を提供することを目
的としている。

発明の概要 本発明に係るポリシラン化合物の製造方法は、Ｎｉ錯体
、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯体、Ｐｄ錯体およびＩ「錯体のうち
から選ばれる少なくとも１種類の金属錯体を触媒として
用いて、 式 （式中、ＲおよびＲ２は水素または炭化水素基■ であり、Ｒ１およびＲｏは同時に水素ではない）で表わ
されるシラン化合物モノマーからポリシラン化合物を製
造することを特徴としている。

本発明に係るポリシラン化合物の製造方法では、Ｎｉ錯
体、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯体、Ｐｄ錯体およびＩｒ錯体のう
ちから選ばれる金属錯体を触媒として用いて、式［１］
で表わされるシラン化合物モノマーからポリシラン化合
物を製造しているため、発火の危険性のあるナトリウム
金属あるいはナトリウム−カリウム合金金属などを用い
る必要がなく、しかもこの金属錯体触媒は少量しか必要
でなく、その上消費されることもない。

発明の詳細な説明 以下本発明に係るポリシラン化合物の製造方法について
具体的に説明する。

本発明に係るポリシラン化合物の製造方法では、Ｎ１錯
体、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯体、Ｐｄ錯体およびＩ「錯体のう
ちから選ばれる金属錯体を触媒として用いて、シラン化
合物モノマーからポリシラン化合物を得ているが、以下
に各成分について説明する。

触　　　媒 本発明では、触媒としてＮ　ｉ錯体、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯
体、Ｐｄ錯体およびＩｒ錯体のうちから選ばれる金属錯
体が用いられる。これらの金属錯体は単独で用いてもよ
く、２種以上を組み合せて用いてもよい。

錯体の中心金属としては、Ｎ　Ｉ　％　　Ｃｏ−Ｒｕ、
Ｉｒ　Ｓ　Ｐｄを用いる。

錯体の配位子としては、ハロゲン、水素、アルキル、ア
リール、アルキルシラン、アリールシラン、オレフィン
、アルキルカルボキシ、アリールカルボキシ、アセチル
アセトナートアルコキシ、アリールオキシ、アルキルチ
オ、アリールチオ、シクロペンタジェニル、置換シクロ
ペンタジェニル、シアノアルカン、シアノ芳香族化合物
、ＣＮ。

Ｃｏ、Ｎｏ、アルキルアミン、アリールアミン、ピリジ
ル、ジピリジル、アルキルホスフィン、アリールホスフ
ィン、アルキルアリールホスフィンなどを用いることが
でき、特に好ましい例としてハロゲン、水素、アルキル
、シクロペンタジェニル、アリールホスフィン、アリー
ルシラン、ジピリジルを挙げることができる。

触媒として用いられる前記金属錯体としては、具体的に
以下のような化合物が挙げられる。

旧：旧［Φ２Ｐ（ＣＨ２）　３ＰΦ２　］　Ｍｅｚ旧［
Φ２Ｐ（ＣＩ＋２）　３ＰΦ２］Ｃ１□Ｎ１（ＰΦａ　
）　２　Ｍｅｚ Ｎｌ（ＰΦ３）２Ｃ１□ 旧（Ｐ　Ｍ　ｅ　２Φ）２Ｍｅ２ Ｎｉ（ＣＯＤ）　２ ＩＥｔ２ 旧（ＣＮＭｅ）　（Ｃｏ）　ａ 旧（Ｃｐ）ＣＩ２ Ｎｉ（Ｃｐ）　Ｉ　２ Ｎｉ（Ｃｐ）Ｎ。

■（ＣＦ３ＣミＣＣＦ３）（ＣＯ）２ 旧（Ｃｐ）　（ＣＮ）　２ Ｎｉ（Ｃｐ）（ＣＯ）　１ Ｎｌ　（π−ＣＨ２−ＣＯＣＨ２）２ Ｎｌ　（Ｃｐ）　（ＣＯ）ＣＦａ Ｎｉ　（ＮＣＣＩＩ−ＣＩＩＣＮ）　２Ｎｉ（ＣＩ））
（ＣＯ）　Ｃ２Ｆ５ Ｎ１（ｃｙｃｌｏｏｃｔａｔｅｔｒａｅｎｅ）Ｎｉ（Ｃ
ｐ）　（π−Ｃ１（２−ＣＯＣＨ２）旧（ＥｔＮＣ）２
（ＣＮ）２ Ｎｉ（ＭｅＮＣ）４ Ｎｉ（Ｃｐ）（ＰΦ３）Ｃ１ 旧（ＣＨ２−ＣＨ２）（ＰＥｔ３）　２Ｎｉ（Ｃｐ）（
ＰΦ３）Ｅｔ Ｎｉ　（Φ２ＰＣＩＩ２ＣＩ１２ＰΦ２）　ＢｒＭｅＮ
ｉ　（Φ２ＰＣ１１２Ｃ１■２ＣＨ２ＰΦ２）　ＢｒＭ
ｅＮｉ（ＣＨ−ＣＨ２）（ＰΦ３）２ Ｎ１（ＡＮ）（ＰΦ３） （π−Ｃ１ｌ　　−ＣＩＣＩ２ＮｉＣ１）　２（ｙｒ　
−Ｃｌ１２＝　ＣｌＩＣｌ２ＮｉＢｒ）　２［Ｎ１（Ｃ
ｐ）　（ＣＯ）］２ ［Ｎ１（Ｃｐ）］２ＨＣ三Ｃ１１ ［Ｎ　１　（Ｃｐ）１２１１ｃミＣ−ＣＨ３［Ｎ１（Ｃ
ｐ）］］２Ｃ１＋３−ＣミＣ−Ｃｌ＋３旧ｄｉｐ）　Ｃ
Ｉ２ 旧（ｄｔｐ）　Ｂｒ２ 旧（ｄｌｐ）　ＣＩＭｅ 旧（ｄｉｐ）　Ｍｅｚ 旧（ｄｉｐ）　Ｅｔ２ ＮＩＣＩ）２ Ｎｉ（Ｃｏ）４ Ｎｉ（ＡＮ）２ 旧（ａＣａＣ）２ 旧［Φ２Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２　］　ＣＩＭｅＮ１　［
Φ２Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２］Ｂ「２旧［Φ２Ｐ（ＣＩＩ
２）３ＰΦ２　］　Ｅｔ２Ｎｉ　［Φ　Ｐ（ＣＨ２）　
３ＰΦ２］１１□′　旧（ＰΦ３）２ＣＩＭｅ 旧（ＰΦ３）　２１１Ｍｅ Ｃｏ：ｃｏ（ＰΦ３）２Ｍｅ２ Ｃｏ（ＰΦ３　）２　”２ ＣＯ２（ｃｏ）ｇ Ｃｏ　（Φ　　ＰＣＨ２Ｃ１１２ＰΦ２）Ｍｅ２Ｃｏ（
ＰΦｓ　）　２　Ｃｌ２ Ｃｏ（ＰΦ３）　２　ＢｒＭｅ Ｃｏ（ＰΦ３）２ＣＩＭｅ Ｃｏ（ＰΦ３）２Ｅｔ２ Ｃｏ　（Φ　　ＰＣ１１２Ｃ１１２ＣＩ１２ＰΦ２）Ｍ
ｅ２Ｃｏ　（Φ２ＰＣＩ１２Ｃ１１２ＰΦ２　）　ＣＩ
ＭｅＣｏ　（Φ　　ＰＣ１１２ＣＨ２ＰΦ２）Ｃ１２Ｃ
ｏ　（Φ　　Ｐｃｔ（２Ｃ１１２ＣＩ１２ＰΦ２　）　
ＣＩＭｅＣｏ（ＣＯ）４ＮＣ Ｃｏ（Ｃｐ）ＣＩ２ ｃｏ（Ｃｐ）Ｍｅ２ Ｃｏ　（π−ＣＨ２＝ＣｔｌＣＩＩ２）　（ＣＯ）　３
ｃｏ（ｃｐ）　（Ｃｏ）　２ Ｃｏ　（Ｃｐ）　２ ［Ｃｏ　（Ｃｐ）　２　］　Ｂｒａ ［Ｃ０（ＣＩ））２　］　ｅｌ Ｉｏ（ＰΦ　）（Ｃｏ）　３ＮＣ Ｃｏ（ＰΦ３）２’２ Ｃｏ（ＰΦ３　）２　”２　　　　 Ｐｄ：Ｐｄ（ＰΦ３）　２　Ｍｅ２ Ｐｄ（ＰΦ３）２ＣＩ２ Ｐｄ（ＰΦ３）２ＣＩＭｅ Ｐｄ　（ＰΦ３）２ＩＩ□ Ｐｄ　（ＰΦａ　）　２　Ｂｒ２ Ｐｄ（ＰΦ３　）　２　Ｂｒ２ Ｐｄ　（ＰΦ３）２ＢｒＭｅ Ｐｄ（ＰΦ　　）　　　１ Ｐｄ（ＣＩ））Ｂｒ Ｐｄ（Ｃｐ）ＣＩ Ｐｄ（ＡＮ）２　Ｃ１２ Ｐｄ　（π−ＣＨ２＝ＣＩＩＣＩ＋２）　、。

Ｐｄ　（π−Ｃ１１２＝ＣＩｌＣＨ２）　２Ｃ１２Ｐｄ
（Ｃｐ）　（π−Ｃ１ｌ　＝ＣｌｌＣｌ＋２＞Ｐｄ（Ｃ
ＯＤ）　Ｃｌ２ Ｐｄ（ＣＯＤ）　Ｍｅ２ Ｐｄ（ＣＯＤ）ＣＩＭｅ Ｐｄ（ｄｉｐ）　Ｍｅ２ Ｐｄ（ＰＥｔ３）　２ＣＮＭｅ Ｐｄ（ＰＥｔ３）　２ＮＣ２ Ｐｄ（Ｐ−ＭｅＯＣ６Ｈ４ＮＣ）　２８ｒ２Ｐｄ（ＰＥ
ｔ３）　２ΦＢ「 Ｐｄ　（Φ　　ＰＣＨＣ１ｌ　　ＰΦ２）Ｍｅ２Ｐｄ　
（Φ　　ＰＣ１１２Ｃ０２ＣＨ２ＰΦ２）Ｍｅ２［Ｐｄ
（π−ＣＨ＝Ｃｌ１ＣＨ２）　Ｃ１１２［Ｐｄ（π−Ｃ
Ｈ＝Ｃ１ｌＣＨ２）　Ｂｒ］　２Ｒｕ：Ｒｕ（ＰΦ３）
３ＮＣ２ Ｒｕ（ＰΦ３　）３　”２ Ｒｕ（ＰΦ３）３ＣＩＭｅ Ｒｕ（ＰΦ３）３Ｂｒ２ Ｒｕ（ＰΦ３　）３　Ｂｒ２ Ｒｕ（ＰΦ　）　　　ＣＩＭｅ２ Ｒｕ（ＰΦ３）３”２ Ｒｕ（Ｃｐ）　（ＣＯ）　２　ｔｌ Ｒｕ（ＣＯＤ）　０１２ Ｒｕ（Ｃｐ）（ＣＯ）ｚ　Ｍｅ Ｒｕ（ＣＯＤ）　Ｂｒ２ Ｒｕ（ＭｅＮＣ）４ＣＩ２ Ｒｕ（Ｃｐ）（ＣＯ）２Ｅｔ Ｒｕ　（Ｃｐ　）　２ Ｒｕ　ＣΦ　　ＰＣＩＩ２ＣＩ！２ＰΦ２）２ＣＩＭｅ
Ｒｕ（Φ　　ＰＣ）ｌ　　ｅｌＩ　　ＣＩｌ　　ＰΦ２
）２０１ＭθＲｕ（Φ　　ＰＣＩＩ　　ＣＩ　　ＰΦ２
）２Ｃ１ΦＲｕ（ＥｔＮＣ：）４Ｃ１２ Ｒｕ（ＥｔＮＣ）４Ｂｒ２ Ｒｕ（ＥｔＮＣ）４ＮＣ２ Ｒｕ（ＥｔＮＣ）４Ｅｔ２ Ｒｕ　（Φ２ＰＣ１１２Ｃ１１２Ｃ１２ＰΦ２　）　２
　ＢｒＭｅＲｕ（Φ２　　ＰＣｌｌ　２　ＣＨ２Ｐ　Φ
２　）　　２　１１Ｍｅ［ＲＬｌ（ＣＩ））（ＣＯ）　
２］　２Ｉ　ｒ：Ｉｒ（ＰΦ３）　３（ＣＯ）ＭｅＩｒ
（ＰΦ３）　３（Ｃｏ）ＩＩ Ｉ　ｒ　（Ｃｐ）　（Ｃｏ）　２ ！ｒ（Ｃｐ）２Ｂｒ３ Ｉｒ（ＰΦ３）３ＮＣ２ １ｒ（ＰΦ３）３Ｃ１２ Ｉｒ（ＰΦ３）３ＣＩＭｅ １「（Φ３）３１１２ １ｒ（Φ２Ｐｃｔ（、、Ｃｌ１２ＰΦ２）Ｍｅ２Ｉｒ（
Φ　　ＰＣＩＩ２Ｃ１２ＰΦ２　）（Ｃｏ）　Ｍｅ１「
（ＰΦａ　）　２　（Ｃｏ）ＭｅＣｌｌＩｒ　（π−Ｃ
１ｌ　　−Ｃ１１ＣＩ＋２　）　（ＰΦ３）２Ｃ１２１
ｒ（Ｐ−Ｃｌｌａ　　Ｃｅ　　ｌｌ４ＮＣ）　４Ｃ１１
ｒ（ａｃａｃ）（ＣＯＤ） これらの金属錯体うち、以下のものが特に好ましい。

Ｎｌ　［Φ　Ｐ（ＣＨ）ＰΦ２　］　ＭｅｚＮｉ　［Φ
　Ｐ（ＣＨ）ＰΦ２］Ｃｌ２”　　Ｎ１（ＰΦ３）２Ｍ
ｅ２ Ｃｏ（ＰΦ３）２Ｍｅ２ Ｒｕ（ＰΦ３）３Ｍｅ２ Ｎｌ［Φ　Ｐ（ＣＨ）ＰΦ２　］　Ｍｅｓ＋Ｎｉ（ＰＭ
ｅ　　Φ）　２　Ｍｅｓ＋ なお配位子の略号は、以下のとおりである。

本発明では、シラン化合物モノマーとしては、式［１１ ％式％［］ ［式中、ＲおよびＲ２は水素または炭化水素基であり、
ＲおよびＲ２は同時に水素ではない］で表わされるシラ
ン化合物が用いられる。

このようなシラン化合物モノマーとしては、具体的には
、 ＣＨ３Ｈ Ｃ６”ｓ　　　　　　　　　ＨＨ などの化合物か例示でき、本発明ではこれら混合物ある
いはこれらのオリゴマーである２〜３量体を出発物に用
いることもできる。これらの中ではが好ましい。

ポリシラン化合物 上記のような金属錯体を触媒として用いて、式［Ｉ］で
表わされるシラン化合物モノマーを重合させると、式［
ｎ］ （式中、ＲおよびＲ２は上記と同様であり、ｎは２以上
の整数ある）で表わされるポリシラン化合物が得られる
。

ｎは、２以上の整数であるが、通常は２〜２０、多くは
３〜７である。

生成物ノ構造ハ、’Ｈ−ＮＭＲ，ＵＶ、質量分析などに
よって確認される。生成物としては、直もの例えば Ｒ［−８ｉ　　−Ｒ２ と考えられる。

反応条件 上記のようなシラン化合物モノマーの重合によるポリシ
ラン化合物の生成反応は、以下のような条件下に行なう
ことが好ましい。

反応温度は一２０〜８０℃、好ましくは２０〜５０℃で
ある。

反応時間は、反応温度によって大きく変化するが、通常
１０分〜２日好ましくは１時間〜１日である。

反応に際して、溶媒を用いる必要はないが、用いる場合
には、トルエン、ベンゼンなどの芳香族化合物、メチル
エチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンなど
のエーテル類、ジメチルホルムアミドなどのアミド類、
酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類などが用いら
れる。

触媒としての前記金属錯体は、シラン化合物モノマー１
モルに対して、ｏ、ｏｏｏｉ〜０．５モル好ましくは０
．００５〜０．０５モル程度の量で用いられる。

反応は、窒素、アルゴンなどの不活性雰囲気下で行なう
ことが好ましい。反応の進行は、水素ガスの発生によっ
て確認することができる。

発明の効果 本発明に係るポリシラン化合物の製造方法では、Ｎｌ錯
体、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯体、Ｐｄ錯体およびＩｒ錯体のう
ちから選ばれる金属錯体を触媒として用いて、式［１］
で表わされるシラン化合物モノマーからポリシラン化合
物を製造しているため、発火の危険性のあるナトリウム
金属あるいはナトリウム−カリウム合金金属などを用い
る必要がなく、しかもこの金属錯体触媒は少量しか必要
でなく、またポリシラン化合物の収量も高い。

以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら
実施例に限定されるものではない。

シラン化合物モノマーとしてフェニルシランΦ Ｈ−８ｌ　−Ｈを用いて表１に示す有機金属錯体を触媒
に用いて室温で５時間反応させてオリゴシランを得た。

この場合のフエニルジ９２１モル当たりの触媒の使用量
は０．０１モルであった。

反応結果を表１に示した。

なお、本発明の代表的な実施例としてさらに詳細な条件
について以下に示す。

［実施例１］ 触媒としてメチル錯体Ｎｉ［Φ２Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２
　］　Ｍ　ｅ　２を用いた場合。

Ｎｉ　　［Φ２Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２］Ｃ１゜０．１３
ｇ　（０，２４ミリモル）のエーテル（１ｍｌ）懸濁液
に窒素雰囲気下−２０℃で１Ｍメチルリチウムのエーテ
ル溶液を０．５ｍｌ　（０，５ミリモル）滴下し、０℃
まで昇温しで１時間撹拌した。

この間Ｎ１錯体の赤褐色結晶が溶解し、沈澱物が析出し
、黄褐色の懸濁液になった（ジメチル錯体はエーテル溶
液として生成している）。懸濁液０．５ｍｌを注射器で
取り出し、室温で１．４ｇ（１３ミリモル）のフェニル
シラン（無色液体、ｂｐ６０−６２℃）に加えた。添加
後部しいガスの発生がみられ、褐色溶液に変化した。発
泡は５−１０分は激しく、その後穏やかに続いた。５時
間後、低沸物を真空ポンプで留去し、粘稠な褐色油状物
１．３４ｇ−を得た。油状物のスペクトルデータは以下
のとおりで、これらから油状物はフェニルシランの４量
体・５量体の約８０　：　２０の混合物と推定した。

ＦＤ−Ｍｓ　　：　５３２　（５ｆｆｉ体のＭ、２０）
、４２６（４ｆｆｉ体のＭ”、１００）。

’Ｈ−ＮＭＲ：δ４．３８　（ｍ、６Ｈ）、７．２５　
（ｍ、２０Ｈ）。

ＵＶ　　（ＴＨＦ）：　２１０　ｎ　ｍ、　２４０　ｎ
　ｍ（ｓｈｏｕｌ−ｄｅｒ）、　２７０　ｎ　ｍ　（ｓ
ｈｏｕｌｄｅｒ）。

同様に実験を行い、表１の結果を得た。

表１ ［実施例９コ 触媒としてＮｉ［Φ２Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２］ＣＩ２を
用いた場合。

Ｎｌ　　［Φ　Ｐ（ＣＨ２）３ＰΦ２］Ｃ１□０．０５
ｇ　（０，１０ミリモル）フェニルシラン１．０８ｇ　
（ＩＯミリモル）を窒素雰囲気下、室温で混合した。徐
々にガスの発生がみられ、反応液は褐色化した。室温で
５時間撹拌後、低沸物を真空ポンプで留去したところ、
０．９６ｇの褐色粘稠油を得た。このもののマススペク
トルデータは以下のようになった。

ＦＤ−Ｍｓ　　：　７４３　（７量体のＭ、２９）、６
３６　（６ｆｆｉ体のＭ”、４０）、５３２　（５量体
のＭ”、６３）、 ４２６（４量体のＭ、１００）、 ３２０　（３量体のＭ”、３４）。

同様にして表２の結果を得た。

表　　２ フェニルシランの代わりにメチルフェニルシランを用い
て実施例１と同様に反応を行った（表３）。

表３ 代理人　　弁理士　　鈴　木　俊一部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）Ｎｉ錯体、Ｃｏ錯体、Ｒｕ錯体、Ｐｄ錯体およびＩ
   ｒ錯体のうちから選ばれる少なくとも１種類の金属錯体
   を触媒として用いて、 式 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・［ I ］ （式中、Ｒ＿１およびＲ＿２は水素または炭化水素基で
   あり、Ｒ＿１およびＲ＿２は同時に水素ではない）で表
   わされるシラン化合物モノマーあるいはそのオリゴマー
   からポリシラン化合物を製造することを特徴とする、ポ
   リシラン化合物の製造方法。