JPH01203429A - Modified polysilazane and production thereof - Google Patents

Modified polysilazane and production thereof

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JPH01203429A
JPH01203429A JP2829588A JP2829588A JPH01203429A JP H01203429 A JPH01203429 A JP H01203429A JP 2829588 A JP2829588 A JP 2829588A JP 2829588 A JP2829588 A JP 2829588A JP H01203429 A JPH01203429 A JP H01203429A
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polysilazane
reaction
solvent
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average molecular
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舟山 徹
Mikiro Arai
新井 幹郎
Takeshi Isoda
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Abstract

PURPOSE:To obtain modified polysilazane suitable as a precursor for silicone nitride and silicon nitride-containing ceramic, by reacting a specific polysilazane with a secondary amine and substituted hydrazine under a basic condition. CONSTITUTION:(A) A polysilazane which contains one or more hydrogens on silicon atom. and has 100-50,000 average molecular weight is reacted with (B) a secondary amine or a 1,1,2-substituted hydrazine under a basic condition to give a modified polysilazane shown by formula I or formula II [-NR<3>R<4> is secondary amine residue; -N(R<5>)NR<3>R<4> is 1,1,2-substituted hydrazine residue].

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明・は改質ポリシラザンおよびその製造法に関し、
更に詳しくは窒化珪素および窒化珪素含有セラミックス
の前駆体として使用することのできる改質ポリシラザン
およびその製造法に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a modified polysilazane and a method for producing the same;
More specifically, the present invention relates to a modified polysilazane that can be used as a precursor for silicon nitride and silicon nitride-containing ceramics, and a method for producing the same.

〔従来技術〕[Prior art]

窒化珪素焼結体は、高温強度、耐熱衝撃性、耐酸化性に
優れているため、ガスタービン、ディーゼルエンジン等
の高温構造材料として、或いは切削用バイト等、省エネ
ルギー、省資源に多大の寄与をし得る高性能材料の一つ
として重要である。
Silicon nitride sintered bodies have excellent high-temperature strength, thermal shock resistance, and oxidation resistance, so they can be used as high-temperature structural materials for gas turbines, diesel engines, etc., or as cutting tools, making a great contribution to energy and resource conservation. It is important as one of the possible high-performance materials.

従来、窒化珪素の製造方法としては、■金属シリコン粉
末を窒素又はアンモニア気流中で、1300℃〜150
0℃で加熱して直接窒化するシリコン直接窒化法、■シ
リカ又は含シリカ物質を炭素と共に窒素雰囲気下で加熱
し、炭素でシリカを還元して、生成するケイ素と窒素と
を反応させるシリカ還元法、■四塩化珪素とアンモニア
とを高温で直接反応せしめる気相合成法、■四塩化珪素
をアンモノリシスして得られるシリコンジイミドを非酸
化性雰囲気中で加熱して窒化珪素を得るイミド熱分解法
等が採用されている。
Conventionally, methods for producing silicon nitride include: heating metal silicon powder at 1300°C to 150°C in a nitrogen or ammonia stream;
Silicon direct nitriding method, in which the silicon is directly nitrided by heating at 0°C; ■ Silica reduction method, in which silica or a silica-containing substance is heated together with carbon in a nitrogen atmosphere, the silica is reduced with carbon, and the produced silicon reacts with nitrogen. , ■ Gas phase synthesis method in which silicon tetrachloride and ammonia are directly reacted at high temperature, ■ Imide thermal decomposition method in which silicon diimide obtained by ammonolysis of silicon tetrachloride is heated in a non-oxidizing atmosphere to obtain silicon nitride, etc. has been adopted.

しかしながら、上記■の方法の場合には、反応時間が長
く、加熱工程が煩雑である上、得られる窒化珪素は粗大
で不純物を多く含むβ型窒化珪素が主体であり、■の方
法の場合には、原料の精製が困難なばかりでなく、反応
時間が長く、得られる生成物はα型窒化珪素とβ型窒化
珪素の混合系であり、■の方法の場合には、生成した窒
化珪素は一般に非晶質であり、■の方法の場合には、高
純度のα型窒化珪素を収率よく製造し得るという利点が
有るものの、窒化珪素前駆体であるシリコンジイミド(
Si(NH)2〕xは溶媒に溶けないために実質的に用
途が限定されざるを得ない等の欠点があった。
However, in the case of method (2) above, the reaction time is long, the heating process is complicated, and the silicon nitride obtained is mainly β-type silicon nitride that is coarse and contains many impurities. In method (2), not only is it difficult to purify the raw materials, but the reaction time is long, and the product obtained is a mixed system of α-type silicon nitride and β-type silicon nitride. Generally, it is amorphous, and although method (2) has the advantage of producing high-purity α-type silicon nitride in good yield, silicon diimide (silicon diimide, which is a silicon nitride precursor)
Since Si(NH)2]x is not soluble in solvents, it has drawbacks such as its practical use being limited.

更に、最近、有機ポリシラザンを熱分解して得られるポ
リシラザンを800〜2000℃で加熱して窒化珪素を
合成する方法も提案されている(斉藤肇、繊維学会誌、
VoQ 38 &1、頁65−72(1982年〕)が
、この方法では窒化珪素と同時に炭化珪素や遊離の炭素
が生成するという欠点が有った。
Furthermore, a method has recently been proposed in which silicon nitride is synthesized by heating polysilazane obtained by thermally decomposing organic polysilazane at 800 to 2000°C (Hajime Saito, Journal of the Japan Institute of Textile Technology,
VoQ 38 &1, pp. 65-72 (1982), however, this method had the disadvantage that silicon carbide and free carbon were produced simultaneously with silicon nitride.

一方、溶媒に可溶である無機ポリシラザンは、1921
年に5tack (Bar、、54. (1921) 
、p740)等によって合成されており、1983年に
は5eyferth(Co+um、Am。
On the other hand, inorganic polysilazane that is soluble in solvents is
5 tack in a year (Bar, 54. (1921)
, p740), etc., and in 1983, 5eyferth (Co+um, Am.

Ceram、Soc、C−13/14. (83)3等
によって、これが窒化珪素前駆体として有用であること
が証明されている。本発明者等は、かかる観点に注目し
無機ポリシラザンを加熱処理することにより、高純度の
α型窒化珪素を得る方法を提案した(特開昭59−20
7812号)。
Ceram, Soc, C-13/14. (83)3 and others have shown that it is useful as a silicon nitride precursor. The present inventors focused on this point of view and proposed a method for obtaining highly pure α-type silicon nitride by heat-treating inorganic polysilazane (Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-2011).
No. 7812).

しかしながら、従来の無機ポリシラザンの製造方法にお
いては、何れの場合も気化性の高いジクロロシランを原
料として用いるために、■反応装置のガス配管又は反応
器壁に生成したポリシラザンが固着してガス流路を閉塞
する恐れがある、■上記弊害を防止するためには反応温
度を低温に維持してジクロロシランの飛散を防止する必
要が有る、■ジクロロシランは毒性及び引火性が強いの
で低温密閉容器に入れて利用せねばならないなど取扱が
煩雑である等の欠点があった。更に、合成されたポリシ
ラザンは5tack等の場合には。
However, in the conventional manufacturing method of inorganic polysilazane, since highly volatile dichlorosilane is used as a raw material in all cases, the polysilazane produced sticks to the gas piping or the reactor wall of the reactor and damages the gas flow path. - In order to prevent the above-mentioned adverse effects, it is necessary to maintain the reaction temperature at a low temperature to prevent dichlorosilane from scattering. - Dichlorosilane is highly toxic and flammable, so it should not be stored in a closed container at low temperatures. There were disadvantages such as complicated handling, such as having to put it in and use it. Furthermore, in the case of synthesized polysilazane such as 5tack.

−(SiH,NH)n−の構造を有するn=7−8のオ
リゴマーにすぎず常温では粘性のある液体であり、5a
yferth等の場合には、5tack等の場合より複
雑な構造を有し、5i−H/N−Hのプロトン比が約3
.3のオイル状液体であるが、約200℃で加熱する、
あるいは室温で3〜5日放置することにより固化するも
のであり、いずれのポリシラザンの場合であっても、常
温で賦形化した窒化珪素焼結体のための前駆体とした十
分な性質を有しているとは言えるものではなかった。
It is only an oligomer with n=7-8 having the structure -(SiH,NH)n-, and is a viscous liquid at room temperature.
In the case of yferth etc., it has a more complicated structure than in the case of 5tack etc., and the proton ratio of 5i-H/N-H is about 3.
.. It is an oil-like liquid in step 3, but it is heated at about 200°C.
Alternatively, it solidifies by being left at room temperature for 3 to 5 days, and any polysilazane has sufficient properties to be used as a precursor for a silicon nitride sintered body shaped at room temperature. I couldn't say that I was doing it.

したがって、より高い分子量と曳糸性を有する窒化珪素
の前駆体として有用なポリシラザンをより収率よくかつ
より容易に合成できる方法の開発が望まれていた。
Therefore, it has been desired to develop a method for easily synthesizing polysilazane with higher molecular weight and stringability, which is useful as a silicon nitride precursor, with higher yield.

〔目  的〕〔the purpose〕

本発明の目的は、窒化珪素前駆体として好適な新規な改
質されたポリシラザンを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a novel modified polysilazane suitable as a silicon nitride precursor.

〔構  成〕〔composition〕

本発明によれば、数平均分子量100−50,000の
ポリシラザン分子中に、下記一般式(1)〜(If)で
表わされる結合を導入したことを特徴とする改質ポリシ
ラザンが提供される。
According to the present invention, there is provided a modified polysilazane characterized in that bonds represented by the following general formulas (1) to (If) are introduced into polysilazane molecules having a number average molecular weight of 100 to 50,000.

一般式(1) 一般式(II) /R’ ”N′ “IXR・ (式中、−N−R’は、1,1.2−置換ヒドラジン残
基を示す)本発明の改質ポリシラザンの出発原料として
用いられる原料ポリシラザンは、珪素原子に少なくとも
1個の水素原子を有するもので、次の一般式で表わされ
る骨格を有するものである。
General formula (1) General formula (II) /R'``N' ``IXR・ (In the formula, -NR' represents a 1,1,2-substituted hydrazine residue) of the modified polysilazane of the present invention The raw material polysilazane used as a starting material has at least one hydrogen atom in a silicon atom, and has a skeleton represented by the following general formula.

前記式中 nl及びR2は、水素原子、又は置換基を有
していてもよいアルキル基、アルケニル基。
In the above formula, nl and R2 are a hydrogen atom, or an alkyl group or alkenyl group which may have a substituent.

シクロアルキル基、アルキルアミノ基、アリール基、ア
ルアルキル基もしくはアルキルシリル基を示す。この場
合、アルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、
ブチル、オクチル、デシル等が挙げられ、アルケニル基
としては、ビニル、アリル、ブテニル、オクテニル、デ
セニル等が挙げられ、シクロアルキル基としては、シク
ロヘキシル、メチルシクロヘキシル等が挙げられ、アル
キルアミノ基としては、メチルアミノ基、エチルアミノ
基等が挙げられ、アリール基としてはフェニル、トリル
、キシリル、ナフチル等が挙げられ、アルアルキル基と
しては、ベンジル基が挙げられ、アルキルシリル基とし
ては、メチルシリル、エチルシリル、プロピルシリル、
ブチルシリル、オクチルシリル、デシルシリル等が挙げ
られる。また。
It represents a cycloalkyl group, alkylamino group, aryl group, aralkyl group or alkylsilyl group. In this case, the alkyl group includes methyl, ethyl, propyl,
Examples include butyl, octyl, decyl, etc., alkenyl groups include vinyl, allyl, butenyl, octenyl, decenyl, etc., cycloalkyl groups include cyclohexyl, methylcyclohexyl, etc., and alkylamino groups include: Examples of the aryl group include phenyl, tolyl, xylyl, naphthyl, etc., examples of the aralkyl group include benzyl group, and examples of the alkylsilyl group include methylsilyl, ethylsilyl, propylsilyl,
Examples include butylsilyl, octylsilyl, decylsilyl and the like. Also.

前記置換基としては、珪素原子に結合する水素原子に反
応性を示さないものであればよく、アルキル基やアリー
ル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基等が挙げ
られる。
The substituent may be any substituent as long as it does not show reactivity with the hydrogen atom bonded to the silicon atom, and examples thereof include an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, and the like.

本発明の原料ポリシラザンは、100〜so、oooの
数平均分子量を有するもので、環状ポリシラザン、鎖状
ポリシラザンあるいはそれらの混合物から構成される。
The raw material polysilazane of the present invention has a number average molecular weight of 100 to so, ooo, and is composed of a cyclic polysilazane, a chain polysilazane, or a mixture thereof.

本発明において好ましく用いられる原料ポリシラザンは
、数平均分子量300〜2000好ましくは600〜1
 、000の鎖状ポリシラザンである。
The raw material polysilazane preferably used in the present invention has a number average molecular weight of 300 to 2000, preferably 600 to 1.
, 000 chain polysilazane.

前記で示したポリシラザンは、下記に示す如き従来公知
の方法で合成することができる。
The polysilazane shown above can be synthesized by a conventionally known method as shown below.

■本発明者特許出、11i(時開6O−145903)
・5iHzC& +2Py →5iH2(4・2Py 
adduct・5iH2CQ2・2Py adduct
 + 3NHx→−+Sin、 N旧y ” 2NH4
CQ ” 2Py■D、5eyferthら(USP 
4,397,828)■A、5tack(Ber、54
. (1921) 、P−740)ベンゼン ・SiH,(4+  3NH,−→ −(SiH,Nu
チバ + 2NH4CΩ■す、M、5cantlinら
、Inorg、Chem、1972,11■ B、J、
Aylett(USP  3,318,823)・Si
n、Cム+MもN)I→H,Si (洲も)2十N〜N
H・HCQ・H,Si(Me、)、  +  Mell
JH,→ −(H,SiNMe)■ +  Ne、NH
+  1%■D、5eyferthら(tlsP 4,
482,669)・MeSi)ICQ、  +  2P
y  −4MeSiHCfl、・2Py  adduc
t・MaSiH(122・2Py  adduct  
+  3NH,→(MaSiHNH% +  2Py 
 +  2NH,CI2本発明においては、前記出発原
料であるポリシラザンを塩基性条件下で第2級アミン又
は1,1.2−置換ヒドラジンと脱水素縮合反応(以下
、単に縮合反応とも言う)させる。
■Patent issued by the inventor, 11i (Jikai 6O-145903)
・5iHzC& +2Py →5iH2(4・2Py
adduct・5iH2CQ2・2Py adduct
+ 3NHx→-+Sin, N old y” 2NH4
CQ” 2Py■D, 5eyferth et al. (USP
4,397,828) ■A, 5 tack (Ber, 54
.. (1921), P-740) Benzene・SiH, (4+ 3NH, −→ −(SiH, Nu
Ciba + 2NH4CΩ■S, M, 5cantlin et al., Inorg, Chem, 1972, 11■ B, J,
Aylett (USP 3,318,823)・Si
n, Cmu + M also N) I → H, Si (Su too) 20N~N
H・HCQ・H,Si(Me,), + Mell
JH, → −(H, SiNMe)■ + Ne, NH
+ 1%■D, 5eyferth et al. (tlsP 4,
482,669)・MeSi)ICQ, + 2P
y-4MeSiHCfl, 2Py adduc
t・MaSiH(122・2Py adduct
+ 3NH, → (MaSiHNH% + 2Py
+ 2NH, CI2 In the present invention, the polysilazane as the starting material is subjected to a dehydrogenation condensation reaction (hereinafter also simply referred to as condensation reaction) with a secondary amine or 1,1.2-substituted hydrazine under basic conditions.

本発明における第2級アミンとしては、芳香族系及び脂
肪族系のものを用いることができ、次の一般式で表わす
ことができる。
Aromatic and aliphatic secondary amines can be used as the secondary amine in the present invention, and can be represented by the following general formula.

この式中、R”、R’は前記R1及びR2の場合と同様
に置換基を有していてもよいアルキル基、アルケニル基
、シクロアルキル基、アリール基又はアルアルキル基を
表わす。
In this formula, R'' and R' represent an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or an aralkyl group which may have a substituent as in the case of R1 and R2.

この第2級アミンの具体例としては、例えば、ジメチル
アミン、ジエチルアミン、メチルエチルアミン、ジプロ
ピルアミン、ジイソプロピルアミン、メチルプロピルア
ミン、ジブチルアミン、シアミルアミン、ジアリルアミ
ン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジアリルア
ミン、アリルシクロヘキシルアミン、メチルアニリン、
エチルアニリン、ジベンジルアミン、ジフェニルアミン
、ジシクロヘキシルアミン、N−シクロへキシルアニリ
ン等を挙げることができる。
Specific examples of this secondary amine include dimethylamine, diethylamine, methylethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, methylpropylamine, dibutylamine, cyamylamine, diallylamine, diheptylamine, dioctylamine, diallylamine, allylcyclohexyl amine, methylaniline,
Examples include ethylaniline, dibenzylamine, diphenylamine, dicyclohexylamine, and N-cyclohexylaniline.

本発明における1、1.2−!換ヒドラジンとしては、
次の一般式で表わされるものを用いることができる。
1, 1.2-! in the present invention! As converted hydrazine,
What is represented by the following general formula can be used.

この式中 R3,R4,R5は前記R1及びR2の場合
と同様に置換基を有していてもよいアルキル基、アルケ
ニル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルアルキ
ル基を表わす。
In this formula, R3, R4, and R5 represent an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or an aralkyl group that may have a substituent as in the case of R1 and R2.

この1,1.2−置換ヒドラジンの具体例としては、例
えば、トリメチルヒドラジン、トリエチルヒドラジン、
トリプロピルヒドラジン、トリフェニルヒドラジン、1
.2−ジメチル−1−フェニルヒドラジン、1,1−ジ
メチル−2−フェニルヒドラジン、ベンジリデンメチル
ヒドラジン等を挙げることができる。
Specific examples of the 1,1,2-substituted hydrazine include trimethylhydrazine, triethylhydrazine,
Tripropylhydrazine, triphenylhydrazine, 1
.. Examples include 2-dimethyl-1-phenylhydrazine, 1,1-dimethyl-2-phenylhydrazine, and benzylidenemethylhydrazine.

本発明における反応に関する前記塩基性条件としては、
反応系に塩基性化合物、例えば、第3級アミン類や、立
体障害性の基を有する2級アミン類、フォスフイン等を
共存させることを意味する。
The basic conditions for the reaction in the present invention include:
This means that a basic compound such as tertiary amines, secondary amines having a sterically hindered group, phosphine, etc. is allowed to coexist in the reaction system.

このような塩基性条件は、反応溶媒中に塩基性化合物を
添加することによって形成し得る他、反応溶媒として塩
基性溶媒又は塩基性溶媒と非塩基性溶媒との混合物を用
いることによって形成することができる。塩基性化合物
の添加量は、反応溶媒100重量部に対し少なくとも5
重量部、好ましくは20重量部以上である。塩基性化合
物の添加量がこれより少なくなると、縮合反応が円滑に
促進されない。
Such basic conditions can be formed by adding a basic compound to the reaction solvent, or by using a basic solvent or a mixture of a basic solvent and a non-basic solvent as the reaction solvent. Can be done. The amount of the basic compound added is at least 5 parts by weight per 100 parts by weight of the reaction solvent.
Parts by weight, preferably 20 parts by weight or more. If the amount of the basic compound added is less than this, the condensation reaction will not be smoothly promoted.

前記塩基性溶媒としては、出発原料であるポリシラザン
を分解しないものであれば任意のものが使用できる。こ
のようなものとしては、例えば、トリメチルアミン、ジ
メチルエチルアミン、ジエチルメチルアミン及びトリエ
チルアミン等のトリアルキルアミン、ピリジン、ピコリ
ン、ジメチルアニリン、ピラジン、ピリミジン、ピリダ
ジン及びこれらの誘導体等の第3級アミン類の他、ピロ
ール、3−ピロリン、ピラゾール、2−ピラゾリン、及
びそれらの混合物等を挙げることができる。また、非塩
基性溶媒としては、例えば、脂肪族炭化水素、脂環式炭
化水素、芳香族炭化水素の炭化水素溶媒、ハロゲン化メ
タン、ハロゲン化エタン、ハロゲン化ベンゼン等のハロ
ゲン化炭化水素、脂肪族エーテル、脂環式エーテル等の
エーテル類が使用できる。好ましい溶媒は、塩化メチレ
ン、クロロホルム、四塩化炭素、ブロモホルム、塩化エ
チレン、塩化エチリデン、トリクロロエタン、テトラク
ロロエタン等のハロゲン化炭化水素、エチルエーテル、
イソプロピルエーテル、エチルブチルエーテル、ブチル
エーテル、1,2−ジオキシエタン、ジオキサン、ジメ
チルジオキサン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピ
ラン等のエーテル類。
Any basic solvent can be used as long as it does not decompose the starting material polysilazane. Examples of such substances include trialkylamines such as trimethylamine, dimethylethylamine, diethylmethylamine, and triethylamine; tertiary amines such as pyridine, picoline, dimethylaniline, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, and derivatives thereof; , pyrrole, 3-pyrroline, pyrazole, 2-pyrazoline, and mixtures thereof. Examples of non-basic solvents include hydrocarbon solvents such as aliphatic hydrocarbons, alicyclic hydrocarbons, and aromatic hydrocarbons; halogenated hydrocarbons such as halogenated methane, halogenated ethane, and halogenated benzene; Ethers such as group ethers and alicyclic ethers can be used. Preferred solvents include halogenated hydrocarbons such as methylene chloride, chloroform, carbon tetrachloride, bromoform, ethylene chloride, ethylidene chloride, trichloroethane, and tetrachloroethane, ethyl ether,
Ethers such as isopropyl ether, ethyl butyl ether, butyl ether, 1,2-dioxyethane, dioxane, dimethyldioxane, tetrahydrofuran, and tetrahydropyran.

ペンタン、ヘキサン、イソヘキサン、メチルペンタン、
ヘプタン、イソへブタン、オクタン、イソオクタン、シ
クロペンタン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン
、メチルシクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼン等の炭化水素等である。
Pentane, hexane, isohexane, methylpentane,
Hydrocarbons such as heptane, isohbutane, octane, isooctane, cyclopentane, methylcyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, benzene, toluene, xylene, and ethylbenzene.

本発明の縮合反応は、前記した如き溶媒中で好ましくは
実施されるが、この場合、原料ポリシラザンの溶媒中濃
度は0.01〜50重量%、好ましくは0.1〜20重
量%である。ポリシラザンの濃度がこれより低いと分子
間縮合反応が十分進行せず、またそれより高いと、分子
間重縮合反応が進みすぎてゲルが生成するので好ましく
ない。反応温度は、−78〜300℃、好ましくは一4
0〜200℃であり、それより低い温度では縮合反応が
十分進行せず、それより高い温度では縮合反応が進みす
ぎてゲルを生成する。また、縮合反応剤として用いる第
2級アミン又は1,1.2−置換ヒドラジンの使用量は
、ポリシラザン1モル(平均モル)に対するモル比で、
0.01〜5000、好ましくは0.5〜1000の範
囲であり、それより低いと縮合反応が十分進行せず、そ
れより高いと縮合反応が進みすぎてゲルを生成する。反
応雰囲気としては、大気の使用が可能であるが、好まし
くは、第2級アミン、置換ヒドラジン又はその他のアミ
ンやヒドラジン等からなる塩基性雰囲気や、乾燥窒素、
乾燥アルゴン等の不活性ガス雰囲気あるいはそれらの混
合雰囲気が使用される。本発明における縮合反応におい
ては、原料の第2級アミン又は1,1.2−置換ヒドラ
ジンや、副生物の水素によって反応の際圧力がかかるが
、必ずしも加圧は必要でなく、常圧を採用することがで
きる。
The condensation reaction of the present invention is preferably carried out in a solvent as described above, and in this case, the concentration of the raw material polysilazane in the solvent is 0.01 to 50% by weight, preferably 0.1 to 20% by weight. If the concentration of polysilazane is lower than this, the intermolecular condensation reaction will not proceed sufficiently, and if it is higher than this, the intermolecular polycondensation reaction will proceed too much and a gel will be formed, which is not preferable. The reaction temperature is -78 to 300°C, preferably -4
The temperature range is from 0 to 200° C. At lower temperatures, the condensation reaction does not proceed sufficiently, and at higher temperatures, the condensation reaction proceeds too much and forms a gel. In addition, the amount of secondary amine or 1,1.2-substituted hydrazine used as a condensation reaction agent is the molar ratio to 1 mole (average mole) of polysilazane.
It is in the range of 0.01 to 5,000, preferably 0.5 to 1,000; if it is lower than that, the condensation reaction will not proceed sufficiently, and if it is higher than that, the condensation reaction will proceed too much and form a gel. As the reaction atmosphere, air can be used, but preferably a basic atmosphere consisting of a secondary amine, substituted hydrazine or other amine or hydrazine, dry nitrogen,
An inert gas atmosphere such as dry argon or a mixture thereof is used. In the condensation reaction of the present invention, pressure is applied during the reaction due to the raw material secondary amine or 1,1,2-substituted hydrazine and by-product hydrogen, but pressurization is not necessarily necessary and normal pressure is used. can do.

なお、反応時間は、出発原料のポリシラザンの種類、濃
度および塩基性溶媒の種類、濃度、添加する第2級アミ
ン又は1,1.2−置換ヒドラジンの添加量あるいは縮
合反応温度など諸条件により異なるが、−船釣に0.5
〜20時間の範囲とすれば充分である。
Note that the reaction time varies depending on various conditions such as the type and concentration of the starting material polysilazane, the type and concentration of the basic solvent, the amount of secondary amine or 1,1,2-substituted hydrazine added, and the condensation reaction temperature. But - 0.5 for boat fishing
A range of 20 hours is sufficient.

縮合反応の最適条件は出発原料のポリシラザンの平均分
子量、分子量分布及び改質ポリシラザンの分子構造によ
って、また、第2級アミン又は1,1゜2−置換ヒドラ
ジンのいずれを選ぶかによって異なる。条件設定の一般
的な考慮は、出発原料のポリシラザンの平均分子量が低
い程よりきびしい条件(温度、反応時間)が必要とされ
るということである。
The optimum conditions for the condensation reaction vary depending on the average molecular weight and molecular weight distribution of the starting polysilazane and the molecular structure of the modified polysilazane, and on whether a secondary amine or a 1,1.degree. 2-substituted hydrazine is selected. A general consideration in setting conditions is that the lower the average molecular weight of the starting polysilazane, the more stringent conditions (temperature, reaction time) are required.

本発明において、塩基性溶媒を用いて縮合反応を行う場
合、得られる改質ポリシラザンを含む塩基性溶媒溶液は
、その溶液組成を調整して、塩基性溶媒含量を、全溶媒
中30重量%以下、好ましくは5重量メ以下にするのが
好ましい、塩基性溶媒は。
In the present invention, when the condensation reaction is carried out using a basic solvent, the basic solvent solution containing the resulting modified polysilazane is adjusted to have a basic solvent content of 30% by weight or less in the total solvent. The basic solvent is preferably 5 weight meters or less.

改質ポリシラザンの分子間縮合反応触媒として作用する
ため、その溶媒に対する割合が余りにも多くなると、室
温で長時間保存している間にゲルを生成する。この溶媒
組成の調整は、例えば、前記縮合反応工程で得られた塩
基性化合物を含む改質ポリシラザン溶液を蒸発処理して
、それに含まれる塩基性化合物を蒸発除去した後、非塩
基性(非反応性)溶媒を添加することによって行うこと
ができる。溶液中の塩基性化合物の含量が高い場合や、
反応溶媒として塩基性のものを用いる場合は、前記した
塩基性化合物の蒸発除去と非塩基性溶媒添加とからなる
溶液組成調整工程を繰返し行うことによって安定性の良
い溶液組成とすることができる0本発明において改質ポ
リシラザンの安定溶°液を形成するたのjp塩基性溶媒
としては、前記で示した如き脂肪族炭化水素、脂環式炭
化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン化炭化水素、脂肪族
エーテル、脂環式エーテル等を用いることができる。
Since the modified polysilazane acts as an intermolecular condensation reaction catalyst, if its proportion to the solvent is too large, it will form a gel during long-term storage at room temperature. This adjustment of the solvent composition can be carried out, for example, by evaporating the modified polysilazane solution containing the basic compound obtained in the condensation reaction step to remove the basic compound contained therein. This can be done by adding a solvent. When the content of basic compounds in the solution is high,
When a basic reaction solvent is used, a stable solution composition can be obtained by repeatedly performing the solution composition adjustment process consisting of evaporation removal of the basic compound and addition of a non-basic solvent. In the present invention, the basic solvent for forming a stable solution of the modified polysilazane includes aliphatic hydrocarbons, alicyclic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, and aliphatic hydrocarbons as shown above. Group ethers, alicyclic ethers, etc. can be used.

本発明におけるポリシラザンと第2級アミン又は1,1
.2−置換ヒドラジンとの縮合反応は、次の如き素反応
を含んでいるものと考えらる。
Polysilazane and secondary amine or 1,1 in the present invention
.. The condensation reaction with 2-substituted hydrazine is thought to include the following elementary reactions.

(1)ポリシラザンと第2級アミンとの反応、R3 (2)ポリシラザンと1.1.2−置換ヒドラジンとの
反応 /。
(1) Reaction of polysilazane and secondary amine, R3 (2) Reaction of polysilazane and 1.1.2-substituted hydrazine/.

本発明の改質ポリシラザンは、前記のように原料ポリシ
ラザンと第2級アミン又は1,1,2−置換ヒドラジン
とを縮合反応させることによって生成された重合体であ
り、ポリシラザン分子中に前記−般式(1)−(II)
で示された如き新しい結合が導入され、高分子量化され
たものである1本発明の改質ポリシラザンは、原料ポリ
シラザンに対して、分子構造的には次の点を特徴とする
The modified polysilazane of the present invention is a polymer produced by the condensation reaction of the raw material polysilazane and a secondary amine or a 1,1,2-substituted hydrazine as described above. Formula (1)-(II)
The modified polysilazane of the present invention, which has a high molecular weight by introducing a new bond as shown in 1, is characterized by the following molecular structure compared to the raw material polysilazane.

(1)珪素原子に結合する窒素原子の割合が増加する0
本発明の改質ポリシラザンは、前記のように、新しい結
合基を含むものであり、この結合基に基づく窒素原子の
割合が増加する。改質ポリシラ、サン中の珪素原子に結
合する窒素原子と珪素原子との比(N/Si)の上限は
、改質ポリシラザンのゲル化が起らない範囲、換言すれ
ば、溶媒可溶性を示す範囲内に規定されるが1通常は2
.5以下、好ましくは2.0以下である。
(1) The proportion of nitrogen atoms bonded to silicon atoms increases 0
As mentioned above, the modified polysilazane of the present invention contains a new bonding group, and the proportion of nitrogen atoms based on this bonding group increases. The upper limit of the ratio (N/Si) of nitrogen atoms bonded to silicon atoms in the modified polysilazane and silicon atoms is the range in which gelation of the modified polysilazane does not occur, in other words, the range in which solvent solubility is exhibited. Although it is specified within 1, usually 2
.. It is 5 or less, preferably 2.0 or less.

(2)数平均分子量範囲は、通常、200〜soo、o
ooである0本発明の改質ポリシラザンは、前記のよう
に数平均分子量100〜so、oooのポリシラザンを
原料として用い、これを第2級アミン又は1,1.2−
置換ヒドラジンを反応剤として用いて高分子化すること
によって形成されることから、その分子量は、当然のこ
とながら、原料ポリシラザンの分子量よりも増加された
ものとなる。−船釣には、本発明の目的とする改質ポリ
シラザンは、数平均分子量200−500,000.好
ましくは、1500〜10,000を有する。
(2) The number average molecular weight range is usually 200 to soo, o
The modified polysilazane of the present invention, which is oo, uses a polysilazane having a number average molecular weight of 100 to so, ooo as a raw material as described above, and this is used as a secondary amine or a 1,1.2-
Since it is formed by polymerizing substituted hydrazine as a reactant, its molecular weight is naturally higher than that of the raw material polysilazane. - For boat fishing, the modified polysilazane targeted by the present invention has a number average molecular weight of 200-500,000. Preferably, it has 1500 to 10,000.

本発明の改質ポリシラザンは、分子構造的には前記の如
き特徴を有し、原料ポリシラザンと区別されるものであ
るが、その他、多くの枝分れ構造を有する点もその特徴
の1つである。この枝分れ構造のために、本発明の改質
ポリシラザンは、原料ポリシラザンに比して高分子量化
されたものでありながら、むしろ溶媒可溶性において改
善された結果を与える。5eyferth等が提案した
無機シラザンは、5L−H/N−Hのプロトン比が約3
.3のオイル状液体であり、約200℃で加熱するか、
室温で3〜5日放置することにより固化するものである
。これに対し、本発明の改質ポリシラザンは、200〜
soo、oooの分子量を持ち、前記した如き新しい結
合基を含み、窒素原子と珪素原子との比(N/SL)は
原料ポリシラザンよりも高く、しかも溶媒再可溶性を有
する。本発明の改質ポリシラザンが原料ポリシラザンに
比してより多くの枝分れ構造を有する理由は、本発明に
おける縮合反応では、縮合反応以外に、ポリシラザンの
不均化反応等が起ることによるものと考えられる。
The modified polysilazane of the present invention has the above-mentioned characteristics in terms of molecular structure and is distinguished from the raw material polysilazane, but one of its other characteristics is that it has many branched structures. be. Due to this branched structure, the modified polysilazane of the present invention has a higher molecular weight than the raw material polysilazane, but rather provides improved solvent solubility. The inorganic silazane proposed by 5eyferth et al. has a proton ratio of 5L-H/N-H of about 3.
.. 3.It is an oil-like liquid that can be heated at about 200℃, or
It solidifies by being left at room temperature for 3 to 5 days. In contrast, the modified polysilazane of the present invention has a
It has a molecular weight of soo, ooo, contains a new bonding group as described above, has a nitrogen atom to silicon atom ratio (N/SL) higher than that of the raw material polysilazane, and is resolubilable in a solvent. The reason why the modified polysilazane of the present invention has a more branched structure than the raw material polysilazane is that in the condensation reaction of the present invention, a disproportionation reaction of polysilazane occurs in addition to the condensation reaction. it is conceivable that.

本発明の改質ポリシラザンは、前記の如き分子構造的特
徴を有するとともに、物性的には、新しい結合を有しな
がら、多くの場合有機溶媒に可溶であり、特に改質ポリ
シラザン溶液から溶媒を除去した固体重合体は、溶媒に
対して再可溶性を有するという大きな特徴を示す。従来
のポリシラザンの場合、安定性が悪く、その溶液から溶
媒を除去すると樹脂状固体を生成し、このものは溶媒に
不溶であったが1本発明の改質ポリシラザンはこのよう
な傾向を示さない。従って、従来のポリシラザンの場合
、固体重合体としての取扱いが不可能ないし著しく困難
であったのに対し1本発明の改質ポリシラザンは固体重
合体として容易に取扱うことができる。
The modified polysilazane of the present invention has the above-mentioned molecular structural characteristics, and although it has new physical properties, it is often soluble in organic solvents, and in particular, it is soluble in organic solvents. The removed solid polymer exhibits a significant feature of being re-soluble in the solvent. Conventional polysilazane has poor stability, and when the solvent is removed from the solution, a resinous solid is produced, which is insoluble in the solvent, but the modified polysilazane of the present invention does not exhibit this tendency. . Therefore, while conventional polysilazane is impossible or extremely difficult to handle as a solid polymer, the modified polysilazane of the present invention can be easily handled as a solid polymer.

〔効 果〕〔effect〕

本発明の改質ポリシラザンは、前記の如き分子構造的及
び物性的特徴を有するもので、種々の分野に利用するこ
とができる。次に、本発明の改質ポリシラザンの用途的
及び製法的特徴を示す。
The modified polysilazane of the present invention has the above-mentioned molecular structure and physical characteristics, and can be used in various fields. Next, the usage and production characteristics of the modified polysilazane of the present invention will be shown.

■ 改質ポリシラザンは、有機溶媒に可溶であり、焼成
して窒化ケイ素あるいは窒化ケイ素含有セラミックスに
変換できるため、高性能のセラミックス成形体すなわち
、高温機械強度が高く、耐熱性、耐食性、耐酸化性、耐
熱衝撃性に優れた連続繊維、フィルム、被覆膜を容易に
得ることができる。また、セラミックス収率が高いので
、焼結用結合剤、含浸剤等としての利用も可能である。
■ Modified polysilazane is soluble in organic solvents and can be converted into silicon nitride or silicon nitride-containing ceramics by firing, so it can be used as a high-performance ceramic molded product, with high high-temperature mechanical strength, heat resistance, corrosion resistance, and oxidation resistance. Continuous fibers, films, and coatings with excellent properties and thermal shock resistance can be easily obtained. Moreover, since the ceramic yield is high, it can also be used as a binder for sintering, an impregnating agent, etc.

■ 改質ポリシラザンは、その重合体中に分解を促進す
る残留触媒等の不純物の混入がないため。
■ Modified polysilazane does not contain impurities such as residual catalyst that promote decomposition in its polymer.

安定性が向上し、取扱いが容易になり、その上高温焼成
後のセラミックスの純度が向上する。
Stability is improved, handling becomes easier, and the purity of the ceramic after high-temperature firing is improved.

■ 改質ポリシラザンは1M料ポリシラザンに比べて分
子量が増加するため、凝固性が向上し、常温ですみやか
に賦形化が可能となる。
- Modified polysilazane has an increased molecular weight compared to 1M polysilazane, so it has improved coagulability and can be shaped quickly at room temperature.

■ 遷移金属等の触媒を用いないため、生成物と触媒と
の分離工程を必要としない。
■ Since a catalyst such as a transition metal is not used, there is no need for a separation process between the product and the catalyst.

■ 改質ポリシラザン中に触媒が残存しないため、安定
性が向上し、溶媒を除き、単離後も長期保存が可能であ
る。
■ Since no catalyst remains in the modified polysilazane, its stability is improved and it can be stored for a long time even after the solvent is removed and isolated.

■ 高価で危険な触媒を使用しないため、低コストで安
全である。
■ It is low cost and safe because it does not use expensive and dangerous catalysts.

■ 高分子量のため、高温焼成時の蒸発損失が小さいの
で、セラミックス収率が向上する。
■ Due to its high molecular weight, evaporation loss during high-temperature firing is small, improving ceramic yield.

■ 不純物の混入がないため、高温焼成後のセラミック
スの純度が向上する。
■ Since there are no impurities mixed in, the purity of ceramics after high-temperature firing is improved.

■ 改質ポリシラザンを紡糸する場合、紡糸助剤を添加
せずに連続紡糸が可能となる。
■ When spinning modified polysilazane, continuous spinning is possible without adding a spinning aid.

[相] 改質ポリシラザンは融点をもつため、溶融後、
賦形化することも可能となる。
[Phase] Modified polysilazane has a melting point, so after melting,
It also becomes possible to formulate it.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.

参考例 1 内容積IQの四つロフラスコにガス吹きこみ管、メカニ
カルスターラー、ジュワーコンデンサーを装置した。反
応器内部を脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四つロフ
ラスコに脱気した乾燥ピリジン490mαを入れ、これ
を水冷した。次にジクロロシラン51.6gを加えると
白色固体状のアダクト(SiH,CQ、・2G、)l、
N)が生成した。反応混合物を氷冷し、攪拌しながら、
水酸化ナトリウム管及び活性炭管を通して精製したアン
モニア51.0gを吹き込んだ。
Reference Example 1 A four-loop flask with an internal volume of IQ was equipped with a gas blowing pipe, a mechanical stirrer, and a dewar condenser. After purging the inside of the reactor with deoxygenated dry nitrogen, 490 mα of degassed dry pyridine was placed in a four-bottle flask and cooled with water. Next, when 51.6 g of dichlorosilane was added, a white solid adduct (SiH, CQ, 2G,) was formed.
N) was generated. The reaction mixture was cooled on ice and stirred.
51.0 g of purified ammonia was blown through a sodium hydroxide tube and an activated carbon tube.

反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ピリジンを
用いて洗浄した後、更に窒素雰囲気下でろ過して、ろ液
850m Qを得た。濾液5mQから溶媒を減圧留去す
ると樹脂固体ペルヒドロポリシラザン0.102gが得
られた。
After the reaction was completed, the reaction mixture was centrifuged, washed with dry pyridine, and then filtered under a nitrogen atmosphere to obtain 850 mQ of filtrate. The solvent was distilled off from 5 mQ of the filtrate under reduced pressure to obtain 0.102 g of solid resin perhydropolysilazane.

得られたポリマーの数平均分子量はGPCにより測定し
たところ、980であった。また、このポリマーのIR
(赤外吸収)スペクトル(溶媒:乾燥0−キシレン;ペ
ルヒドロポリシラザンの濃度: 10.2gハDを検討
すると、波数(Ql−1) 3350 (見かけの吸光
係数ε=0.557 Q g−”ロー1)及び1175
のNHに基づく吸収; 2170(ε=3.14.)の
SLHに基づく吸収; 1020〜820のSiH及び
5iNSiに基づく吸収を示すことが確認された。また
このポリマーの1HNMR(プロトン核磁気共鳴)スペ
クトル(60阿&、溶媒CDCQ 、 /基準物質TM
S )を検討すると、いずれも幅広い吸収を示している
ことが確認された。即ちδ4.8及び4.4 (br、
 5iH) ; 1,5(br、NH)の吸収が確認さ
れた。
The number average molecular weight of the obtained polymer was 980 as measured by GPC. Also, the IR of this polymer
(Infrared absorption) spectrum (solvent: dry 0-xylene; concentration of perhydropolysilazane: 10.2 g When considering D, the wave number (Ql-1) is 3350 (apparent extinction coefficient ε = 0.557 Q g-" Low 1) and 1175
Absorption based on NH of 2170 (ε=3.14.); Absorption based on SLH of 2170 (ε=3.14.); Absorption based on SiH and 5iNSi of 1020 to 820. In addition, 1HNMR (proton nuclear magnetic resonance) spectrum of this polymer (60A &, solvent CDCQ, / reference material TM
S), it was confirmed that all of them exhibited a wide range of absorption. That is, δ4.8 and 4.4 (br,
5iH); Absorption of 1,5 (br, NH) was confirmed.

参考例 2 参考例1と同一の装置を用いて反応を行った。Reference example 2 The reaction was carried out using the same apparatus as in Reference Example 1.

即ち、参考例1で示した四つ目フラスコに脱気した乾燥
ジクロロメタン500m Qを入れ、これを氷冷した。
That is, 500 mQ of degassed dry dichloromethane was placed in the fourth flask shown in Reference Example 1 and cooled on ice.

次にジクロロシラン48.6gを加えた。この溶液を水
冷し、攪拌しながら、水酸化ナトリウム管及び活性炭管
を通して精製したアンモニア42.5gを窒素との混合
ガスとして吹き込んだ。反応中ガス流路に粉霧が生成し
たので、ガス流路を時々たたいて閉塞を防いだ。
Next, 48.6 g of dichlorosilane was added. This solution was cooled with water, and while stirring, 42.5 g of purified ammonia was blown into the solution as a mixed gas with nitrogen through a sodium hydroxide tube and an activated carbon tube. During the reaction, powder mist was generated in the gas flow path, so the gas flow path was occasionally tapped to prevent clogging.

反応混合物を参考例1と同様処理すると粘性油状ペルヒ
ドロポリシラザンが9.6g得られた。得られたポリマ
ーの数平均分子量はGPCにより測定したところ640
であった。
The reaction mixture was treated in the same manner as in Reference Example 1 to obtain 9.6 g of viscous oily perhydropolysilazane. The number average molecular weight of the obtained polymer was 640 as measured by GPC.
Met.

参考例 3 参考例1と同一の装置を用いて反応を行った。Reference example 3 The reaction was carried out using the same apparatus as in Reference Example 1.

即ち、参考例1で示した四つロフラスコに脱気した乾燥
テトラヒドロフラン450m Qを入れ、これをドライ
アイス−メタノール浴で冷却した0次にジクロロシラン
46.2gを加えた。この溶液を冷却し、攪拌しながら
無水メチルアミン44.2gを窒素との混合ガスとして
吹き込んだ。
That is, 450 mQ of degassed dry tetrahydrofuran was placed in the four-bottle flask shown in Reference Example 1, and 46.2 g of dichlorosilane cooled in a dry ice-methanol bath was added thereto. This solution was cooled, and 44.2 g of anhydrous methylamine was blown in as a mixed gas with nitrogen while stirring.

反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥テトラヒド
ロフランを用いて洗浄した後、さらに窒素雰囲気下でろ
過してろ液820m nを得た。溶媒を減圧留去すると
粘性油状N−メチルシラザンが8.4g得られた。得ら
れたポリマーの数平均分子量は、GPCにより測定した
ところ1100であった。
After the reaction was completed, the reaction mixture was centrifuged, washed with dry tetrahydrofuran, and then filtered under a nitrogen atmosphere to obtain 820 mn of filtrate. When the solvent was distilled off under reduced pressure, 8.4 g of viscous oily N-methylsilazane was obtained. The number average molecular weight of the obtained polymer was 1100 as measured by GPC.

参考例 4 内容積IQの四つロフラスコにガス吹きこみ管。Reference example 4 A gas blowing tube is placed in a four-loaf flask with an internal volume of IQ.

メカニカルスターラー、ジュワーコンデンサーを装置し
た0反応器内部を脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四
つロフラスコに乾燥ジクロロメタン300m Qおよび
メチルジクロロシラン24.3g (0,2111II
oQ)を入れ、氷冷した。攪拌しながら水酸化ナトリウ
ム管および活性炭管を通して精製したアンモニア18.
1g(1,06+o Q )を吹き込んだ。
After purging the inside of the 0 reactor equipped with a mechanical stirrer and dewar condenser with deoxygenated dry nitrogen, 300 m of dry dichloromethane Q and 24.3 g of methyldichlorosilane (0,2111 II
oQ) and cooled on ice. Ammonia purified through a sodium hydroxide tube and an activated carbon tube with stirring 18.
1 g (1,06+o Q ) was injected.

反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ジクロロメ
タンを用いて洗浄後、窒素雰囲気下でろ過した。ろ液か
ら溶媒を減圧留去すると、無色透明の液体を8.81g
得た。この生成物の数平均分子量はGPCにより測定し
たところ、380であった。
After the reaction was completed, the reaction mixture was centrifuged, washed with dry dichloromethane, and filtered under a nitrogen atmosphere. When the solvent was distilled off from the filtrate under reduced pressure, 8.81 g of a colorless and transparent liquid was obtained.
Obtained. The number average molecular weight of this product was 380 as measured by GPC.

参考例 5 参考例1と同一の装置を用いて反応を行なった。Reference example 5 The reaction was carried out using the same apparatus as in Reference Example 1.

すなわち参考例1で示した四つロフラスコに脱気した乾
燥ベンゼン450m Qを入れ、これを水冷した。
That is, 450 mQ of degassed dry benzene was placed in the four-loaf flask shown in Reference Example 1, and this was cooled with water.

次にジクロロシラン40.6gを加えた。この溶液を水
冷し、撹拌しながら、水酸化ナトリウム管および活性炭
管を通して精製したアンモニア42.0gを窒素との混
合ガスとして吹き込んだ0反応中ガス流路に粉霧が生成
したので、ガス流路を時々たたいて閉塞を防いた。
Next, 40.6 g of dichlorosilane was added. This solution was water-cooled, and while stirring, 42.0 g of purified ammonia was blown in as a mixed gas with nitrogen through a sodium hydroxide tube and an activated carbon tube.During the reaction, powder mist was generated in the gas flow path. Occasionally tap to prevent blockage.

反応混合物を参考例1と同様に処理すると粘性油状ペル
ヒドロポリシラザンが5.2g得られた。得られたポリ
マーの数平均分子量はGPCにより測定したところ32
0であった。
The reaction mixture was treated in the same manner as in Reference Example 1 to obtain 5.2 g of viscous oily perhydropolysilazane. The number average molecular weight of the obtained polymer was 32 as measured by GPC.
It was 0.

参考例6 内容積IQの四つロフラスコに滴下ろうと、メカニカル
スターラー、ジュワーコンデンサーと装置した。反応器
内部の脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四つロフラス
コに脱気した乾燥ベンゼン400m Qと公知の方法(
J、Am、Chem、Soc、 、Vol、67、18
13(1945))により得た。アリルジクロロシラン
64.5gを入れ、撹拌した。滴下るうどに、公知の方
法(J、Am、Chem、Soc、vol 70,43
5(194g))により得たトリエチルアミノシラン4
2.5gと乾燥ベンゼン5omQを入れた。トリエチル
アミノシランのベンゼン溶液をアリルジクロロシランの
ベンゼン溶液に滴下した。滴下終了後、撹拌しながらオ
イルバスで加熱環流して反応を行なった。
Reference Example 6 A mechanical stirrer and a dewar condenser were used to drip the liquid into a four-loaf flask with an internal volume of IQ. After replacing the inside of the reactor with deoxygenated dry nitrogen, 400 m of degassed dry benzene was placed in a four-bottle flask and a known method (
J, Am, Chem, Soc, , Vol, 67, 18
13 (1945)). 64.5 g of allyldichlorosilane was added and stirred. A known method (J, Am, Chem, Soc, vol 70, 43)
5 (194 g))
2.5g and 5omQ of dry benzene were added. A benzene solution of triethylaminosilane was added dropwise to a benzene solution of allyldichlorosilane. After the dropwise addition was completed, the reaction was carried out by heating and refluxing in an oil bath while stirring.

反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ベンゼンを
用いて洗浄した後、更に窒素雰囲気下で濾過して、濾液
680m Qを得た。濾液より溶媒を除くと液体状のN
−()−リエチルシリル)アリルシラザンが19.2g
得られた。得られたポリマーの数平均分子量はGPCに
より測定したところ360であった。
After the reaction was completed, the reaction mixture was centrifuged, washed with dry benzene, and further filtered under a nitrogen atmosphere to obtain 680 mQ of filtrate. When the solvent is removed from the filtrate, liquid N is produced.
-()-ethylsilyl)allylsilazane is 19.2g
Obtained. The number average molecular weight of the obtained polymer was 360 as measured by GPC.

参考例 7 シクロヘキシルブロマイドより合成したグリニヤール試
薬62.0gをトリクロロシラン110gにゆっくりと
添加した。減圧蒸留したところ、シクロへキシルジクロ
ロシランが16.4g得られた。参考例6と同様の装置
を用いた。四つロフラスコにシクロへキシルジクロロシ
ラン12.0gと乾燥ベンゼン420mQを入れ撹拌し
た。滴下るうどに1,1−ジメチルヒドラジン15.6
gと乾燥ベンゼン40m Qを入れた。
Reference Example 7 62.0 g of Grignard reagent synthesized from cyclohexyl bromide was slowly added to 110 g of trichlorosilane. Distillation under reduced pressure yielded 16.4 g of cyclohexyldichlorosilane. The same apparatus as in Reference Example 6 was used. 12.0 g of cyclohexyldichlorosilane and 420 mQ of dry benzene were placed in a four-bottle flask and stirred. 1,1-dimethylhydrazine 15.6 in the dripping noodles
g and 40 m of dry benzene were added.

1.1−ジメチルヒドラジンのベンゼン溶液をシクロへ
キシルジクロロシランのベンゼン溶液に滴下した。滴下
終了後、室温で撹拌しながら反応を行った。
A benzene solution of 1.1-dimethylhydrazine was added dropwise to a benzene solution of cyclohexyldichlorosilane. After completion of the dropwise addition, the reaction was carried out at room temperature with stirring.

反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ベンゼンを
用して洗浄した後、更に窒素雰囲気下で濾過して、濾液
730m Qを得た。濾液より溶媒を除くと油状のN−
(ジメチルアミノ)シクロヘキシルシラザンが3.2g
得られた。得られたポリマーの数平均分子量はGPCに
より測定したところ390であった。
After the reaction was completed, the reaction mixture was centrifuged, washed with dry benzene, and further filtered under a nitrogen atmosphere to obtain 730mQ of filtrate. When the solvent is removed from the filtrate, an oily N-
(dimethylamino)cyclohexylsilazane 3.2g
Obtained. The number average molecular weight of the obtained polymer was 390 as measured by GPC.

参考例 8 参考例1と同一の装置を用いて反応を行った。Reference example 8 The reaction was carried out using the same apparatus as in Reference Example 1.

すなわち、参考例1で示した四つロフラスコに脱気した
乾燥トルエン500m Qを入れ、これを氷冷した。次
に、フエニルジクロロシラン52.1gを加えた。この
溶液を氷冷し、撹拌しながら、水酸化ナトリウム管およ
び活性炭管を通して精製したアンモニア30.0gを窒
素との混合ガスとして吹き込んだ。
That is, 500 mQ of degassed dry toluene was placed in the four-loaf flask shown in Reference Example 1 and cooled on ice. Next, 52.1 g of phenyldichlorosilane was added. This solution was ice-cooled, and while stirring, 30.0 g of purified ammonia was blown into the solution as a mixed gas with nitrogen through a sodium hydroxide tube and an activated carbon tube.

反応混合物を参考例1と同様に処理すると油状フェニル
ポリシラザンが6.8g得られた。得られたポリマーの
数平均分子量はGPCにより測定したところ380であ
った。
The reaction mixture was treated in the same manner as in Reference Example 1 to obtain 6.8 g of oily phenylpolysilazane. The number average molecular weight of the obtained polymer was 380 as measured by GPC.

実施例1 参考例1で得られたベルヒドロポリシラザンのピリジン
溶液(ベルヒドロポリシラザンの濃度、10.3重量%
)100mQを内容積300威の耐圧反応容器に入れ、
脱水したジエチルアミン3+nQ (29,0mmoQ
)を加え、密閉系で110℃で3時間撹拌しながら反応
を行なった。この間、大量の気体が発生したが、ガスク
ロマトグラフィー(GC)測定により、この気体は水素
であった。反応前後における圧力上昇は2.2kg/a
Jであった。室温に冷却後、乾燥。−キシレン200−
を加え、圧力3−5mmHg、温度50−70’Cで溶
媒を除いたところ、8.6gの白色粉末が得られた。
Example 1 Pyridine solution of perhydropolysilazane obtained in Reference Example 1 (concentration of perhydropolysilazane, 10.3% by weight)
) 100 mQ into a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300 mQ,
Dehydrated diethylamine 3+nQ (29,0mmoQ
) was added, and the reaction was carried out in a closed system at 110°C with stirring for 3 hours. During this time, a large amount of gas was generated, which was determined to be hydrogen by gas chromatography (GC) measurements. The pressure increase before and after the reaction is 2.2 kg/a
It was J. After cooling to room temperature, dry. -Xylene 200-
was added and the solvent was removed at a pressure of 3-5 mmHg and a temperature of 50-70'C, yielding 8.6 g of white powder.

この粉末は、トルエン、テトラヒドロフラン、クロロホ
ルムおよびその他の有機溶媒に可溶であった。
This powder was soluble in toluene, tetrahydrofuran, chloroform and other organic solvents.

前記重合体粉末の数平均分子量は、GPCにより測定し
たところ、5240であった。また、そのIRスペクト
ル(溶媒:トルエン)の分析の結果、波数(am−” 
)3350および1175のNHに基づく吸収;217
0のSLHニ基づく吸収;1020−820(i’)S
iHおよび5iNSiニ基づく吸収;2690.293
0.2880.146o、1380(7)CHニ基ツく
吸収;1090のCNに基づく吸収を示すことが確認さ
れた。さらに前記重合体粉末の18NMRスペクトル(
COCO2、TMS)を分析した結果、δ4.8(br
The number average molecular weight of the polymer powder was 5240 as measured by GPC. In addition, as a result of analysis of its IR spectrum (solvent: toluene), the wave number (am-”
) 3350 and 1175 NH-based absorption; 217
Absorption based on SLH of 0; 1020-820(i')S
Absorption based on iH and 5iNSi; 2690.293
0.2880.146o, 1380 (7) CH-based absorption; 1090 CN-based absorption was confirmed. Furthermore, the 18NMR spectrum of the polymer powder (
As a result of analyzing COCO2, TMS), δ4.8 (br
.

SiH,) 、δ4.4(br、Sin、)、δ2.7
(br、CH,)、61.4(br、NH)、δ0.9
(br、CH,)の吸収がa測された。また、前記重合
体粉末の元素分析結果は、重量基準で、Si:50.1
%、N:25.8%、C:12.4%、O:3.6%、
Hニア、3%であった。
SiH,), δ4.4 (br, Sin,), δ2.7
(br, CH,), 61.4 (br, NH), δ0.9
Absorption of (br, CH,) was measured. In addition, the elemental analysis results of the polymer powder are based on weight, Si: 50.1
%, N: 25.8%, C: 12.4%, O: 3.6%,
H near was 3%.

実施例2 参考例1で得られたベルヒドロポリシラザンのγ−ピコ
リン溶液(ベルヒドロポリシラザンの濃度、5.76重
量%)lllOmllを内容積300威の耐圧反応容器
に入れ、トリメチルヒドラジン5.0−を加え、密閉系
で120℃で3時間撹拌しながら反応を行なった。
Example 2 A γ-picoline solution of perhydropolysilazane obtained in Reference Example 1 (concentration of perhydropolysilazane, 5.76% by weight) was placed in a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300 μm, and 5.0 μl of trimethylhydrazine was added. was added, and the reaction was carried out in a closed system at 120°C with stirring for 3 hours.

この間大量の気体が発生した。反応前後で圧力は2.0
kg/a!上昇した。実施例1と同様に溶媒を減圧留去
すると、白色粉末が4.2g得られ、この粉末は有機溶
媒に可溶であった。
During this time, a large amount of gas was generated. The pressure before and after the reaction is 2.0
kg/a! Rose. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 4.2 g of white powder was obtained, and this powder was soluble in the organic solvent.

前記重合体粉末の数平均分子量は、GPCにより測定し
たところ3080であった。
The number average molecular weight of the polymer powder was 3080 as measured by GPC.

実施例3 参考例2で得られたベルヒドロポリシラザンのピリジン
溶液(ベルヒドロポリシラザンの濃度、7.04重量%
)100mQを内容積300−の耐圧反応容器に入れ、
N−メチルアニリン25mQを加え密閉系で100℃で
6時間撹拌しながら反応を行った。この間大量の気体が
発生し、反応前後で圧力はL8kg/ci上昇した。実
施例1と同様に溶媒を減圧留去したところ、淡黄色粉末
が6.8g得られ、この粉末は有機溶媒に可溶であった
。その数平均分子量はGPCにより測定をしたところ、
2740であった。
Example 3 Pyridine solution of perhydropolysilazane obtained in Reference Example 2 (concentration of perhydropolysilazane, 7.04% by weight)
) 100mQ into a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300-
25 mQ of N-methylaniline was added and the reaction was carried out in a closed system at 100°C with stirring for 6 hours. During this time, a large amount of gas was generated, and the pressure rose by L8 kg/ci before and after the reaction. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 6.8 g of pale yellow powder was obtained, and this powder was soluble in the organic solvent. When its number average molecular weight was measured by GPC,
It was 2740.

実施例4 参考例3で得られたN−メチルシラザンのピリジン溶液
(N−メチルシラザンの濃度12.4重量%)60ml
を内容積300mQの耐圧反応容器に入れ、1,2−ジ
メチル−1−フェニルヒドラジン20.0gを加え、密
閉系で150℃で5時間撹拌しながら反応を行なった。
Example 4 60 ml of a pyridine solution of N-methylsilazane obtained in Reference Example 3 (concentration of N-methylsilazane 12.4% by weight)
was placed in a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300 mQ, 20.0 g of 1,2-dimethyl-1-phenylhydrazine was added, and the reaction was carried out in a closed system at 150°C with stirring for 5 hours.

この間気体の発生がみられ反応前後で圧力は0.3kg
/d上昇した。実施例1と同様に溶媒を減圧留去すると
、淡黄色ワックス状固体が6.3g得られ、GPCによ
る数平均分子量は1480であった。この固体の融点は
約200℃であった。
During this time, gas generation was observed, and the pressure was 0.3 kg before and after the reaction.
/d rose. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 6.3 g of a pale yellow waxy solid was obtained, and the number average molecular weight by GPC was 1480. The melting point of this solid was approximately 200°C.

実施例5 参考例4で得られたメチルシラザンのピリジン溶液(メ
チルシラザンの濃度、8.16重量%)100mQを内
容積300−の耐圧反応容器に入れ、ジプロピルアミン
15.0−を加え、密閉系で120℃で6時間撹拌しな
がら反応を行なった。この間気体の発生がみとめられ、
反応前後で圧力は0.4kg/a#上昇した。
Example 5 100 mQ of the pyridine solution of methylsilazane obtained in Reference Example 4 (concentration of methylsilazane, 8.16% by weight) was placed in a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300 -, and 15.0 - of dipropylamine was added. The reaction was carried out in a closed system at 120°C with stirring for 6 hours. During this time, gas generation was observed,
The pressure increased by 0.4 kg/a# before and after the reaction.

実施例1と同様に溶媒を減圧留去すると、白色ワックス
状固体が7.8g得られ、GPCによる数平均分子量は
1720であった。
When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 7.8 g of a white waxy solid was obtained, and the number average molecular weight by GPC was 1720.

実施例6 参考例5で得られたベルヒドロポリシラザンのピリジン
溶液(ベルヒドロポリシラザンの濃度、5.59重量%
)100−を内容積300或の耐圧反応容器に入れ、ト
リメチルヒドラジン8.0−を加え、密閉系で120℃
で3時間撹拌しながら反応を行なった。
Example 6 Pyridine solution of perhydropolysilazane obtained in Reference Example 5 (concentration of perhydropolysilazane, 5.59% by weight)
)100- was placed in a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300, 8.0- of trimethylhydrazine was added, and the mixture was heated to 120°C in a closed system.
The reaction was carried out with stirring for 3 hours.

この間大量の気体が発生した。反応前後で圧力は0.8
kg/cJ上昇した。実施例1と同様に溶媒を減圧留去
すると、白色粉末が5.2g得られ、この粉末は有機溶
媒に可溶であり、その数平均分子量はGPCにより22
50であった。
During this time, a large amount of gas was generated. The pressure before and after the reaction is 0.8
kg/cJ increased. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 5.2 g of white powder was obtained. This powder was soluble in organic solvents, and its number average molecular weight was determined by GPC to be 22.
It was 50.

実施例7 参考例6で得られたN−(トリエチルシリル)アリルシ
ラザンのピリジン溶液(N−(トリエチルシリル)アリ
ルシラザンの濃度、6.47重量%)60−を内容積3
00dの耐圧反応容器に入れ、ジエチルアミン15.0
−を加え、密閉系で160℃で6時間撹拌しながら反応
を行なった。この間気体の発生がみとめられ、反応前後
で圧力は0.3kg/cj上昇した。実施例1と同様に
溶媒を減圧留去すると、淡黄色ワックス状固体が3.2
g得られ、その数平均分子量はGPCにより1350で
あった。この固体の融点は約180℃であった。
Example 7 A pyridine solution of N-(triethylsilyl)allylsilazane obtained in Reference Example 6 (concentration of N-(triethylsilyl)allylsilazane, 6.47% by weight) 60- was reduced to an internal volume of 3
00d pressure-resistant reaction vessel, diethylamine 15.0
- was added, and the reaction was carried out in a closed system at 160°C with stirring for 6 hours. During this time, gas generation was observed, and the pressure increased by 0.3 kg/cj before and after the reaction. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, a pale yellow waxy solid was obtained with a concentration of 3.2
g was obtained, and its number average molecular weight was found to be 1350 by GPC. The melting point of this solid was approximately 180°C.

実施例8 参考例7で得られたN−(ジメチルアミノ)シクロヘキ
シルシラザンのピリジン溶液(N−(ジメチルアミノ)
シクロへキシルシラザンの濃度、3.20重量%)80
−を内容積300−の耐圧反応容器に入れ、ジブチルア
ミン10.0mQを加え、密閉系で120℃で8時間撹
拌しながら反応を行った。この間気体の発生がみとめら
れ、反応前後で圧力は0.2kg/a#上昇した。
Example 8 Pyridine solution of N-(dimethylamino)cyclohexylsilazane obtained in Reference Example 7 (N-(dimethylamino)
Concentration of cyclohexylsilazane, 3.20% by weight) 80
- was placed in a pressure-resistant reaction vessel with an internal volume of 300 -, 10.0 mQ of dibutylamine was added, and the reaction was carried out in a closed system at 120°C with stirring for 8 hours. During this time, gas generation was observed, and the pressure increased by 0.2 kg/a# before and after the reaction.

実施例1と同様に溶媒を減圧留去すると、淡黄色ワック
ス状固体が2.0g得られ、その数平均分子量はGPC
により、1110であった。この固体の融点は約150
℃であった。
When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 2.0 g of a pale yellow waxy solid was obtained, the number average molecular weight of which was determined by GPC.
Accordingly, it was 1110. The melting point of this solid is about 150
It was ℃.

実施例9 参考例8で得られたフェニルシラザンのピリジン溶液(
フェニルシラザンの濃度、8.14重量幻100dの内
容積300−の耐圧反応容器に入れ、ジプロピルアミン
30.0mQを加え、密閉系で150℃で6時間撹拌し
ながら反応を行なった。この間気体の発生がみとめられ
、反応前後で0.4kg/cd、圧力は上昇した。実施
例1と同様に溶媒を減圧留去すると、白色ワックス状固
体が7.3g得られその数平均分子量は1310であっ
た。
Example 9 Pyridine solution of phenylsilazane obtained in Reference Example 8 (
The mixture was placed in a pressure-resistant reaction vessel with a phenylsilazane concentration of 8.14 and an internal volume of 300 d, and 30.0 mQ of dipropylamine was added thereto, and the reaction was carried out in a closed system at 150° C. with stirring for 6 hours. During this time, gas generation was observed, and the pressure increased by 0.4 kg/cd before and after the reaction. When the solvent was distilled off under reduced pressure in the same manner as in Example 1, 7.3 g of a white waxy solid was obtained, and its number average molecular weight was 1,310.

特許出願人 東亜燃料工業株式会社Patent applicant: Toa Fuel Industries Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)数平均分子量100〜50,000のポリシラザ
ン分子中に、下記一般式( I )又は(II)で表わされ
る結合を導入したことを特徴とする改質ポリシラザン。 一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、▲数式、化学式、表等があります▼は第2級ア
ミン残基を示す)一般式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、−N−R^5は1,1,2−置換ヒドラジン残
基を示す)(2)珪素原子に少なくとも1個の水素原子
を有する数平均分子量が100〜50,000のポリシ
ラザンに塩基性条件下で第2級アミン又は1,1,2−
置換ヒドラジンを反応させることを特徴とする請求項1
の改質ポリシラザンの製造法。
(1) A modified polysilazane characterized by introducing a bond represented by the following general formula (I) or (II) into a polysilazane molecule having a number average molecular weight of 100 to 50,000. General formula (I) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (In the formula, ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ indicates a secondary amine residue) General formula (II) ▲Mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. etc.▼ (In the formula, -N-R^5 represents a 1,1,2-substituted hydrazine residue) (2) A silicon atom with at least one hydrogen atom and a number average molecular weight of 100 to 50, 000 polysilazane under basic conditions with secondary amine or 1,1,2-
Claim 1 characterized in that a substituted hydrazine is reacted.
A method for producing modified polysilazane.
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