JPH01201153A - ｐＨ測定装置 - Google Patents
ｐＨ測定装置Info
- Publication number
- JPH01201153A JPH01201153A JP63023752A JP2375288A JPH01201153A JP H01201153 A JPH01201153 A JP H01201153A JP 63023752 A JP63023752 A JP 63023752A JP 2375288 A JP2375288 A JP 2375288A JP H01201153 A JPH01201153 A JP H01201153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- beaker
- measurement
- reference electrode
- fet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001139 pH measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ｐＨ測定装置に関する。更に詳しくは。
ｐ）ｌ測定を簡易化させたｐＨ測定装置に関する。
〔従来の技術〕および〔発明が解決しようとする課題〕
従来行われているｐＨ測定法は、周知の如く、バッチの
場合にはビー力などに被測定液を採取し。
従来行われているｐＨ測定法は、周知の如く、バッチの
場合にはビー力などに被測定液を採取し。
そこにガラスｐＨ電極を浸漬して測定する方法が行われ
ており、またオンラインの場合にはラインに電極を設置
し、モニタリングする方法によって行われている。
ており、またオンラインの場合にはラインに電極を設置
し、モニタリングする方法によって行われている。
しかしながら、これらの方法は、いずれも溶液の採取、
電極の浸漬あるいは設置などの作業を必要としており、
決して簡易化された方法であるとはいえない。
電極の浸漬あるいは設置などの作業を必要としており、
決して簡易化された方法であるとはいえない。
本発明は、ｐＨＮ定を簡易化させることを目的とし、そ
のためのｐＨ測定装置を提供する。
のためのｐＨ測定装置を提供する。
かかる目的を達成させる本発明のｐＨ測定装置は、筒状
体の内壁に、電界効果型トランジスタよりなるｐＨｊｌ
ｌ極およびその参照電極を固定してなる。
体の内壁に、電界効果型トランジスタよりなるｐＨｊｌ
ｌ極およびその参照電極を固定してなる。
各電極を内壁に固定させる筒状体、一般には円筒体は、
ガラス、プラスチック、金属などから製造され、バッチ
測定用にはビー力タイプのものが。
ガラス、プラスチック、金属などから製造され、バッチ
測定用にはビー力タイプのものが。
またオンライン測定用には流路に接続されるパイプタイ
プのものが一般に用いられる。
プのものが一般に用いられる。
図面の第１図は前者の、また第２図は後者の一態様を、
平面図（ａ）および中心線断面図（ｂ）として示したも
のである。即ち、ビー力１またはパイプ２の内壁には、
電界効果型トランジスタよりなるｐＨ電極３およびその
参照な極４がそれぞれ適当な固着手段により固シーされ
ている。筒状物の端部外壁部分には、これら電極の端子
が設置されており、即ち電界効果型トランジスタのソー
ス端子５およびドレイン端子６、ならびに参照電極用端
子７がそれぞれ設置されている。
平面図（ａ）および中心線断面図（ｂ）として示したも
のである。即ち、ビー力１またはパイプ２の内壁には、
電界効果型トランジスタよりなるｐＨ電極３およびその
参照な極４がそれぞれ適当な固着手段により固シーされ
ている。筒状物の端部外壁部分には、これら電極の端子
が設置されており、即ち電界効果型トランジスタのソー
ス端子５およびドレイン端子６、ならびに参照電極用端
子７がそれぞれ設置されている。
ｐＨ７ｍ極用の電界効果型トランジスタとしては、通常
のイオン感応性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）
が一般に用いられるが、これ以外にもガラスプレート、
プラスチックシートなどの絶縁性基板上にプラズマＣｖ
Ｄ法によりアモルファスシリコン層を形成させたイオン
感応性電界効果型トランジスタ（α−ＩＳＦＥＴ）など
も用いられる。
のイオン感応性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）
が一般に用いられるが、これ以外にもガラスプレート、
プラスチックシートなどの絶縁性基板上にプラズマＣｖ
Ｄ法によりアモルファスシリコン層を形成させたイオン
感応性電界効果型トランジスタ（α−ＩＳＦＥＴ）など
も用いられる。
更に、先に本発明者によって提案されているもの、即ち
ソースおよびドレインとなる２・つのｎ型領域を表面部
分に形成させたＰ型性シリコン基板上の二酸化けい素ゲ
ート絶縁層上に一酸化けい青黒着膜を形成せしめた電界
効果型トランジスタ（特願昭６２−３０９７４０号）や
アモルファスシリコン層によって被覆されたガラス基板
またはプラスチック基板上にｎ＋層および電極を順次形
成させ、更にアモルファス窒化シリコン層で被覆したイ
オン感応性電界効果型トランジスタ（特願昭６３−号）
なども用いることができる。
ソースおよびドレインとなる２・つのｎ型領域を表面部
分に形成させたＰ型性シリコン基板上の二酸化けい素ゲ
ート絶縁層上に一酸化けい青黒着膜を形成せしめた電界
効果型トランジスタ（特願昭６２−３０９７４０号）や
アモルファスシリコン層によって被覆されたガラス基板
またはプラスチック基板上にｎ＋層および電極を順次形
成させ、更にアモルファス窒化シリコン層で被覆したイ
オン感応性電界効果型トランジスタ（特願昭６３−号）
なども用いることができる。
また、これの参照電極としては、一般に銀／塩化銀電極
、金電極などが用いられるが、先にやはり本出願人によ
って提案されている参照電極、即ち電界効果型トランジ
スタの窒化けい素絶縁膜上にジ低級アルキルジクロロシ
ランを結合させたものはｐＨ２〜１２の範囲内で電位変
化がないので、このようなｐｏ感応性のないものは参照
電極としてより有効に機能する（特願昭６２−１４２１
６１号）。
、金電極などが用いられるが、先にやはり本出願人によ
って提案されている参照電極、即ち電界効果型トランジ
スタの窒化けい素絶縁膜上にジ低級アルキルジクロロシ
ランを結合させたものはｐＨ２〜１２の範囲内で電位変
化がないので、このようなｐｏ感応性のないものは参照
電極としてより有効に機能する（特願昭６２−１４２１
６１号）。
これらの各電極は、筒状体内壁に接着剤を用い。
あるいは交換容器なカセットタイプとして固定される。
測定は、ビー力タイプのものの場合にはそこに被測定液
を入れ、またパイプタイプの場合にはそこに被測定液を
通して、筒状体外壁側の各端子に接続された測定回路、
一般には通常用いられているｌ５ＦＥＴ用測定回路によ
り行われる。その際。
を入れ、またパイプタイプの場合にはそこに被測定液を
通して、筒状体外壁側の各端子に接続された測定回路、
一般には通常用いられているｌ５ＦＥＴ用測定回路によ
り行われる。その際。
温度補償のために、熱電対、サーミスタを一体形成させ
ることもできる。
ることもできる。
従来用いられているガラスｐＨ電極は筒状体のため、こ
れの一体化は困難であったが、電界効果型トランジスタ
をｐＨ電極として用いることにより、装置内への一体化
が可能となった。それによる効果は大きく、バッチタイ
プ、オンラインタイプのいずれにおいてもｐＨ？ｌ１ｇ
定の作業性が著しく向上し、またどちらも独立した部品
として取り扱うことができるという取扱性上での利点も
みられる。
れの一体化は困難であったが、電界効果型トランジスタ
をｐＨ電極として用いることにより、装置内への一体化
が可能となった。それによる効果は大きく、バッチタイ
プ、オンラインタイプのいずれにおいてもｐＨ？ｌ１ｇ
定の作業性が著しく向上し、またどちらも独立した部品
として取り扱うことができるという取扱性上での利点も
みられる。
次に、実施例について本発明を説明する。
実施例１
容量５００＋ａ Ｑのビー力の内壁に、ｌ５ＦＥＴより
なるρ１１電極および銀／塩化銀参照電極を接着し、そ
こに各ｐｌ＋の２０ｍＭ Ｔｒｉｓ−ＨＣ１２緩衝水溶
液を満たして、２５℃で出力電力を測定した。その結果
は、次の表に示され、感度はＩＰＨ当り５８ＩＩ＋ Ｖ
の値を示した。
なるρ１１電極および銀／塩化銀参照電極を接着し、そ
こに各ｐｌ＋の２０ｍＭ Ｔｒｉｓ−ＨＣ１２緩衝水溶
液を満たして、２５℃で出力電力を測定した。その結果
は、次の表に示され、感度はＩＰＨ当り５８ＩＩ＋ Ｖ
の値を示した。
（以下余白）
」Ｌ カ電ｌｌ１ｖ
実施例２
内径１０＋ｍの塩化ビニル管の内壁に、ｌ５ＦＥＴより
なるｐＨ電極および銀／塩化銀参照電極を接着し、そこ
に各ｐＨの２０ａ＋Ｍ Ｔｒｉｓ−ＨＣｎ水溶液をペリ
スタポンプを用いて毎分１＋ｍｆｌの流量で、上記塩化
ビニル管に接続された他の塩化ビニル管から流し、２５
℃での出力電力を測定した。その結果は次の表に示され
、感度はＩＰ）Ｉ当り、５８ｍ Ｖの値を示した。
なるｐＨ電極および銀／塩化銀参照電極を接着し、そこ
に各ｐＨの２０ａ＋Ｍ Ｔｒｉｓ−ＨＣｎ水溶液をペリ
スタポンプを用いて毎分１＋ｍｆｌの流量で、上記塩化
ビニル管に接続された他の塩化ビニル管から流し、２５
℃での出力電力を測定した。その結果は次の表に示され
、感度はＩＰ）Ｉ当り、５８ｍ Ｖの値を示した。
＝１− 力電位（ｍＶ
第１図および第２図は、それぞれ本発明に係るｐ Ｈｉ
ｌｌ！ｌ定装置の一態様の平面図（ａ）および中心線断
面図（ｂ）である。 （符号の説明） ｌ・・・・・・ビー力 ２・・・・・・パイプ ３・・・・・・ｐＨ電極 ４・・・・・・参照電極
ｌｌ！ｌ定装置の一態様の平面図（ａ）および中心線断
面図（ｂ）である。 （符号の説明） ｌ・・・・・・ビー力 ２・・・・・・パイプ ３・・・・・・ｐＨ電極 ４・・・・・・参照電極
Claims (1)
- １、筒状体の内壁に、電界効果型トランジスタよりなる
ｐＨ電極およびその参照電極を固定してなるｐＨ測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63023752A JPH01201153A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | ｐＨ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63023752A JPH01201153A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | ｐＨ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01201153A true JPH01201153A (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=12119047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63023752A Pending JPH01201153A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | ｐＨ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01201153A (ja) |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63023752A patent/JPH01201153A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5376255A (en) | Gas sensor | |
| US4764797A (en) | Chemical-sensitive semiconductor device | |
| US4305802A (en) | Compound chemically sensitive element | |
| US4739380A (en) | Integrated ambient sensing devices and methods of manufacture | |
| US4592824A (en) | Miniature liquid junction reference electrode and an integrated solid state electrochemical sensor including the same | |
| US10739305B1 (en) | Biosensing systems and methods using a FET | |
| JPH02232554A (ja) | センサー構造 | |
| US20040035699A1 (en) | Method and fabrication of the potentiometric chemical sensor and biosensor based on an uninsulated solid material | |
| JPH04343065A (ja) | バイオセンサ | |
| US5417837A (en) | Small glass electrode | |
| JPH07311175A (ja) | 電流検出型イオン選択性電極 | |
| US7638157B2 (en) | Method of fabricating electrode assembly of sensor | |
| JPH037066B2 (ja) | ||
| JP3167022B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH03131749A (ja) | 水素ガスセンサ | |
| JPS63208753A (ja) | 免疫センサ及び免疫検出方法 | |
| WO2011155815A1 (en) | Reusable miniaturized reference electrode | |
| JPH06288977A (ja) | 電極構造体 | |
| US8410530B2 (en) | Sensitive field effect transistor apparatus | |
| KR910006275B1 (ko) | 감이온 전계효과 트랜지스터를 이용한 이온 농도 측정용 마이크로 프로브 | |
| JPS6312252B2 (ja) | ||
| JPH0329742Y2 (ja) | ||
| JP2855718B2 (ja) | ポテンショメトリックセンサ | |
| JPS62250353A (ja) | 半導体化学センサ | |
| KR0177196B1 (ko) | 감이온 전계효과 트랜지스터 pH 센서를 이용한 새로운 용존산소센서 |