JPH01203910A - 膜厚分布測定方法 - Google Patents
膜厚分布測定方法Info
- Publication number
- JPH01203910A JPH01203910A JP2951088A JP2951088A JPH01203910A JP H01203910 A JPH01203910 A JP H01203910A JP 2951088 A JP2951088 A JP 2951088A JP 2951088 A JP2951088 A JP 2951088A JP H01203910 A JPH01203910 A JP H01203910A
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- Japan
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- light
- metallic material
- width direction
- film thickness
- metal material
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、鋼板等の金属材の表面に形成された有機膜の
厚み分布を測定する方法に関する。
厚み分布を測定する方法に関する。
鋼板は一般に腐食し易いが、その表面に有機膜を形成し
たものは耐食性が要求される用途への適用が可能となる
。
たものは耐食性が要求される用途への適用が可能となる
。
しかし、有機膜が厚いものを溶接が必要とされる用途へ
適用した場合にはその溶接性が問題となることが多く、
また有機膜が薄いものを耐食性が特に要求される用途へ
適用した場合には耐食性不良を生ずることがある。
適用した場合にはその溶接性が問題となることが多く、
また有機膜が薄いものを耐食性が特に要求される用途へ
適用した場合には耐食性不良を生ずることがある。
従って、有機膜は適当な厚みとする必要があり、鋼板表
面に有機膜を形成する工程においては、走行される鋼板
の表面に形成される有機膜の厚み（以下膜厚という）の
分布をオンライン測定し、その測定値に基づいて膜厚を
調整する必要がある。
面に有機膜を形成する工程においては、走行される鋼板
の表面に形成される有機膜の厚み（以下膜厚という）の
分布をオンライン測定し、その測定値に基づいて膜厚を
調整する必要がある。
かかる膜厚をオンライン測定する方法としては、赤外線
吸収現象を利用した赤外線膜厚計を用いる方法（例えば
特願昭６１−６８１５７号）、β線の後方散乱を利用し
た膜厚計を用いる方法等、種々の方法が開発されている
。
吸収現象を利用した赤外線膜厚計を用いる方法（例えば
特願昭６１−６８１５７号）、β線の後方散乱を利用し
た膜厚計を用いる方法等、種々の方法が開発されている
。
ところで、上述した如き膜厚計はいずれも鋼板表面にお
ける限られた範囲（例えばφ１０Ｃ＋１以下の円内）の
平均膜厚しか測定できないため、走行される鋼板の全幅
又は−室以上の幅にわたって膜厚を測定しその分布を求
める必要がある場合には、前記膜厚計を複数個（例えば
１０個以上）並設すること、前記膜厚計を金属材の幅方
向にトラバースすること等の対策が講じられる。
ける限られた範囲（例えばφ１０Ｃ＋１以下の円内）の
平均膜厚しか測定できないため、走行される鋼板の全幅
又は−室以上の幅にわたって膜厚を測定しその分布を求
める必要がある場合には、前記膜厚計を複数個（例えば
１０個以上）並設すること、前記膜厚計を金属材の幅方
向にトラバースすること等の対策が講じられる。
然るに、上述の如く膜厚計を複数個並設する場合は膜厚
計及びその付属装置を複数組用意しなければならないた
めに装置が非常に高価なものとなり、また膜厚計を幅方
向にトラバースする場合にはそのトラバースの間に金属
材が走行することに起因して膜厚測定不能の部分が生じ
て膜厚分布を確実に測定することができないことがある
という問題がある。
計及びその付属装置を複数組用意しなければならないた
めに装置が非常に高価なものとなり、また膜厚計を幅方
向にトラバースする場合にはそのトラバースの間に金属
材が走行することに起因して膜厚測定不能の部分が生じ
て膜厚分布を確実に測定することができないことがある
という問題がある。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、より
安価な装置にて金属材の膜厚分布を確実に測定し得る手
段を提供することを課題とする。
安価な装置にて金属材の膜厚分布を確実に測定し得る手
段を提供することを課題とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る膜厚測定方法は、有機膜が表面に形成され
た金属材に、広い波長範囲の光を金属材の幅方向にわた
って照射し、その反射光を分光して前記幅方向及び前記
光の波数方向の２次元にわたる光強度分布を求め、その
２次元の光強度分布のうちの波数方向の光強度分布の周
期性から前記有機膜の厚みを演算すると共に、その演算
を前記幅方向にわたって行うことにより、前記有機膜の
厚み分布を求めることを特徴とする。
た金属材に、広い波長範囲の光を金属材の幅方向にわた
って照射し、その反射光を分光して前記幅方向及び前記
光の波数方向の２次元にわたる光強度分布を求め、その
２次元の光強度分布のうちの波数方向の光強度分布の周
期性から前記有機膜の厚みを演算すると共に、その演算
を前記幅方向にわたって行うことにより、前記有機膜の
厚み分布を求めることを特徴とする。
かかる本発明方法にあっては、膜厚測定のために金属材
に広い波長範囲の光が照射されるため、有機膜表面での
反射光と金属材表面での反射光との間で干渉が生じる結
果、反射光強度は前記光の波数にって強弱が生じる。そ
してこの強弱は下記（１）式に示す周期Ｔでもって周期
性を示すので、該周期Ｔを求めることにより膜厚ｄを演
算することができる。
に広い波長範囲の光が照射されるため、有機膜表面での
反射光と金属材表面での反射光との間で干渉が生じる結
果、反射光強度は前記光の波数にって強弱が生じる。そ
してこの強弱は下記（１）式に示す周期Ｔでもって周期
性を示すので、該周期Ｔを求めることにより膜厚ｄを演
算することができる。
但し、ｎ：有機膜の屈折率
θ：入射角
また膜厚測定のために金属材に照射される先は金属材に
対してその幅方向にわたるように照射され、その反射光
の強度分布も前記幅方向にわたって求められるため、上
述の演算を前記幅方向にわたって行うことにより、前記
幅方向にわたる膜厚分布が確実に求められる。なお該膜
厚分゛布は金属材の走行に伴ってその長さ方向にわたっ
ても求められる。
対してその幅方向にわたるように照射され、その反射光
の強度分布も前記幅方向にわたって求められるため、上
述の演算を前記幅方向にわたって行うことにより、前記
幅方向にわたる膜厚分布が確実に求められる。なお該膜
厚分゛布は金属材の走行に伴ってその長さ方向にわたっ
ても求められる。
〔実施例］
以下本発明をその実施例を示す図面に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明方法の実施状態を正面視的に示す模式的
説明図、第２図はその平面視的な説明図である。図中１
は有機膜２が表面に形成された金属材を示しており、該
金属材１はその長さ方向へ走行している。そしてその上
方には、該金属材ｌの板幅方向に十分に長い（本実施例
では板幅よりも長い）光源３が配置されている。そして
該光源３からは前記金属材１に対し、広い波長範囲の光
Ａが金属材ｌの幅方向にわたって（本実施例では全幅に
わたって）照射され、それが該金属材１の表面にて反射
される反射光は受光部４にて受光されるようになってい
る。
説明図、第２図はその平面視的な説明図である。図中１
は有機膜２が表面に形成された金属材を示しており、該
金属材１はその長さ方向へ走行している。そしてその上
方には、該金属材ｌの板幅方向に十分に長い（本実施例
では板幅よりも長い）光源３が配置されている。そして
該光源３からは前記金属材１に対し、広い波長範囲の光
Ａが金属材ｌの幅方向にわたって（本実施例では全幅に
わたって）照射され、それが該金属材１の表面にて反射
される反射光は受光部４にて受光されるようになってい
る。
該受光部４には凹面鏡４１，４２ 、スリット４６、回
折格子４３、レンズ４４、二次元撮像素子４５等が内蔵
されており、前記反射光は凹面鏡４１にて反射し凹面鏡
４２にて反射して平行光線となった後、回折格子４３に
よって分光され、レンズ４４を経由した後に撮像素子４
５上に結像するようになっている。
折格子４３、レンズ４４、二次元撮像素子４５等が内蔵
されており、前記反射光は凹面鏡４１にて反射し凹面鏡
４２にて反射して平行光線となった後、回折格子４３に
よって分光され、レンズ４４を経由した後に撮像素子４
５上に結像するようになっている。
該撮像素子４５の出力からは前記金属材１の幅方向及び
前記光Ａの波数方向の２次元にわたる光強度分布が求め
られるが、その２次元の光強度分布のうちの波数方向の
光強度分布は、第３図に示す如く油膜２の膜厚ｄを含む
前記（１）弐に示す周期Ｔでもって周期性を示す。従っ
て、核用３ｔＪｌＴを求めることにより前記膜厚ｄを演
算することができる。
前記光Ａの波数方向の２次元にわたる光強度分布が求め
られるが、その２次元の光強度分布のうちの波数方向の
光強度分布は、第３図に示す如く油膜２の膜厚ｄを含む
前記（１）弐に示す周期Ｔでもって周期性を示す。従っ
て、核用３ｔＪｌＴを求めることにより前記膜厚ｄを演
算することができる。
更にかかる演算は前記金属材１の幅方向にわたっても行
われ、これによって前記有機膜２の厚み分布が確実に求
められる。なお該厚み分布は金属材１の走行に伴ってそ
の長さ方向にわたっても求められる。
われ、これによって前記有機膜２の厚み分布が確実に求
められる。なお該厚み分布は金属材１の走行に伴ってそ
の長さ方向にわたっても求められる。
畝上の如く金属材表面の有機膜の厚み分布を求める場合
は、従来のように複数の膜厚計を並設する必要がないた
め、安価な装置を用いることができる。また従来のよう
に膜厚計をトラバースする必要がないため、そのトラバ
ースに起因して膜厚測定不能の部分が生じるということ
がなくなり、確実に前記厚み分布を求めることが可能と
なる。
は、従来のように複数の膜厚計を並設する必要がないた
め、安価な装置を用いることができる。また従来のよう
に膜厚計をトラバースする必要がないため、そのトラバ
ースに起因して膜厚測定不能の部分が生じるということ
がなくなり、確実に前記厚み分布を求めることが可能と
なる。
第１図は本発明方法の実施状態を正面視的に示す模式的
説明図、第２図はその平面視的な模式的説明図、第３図
は幅方向及び波数方向の２次元にわたる反射光強度分布
のうちの波数方向の分布を示すグラフである。 １・・・金属材 ２・・・有機膜 ３・・・光源 ４・
・・受光部 ４３・・・回折格子 ４５・・・二次元撮
像素子 ４６・・・スリン）Ａ・・・広い波長範囲の光 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理
士 河 野 登 夫！ 第 ２１ 第 ３ ■
説明図、第２図はその平面視的な模式的説明図、第３図
は幅方向及び波数方向の２次元にわたる反射光強度分布
のうちの波数方向の分布を示すグラフである。 １・・・金属材 ２・・・有機膜 ３・・・光源 ４・
・・受光部 ４３・・・回折格子 ４５・・・二次元撮
像素子 ４６・・・スリン）Ａ・・・広い波長範囲の光 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理
士 河 野 登 夫！ 第 ２１ 第 ３ ■
Claims (1)
- １、有機膜が表面に形成された金属材に、広い波長範囲
の光を金属材の幅方向にわたって照射し、その反射光を
分光して前記幅方向及び前記光の波数方向の２次元にわ
たる光強度分布を求め、その２次元の光強度分布のうち
の波数方向の光強度分布の周期性から前記有機膜の厚み
を演算すると共に、その演算を前記幅方向にわたって行
うことにより、前記有機膜の厚み分布を求めることを特
徴とする膜厚分布測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2951088A JPH01203910A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 膜厚分布測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2951088A JPH01203910A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 膜厚分布測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01203910A true JPH01203910A (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=12278096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2951088A Pending JPH01203910A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 膜厚分布測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01203910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07306017A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Nissan Motor Co Ltd | 塗装膜厚計測装置 |
-
1988
- 1988-02-09 JP JP2951088A patent/JPH01203910A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07306017A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Nissan Motor Co Ltd | 塗装膜厚計測装置 |
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