JPH0120367B2 - - Google Patents
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- JPH0120367B2 JPH0120367B2 JP4029080A JP4029080A JPH0120367B2 JP H0120367 B2 JPH0120367 B2 JP H0120367B2 JP 4029080 A JP4029080 A JP 4029080A JP 4029080 A JP4029080 A JP 4029080A JP H0120367 B2 JPH0120367 B2 JP H0120367B2
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- diffraction grating
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/04—Slit arrangements slit adjustment
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/02—Details
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J3/02—Details
- G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/20—Rowland circle spectrometers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は凹面回折格子を用いた斜入射分光器に
関する。
関する。
従来真空紫外域の光等を分光し測定しようとす
る場合凹面回折格子を用いた斜入射分光器が利用
されていた。
る場合凹面回折格子を用いた斜入射分光器が利用
されていた。
従来この種の分光器では、入口スリツトを通過
してくるある空間からの光を、いわゆる凹面回折
格子と呼ばれる回折格子の格子面にかなりの角度
で入射させ、その光をこの格子面で回折させるこ
とによつて、ローランド円上の異なる位置にそれ
ぞれ特定波長のスペクトル線を結像する。そして
各スペクトル線を光検出器で測光するものであ
る。
してくるある空間からの光を、いわゆる凹面回折
格子と呼ばれる回折格子の格子面にかなりの角度
で入射させ、その光をこの格子面で回折させるこ
とによつて、ローランド円上の異なる位置にそれ
ぞれ特定波長のスペクトル線を結像する。そして
各スペクトル線を光検出器で測光するものであ
る。
しかしながら上述した装置ではある空間からの
光を分光し測定する際に、ある特定波長のスペク
トル線に対して１つの光検出器を配置し測光して
いた。したがつて、別の空間からくる上述した特
定波長の光について測定しようとする場合にはそ
のつど分光器の位置をずらし測定しなければなら
なかつた。
光を分光し測定する際に、ある特定波長のスペク
トル線に対して１つの光検出器を配置し測光して
いた。したがつて、別の空間からくる上述した特
定波長の光について測定しようとする場合にはそ
のつど分光器の位置をずらし測定しなければなら
なかつた。
本発明の目的は、分光器の位置をずらさなくて
も複数の空間からの光を分光し各空間について特
定波長のスペクトル線を測定できる分光器を得る
ことにある。
も複数の空間からの光を分光し各空間について特
定波長のスペクトル線を測定できる分光器を得る
ことにある。
凹面回折格子を用いた斜入射分光器において得
られる各スペクトル線は、それぞれ格子の溝方向
に長く伸びたものであり、これは従来よりこの種
の分光器の欠点とされていた。本発明は入口スリ
ツトにおける格子の溝方向の長さとある程度小さ
くすることにより、格子の溝方向に位置する各空
間の光と、格子の溝方向に伸びたスペクトル線の
長さ方向に位置する各部の光とがそれぞれ対応し
たものとなるという発見に基づき、測定されるべ
き各空間の光をスペクトル線上の各部の光を測定
することによつて分光器を動かすことなく測定で
きるようにしたものである。
られる各スペクトル線は、それぞれ格子の溝方向
に長く伸びたものであり、これは従来よりこの種
の分光器の欠点とされていた。本発明は入口スリ
ツトにおける格子の溝方向の長さとある程度小さ
くすることにより、格子の溝方向に位置する各空
間の光と、格子の溝方向に伸びたスペクトル線の
長さ方向に位置する各部の光とがそれぞれ対応し
たものとなるという発見に基づき、測定されるべ
き各空間の光をスペクトル線上の各部の光を測定
することによつて分光器を動かすことなく測定で
きるようにしたものである。
以下添付図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。
する。
第１図乃至第３図は本発明の第１実施例を概略
的に示すものであり、第１図は本実施例装置の側
面図、第２図は第１図の装置の平面図、第３図は
第１図、第２図に示した装置の斜視図である。
的に示すものであり、第１図は本実施例装置の側
面図、第２図は第１図の装置の平面図、第３図は
第１図、第２図に示した装置の斜視図である。
これらの図において、常時固定配置にある回折
格子１は格子面１ａが凹状の球面になつており、
この格子面１ａには等間隔の平行溝１ｂが形成さ
れている。すなわち回折格子１はいわゆる「凹面
回折格子」と呼ばれるものである。Ｒは凹面格子
面１ａに接するローランド円を示している。入口
スリツト２ａのスリツト長さ方向は回折格子の溝
方向（以下ｘ方向と称す）と平行である。図中ス
リツト長さはｄ、スリツト幅はｅで示されてい
る。そしてこの入口スリツト２ａはローランド円
Ｒ上に配設されている。スリツト長さ制限板２ｂ
は図示の如くｘ方向と直交する方向（以下ｙ方向
と称す）に伸びた開口を有する遮光板で、上述し
た入口スリツト２ａのスリツト長さｄを制限す
る。もちろんスリツト幅ｅ、スリツト長さｄをそ
れぞれ可変にしてやつてもよい。３ａ〜３ｅ、４
ａ〜４ｅはそれぞれ光検出器の列であり、各検出
器はｘ方向に配列されている。検出器のうち３ｃ
と４ｃの光検出器はローランド円Ｒ上に位置す
る。そしてこれらの要素１、２、３ａ〜３ｅ、４
ａ〜４ｅがこの分光器に内蔵されている。
格子１は格子面１ａが凹状の球面になつており、
この格子面１ａには等間隔の平行溝１ｂが形成さ
れている。すなわち回折格子１はいわゆる「凹面
回折格子」と呼ばれるものである。Ｒは凹面格子
面１ａに接するローランド円を示している。入口
スリツト２ａのスリツト長さ方向は回折格子の溝
方向（以下ｘ方向と称す）と平行である。図中ス
リツト長さはｄ、スリツト幅はｅで示されてい
る。そしてこの入口スリツト２ａはローランド円
Ｒ上に配設されている。スリツト長さ制限板２ｂ
は図示の如くｘ方向と直交する方向（以下ｙ方向
と称す）に伸びた開口を有する遮光板で、上述し
た入口スリツト２ａのスリツト長さｄを制限す
る。もちろんスリツト幅ｅ、スリツト長さｄをそ
れぞれ可変にしてやつてもよい。３ａ〜３ｅ、４
ａ〜４ｅはそれぞれ光検出器の列であり、各検出
器はｘ方向に配列されている。検出器のうち３ｃ
と４ｃの光検出器はローランド円Ｒ上に位置す
る。そしてこれらの要素１、２、３ａ〜３ｅ、４
ａ〜４ｅがこの分光器に内蔵されている。
いま測定空間ｓからの光をスリツト長さｄ、ス
リツト幅ｅの入口スリツト２ａを介して回折格子
１の格子面１ａに導く。格子面１ａはこの光を反
射するが、たとえ入射角αが同じであつたとして
も光の波長によつて回折角βは異なり、ローラン
ド円Ｒ上の異なる位置にそれぞれ特定波長のスペ
クトル線が結像される。図中l1はある波長λ1の光
が結像されたスペクトル線であり、l2はある波長
λ2の光が結像されたスペクトル線を示している。
前述した凹面格子１は凹面と光の入射角との関係
で溝の幅方向（ｚ方向と称す）には結像能力があ
るが溝方向（ｘ方向）にほとんど結像能力がない
為、光はｘ方向には発散光束のまま進み、入口ス
リツト部２ａの像がローランド円Ｒ上で線状にい
わゆるアス像として結像され、ｘ方向に伸びたス
ペクトル線l1，l2となる。
リツト幅ｅの入口スリツト２ａを介して回折格子
１の格子面１ａに導く。格子面１ａはこの光を反
射するが、たとえ入射角αが同じであつたとして
も光の波長によつて回折角βは異なり、ローラン
ド円Ｒ上の異なる位置にそれぞれ特定波長のスペ
クトル線が結像される。図中l1はある波長λ1の光
が結像されたスペクトル線であり、l2はある波長
λ2の光が結像されたスペクトル線を示している。
前述した凹面格子１は凹面と光の入射角との関係
で溝の幅方向（ｚ方向と称す）には結像能力があ
るが溝方向（ｘ方向）にほとんど結像能力がない
為、光はｘ方向には発散光束のまま進み、入口ス
リツト部２ａの像がローランド円Ｒ上で線状にい
わゆるアス像として結像され、ｘ方向に伸びたス
ペクトル線l1，l2となる。
従来スリツト幅ｅを変えることによりスペクト
ル線の分解能を調節し、制限板２ｂによつてスリ
ツト長さｄを変えることによりスペクトル線の光
量を調節していたが、本発明はスリツト長さ制限
板２ｂでスリツト長さｄを小さくすることにより
測定空間ｓ内のｘ方向に並んだ各空間s1，s2，s3，
s4，s5とスペクトル線上の長さ方向（ｘ方向）に
位置する各部分とがそれぞれ対応するという発見
に基づいてなされた。
ル線の分解能を調節し、制限板２ｂによつてスリ
ツト長さｄを変えることによりスペクトル線の光
量を調節していたが、本発明はスリツト長さ制限
板２ｂでスリツト長さｄを小さくすることにより
測定空間ｓ内のｘ方向に並んだ各空間s1，s2，s3，
s4，s5とスペクトル線上の長さ方向（ｘ方向）に
位置する各部分とがそれぞれ対応するという発見
に基づいてなされた。
すなわち本実施例も測定空間ｓからの光を入口
スリツトを介して各波長毎にローランド円Ｒ上に
結像し複数のｘ方向に伸びたスペクトル線l1，l2
を得るのであるが、光量調節用の部材２ｂによつ
てスリツト長さｄを充分小さくとつてあるので、
空間平面ｓ内のｘ方向に並んだ各空間s1〜s5の光
がスペクトル線上のｘ方向に並んだ各部分の光と
対応する。したがつて例えば波長λ2の光のスペク
トル線l2上に複数の光検出器４ａ〜４ｅを配置す
れば測定空間ｓのうち空間s1からくる波長λ2の光
は光検出器４ａ上に導かれ、空間s2，s3，s4，s5
からくる光はそれぞれ光検出器４ｂ，４ｃ，４
ｄ，４ｅ上に導かれる。こうして測定空間内の複
数の空間s1〜s5の光を同時に測定できる。
スリツトを介して各波長毎にローランド円Ｒ上に
結像し複数のｘ方向に伸びたスペクトル線l1，l2
を得るのであるが、光量調節用の部材２ｂによつ
てスリツト長さｄを充分小さくとつてあるので、
空間平面ｓ内のｘ方向に並んだ各空間s1〜s5の光
がスペクトル線上のｘ方向に並んだ各部分の光と
対応する。したがつて例えば波長λ2の光のスペク
トル線l2上に複数の光検出器４ａ〜４ｅを配置す
れば測定空間ｓのうち空間s1からくる波長λ2の光
は光検出器４ａ上に導かれ、空間s2，s3，s4，s5
からくる光はそれぞれ光検出器４ｂ，４ｃ，４
ｄ，４ｅ上に導かれる。こうして測定空間内の複
数の空間s1〜s5の光を同時に測定できる。
また波長λ1の光のスペクトル線l1上に複数の光
検出器３ａ〜３ｅを配置すれば測定空間内の各空
間s1，s2，s3，s4，s5からくる光のうち波長λ1の
光がそれぞれ光検出器３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，
３ｅ上に導かれることになり、異なる波長λ1の光
に対しても複数の測定部分s1〜s5の光を同時に測
定できる。
検出器３ａ〜３ｅを配置すれば測定空間内の各空
間s1，s2，s3，s4，s5からくる光のうち波長λ1の
光がそれぞれ光検出器３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，
３ｅ上に導かれることになり、異なる波長λ1の光
に対しても複数の測定部分s1〜s5の光を同時に測
定できる。
前述した第１実施例はある特定波長の光が結像
されたスペクトル線の上に複数の光検出器を配置
し、このスペクトル線各部の光を測定した。第１
実施例についての数値例を以下に示す。
されたスペクトル線の上に複数の光検出器を配置
し、このスペクトル線各部の光を測定した。第１
実施例についての数値例を以下に示す。
分光器の大きさは凹面回折格子１の曲率半径で
表わすとＲ＝3m、入射角α＝87゜、入口スリツト
２ａはスリツト長さｄ＝0.5mm、スリツト幅ｅ＝
20μm、回折格子１は溝本数1200本／mm、寸法は
50mm（幅）×37mm（長）、また本分光器の測定波長
域は50〜500Åである。入口スリツト２ａと回折
格子１間の距離をra、回折格子と像点間の距離を
rbとすると、 ra＝Rcos α＝157mm、rb＝Rcos βと表わさ
れる。
表わすとＲ＝3m、入射角α＝87゜、入口スリツト
２ａはスリツト長さｄ＝0.5mm、スリツト幅ｅ＝
20μm、回折格子１は溝本数1200本／mm、寸法は
50mm（幅）×37mm（長）、また本分光器の測定波長
域は50〜500Åである。入口スリツト２ａと回折
格子１間の距離をra、回折格子と像点間の距離を
rbとすると、 ra＝Rcos α＝157mm、rb＝Rcos βと表わさ
れる。
但し sinα−sinβ＝λ／σ
ここで回折光は１次のみを考え、λはその波
長、σは溝本数の逆数である。前述したように入
射角αが同じであつても光の波長によつて回折角
βが異なるから測定波長としてλ1＝100Å、λ2＝
300Åの２波長を選ぶと βとrbは次のようになる。
長、σは溝本数の逆数である。前述したように入
射角αが同じであつても光の波長によつて回折角
βが異なるから測定波長としてλ1＝100Å、λ2＝
300Åの２波長を選ぶと βとrbは次のようになる。
λ1＝100Å、β＝80.62゜、rb＝489mm
λ2＝300Å、β＝74.29゜、rb＝812mm
これより、光検出器は、回折格子から489mmあ
るいは812mm離れたローランド円上に置けばよい。
測定したいプラズマは大きさが25cmあり分光器か
ら2m離れている。これをS1，S2，S3，S4，S5の
各測定空間についてそれぞれ測定する。中心の空
間S3および両端の空間S1，S5について、得られる
スペクトル線像の空間的位置と強度を、第２図を
もとに説明する。但し、像面は回折格子とS3によ
る像点の中心を結ぶ直線（主回折光の方向）に直
交してとるものとする。中心の空間S3から光は、
入口スリツトの長さｄ＝0.5mmで制限され、回折
格子の中心付近のみで回折される。両端の空間
S1，S5を、それぞれプラズマ中心から11.5cm離れ
たプラズマの端とすると、ここからの光は同様に
入口スリツトで制限され、回折格子の中心から長
さ方向に９mmずれた付近に入射し、回折される。
その結果、光検出器で得られる２つの波長値
（100Å、300Å）でのスペクトル像の空間的な位
置と強度分布を第４図、第５図それぞれに示す。
この図より端の空間S1あるいはS2からの光による
スペクトル像は、中心の空間S3からの像に対し
て、波長100Åでは40mm、波長300Åでは60mmｘ方
向にずれた所に生ずるので、それだけ離れた位置
にそれぞれ光検出器（あるいは出口スリツトと光
検出器の組合せ）を置けば、空間点S1〜S5からの
光を分離して検出することができる。像の強度分
布を示す図において、両端の空間S1，S5からの光
によるものは、中心の空間S3からの光による像よ
りも少し拡がつている。これはS1，S5の像が少し
傾いているためで、その様子は像の空間的な位置
の図から見ることができる。そこで出口スリツト
と光検出器の組合わせにおいては、この傾きにあ
わせて出口スリツトを設置し、波長分解能を向上
させている。その結果、中心の空間S3からの光に
よる像と同程度の分解能を得ることができる。傾
きの大きさは第４図および第５図の例で0.6〜0.7゜
程度である。第２実施例は特定波長の光が結像さ
れたスペクトル線に対し１つの光検出器を配置し
た例である。すなわち第２実施例は第３図のスペ
クトル線l2に配置された複数の光検出器４ａ〜４
ｅのかわりにこのスペクトル線l2の長さ方向に受
光面を有する１つの光検出器（不図示）を配置す
るとともに、この検出器の前側におけるスペクト
ル線上に１つのスリツトを配置し、このスリツト
をスペクトル線l2の長さ方向に沿つて走行するこ
とによつてスペクトル線l2の各部の光を選択的に
光検出器に導き、スペクトル線l2の各部の光を測
定できるようにしたものである。
るいは812mm離れたローランド円上に置けばよい。
測定したいプラズマは大きさが25cmあり分光器か
ら2m離れている。これをS1，S2，S3，S4，S5の
各測定空間についてそれぞれ測定する。中心の空
間S3および両端の空間S1，S5について、得られる
スペクトル線像の空間的位置と強度を、第２図を
もとに説明する。但し、像面は回折格子とS3によ
る像点の中心を結ぶ直線（主回折光の方向）に直
交してとるものとする。中心の空間S3から光は、
入口スリツトの長さｄ＝0.5mmで制限され、回折
格子の中心付近のみで回折される。両端の空間
S1，S5を、それぞれプラズマ中心から11.5cm離れ
たプラズマの端とすると、ここからの光は同様に
入口スリツトで制限され、回折格子の中心から長
さ方向に９mmずれた付近に入射し、回折される。
その結果、光検出器で得られる２つの波長値
（100Å、300Å）でのスペクトル像の空間的な位
置と強度分布を第４図、第５図それぞれに示す。
この図より端の空間S1あるいはS2からの光による
スペクトル像は、中心の空間S3からの像に対し
て、波長100Åでは40mm、波長300Åでは60mmｘ方
向にずれた所に生ずるので、それだけ離れた位置
にそれぞれ光検出器（あるいは出口スリツトと光
検出器の組合せ）を置けば、空間点S1〜S5からの
光を分離して検出することができる。像の強度分
布を示す図において、両端の空間S1，S5からの光
によるものは、中心の空間S3からの光による像よ
りも少し拡がつている。これはS1，S5の像が少し
傾いているためで、その様子は像の空間的な位置
の図から見ることができる。そこで出口スリツト
と光検出器の組合わせにおいては、この傾きにあ
わせて出口スリツトを設置し、波長分解能を向上
させている。その結果、中心の空間S3からの光に
よる像と同程度の分解能を得ることができる。傾
きの大きさは第４図および第５図の例で0.6〜0.7゜
程度である。第２実施例は特定波長の光が結像さ
れたスペクトル線に対し１つの光検出器を配置し
た例である。すなわち第２実施例は第３図のスペ
クトル線l2に配置された複数の光検出器４ａ〜４
ｅのかわりにこのスペクトル線l2の長さ方向に受
光面を有する１つの光検出器（不図示）を配置す
るとともに、この検出器の前側におけるスペクト
ル線上に１つのスリツトを配置し、このスリツト
をスペクトル線l2の長さ方向に沿つて走行するこ
とによつてスペクトル線l2の各部の光を選択的に
光検出器に導き、スペクトル線l2の各部の光を測
定できるようにしたものである。
これまでに述べた実施例は各スペクトル線l1，
l2にそれぞれ専用の光検出器を設けたものであ
る。次に述べる第３実施例はあるスペクトル線l2
を測光する光検出器４ａ〜４ｅで他のスペクトル
線l1も測光できるようにしたものである。すなわ
ち第３図に示した光検出器３ａ〜３ｅを省略し、
光検出器４ａ〜４ｅを全部いつしよにローランド
円Ｒ方向に走行するものである。スペクトル線は
第２図から明らかな如く回折格子１から遠ざかる
程長くなり、各空間s1〜s5に対応したスペクトル
線上の各部分の間隔も回折格子から遠いスペクト
ル線程広がる。したがつてスペクトル線l2上にあ
る光検出器４ａ〜４ｅをローランド円Ｒ方向に走
行し、スペクトル線l1の上に至らせる時には光検
出器４ａ〜４ｅの間隔を次第にせばめてやり、各
検出器がスペクトル線l1上に至つた時にはそれぞ
れの検出器が第２図に示した検出器３ａ〜３ｅの
位置にくるようにしてやるのが望ましい。
l2にそれぞれ専用の光検出器を設けたものであ
る。次に述べる第３実施例はあるスペクトル線l2
を測光する光検出器４ａ〜４ｅで他のスペクトル
線l1も測光できるようにしたものである。すなわ
ち第３図に示した光検出器３ａ〜３ｅを省略し、
光検出器４ａ〜４ｅを全部いつしよにローランド
円Ｒ方向に走行するものである。スペクトル線は
第２図から明らかな如く回折格子１から遠ざかる
程長くなり、各空間s1〜s5に対応したスペクトル
線上の各部分の間隔も回折格子から遠いスペクト
ル線程広がる。したがつてスペクトル線l2上にあ
る光検出器４ａ〜４ｅをローランド円Ｒ方向に走
行し、スペクトル線l1の上に至らせる時には光検
出器４ａ〜４ｅの間隔を次第にせばめてやり、各
検出器がスペクトル線l1上に至つた時にはそれぞ
れの検出器が第２図に示した検出器３ａ〜３ｅの
位置にくるようにしてやるのが望ましい。
本実施例では光検出器４ａ〜４ｅを全部いつし
よに移動したが、各光検出器４ａ〜４ｅをそれぞ
れ独立して移動できるようにしてやつてもよい。
よに移動したが、各光検出器４ａ〜４ｅをそれぞ
れ独立して移動できるようにしてやつてもよい。
これまで実施例では凹状球面を格子面とした、
いわゆる「凹面回折格子」を用いて説明してきた
が、本発明は凹状のシリンドリカルな面を格子面
とする回折格子を用いてもよい。もちろんシリン
ドリカルな面の母線はｘ方向に向いており、格子
溝もｘ方向に向いている。このような回折格子を
用いてもスペクトル線l1，l2の長さが伸びるだけ
で前述した実施例と同様の効果が得られる。本発
明でいう凹面回折格子は前述したいわゆる「凹面
回折格子」の他に、上述したような凹状シリンド
リカルな格子面をもつ回折格子も含むものとす
る。また凹状のトロイダル面を格子面とした回折
格子も本発明でいう凹面回折格子に含まれること
はいうまでもない。
いわゆる「凹面回折格子」を用いて説明してきた
が、本発明は凹状のシリンドリカルな面を格子面
とする回折格子を用いてもよい。もちろんシリン
ドリカルな面の母線はｘ方向に向いており、格子
溝もｘ方向に向いている。このような回折格子を
用いてもスペクトル線l1，l2の長さが伸びるだけ
で前述した実施例と同様の効果が得られる。本発
明でいう凹面回折格子は前述したいわゆる「凹面
回折格子」の他に、上述したような凹状シリンド
リカルな格子面をもつ回折格子も含むものとす
る。また凹状のトロイダル面を格子面とした回折
格子も本発明でいう凹面回折格子に含まれること
はいうまでもない。
尚実施例ではローランド円上にスリツト及び光
検出器が配置された場合について述べたが本発明
は必ずしもそれらがローランド円上に配置される
ことに限定されるものではなく、ローランド円以
外の部分にスペクトル線が結像される場合にはそ
のスペクトル線上の各部分を測光すればよい。
検出器が配置された場合について述べたが本発明
は必ずしもそれらがローランド円上に配置される
ことに限定されるものではなく、ローランド円以
外の部分にスペクトル線が結像される場合にはそ
のスペクトル線上の各部分を測光すればよい。
以上詳述した如く本発明によれば分光器の位置
をずらさなくても複数の空間からの光を分光し各
空間について特定波長のスペクトル線を測定でき
る。
をずらさなくても複数の空間からの光を分光し各
空間について特定波長のスペクトル線を測定でき
る。
第１図〜第３図は本発明の第１実施例を概略的
に示し、第１図は側面図、第２図は平面図、第３
図は斜視図である。第４図は第１実施例の数値例
における波長100Åのスペクトル像（距離の単位
はmm）のＡ空間的な位置とＢ強度分布、第５図は
同数値例における波長300Åのスペクトル像（距
離の単位はmm）のＡ空間的な位置とＢ強度分布で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕 １…凹面回折格
子、１ａ…格子面、１ｂ…格子溝、Ｒ…ローラン
ド円、２ａ…入口スリツト、ｄ…スリツト長さ、
l2…スペクトル線、４ａ〜４ｅ…光検出器（測定
箇所）。
に示し、第１図は側面図、第２図は平面図、第３
図は斜視図である。第４図は第１実施例の数値例
における波長100Åのスペクトル像（距離の単位
はmm）のＡ空間的な位置とＢ強度分布、第５図は
同数値例における波長300Åのスペクトル像（距
離の単位はmm）のＡ空間的な位置とＢ強度分布で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕 １…凹面回折格
子、１ａ…格子面、１ｂ…格子溝、Ｒ…ローラン
ド円、２ａ…入口スリツト、ｄ…スリツト長さ、
l2…スペクトル線、４ａ〜４ｅ…光検出器（測定
箇所）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 格子面が少なくとも溝の幅方向に曲率を有す
る凹面回折格子を用いて特定波長のスペクトル線
を形成し、該スペクトル線の測光を行なう斜入射
分光器おいて、 入口スリツトにおける前記回折格子の溝方向の
長さを、該回折格子の溝方向に位置する各空間の
光と、該回折格子の溝方向に伸びた前記スペクト
ル線の長さ方向に位置する各部の光とがそれぞれ
対応したものとなる程度に短かくすると共に、 前記スペクトル線の長さ方向に沿つて複数の測
定箇所を設け、各測定箇所で前記スペクトル線の
測光を可能としたことを特徴とする分光器。 ２ 各測定箇所に対応してそれぞれ光検出器を配
設したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の分光器。 ３ スペクトル線の長さ方向に受光面を有する１
つの光検出器が配置されており、前記スペクトル
線上に配置されたスリツトが前記スペクトル線に
沿つて走行することにより各測光箇所の光を前記
光検出器に導くことを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の分光器。 ４ 複数のスペクトル線上にそれぞれ複数の測定
箇所を設け、各測定箇所の光を測光可能としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の分
光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4029080A JPS56137229A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Diagonal incidence spectroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4029080A JPS56137229A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Diagonal incidence spectroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56137229A JPS56137229A (en) | 1981-10-27 |
| JPH0120367B2 true JPH0120367B2 (ja) | 1989-04-17 |
Family
ID=12576463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4029080A Granted JPS56137229A (en) | 1980-03-31 | 1980-03-31 | Diagonal incidence spectroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56137229A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5900248B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-04-06 | 東亜ディーケーケー株式会社 | 分光光度計 |
-
1980
- 1980-03-31 JP JP4029080A patent/JPS56137229A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56137229A (en) | 1981-10-27 |
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