JPH01202089A - カラー固体撮像装置 - Google Patents
カラー固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH01202089A JPH01202089A JP63026134A JP2613488A JPH01202089A JP H01202089 A JPH01202089 A JP H01202089A JP 63026134 A JP63026134 A JP 63026134A JP 2613488 A JP2613488 A JP 2613488A JP H01202089 A JPH01202089 A JP H01202089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- film
- state imaging
- imaging device
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー固体撮像装置に関し、さらに詳しくは
、赤外線カットフィルタを内蔵したカラー固体撮像装置
に関する。
、赤外線カットフィルタを内蔵したカラー固体撮像装置
に関する。
従来の技術
従来のカラー固体撮像装置について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第2図は従来のカラー固体撮像装置を示すものである。
1は半導体基板である。2は半導体基板1内に設けられ
たPN接合フォトダイオードである。3は層間絶縁膜で
ある。4はカラーフィルタの役目をなす染色膜でゼラチ
ン、カゼインなどを酸性染料により着色を施すことで形
成され、イエロー(4Ye)、シアン(4Cy)、マゼ
ンl(4Ye)で構成されている。6は中間膜で新たに
染色膜を形成するため酸性染料で着色する際に、すでに
染色を行なった部分が再度染色されないだめに設けられ
る。6はカラー固体撮像装置全体を保護するだめの保護
膜である。7は赤外線カットフィルタである。以上のよ
うな構成によりカラー固体撮像装置は形成されている。
たPN接合フォトダイオードである。3は層間絶縁膜で
ある。4はカラーフィルタの役目をなす染色膜でゼラチ
ン、カゼインなどを酸性染料により着色を施すことで形
成され、イエロー(4Ye)、シアン(4Cy)、マゼ
ンl(4Ye)で構成されている。6は中間膜で新たに
染色膜を形成するため酸性染料で着色する際に、すでに
染色を行なった部分が再度染色されないだめに設けられ
る。6はカラー固体撮像装置全体を保護するだめの保護
膜である。7は赤外線カットフィルタである。以上のよ
うな構成によりカラー固体撮像装置は形成されている。
発明が解決しようとする課題
可視光に比べ赤外線は半導体基板の深部まで透光し、深
部で電荷を発生させ、この電荷が偽信号となり、固体撮
像装置の特性を大きく損なう。そのために赤外線カット
フィルタ7が設けられているがカラー固体撮像装置の外
に付けられるため。
部で電荷を発生させ、この電荷が偽信号となり、固体撮
像装置の特性を大きく損なう。そのために赤外線カット
フィルタ7が設けられているがカラー固体撮像装置の外
に付けられるため。
小型化、軽量化を十分に満しているものではなかった。
本発明は上記の欠点を解決するためになされたもので従
来の赤外線カットフィルタを外付けすることなく、カラ
ー固体撮像装置の赤外線による影響を防ぎ実用にたるカ
ラー固体撮像装置を提供するものである。
来の赤外線カットフィルタを外付けすることなく、カラ
ー固体撮像装置の赤外線による影響を防ぎ実用にたるカ
ラー固体撮像装置を提供するものである。
課題を解決するだめの手段
本発明のカラーフィルタは、中間膜、保護膜に用いる透
光性アクリル系樹脂に赤外線吸収剤を分散させた樹脂を
用いることにより構成されている。
光性アクリル系樹脂に赤外線吸収剤を分散させた樹脂を
用いることにより構成されている。
作用
この構成によって、中間膜、保護膜が従来の役目の他に
赤外線カットフィルタとしての役目もすることから、赤
外線カラーフィルタを別途に設けることなく、赤外線カ
ット機能も備えたカラー固体撮像装置となる。
赤外線カットフィルタとしての役目もすることから、赤
外線カラーフィルタを別途に設けることなく、赤外線カ
ット機能も備えたカラー固体撮像装置となる。
実施例
以下に、本発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第1図は、本発明の一実施例のカラーフィルタを示すも
のである。
のである。
1oは、半導体基板である。11は、半導体基板1o内
に設けられたPM接合フォトダイオードである。12は
、層間絶縁膜である。13は、カラーフィルタの役目を
なす染色膜でゼラチン、カゼインなどを酸性染料により
着色を施すことで形成され、イエロー染色膜(13Ye
)、シアン染色膜(100M)、?ゼンタ染色膜(13
Ye)で構成されている。14は中間膜で新だに染色膜
を形成するために酸性染料で染色をする際に、すでに着
色されている部分がふたたび染色されないために設けら
れている。ここで用いる中間膜材料として。
に設けられたPM接合フォトダイオードである。12は
、層間絶縁膜である。13は、カラーフィルタの役目を
なす染色膜でゼラチン、カゼインなどを酸性染料により
着色を施すことで形成され、イエロー染色膜(13Ye
)、シアン染色膜(100M)、?ゼンタ染色膜(13
Ye)で構成されている。14は中間膜で新だに染色膜
を形成するために酸性染料で染色をする際に、すでに着
色されている部分がふたたび染色されないために設けら
れている。ここで用いる中間膜材料として。
たとえば、透光性熱硬化型塗膜材料が用いられ、赤外線
カットフィルタの働きをもたせるため赤外線吸収材料が
用いられている。上記の透光性熱硬化型塗膜材料に必要
する赤外線吸収量に応じた量だけ赤外線吸収材料を含ま
せておく。15は、カラー固体撮像装置全体を保護する
だめの保護膜である。保護膜に用いる材料についても上
記の透光性熱硬化型塗膜材料に赤外線吸収材料を含ませ
た樹脂である。
カットフィルタの働きをもたせるため赤外線吸収材料が
用いられている。上記の透光性熱硬化型塗膜材料に必要
する赤外線吸収量に応じた量だけ赤外線吸収材料を含ま
せておく。15は、カラー固体撮像装置全体を保護する
だめの保護膜である。保護膜に用いる材料についても上
記の透光性熱硬化型塗膜材料に赤外線吸収材料を含ませ
た樹脂である。
以上のように構成されたカラー固体撮像装置では、中間
膜14.保護膜16が膜内に含まれている赤外線吸収材
料により1本来の中間膜、保護膜としての機能をはだす
だけでなく赤外線カットフィルタとしての機能も合せ持
つ。そのため、従来、外付けされていた赤外線カットフ
ィルタが必要なく、小型化、軽量化が可能となる。
膜14.保護膜16が膜内に含まれている赤外線吸収材
料により1本来の中間膜、保護膜としての機能をはだす
だけでなく赤外線カットフィルタとしての機能も合せ持
つ。そのため、従来、外付けされていた赤外線カットフ
ィルタが必要なく、小型化、軽量化が可能となる。
なお、本発明の一実施例では、中間膜、保護膜の両方の
膜中に赤外線吸収材料を含ませたが、赤外線カットフィ
ルタの機能の度合に応じて赤外線吸収材料を含ませた膜
の組合せは自由に変更できる。また、本発明は、カラー
フィルタを設けない白黒用固体撮像装置にも赤外線吸収
材料を含む透光性熱硬化型塗膜材料を塗布し膜形成する
ことにより赤外線カットフィルタを内蔵した白黒用固体
撮像装置にすることが可能である。また、本実施例では
、中間膜、保護膜の塗膜材料として透光性熱硬化型塗膜
材料を用いているが、たとえば透光性光硬化型塗膜材料
など別種の塗膜材料を用いてもよい。
膜中に赤外線吸収材料を含ませたが、赤外線カットフィ
ルタの機能の度合に応じて赤外線吸収材料を含ませた膜
の組合せは自由に変更できる。また、本発明は、カラー
フィルタを設けない白黒用固体撮像装置にも赤外線吸収
材料を含む透光性熱硬化型塗膜材料を塗布し膜形成する
ことにより赤外線カットフィルタを内蔵した白黒用固体
撮像装置にすることが可能である。また、本実施例では
、中間膜、保護膜の塗膜材料として透光性熱硬化型塗膜
材料を用いているが、たとえば透光性光硬化型塗膜材料
など別種の塗膜材料を用いてもよい。
発明の詳細
な説明したように本発明では、従来の欠点であっだ外付
けを必要とする赤外線カットフィルタを中間膜および保
護膜を形成する塗膜材料中に赤外線吸収材料を含ませる
ことでカラー固体撮像装置に内蔵し、実用に足るカラー
固体撮像装置を可能とした。したが−て、本発明の男う
−固体撮像装置に与える効果は大なるものがある。
けを必要とする赤外線カットフィルタを中間膜および保
護膜を形成する塗膜材料中に赤外線吸収材料を含ませる
ことでカラー固体撮像装置に内蔵し、実用に足るカラー
固体撮像装置を可能とした。したが−て、本発明の男う
−固体撮像装置に与える効果は大なるものがある。
第1図は、本発明の一実施例のカラー固体撮像装置の断
面図、第2図は、従来のカラー固体撮像装置の断面図で
ある。 10・・・・・・半導体基板、13Ye113Cy、1
3Mg・・・・・・着色膜、14・・・・・・中間膜2
15・・・・・・保護膜。
面図、第2図は、従来のカラー固体撮像装置の断面図で
ある。 10・・・・・・半導体基板、13Ye113Cy、1
3Mg・・・・・・着色膜、14・・・・・・中間膜2
15・・・・・・保護膜。
Claims (1)
- 染色膜と、赤外線吸収材を展開させた高分子材料から形
成された中間膜、保護膜を組み合わせて形成されたカラ
ーフィルタを有することを特徴とするカラー固体撮像装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026134A JPH01202089A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026134A JPH01202089A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01202089A true JPH01202089A (ja) | 1989-08-15 |
Family
ID=12185083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63026134A Pending JPH01202089A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | カラー固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01202089A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373204A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−撮像素子 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63026134A patent/JPH01202089A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373204A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−撮像素子 |
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