JPH01200317A - 光スイッチ - Google Patents
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- JPH01200317A JPH01200317A JP2404488A JP2404488A JPH01200317A JP H01200317 A JPH01200317 A JP H01200317A JP 2404488 A JP2404488 A JP 2404488A JP 2404488 A JP2404488 A JP 2404488A JP H01200317 A JPH01200317 A JP H01200317A
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- optical waveguide
- diaphragm
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- propagating
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
- G02B6/3548—1xN switch, i.e. one input and a selectable single output of N possible outputs
- G02B6/3552—1x1 switch, e.g. on/off switch
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
- G02B6/3514—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror the reflective optical element moving along a line so as to translate into and out of the beam path, i.e. across the beam path
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- G02B6/353—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being a shutter, baffle, beam dump or opaque element
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- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3566—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details involving bending a beam, e.g. with cantilever
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、伝搬する光の光路の切り替え、または遮断の
ために用いられる光スイッチに関するものである。
ために用いられる光スイッチに関するものである。
（従来の技術）
従来より、伝搬する光の光路を切り替えたり、または遮
断したりするために種々の構造の光スイッチが提案され
、開発・実用化されている。これら光スイッチは、機械
的にプリズム・ミラーや光導波路等の部品を移動させて
光路を切り替えたり、または遮断したりする構造のもの
が多い。
断したりするために種々の構造の光スイッチが提案され
、開発・実用化されている。これら光スイッチは、機械
的にプリズム・ミラーや光導波路等の部品を移動させて
光路を切り替えたり、または遮断したりする構造のもの
が多い。
これら機械的な光スイッチの中で、ｒＫ、 Ｅ、 Ｐｃ
ｔｃｒｓｃｎ、Ｄｙｎａａ＋Ｉｃ Ｍｌｃｒｏｓｃｃｈ
ａｎｌｃｓ ｏｎ ５ｉｌｉｃｏｎ ：ＴｃｅｈｎＩｑ
ｕｅｓ ａｎｄ Ｄｅｖ１ｅｃｓ″、 ＩＥＥＥ Ｔｒ
ａｎｓａｃｔＩｏｎｓｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｄｅｖ
ｉｃｅｓ、 Ｖｏｌ、 ＥＤ−２５，Ｎｏ、１０． Ｏ
ｃＬ。
ｔｃｒｓｃｎ、Ｄｙｎａａ＋Ｉｃ Ｍｌｃｒｏｓｃｃｈ
ａｎｌｃｓ ｏｎ ５ｉｌｉｃｏｎ ：ＴｃｅｈｎＩｑ
ｕｅｓ ａｎｄ Ｄｅｖ１ｅｃｓ″、 ＩＥＥＥ Ｔｒ
ａｎｓａｃｔＩｏｎｓｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｄｅｖ
ｉｃｅｓ、 Ｖｏｌ、 ＥＤ−２５，Ｎｏ、１０． Ｏ
ｃＬ。
ｂａｒ、 １９７８ Ｊに開示されているような、振動
板をで静電力で変位させることによって光路を切り替え
る光スイッチが知られており、第２図は上記文献に開示
されている従来の光スイッチを示すものであり、第２図
（ａ）は従来の光スイッチを示す斜視図、第２図（ｂ）
は第２図（ａ）の動作原理を説明するための図である。
板をで静電力で変位させることによって光路を切り替え
る光スイッチが知られており、第２図は上記文献に開示
されている従来の光スイッチを示すものであり、第２図
（ａ）は従来の光スイッチを示す斜視図、第２図（ｂ）
は第２図（ａ）の動作原理を説明するための図である。
第２図（ａ）において、１はＳ ｉ Ｏ２表面に５０Ｏ
ＡでＣｒ−Ａｕを蒸着した振動板で、入射してきた光を
その表面１ａで反射するようになっている。２は導電部
材、例えばＰ 層からなる平板、３はＰ−Ｓｔ層、４は
Ｐ−８ｉ基板、５は電気スイッチ、６は振動板１と平板
２の間に電圧を印加するための電源である。第２図（ｂ
）によれば、振動板１と平板２の間に電圧を印加すると
両者間で静電力が働き、振動板１は第２図（ｂ）中実線
で示すように変位する。振ｉ板１は表面１ａで入射して
きた光を反射するようになっているので、振動板１が変
位することによって、第２図（ｂ）に示すように入射お
よび出射する光の条件が変化し、伝搬光の光路を切り替
えることができる。
ＡでＣｒ−Ａｕを蒸着した振動板で、入射してきた光を
その表面１ａで反射するようになっている。２は導電部
材、例えばＰ 層からなる平板、３はＰ−Ｓｔ層、４は
Ｐ−８ｉ基板、５は電気スイッチ、６は振動板１と平板
２の間に電圧を印加するための電源である。第２図（ｂ
）によれば、振動板１と平板２の間に電圧を印加すると
両者間で静電力が働き、振動板１は第２図（ｂ）中実線
で示すように変位する。振ｉ板１は表面１ａで入射して
きた光を反射するようになっているので、振動板１が変
位することによって、第２図（ｂ）に示すように入射お
よび出射する光の条件が変化し、伝搬光の光路を切り替
えることができる。
第３図は、第２図（ａ）に示した従来の光スイッチで光
導波路を伝搬する光の光路を切り替える場合を説明する
ための図である。第３図において、１は振動板、２はＰ
＋層からなる平板、３はｐ−３ｉ層、４はＰ−８ｉ基板
、７−１〜７−３は光導波路、８−１〜８−３はレンズ
であり、実線が印加電圧をオンにしたときの振動板１の
状態（変位）を示し、二点鎖線が印加電圧をオフにした
ときの振動板１の状態を示している。第３図によれば、
光導波路７−１を伝搬する光を光導波路７−２に導波す
るには、振動板１と平板２間への印加電圧をオフにし、
振動板１を二点鎖線で示す状態とし、光導波路７−１か
ら出射された光を振動板１の表面１ａで反射させて光導
波路７−２に導波させる。一方、伝搬光の光路を切り替
えるときには、振動板１と平板２間への印加電圧をオン
にして振動板１を実線で示すように変位させて光導波路
７−３に光を導波させていた。
導波路を伝搬する光の光路を切り替える場合を説明する
ための図である。第３図において、１は振動板、２はＰ
＋層からなる平板、３はｐ−３ｉ層、４はＰ−８ｉ基板
、７−１〜７−３は光導波路、８−１〜８−３はレンズ
であり、実線が印加電圧をオンにしたときの振動板１の
状態（変位）を示し、二点鎖線が印加電圧をオフにした
ときの振動板１の状態を示している。第３図によれば、
光導波路７−１を伝搬する光を光導波路７−２に導波す
るには、振動板１と平板２間への印加電圧をオフにし、
振動板１を二点鎖線で示す状態とし、光導波路７−１か
ら出射された光を振動板１の表面１ａで反射させて光導
波路７−２に導波させる。一方、伝搬光の光路を切り替
えるときには、振動板１と平板２間への印加電圧をオン
にして振動板１を実線で示すように変位させて光導波路
７−３に光を導波させていた。
また、このような光スイッチは、第１に第３図に示すよ
うにセットされた光ファイバのような個別な光導波路を
伝搬してきた光の光路の切り替えを行う場合と、第２に
、半導体等の同一の基板上に予め第３図に示すような配
置で作製された光導波路を伝搬する光の光路を切り替え
る場合等に適用されている。
うにセットされた光ファイバのような個別な光導波路を
伝搬してきた光の光路の切り替えを行う場合と、第２に
、半導体等の同一の基板上に予め第３図に示すような配
置で作製された光導波路を伝搬する光の光路を切り替え
る場合等に適用されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、通常、光導波路で光が伝搬するコアの部
分は最大でも５０μｍ程度である。従って上記第１の適
用方法の場合、光軸と光導波路の軸ずれや角度ずれが光
導波路７−２や光導波路７−３に入射する光の効率に大
きく影響し、この軸ずれや角度ずれの影響を緩和ｌ。１
、効率よく光導波路７−２や光導波路７−３に光を入射
させるためには、第３図に示すように！ノノズ８−１〜
８−３を振動板１と光導波路７−１〜７−３間に挿入す
る必要があり、さらには、これら光導波路７−１〜７−
３、レンズ８−１〜８−３、振動板１を微動台等を用い
て高精度に位置合わせすることも必要となるため、切り
替え部の構造が複雑化するとともに大型化してしまうと
いう問題点があった。
分は最大でも５０μｍ程度である。従って上記第１の適
用方法の場合、光軸と光導波路の軸ずれや角度ずれが光
導波路７−２や光導波路７−３に入射する光の効率に大
きく影響し、この軸ずれや角度ずれの影響を緩和ｌ。１
、効率よく光導波路７−２や光導波路７−３に光を入射
させるためには、第３図に示すように！ノノズ８−１〜
８−３を振動板１と光導波路７−１〜７−３間に挿入す
る必要があり、さらには、これら光導波路７−１〜７−
３、レンズ８−１〜８−３、振動板１を微動台等を用い
て高精度に位置合わせすることも必要となるため、切り
替え部の構造が複雑化するとともに大型化してしまうと
いう問題点があった。
また、振動板１の変位量は小さいため、光導波路７−２
．７−３を振動板１に近ずけて配置すると、例えば、振
動板１を変位させて、光導波路７−３に光が導波するよ
うにしても、光導波路７−２には光導波路７−３から光
が漏れ込んでしまい、このため、消光比は大きく取れな
いという問題点があり、これを解決するために消光比を
大きく取ろうとすると、振動板と光導波路の距離を大き
く取る必要があり、これもまた切り替え部の大型化につ
ながるという問題点があった。
．７−３を振動板１に近ずけて配置すると、例えば、振
動板１を変位させて、光導波路７−３に光が導波するよ
うにしても、光導波路７−２には光導波路７−３から光
が漏れ込んでしまい、このため、消光比は大きく取れな
いという問題点があり、これを解決するために消光比を
大きく取ろうとすると、振動板と光導波路の距離を大き
く取る必要があり、これもまた切り替え部の大型化につ
ながるという問題点があった。
また、上記Ｔｓ２の適用方法の場合は、同一の基板上に
第２図（ａ）に示す光スイッチを振動板１が変位するよ
うに固定し、しかも光導波路と振動板１の位置合わせは
高精度に行なうことができる構造にする必要があり、こ
のため、構造を複雑化し、さらに光導波路等の作製時の
工程が増加するという問題点があった。
第２図（ａ）に示す光スイッチを振動板１が変位するよ
うに固定し、しかも光導波路と振動板１の位置合わせは
高精度に行なうことができる構造にする必要があり、こ
のため、構造を複雑化し、さらに光導波路等の作製時の
工程が増加するという問題点があった。
本発明の目的は上記問題点に鑑み、レンズ及び高精度な
位置合わせが必要なくなり、光路の切り替え部の構造の
簡素化、小型化を図れ、しかも光路の切り替え、遮断を
容易に行なえる光スイッチを提供することにある。
位置合わせが必要なくなり、光路の切り替え部の構造の
簡素化、小型化を図れ、しかも光路の切り替え、遮断を
容易に行なえる光スイッチを提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記目的を達成するため、印加電圧のオン、
オフにより変位する振動部材を備えた光スイッチにおい
て、前記振動部材の先端に該振動部材が変位することに
より伝搬光の光路途中に出入りし伝搬光を反射または遮
断するエレメントを設けた。また、複数本の光導波路の
交差部に間隙を設け、変位することにより前記間隙に出
入し光導波路の伝搬光を反射または遮断し、かつ、一の
光導波路の伝搬光を他の光導波路に導波するように前記
エレメントを配設することは、光路の切り替えに効果的
である。
オフにより変位する振動部材を備えた光スイッチにおい
て、前記振動部材の先端に該振動部材が変位することに
より伝搬光の光路途中に出入りし伝搬光を反射または遮
断するエレメントを設けた。また、複数本の光導波路の
交差部に間隙を設け、変位することにより前記間隙に出
入し光導波路の伝搬光を反射または遮断し、かつ、一の
光導波路の伝搬光を他の光導波路に導波するように前記
エレメントを配設することは、光路の切り替えに効果的
である。
（作 用）
本発明によれば、振動部材への印加電圧をオン、オフす
ることにより振動部材は変位し、これに伴ない振動部材
の先端に設けたエレメントも変位し、エレメントは変位
することにより伝搬光の光路途中に出入りし伝搬光を反
射または遮断する。
ることにより振動部材は変位し、これに伴ない振動部材
の先端に設けたエレメントも変位し、エレメントは変位
することにより伝搬光の光路途中に出入りし伝搬光を反
射または遮断する。
また、エレメントを複数本の光導波路の交差部に設けら
れた間隙中に変位時に入り込むように配設することによ
り、光導波路の伝搬光を反射または遮断できるとともに
、一の光導波路の伝搬光を他の光導波路に導波すること
ができる。
れた間隙中に変位時に入り込むように配設することによ
り、光導波路の伝搬光を反射または遮断できるとともに
、一の光導波路の伝搬光を他の光導波路に導波すること
ができる。
（実施例）
第１図は、本発明による光スイッチの一実施例を示す斜
視図である。第１図において、１０は導電性材料、例え
ばＣｒ−ＡｕをＳ ｉＯ２表面に厚さ５００Ａ蒸むした
振動板、１１は振動板１０の先端に振動板１０の変位方
向に突出する如く設けられ、伝搬光を反射または遮断す
るエレメント、１２は振動板１１とは異なる導電性材料
、例えばＰ＋層を振動板１１面に対向する如く平行にか
つ隣接して配置された平板、１３は半導体または絶縁体
、例えばＰ−Ｓｉ層よりなる絶縁層、１４はＰ−８ｔ基
板、１５は電気スイッチ、１６は振動板１１と平板１２
間に電圧を印加するための電源、１７は振動板１０の後
一端側を絶縁層１２上に固定するための振動板固定部で
ある。
視図である。第１図において、１０は導電性材料、例え
ばＣｒ−ＡｕをＳ ｉＯ２表面に厚さ５００Ａ蒸むした
振動板、１１は振動板１０の先端に振動板１０の変位方
向に突出する如く設けられ、伝搬光を反射または遮断す
るエレメント、１２は振動板１１とは異なる導電性材料
、例えばＰ＋層を振動板１１面に対向する如く平行にか
つ隣接して配置された平板、１３は半導体または絶縁体
、例えばＰ−Ｓｉ層よりなる絶縁層、１４はＰ−８ｔ基
板、１５は電気スイッチ、１６は振動板１１と平板１２
間に電圧を印加するための電源、１７は振動板１０の後
一端側を絶縁層１２上に固定するための振動板固定部で
ある。
このような構成を有する光スイッチの動作原理を第４図
（ａ） 、 （ｂ）に基づいて説明すると、第４図（ａ
）に示すように、振動板１０及びエレメント１１が定常
状態のとき、即ち振動板１０と平板１２の間への印加電
圧がオフのときは、例えば空気中を伝搬してきた光（図
中、実線で示す）はエレメント１１により、図中破線で
示すように反射または遮断される。
（ａ） 、 （ｂ）に基づいて説明すると、第４図（ａ
）に示すように、振動板１０及びエレメント１１が定常
状態のとき、即ち振動板１０と平板１２の間への印加電
圧がオフのときは、例えば空気中を伝搬してきた光（図
中、実線で示す）はエレメント１１により、図中破線で
示すように反射または遮断される。
一方、光路を切り替えるときには、振動板１０と平板１
２間への印加電圧をオンにし、両者間に働く静電力によ
って振動板１０及びエレメント１１を第４図（ｂ）の状
態に変位させる。これにより、第４図（Ｌ＋）に示すよ
うに、空気中を伝搬してきた光はエレメント１１に当た
ることなくそのまま直進する。このように第１図に示す
光スイッチは、エレメント１１を振動板１０と平板１２
間へ印加する電圧をオン、オフして変位させることによ
り、伝搬する光の光路を切り替えられるようになってい
る。
２間への印加電圧をオンにし、両者間に働く静電力によ
って振動板１０及びエレメント１１を第４図（ｂ）の状
態に変位させる。これにより、第４図（Ｌ＋）に示すよ
うに、空気中を伝搬してきた光はエレメント１１に当た
ることなくそのまま直進する。このように第１図に示す
光スイッチは、エレメント１１を振動板１０と平板１２
間へ印加する電圧をオン、オフして変位させることによ
り、伝搬する光の光路を切り替えられるようになってい
る。
第５図は、本発明による光スイッチを光導波路を伝搬す
る光の切り替えに適用した第１の例を示す図である。第
５図において、２０−１．２０−２は光導波路で、第１
図で示した振動板１０の先端に設けられてエレメント１
１が、光導波路２０−１と光導波路２０−２の間に設け
られて°間隙２１中を変位することにより出入できるよ
うに配設しである。即ち、光スイッチの振動板１０と平
板１２間に印加する電圧をオン、オフすることによりエ
レメント１１が光導波路２０−１と光導波路２０−２の
間に設けられた間隙２１中で変位し、例えば光導波路２
０−１から光導波路２０−２への光路を開閉するように
なっている。第５図によれば、エレメント１１が間隙２
１中にある場合には、例えば光導波路２０−１を伝搬し
てきた光はエレメント１１により反射または遮断される
。逆に、エレメント１１が間隙２１中にない場合には、
光導波路２０−１を伝搬してきた光は光導波路２０−２
に導波される。このように、印加電圧をオン、オフし、
エレメント１１を変位させることで、入射側である光導
波路２０−２を伝搬する光を制御することができる。
る光の切り替えに適用した第１の例を示す図である。第
５図において、２０−１．２０−２は光導波路で、第１
図で示した振動板１０の先端に設けられてエレメント１
１が、光導波路２０−１と光導波路２０−２の間に設け
られて°間隙２１中を変位することにより出入できるよ
うに配設しである。即ち、光スイッチの振動板１０と平
板１２間に印加する電圧をオン、オフすることによりエ
レメント１１が光導波路２０−１と光導波路２０−２の
間に設けられた間隙２１中で変位し、例えば光導波路２
０−１から光導波路２０−２への光路を開閉するように
なっている。第５図によれば、エレメント１１が間隙２
１中にある場合には、例えば光導波路２０−１を伝搬し
てきた光はエレメント１１により反射または遮断される
。逆に、エレメント１１が間隙２１中にない場合には、
光導波路２０−１を伝搬してきた光は光導波路２０−２
に導波される。このように、印加電圧をオン、オフし、
エレメント１１を変位させることで、入射側である光導
波路２０−２を伝搬する光を制御することができる。
また、第６図は、本発明による光スイッチを光導波路を
伝搬する光の切り替えに適用した第２の例を示す図であ
る。第６図において、３０は光導波路基板、３１−１〜
３１−４は光導波路基板３０上に交差するように作製さ
れた光導波路で、第１図で示した振動板１０の先端に設
けられたエレメント１１が、光導波路３１−１〜３１−
４の交差部に設けられた間隙３２中を変位することによ
り出入りできるように配設しである。即ち、印加電圧を
オン、オフすることにより、エレメント１１が光導波路
３１−１．３１−４と光導波路３１−２．３１−３との
交差部に設けられた間隙３２中で変位し、光路を開閉す
るようになっている。第６図によれば、エレメント１１
が間隙中にない場合には、例えば、光導波路３１−１を
伝搬してきた光（図中、細い実線の矢印で示す）は光導
波路３１−４に、光導波路３１−３を伝搬してきた光（
図中、細い破線の矢印で示す）は光導波路３１−２に導
波される。逆に、エレメント１１が間隙３２中にある場
合には、光導波路３１−１及び光導波路３１−３を伝搬
してきた光はエレメント１１によって反射または遮断さ
れる。ここで、エレメント１１の両面が入射してきた光
を反射する構造であれば、光導波路３１−１を伝搬して
きた光（図中、太い実線の矢印で示す）は光導波路３１
−２に、光導波路３１−３を伝搬してきた光（図中、太
い破線の矢印で示す）は光導波路３１−４に導波される
。したがって、本例では印加電圧をオン、オフしエレメ
ント１１を変位させることにより光導波路を伝搬する光
の光路の切り替え、遮断が可能となっている。
伝搬する光の切り替えに適用した第２の例を示す図であ
る。第６図において、３０は光導波路基板、３１−１〜
３１−４は光導波路基板３０上に交差するように作製さ
れた光導波路で、第１図で示した振動板１０の先端に設
けられたエレメント１１が、光導波路３１−１〜３１−
４の交差部に設けられた間隙３２中を変位することによ
り出入りできるように配設しである。即ち、印加電圧を
オン、オフすることにより、エレメント１１が光導波路
３１−１．３１−４と光導波路３１−２．３１−３との
交差部に設けられた間隙３２中で変位し、光路を開閉す
るようになっている。第６図によれば、エレメント１１
が間隙中にない場合には、例えば、光導波路３１−１を
伝搬してきた光（図中、細い実線の矢印で示す）は光導
波路３１−４に、光導波路３１−３を伝搬してきた光（
図中、細い破線の矢印で示す）は光導波路３１−２に導
波される。逆に、エレメント１１が間隙３２中にある場
合には、光導波路３１−１及び光導波路３１−３を伝搬
してきた光はエレメント１１によって反射または遮断さ
れる。ここで、エレメント１１の両面が入射してきた光
を反射する構造であれば、光導波路３１−１を伝搬して
きた光（図中、太い実線の矢印で示す）は光導波路３１
−２に、光導波路３１−３を伝搬してきた光（図中、太
い破線の矢印で示す）は光導波路３１−４に導波される
。したがって、本例では印加電圧をオン、オフしエレメ
ント１１を変位させることにより光導波路を伝搬する光
の光路の切り替え、遮断が可能となっている。
本実施例によれば、振動板１０の先端に振動板１０の変
位方向に突出したエレメント１１を設け、振動板１０と
平板１２間に印加する電圧をオン。
位方向に突出したエレメント１１を設け、振動板１０と
平板１２間に印加する電圧をオン。
オフすることによりエレメント１１を変位させ、空気ま
たは光導波路を伝搬する光を反射または遮断できるよう
にしたので、光路、例えば光導波路の途中に設けた間隙
中をエレメント１１が出入りできるように配設するだけ
で、レンズ及び高精度な位置合わせを必要とすることな
く光路の切り替え、遮断が容易にでき、光路の切り替え
部の構造の簡素化、小型化を実現できる。
たは光導波路を伝搬する光を反射または遮断できるよう
にしたので、光路、例えば光導波路の途中に設けた間隙
中をエレメント１１が出入りできるように配設するだけ
で、レンズ及び高精度な位置合わせを必要とすることな
く光路の切り替え、遮断が容易にでき、光路の切り替え
部の構造の簡素化、小型化を実現できる。
尚、本実施例では振動板１０としてＳ ｉｏ ２表面に
Ｃｒ−Ａｕを蒸むしたものとし、平板１２をＰ 層とし
て説明したが、゛これに限定されるものではなく、両者
間に静電力が働く材料であれば良い。同様に、半導体ま
たは絶縁体からなる絶縁層１３をＰ−８ｉ層として説明
したが、これに限定されるものではなく振動板１０、平
板１２に電流が流れないものであれば良く、同様に基板
１４もＰ−８ｉ層に限定されるものでない。さらに、文
献”Ｄｙｎａｓｉｃ Ｍｌｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃｓ
ｏｎ ５ｉｌｉｃｏｎ ：Ｔｅｃｈｎｉｑｕｃｓ ａｎ
ｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ”に示されているように振動板を蒸
着・エツチング技術を用いて作製すれば、１７の振動板
固定部は必要がなくなる。
Ｃｒ−Ａｕを蒸むしたものとし、平板１２をＰ 層とし
て説明したが、゛これに限定されるものではなく、両者
間に静電力が働く材料であれば良い。同様に、半導体ま
たは絶縁体からなる絶縁層１３をＰ−８ｉ層として説明
したが、これに限定されるものではなく振動板１０、平
板１２に電流が流れないものであれば良く、同様に基板
１４もＰ−８ｉ層に限定されるものでない。さらに、文
献”Ｄｙｎａｓｉｃ Ｍｌｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃｓ
ｏｎ ５ｉｌｉｃｏｎ ：Ｔｅｃｈｎｉｑｕｃｓ ａｎ
ｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ”に示されているように振動板を蒸
着・エツチング技術を用いて作製すれば、１７の振動板
固定部は必要がなくなる。
また、振動板１０の先端に設けられたエレメント１１は
、振動板１０の先端を屈曲させ、この屈曲部に蒸着等の
処理を施したものでも、蒸着等の処理が施されたものを
先端に取り付けたものでもどちらでも良い。
、振動板１０の先端を屈曲させ、この屈曲部に蒸着等の
処理を施したものでも、蒸着等の処理が施されたものを
先端に取り付けたものでもどちらでも良い。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、印加電圧のオン
、オフにより変位する振動部材を備えた光スイッチにお
いて、前記振動部材の先端に振動部材が変位方向に突出
し、変位することにより伝搬光の光路途中に出入し伝搬
光を反射または遮断するエレメントを設けたので、エレ
メントが伝搬光の光路途中に出入りするだけで光路の切
り替えまたは遮断が容易にでき、しかもレンズおよび高
精度な位置合わせが必要なく、切り替え部の構造が簡単
で小型できるという利点がある。さらに、本発明の光ス
イッチは電流駆動タイプでないため、発熱による構成部
品の劣化がなく、低電力で駆動できる利点も有している
。
、オフにより変位する振動部材を備えた光スイッチにお
いて、前記振動部材の先端に振動部材が変位方向に突出
し、変位することにより伝搬光の光路途中に出入し伝搬
光を反射または遮断するエレメントを設けたので、エレ
メントが伝搬光の光路途中に出入りするだけで光路の切
り替えまたは遮断が容易にでき、しかもレンズおよび高
精度な位置合わせが必要なく、切り替え部の構造が簡単
で小型できるという利点がある。さらに、本発明の光ス
イッチは電流駆動タイプでないため、発熱による構成部
品の劣化がなく、低電力で駆動できる利点も有している
。
また、複数本の光導波路の交差部に間隙を設け、変位す
ることにより前記間隙に出入りし、光導波路の伝搬光を
反射または遮断し、かつ、一の光導波路の伝搬光を他の
光導波路に導波するように前記エレメントを配設するこ
とにより、一の光導波路を伝搬した光と他の光導波路に
導波し伝搬させることが容易に行なえる利点がある。
ることにより前記間隙に出入りし、光導波路の伝搬光を
反射または遮断し、かつ、一の光導波路の伝搬光を他の
光導波路に導波するように前記エレメントを配設するこ
とにより、一の光導波路を伝搬した光と他の光導波路に
導波し伝搬させることが容易に行なえる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による光スイッチの一実施例を示す斜視
図、第２図（ａ）は従来の光スイッチを示す斜視図、第
２図（ｂ）は第２図（ａ）の動作原理を説明するための
図、第３図は従来の光スイッチを光導波路の光路の切り
替えに適用した場合の説明図、第４図は第１図の動作原
理を説明するための図、第５図は本発明による光スイッ
チを光導波路の光路の切り替えに適用した第１の例を示
す図、第６図は本発明による光スイッチを光導波路の光
路の切り替えに適用した第２の例を示す図である。 図中、１０・・・振動板、１１・・・エレメント、１２
・・・平板、１３・・・絶縁層、１４・・・基板、１５
・・・電気スイッチ、１６・・・電源、１７・・・振動
板固定部、２０−１〜２０−２．３１−１〜３１−４・
・・光導波路、３０・・・光導波路基板。 特 許 出 願 人 日本電信電話株式会社代理人
弁理士 吉 １）精 孝 第２図 エレメント （ａ） （ｂ） 第１図の動作原理Σ説明するための図 第４図
図、第２図（ａ）は従来の光スイッチを示す斜視図、第
２図（ｂ）は第２図（ａ）の動作原理を説明するための
図、第３図は従来の光スイッチを光導波路の光路の切り
替えに適用した場合の説明図、第４図は第１図の動作原
理を説明するための図、第５図は本発明による光スイッ
チを光導波路の光路の切り替えに適用した第１の例を示
す図、第６図は本発明による光スイッチを光導波路の光
路の切り替えに適用した第２の例を示す図である。 図中、１０・・・振動板、１１・・・エレメント、１２
・・・平板、１３・・・絶縁層、１４・・・基板、１５
・・・電気スイッチ、１６・・・電源、１７・・・振動
板固定部、２０−１〜２０−２．３１−１〜３１−４・
・・光導波路、３０・・・光導波路基板。 特 許 出 願 人 日本電信電話株式会社代理人
弁理士 吉 １）精 孝 第２図 エレメント （ａ） （ｂ） 第１図の動作原理Σ説明するための図 第４図
Claims (2)
- （１）印加電圧のオン、オフにより変位する振動部材を
備えた光スイッチにおいて、 前記振動部材の先端に該振動部材が変位することにより
伝搬光の光路途中に出入りし伝搬光を反射または遮断す
るエレメントを設けた ことを特徴とする光スイッチ。 - （２）複数本の光導波路の交差部に間隙を設け、変位す
ることにより前記間隙に出入りし光導波路の伝搬光を反
射または遮断し、かつ、一の光導波路の伝搬光を他の光
導波路に導波するように前記エレメントを配設した請求
項１記載の光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404488A JPH01200317A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404488A JPH01200317A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 光スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200317A true JPH01200317A (ja) | 1989-08-11 |
Family
ID=12127483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2404488A Pending JPH01200317A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01200317A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321774A (en) * | 1993-07-30 | 1994-06-14 | National Research Council Of Canada | Polarization independent transmissive/reflective optical switch |
| US6389189B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-05-14 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
| US6404942B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-06-11 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
| US6643426B1 (en) | 1999-10-19 | 2003-11-04 | Corning Incorporated | Mechanically assisted release for MEMS optical switch |
| WO2004005997A1 (ja) * | 2002-07-09 | 2004-01-15 | Ntt Electronics Corporation | カンチレバ−、光ビ−ム調整装置、可変光減衰器、および、可変光減衰装置 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP2404488A patent/JPH01200317A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321774A (en) * | 1993-07-30 | 1994-06-14 | National Research Council Of Canada | Polarization independent transmissive/reflective optical switch |
| US6389189B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-05-14 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
| US6404942B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-06-11 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
| US6643426B1 (en) | 1999-10-19 | 2003-11-04 | Corning Incorporated | Mechanically assisted release for MEMS optical switch |
| WO2004005997A1 (ja) * | 2002-07-09 | 2004-01-15 | Ntt Electronics Corporation | カンチレバ−、光ビ−ム調整装置、可変光減衰器、および、可変光減衰装置 |
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