JPH01204340A - 直熱式リニアフィラメント型電子銃 - Google Patents
直熱式リニアフィラメント型電子銃Info
- Publication number
- JPH01204340A JPH01204340A JP63027644A JP2764488A JPH01204340A JP H01204340 A JPH01204340 A JP H01204340A JP 63027644 A JP63027644 A JP 63027644A JP 2764488 A JP2764488 A JP 2764488A JP H01204340 A JPH01204340 A JP H01204340A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- linear
- linear filament
- electron gun
- thermal electrons
- Prior art date
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- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は金属蒸気を発生させる熱源として用いられる直
熱式リニアフィラメント型電子銃に関し、蒸着製蓋等に
も応用可能なものである。
熱式リニアフィラメント型電子銃に関し、蒸着製蓋等に
も応用可能なものである。
〈従来の技術〉
従来の電子銃は、第２図に示すようにヘアピン状フィラ
メント３へ電源２より電流を供給してフィラメント３を
加熱し、発生した熱電子を円筒状アノード５の加速電圧
にて引き出して加速し、ターゲットに照射させる加熱源
として用いられるものである。ここで、グリッド４は熱
電子６の引き出し量や集光の制御を行うものである。
メント３へ電源２より電流を供給してフィラメント３を
加熱し、発生した熱電子を円筒状アノード５の加速電圧
にて引き出して加速し、ターゲットに照射させる加熱源
として用いられるものである。ここで、グリッド４は熱
電子６の引き出し量や集光の制御を行うものである。
〈発明が解決しようとする課題〉
従来の電子銃により得られる電子ビーム６の形状はスポ
ット状であるため、ターゲット上の電子ビーム照射範囲
１は円形となっている。加熱すべき範囲が狭いときは、
この様な電子銃でも良いが、広範囲に電子ビームを照射
して加熱する場合には左右にオシレーションする必要が
ある。
ット状であるため、ターゲット上の電子ビーム照射範囲
１は円形となっている。加熱すべき範囲が狭いときは、
この様な電子銃でも良いが、広範囲に電子ビームを照射
して加熱する場合には左右にオシレーションする必要が
ある。
しかし、金属蒸気を発生させる熱源とじて用いる場合、
蒸気密度の変動等の問題があり、オシレーション不可能
の場合がある。
蒸気密度の変動等の問題があり、オシレーション不可能
の場合がある。
本発明は、電子ビームの形状を長尺化し、広範囲にわた
って安定で均一な電子ビームを得ることが可能な電子銃
を提供し、もって金属蒸発を効率的、均一的に行え、作
業時間の大幅短縮を可能とし、従来のスポット状ビーム
では不可能であった金属蒸発の分舒への適用も可能とし
、電子銃の応用拡大を図ることを目的とするものである
。
って安定で均一な電子ビームを得ることが可能な電子銃
を提供し、もって金属蒸発を効率的、均一的に行え、作
業時間の大幅短縮を可能とし、従来のスポット状ビーム
では不可能であった金属蒸発の分舒への適用も可能とし
、電子銃の応用拡大を図ることを目的とするものである
。
く課題を解決するための手段〉
斯かる目的を達成するための本発明の構成は金属蒸発装
置に用いられる長尺の直線状電子ビームを得る電子銃に
おいて、長尺のリニアフィラメントと、該リニアフィラ
メントに電流を供給する電源と、該リニアフィラメント
を支持するフィラメント支持構造体と、該支持構造体を
冷却するための冷却室と、前記リニアフィラメントから
発生する熱電子を引き出して加速する長尺のアノードと
、該熱電子の引き出し量を調整し、これを集光するため
のグリッドとを備えることを特徴とするく作 用〉 リニアフィラメントに通電して加熱することにより、熱
電子を発生させると、この熱電子はアノードに印加され
た加速電圧によって引き出され直線状の電子ビームとな
って加速する。グリッドにはアノードと逆電位が印加さ
れ、電子ビーム出力と集光性が調整される。
置に用いられる長尺の直線状電子ビームを得る電子銃に
おいて、長尺のリニアフィラメントと、該リニアフィラ
メントに電流を供給する電源と、該リニアフィラメント
を支持するフィラメント支持構造体と、該支持構造体を
冷却するための冷却室と、前記リニアフィラメントから
発生する熱電子を引き出して加速する長尺のアノードと
、該熱電子の引き出し量を調整し、これを集光するため
のグリッドとを備えることを特徴とするく作 用〉 リニアフィラメントに通電して加熱することにより、熱
電子を発生させると、この熱電子はアノードに印加され
た加速電圧によって引き出され直線状の電子ビームとな
って加速する。グリッドにはアノードと逆電位が印加さ
れ、電子ビーム出力と集光性が調整される。
〈実 施 例〉
以下、本発明の一実施例について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図及び第３図に本発明の一実施例に係る電子銃２０
を示す。両図に示されるように箱状のケーシング３５内
には側面から棚部３５ａ、３５ｂが突設され、これら棚
部３５ａ。
を示す。両図に示されるように箱状のケーシング３５内
には側面から棚部３５ａ、３５ｂが突設され、これら棚
部３５ａ。
３５ｂに絶縁碍子板３０がｏリング１６を介して水平に
支持されている。絶縁碍子板３゜より下部は冷却油１８
が流入し、排出される冷却室５０であるため、油が洩れ
ないよう０リング１６でシールされている。ケーシング
３５の底面をそれぞれ電流導入端子１２が絶縁碍子４０
を介して貫通しており、これら電流導入端子１２はフィ
ラメント電源（交流でも直流でも良い）７０に接続され
ている。−方、絶縁碍子板３０を２本のフィラメント支
持構造材６０が貫通しており、各フィラメント支持構造
材６０は各々棒状をなすと共に各々リード１ｓ１１を介
して電流導入端子１２に接続している。フィラメント支
持構造材６０の上端にはフィラメント固定部１７がそれ
ぞれ設けられると共にこれらフィラメント固定部１７の
間にリニアフィラメント１３が水平に支持されている。
支持されている。絶縁碍子板３゜より下部は冷却油１８
が流入し、排出される冷却室５０であるため、油が洩れ
ないよう０リング１６でシールされている。ケーシング
３５の底面をそれぞれ電流導入端子１２が絶縁碍子４０
を介して貫通しており、これら電流導入端子１２はフィ
ラメント電源（交流でも直流でも良い）７０に接続され
ている。−方、絶縁碍子板３０を２本のフィラメント支
持構造材６０が貫通しており、各フィラメント支持構造
材６０は各々棒状をなすと共に各々リード１ｓ１１を介
して電流導入端子１２に接続している。フィラメント支
持構造材６０の上端にはフィラメント固定部１７がそれ
ぞれ設けられると共にこれらフィラメント固定部１７の
間にリニアフィラメント１３が水平に支持されている。
リニアフィラメント１３は、棒状体をなすと共にその両
端が直角に折り曲げられている。リニアフィラメント１
３は、ケーシング３５の上蓋として設けられるグリッド
１４のスリット状の開口の直下に支持されている。グリ
ッド１４の直上には、スリット状の開口を有するアノー
ド１５が支持されると共にこのアノード１５は加速電源
９０により正電圧が印加されている。一方、グリッド１
４は、グリッド電源８０により負電圧が印加されている
。アノード１５は冷却水１０を給排することにより行な
われる。尚、第３図中、１９は等電位面を示すものであ
る。
端が直角に折り曲げられている。リニアフィラメント１
３は、ケーシング３５の上蓋として設けられるグリッド
１４のスリット状の開口の直下に支持されている。グリ
ッド１４の直上には、スリット状の開口を有するアノー
ド１５が支持されると共にこのアノード１５は加速電源
９０により正電圧が印加されている。一方、グリッド１
４は、グリッド電源８０により負電圧が印加されている
。アノード１５は冷却水１０を給排することにより行な
われる。尚、第３図中、１９は等電位面を示すものであ
る。
上記構成を有する本実施例の電子銃２０は次の様に使用
される。
される。
まず、フィラメント電源７０から直流又は交流電流を電
流導入端子１２、リード線１１、フィラメント支持構造
材６０を介して長尺状のリニアフィラメント１３へ供給
する。各電流導入端子１２、フィラメント支持構造材６
０の間には絶縁碍子４０、絶縁碍子板３０等が介在する
ので短絡することはない。電流の供給されるリニアフィ
ラメント１３は２７００に程度まで抵抗加熱され、熱電
子を発生する。
流導入端子１２、リード線１１、フィラメント支持構造
材６０を介して長尺状のリニアフィラメント１３へ供給
する。各電流導入端子１２、フィラメント支持構造材６
０の間には絶縁碍子４０、絶縁碍子板３０等が介在する
ので短絡することはない。電流の供給されるリニアフィ
ラメント１３は２７００に程度まで抵抗加熱され、熱電
子を発生する。
これに伴う発熱は、冷却室５０内に給排される冷却油に
よって奪われることになる。
よって奪われることになる。
一方、加速電源９０によりアノード１５に正電位を印加
すると、リニアフィラメント１３から発生した熱電子が
引き出され、加速されることにより長尺状の電子ビーム
６となる。
すると、リニアフィラメント１３から発生した熱電子が
引き出され、加速されることにより長尺状の電子ビーム
６となる。
このとき、グリッド電源８０によりグリッド１４の電位
を調整すれば、リニアフィラメント１３から発生する熱
電子の量を調整したり、集光性を制御することが可能で
ある。又、アノード１５の冷却は冷却水１０の給排によ
り行なわれる。
を調整すれば、リニアフィラメント１３から発生する熱
電子の量を調整したり、集光性を制御することが可能で
ある。又、アノード１５の冷却は冷却水１０の給排によ
り行なわれる。
この様に、本実施例の電子銃２０は、長尺状の電子ビー
ム６を発生できるので、この電子ビーム６の照射される
範囲１は第１図に示すようにスポット状ではなく細長い
長尺状のものとなる。従って本発明の電子銃を用いれば
、従来不可能であった長尺の金属蒸気の発生が可能とな
ると共に安定な蒸気密度を得る乙とができる。例えば、
その具体的適用例を第４図に示すように、電子銃２０か
ら出射した電子ビーム６を、偏向磁場発生装置２３によ
る磁場２４により９０度曲げてるつぼ２１内のターゲッ
ト２２に照射して、金属蒸気２５を発生させるようにし
ても良い。このようにすると、電子ビーム６は偏向によ
り集束作用を受けてターゲット２２上で集束されるため
、効率よく金属蒸気を発生する乙とができる。
ム６を発生できるので、この電子ビーム６の照射される
範囲１は第１図に示すようにスポット状ではなく細長い
長尺状のものとなる。従って本発明の電子銃を用いれば
、従来不可能であった長尺の金属蒸気の発生が可能とな
ると共に安定な蒸気密度を得る乙とができる。例えば、
その具体的適用例を第４図に示すように、電子銃２０か
ら出射した電子ビーム６を、偏向磁場発生装置２３によ
る磁場２４により９０度曲げてるつぼ２１内のターゲッ
ト２２に照射して、金属蒸気２５を発生させるようにし
ても良い。このようにすると、電子ビーム６は偏向によ
り集束作用を受けてターゲット２２上で集束されるため
、効率よく金属蒸気を発生する乙とができる。
〈発明の効果〉
以上、実施例に基づいて具体的に説明したように本発明
の電子銃は、スポット状ではなく、長尺状の電子ビーム
を発生することができる。このため、電子ビームを左右
にオシレートさせずに、均一な安定した長尺状電子ビー
ムにより金属蒸発を効率的、均一的に行うことができる
こととなり、このため作業時間の大幅短縮が可能となる
。つまり、長尺状の電子ビーム照射を必要とする金属蒸
発等の分野への応用が可能となる。
の電子銃は、スポット状ではなく、長尺状の電子ビーム
を発生することができる。このため、電子ビームを左右
にオシレートさせずに、均一な安定した長尺状電子ビー
ムにより金属蒸発を効率的、均一的に行うことができる
こととなり、このため作業時間の大幅短縮が可能となる
。つまり、長尺状の電子ビーム照射を必要とする金属蒸
発等の分野への応用が可能となる。
第１図は本発明の一実施例に係る直熱式リニアフィラメ
ント型電子銃の構成図、第２図は、従来の電子銃の構成
図、第３図は本発明の一実雄側に係る直熱式リニアフィ
ラメント型電子銃の作動原理図、第４図は本発明の電子
銃の具体的適用例を示す説明図である。 図 面 中、 １は電子ビームの照射範囲、 ２は電源、 ３はフィラメント、 ４はグリッド、 ５はアノード、 ６は電子ビーム、 １０は冷却水、 １１はリード線、 １２は電流導入端子、 １３はリニアフィラメント、 １４はグリッド、 １５はアノード、 １６は０リング、 １７はフィラメント固定部、 １８は冷却油、 ２０は電子銃、 ２１はるつぼ、 ２２はターゲット、 ２３は偏向磁場発生装置、 ２４は磁場、 ２５は金属蒸気、 ３０は絶縁碍子板、 ３５はケーシング、 ４０は絶縁碍子、 ５０は冷却室、 ６０はフィラメント支持構造材、 ７０はフィラメント電源、 ８０はグリッド電源、 ９０は加速電源である。
ント型電子銃の構成図、第２図は、従来の電子銃の構成
図、第３図は本発明の一実雄側に係る直熱式リニアフィ
ラメント型電子銃の作動原理図、第４図は本発明の電子
銃の具体的適用例を示す説明図である。 図 面 中、 １は電子ビームの照射範囲、 ２は電源、 ３はフィラメント、 ４はグリッド、 ５はアノード、 ６は電子ビーム、 １０は冷却水、 １１はリード線、 １２は電流導入端子、 １３はリニアフィラメント、 １４はグリッド、 １５はアノード、 １６は０リング、 １７はフィラメント固定部、 １８は冷却油、 ２０は電子銃、 ２１はるつぼ、 ２２はターゲット、 ２３は偏向磁場発生装置、 ２４は磁場、 ２５は金属蒸気、 ３０は絶縁碍子板、 ３５はケーシング、 ４０は絶縁碍子、 ５０は冷却室、 ６０はフィラメント支持構造材、 ７０はフィラメント電源、 ８０はグリッド電源、 ９０は加速電源である。
Claims (1)
- 金属蒸発装置に用いられる長尺の直線状電子ビームを得
る電子銃において、長尺のリニアフィラメントと、該リ
ニアフィラメントに電流を供給する電源と、該リニアフ
ィラメントを支持するフィラメント支持構造体と、該支
持構造体を冷却するための冷却室と、前記リニアフィラ
メントから発生する熱電子を引き出して加速する長尺の
アノードと、該熱電子の引き出し量を調整し、これを集
光するためのグリッドとを備えることを特徴とする直熱
式リニアフィラメント型電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63027644A JPH01204340A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | 直熱式リニアフィラメント型電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63027644A JPH01204340A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | 直熱式リニアフィラメント型電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01204340A true JPH01204340A (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=12226639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63027644A Pending JPH01204340A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | 直熱式リニアフィラメント型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01204340A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199255A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP63027644A patent/JPH01204340A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199255A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
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