JPH01205916A - 形彫り放電加工における加工誤差補正制御法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、放電加工前に行う電極と工作物との位置合せ
誤差をなくすと同時に、放電加工中に生じる間隙変化に
よる加工誤差を診断し、それを正確に補正制御する方法
に関するもので、特に形彫り放電加工の高精度化な好適
なものである。

〔従来の技術〕

形彫り放電加工機は、金型産業を中心とする種種の産業
界で広く利用されており、中でも多目的加工の制御が可
能なＮ（制御式放電加工機が多く普及しつつある。従来
技術としては例えば特公昭６１−５８２５５号公報、特
開昭５８−１６００１８号公報記載の技術がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

一般にＮＣ制御式放電加工機は第８図に示すように、放
電加工を行う機械本体とその一連の制御を行うＮＧ制御
装置内蔵の制御電源本体とに大別される。ベツド３にＸ
軸とＹ軸の駆動機構を内蔵したｘ、Ｙテーブル４が搭載
され、かつその上部には加工槽５が配置され、その中に
加工対象製品の工作物２が取り付けられるようになって
いる。

また、Ｚ軸の電極送り機構が内蔵されたクイル６は支柱
７によって支持され、そのタイル先端部に電極が取り付
けられている。８は加工液供給装置で、加工槽５内に加
工液を満すと共に、放電加工によって生じる加工生成物
（加工屑や加工液の分解物など）を適宜排出させるため
に、電極１と工作物２との放電加工を近傍部にも適量の
加工液が供給できるようになっている。一方、制御電源
本体９に内蔵されたＮＧ制御装置９ａは、任意の加工条
件の設定、登録や加工電源回路９Ｃの制御が行えると同
時に、３軸駆動制御回路９ｂを経由して電極１と工作物
２との位置決め制御、さらにＺ軸の電極送り機構の駆動
及び加工中の電極位置の制御、Ｘ軸、Ｙ軸のテーブル機
構の駆動及び揺動制御など、放電加工で必要な一連の制
御を行うことができるようになっている。

このように構成されたＮＣ制御式放電加工機を使用して
従来から放電加工が行われているが、近年の産業の高度
化に伴い、高能率加工はもとより、特に高精度加工に対
する要求が高まっている。

放電加工による成形品の加工精度は仕上げ加工工程で大
半が決まるが、加工に関係する要因が多くあるため、各
因子の特性及び相互関係を十分に把握しないと効果的な
加工の高精度化を図ることができない、加工精度に関係
する要因は数表１に示すように、（１）機械的要因（２
）制御的要因（３）放電加工現象的要因（４）温度的要
因（５）その他要因に分類することができる。

表１ これらの要因に対して、その対策が物理的に容易なもの
と困難なものとがあり、特に（３）項については放電加
工特有の現象が絡んでいるため、その対応策がやっかい
である。中でも、放電加工中に生じる加工間隙変化によ
る加工誤差は、高精度加工を粗害する大きな要因として
指摘されている。

また、加工前に行う電極と工作物との位置決めで生じる
設定誤差も見過ごすことのできない要因の１つである。

このような間隙に係わる誤差が生じる状況について、こ
こでは穴加工を１つの例題にして具体的に説明する。

第９図及び数表２〜４は、加工対象品の加工仕様に対す
るその加工計画と条件選定、及びその加工工程に応じた
電極送り量と揺動半径の算出法の概要を示したものであ
る０表２は穴加工例、表３は加工計画、表４は電極送り
量と揺動半径の算出法を示す。

表２ 表３ ＣｊＪｌＯ：技術データファイルよりｍ表４ また、第１０図はこの穴加工に対する電極送り量を示し
た拡大図である。更に、第１１図は、第８図に示したＮ
Ｃ制御式放電加工機を用いて実際に加工を実施するため
の加工動作のフローチャート例を示す、一般に放電加工
は荒加工から最終の仕上げ加工に至るまで数工程で行い
、各々の加工条件は、加工速度９面粗さ、電極消耗率、
極間ギャップ（加工間隙）などの緒特性が記載された加
工技術データファイルより適切な条件を選定する。

言うまでもなく、荒加工の条件は放電エネルギーが大き
いので高速加工が行え、仕上げ加工の条件では所要の面
粗さを得るために、その放電エネルギーが小さく低速加
工となる。また、電極消耗の影響をなくすために、極力
電極消耗率の小さい条件が選定されている。

深さ方向の電極送り量と半径方向の揺動量は、表４に示
したように各加工条件における加工面粗さ値と極間ギャ
ップ値を加減算することによって求められ、この算出結
果に基づいて各々設定される。最初の加工では特に揺動
（ｒ１＝ｏ）を行う必要がないが、使用する電極径が所
定値より小さければ、その所定値に対応するように揺動
量を加算することによって所定の加工を行うことができ
る。

このようにして計画した加工内容をプログラム化して、
それをＮＣ制御式放電加工機に入力し、また、所定形状
の電極と工作物を所定位置に設置する。そしてこの加工
準備が整ってから実際の加工運転に入り、第１１図に示
したフローチャートのように加工動作が実行される。深
さ方向の基準面は、加工対象物に応じて設定するが、説
明を分りやすくするため、ここでは第１０図に示したよ
うに加工穴の工作物表面としている。加工前に行うこの
基準面設定は、電極と工作物との接触感知による方法が
従来から利用され、ここでも同じ方法で行っている。放
電加工はこの基準面より深さ方向に行われ、その加工の
進行に追従した加工間隙をある適正な範囲内に保つよう
に電極位置を制御する。加工間隙を制御する方法として
は、極間の平均加工電圧を検出してこれを一定に制御す
る方法が簡便で従来から広く用いられている。この他に
もいくつかの制御方法があるが、いずれにしても加工間
隙を適正な範囲に保つようにしなければ、放電現象が乱
れて正常な放電加工を持続することができない。第１１
図の中でステップには加工工程（第８図参照）の順位を
示し、ここではに＝１〜６となる。この時の電極送り量
の目襟値ＺｋはＺｚ〜Ｚｅで、最終上げ加工のＺｅ（Ｚ
、）に到達するまで順次加工を繰り返し行うようになっ
ている。

このような方法で加工を実した場合、間隙に係わる誤差
が生じる。１つは加工前に生じる基準面の設定誤差であ
り、他の一つは加工中に生じる加工間隙変化による誤差
である。接触感知による位置決め設定は、電極表面の端
部に形成しやすいパリや工作物の表面に付着したゴミ、
ホコリ及び他の介在物の影響を受けやすく、その誤差量
が数μｍに及ぶこともあり、正確な基準面出しがきわめ
て困難である。接触感知以外の他の位置決め方法として
、例えば特公昭６１−５８２５５号公報に開示されてい
るように、高圧電圧の印加によるコロナ放電を利用した
検知法がある。この検知法を用いれば、上記のような問
題点を回避することが可能であるが、通常の放電加工電
圧よりもきわめて高い１ｏＯｏｖ程度の特別な高圧電源
及び制御装置が必要になり、かつ安定性にも注意を要す
る。さらに空気中でのコロナ放電を利用することは可能
であっても、液中及び加工途中での利用はその現象が異
ってしまうので空気中と同じ取り扱いが困難である。

一方、放電加工中の加工間隙は常に一定ではなく、種々
の加工条件によって増減し、かつ加工生成物の影響によ
る放電加工現象の変化に応じて上下変動している。この
ため、あらかじめ設定した加工間隙（ＧＡＰ）にはなら
ず、この設定値との相違量が加工誤差に結び付くことに
なる。第１２図は及び表５は、第１１図に示した方法で
加工した時のステップに加工後の電極位置と間隙誤差の
状況を示したものである。

表５ 設定値Ｇｋに対する実際の間隙値Ｇ＆が過大であれば（
Ｇ　ｈ　＜　Ｇ　ａ　）　、加工過多になり、反対に過
小であれば（Ｇ　ｂ　＞　Ｇ　ａ　）　、加工不足にな
ってしまう。

設定値との相違量は、放電及び加工現象に大きく左右さ
れ、数μｍから数十μｍにも及ぶことがある、したがっ
て、従来技術ではこのような間隙変化による加工誤差を
解消することがきわめて困難であり、加工の高精度化を
図ることができない。

加工誤差を測定及び補正する方法としては、例えば特開
昭５８−１６００１８号公報に開示されているように、
加工を途中で中断し、ｍ定プローブを用いて加工深さを
実測した後、所望深さとの誤差を補正加工する方法があ
る。しかし、加工直後の加工穴底部には加工生成物があ
るのでその影響を受けやすく、正確な測定が困難と考え
られる。このため、この加工生成物の除去作業あるいは
特別な除去装置が必要となり、また、上記の方法は大じ
かけな測定装置が必要となるので、機能的、経済的な面
でも問題がある。

そこで、本発明者は加工間隙誤差をなくすための制御方
法について種々検討した結果、ある微少放電の間隙検出
条件での間隙が特定な値に収束する特性を見い出し、さ
らに、この特性を利用して、加工前の電極と工作物との
位置合せ設定を行い、また放電加工中に生じる加工間隙
誤差を診断し。

それを正確に補正制御する方法を発明した。

本願発明の目的は、加工前の位置合せ誤差や加工中の間
隙誤差を解消して放電加工の高精度化を図ることにあり
、その有効な制御法を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、加工開始前に、所定の位置に各々設定した
電極と工作物との間隙が特定値になる間隙検出条件で所
定時間微小放電させて、その位置検出より加工深さ方向
の基準面設定を行った後、所定の加工を開始し、その後
さらに、最初の荒加工から仕上げ加工の終了に至る加工
途中で、電極送りが指定の深さに達した地点での加工中
の電極位置を測定し、その加工条件から、間隙が特定値
になる間隙検出条件に切り換え、微小放電を所定時間生
じさせながら間隙を収束させた後、その時の電極位置を
測定し、この両方の測定値の変化量より、加工計画時の
所定値に対する加工間隙の誤差量あるいは加工深さの誤
差量を算出し、その誤差量を補正するように電極送り量
を制御してその後の加工を再開するようにして達成され
る。また上記と同様に基準面設定を行った後、所定の加
工を開始し、その後さらに、最初の荒加工から仕上げ加
工の終了に至るステップの過程で、深さ方向の電極位置
が指定の目標値に達してそのステップの加工後を終えた
後に、間隙が特定値になる間隙検出条件に切り換え、微
小放電を所定時間生じさせながら間隙を収束させた後、
その時の電極位置を測定して、その測定値より前記ステ
ップの加工後の深さを求めた後、さらに加工計画時の加
工深さとの誤差量を算出し、この算出結果から補正加工
が必要と判断された場合に、その誤差量を補正するよう
に電極送り量を制御して補正加工を行うようにしても達
成される。

本願筒１の請求項に係る形彫り放電加工による加工誤差
補正制御法は、各種の制御が可能なＮＧ制御式放電加工
機を用いて、工作物に対して所定の位置より電極を所定
の深さ方向に送り、かつその電極送りを制御しながら工
作物の加工を行う最中に生じる加工誤差を補正制御する
方法において、所定の加工途中で、間隙が特定値になる
間隙検出条件に切換え、微小放電を所定時間生じさせな
がら間隙を収束させた後、その時の電極位置を測定し、
さらにその測定結果より、加工計画時の所定値に対する
加工間隙の誤差量あるいは加工深さの誤差量を算出し、
その誤差量を補正するように電極送り量を制御してその
後の加工を再開するようにしたことを特徴とする。

本願第２請求項に係る形彫り放電加工における加工誤差
補正制御法は、各種の制御が可能なＮＧ制御式放電加工
機を用いて、工作物に対して所定の位置より電極を所定
の深さ方向に送り、がっ、荒加工から仕上げ加工まで一
連の加工ステップ順に電極送りを制御しながら工作物の
加工を行う最中に生じる加工誤差を補正制御する方法に
おいて、加工開始前に、所定の位置に各々設定した電極
と工作物との間隙が特定値になる間隙検出条件で所定時
間微小放電させて、その位置検出より加工深さ方向の基
準面設定を行った後、所定の加工を開始し、その後さら
に、前記加工過程で指定したステップの加工途中で、電
極送りが指定の深さに達した地点での加工中の電極位置
を測定し、その加工条件から１間隙が特定値になる間隙
検出条件に切換え、微小放電を所定時間先じさせながら
間隙を収束させた後、その時の電極位置を測定し、この
両方の測定値の変化量より、加工計画時の所定値に対す
る加工間隙の誤差量あるいは加工深さの誤差量を算出し
、その誤差量を補正するように電極送り量を制御してそ
の後の加工を再開するようにしたことを特徴とする。

上記各請求項の発明においては、加工間隙誤差量あるい
は加工深さ誤差量の算出とその補正制御を最終ステップ
の加工途中で行い、また、必要に応じて指定したステッ
プの加工途中でも行えるように構成することが好ましい
。

本願第３請求項に係る加工誤差補正制御法は、各種の制
御が可能なＮＣ制御式放電加工機を用いて、工作物に対
して所定の位置より電極を所定の深さ方向に送り、かつ
、荒加工から仕上げ加工まで一連の加工ステップ順に電
極送りを制御しながら工作物の加工を行う最中に生じる
加工誤差を補正制御する方法において、加工開始前に、
特定の位置に各々設定した電極と工作物との間隙が所定
値になる間隙検出条件で所定時間微小放電させて、その
位置検出より深さ方向の基準面設定を行った後、所定の
加工を開始し、その後さらに、前記荒加工から仕上げ加
工の終了に至る各ステップの過程で、深さ方向の電極位
置が指定の目標値に達してそのステップの加工を終えた
後に、間隙が特定値になる間隙検出条件に切換え、微小
放電を所定時間先じさせながら間隙を収束させた後、そ
の時の電極位置を測定し、その測定値より前記ステップ
の加工後の加工深さを求めた後、さらに加工計画時の所
定値に対する加工深さの誤差量を算出し、この算出結果
から補正加工が必要と判断された場合に、その誤差量を
補正するように電極送り量を制御して補正加工を行うよ
うにしたことを特徴とする。この際、補正加工を最終ス
テップの加工後に行い、また必要に応じて指定したステ
ップ加工後にも行えるように構成することが好ましい。

〔作用〕

上記したように本願発明では、加工前の電極と工作物と
の位置合せ設定（基準面設定）を、間隙が特定値になる
間隙検出条件で所定時間微小放電させて位置検出を行う
ようにしたので、正確な基準面設定ができ、従来の接触
感知法で生じやすい誤差を解消することができる。さら
に、放電加工中に生じる間隙誤差を診断し、それを補正
制御するようにしたので、間隙変化による加工誤差が解
消されて高精度な加工結果を得ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の内容を実施例で具体的に説明する。第１
図は１本発明の内容を示す加工動作のフローチャート例
であり、また、第２図、第３図は、第１図に開示した間
隙誤差補正の内容説明である。

数表６はこのフローにおける処理条件である。

表６ 放電加工機の全体構成を示す。図において、ｆｌ電極と
工作物２に接続された加工電源９は、ＮＣ制御装置１１
によって指令された所定の加工条件及び間隙検出条件に
対応するパルス電圧、ｉｌｔ流を出力する。極間電圧検
出回路２４は、電極１と工作物との間で生じる放電の極
間電圧を検出し、その検出信号をＮＣ制御装置１１と電
極送りサーボ制御回路１６に送信し、放電状態の良否を
判別させる。電極１は、Ｚ軸のパルスサーボモータ１３
に連結された電極送り機構１２の先端部に設置されてお
り、増巾器１５を介して電極送りサーボ制御回路１６に
よって駆動制御されている。その電極送りサーボ制御回
路１６は、ＮＣ制御装置１１からの指令信号で動作する
と共に、各加工条件での放電状態の判別結果に従って電
極位置を適正に制御する。この他にも、指定された加工
条件及び間隙検出条件で電極を周期的上下運動させる機
能を持っている。パルスサーボモータ１３に連結された
パルスエンコーダ１４は、電極１の位置指令に対するそ
の移動位置を検出し、その検出信号が電極送りサーボ制
御回路１６及びＮＣ制御装置１１にフィードバックされ
る０間隙誤差補正回路１０は、ＮＣ制御装置による間隙
検出指令に応じて間隙誤差あるいは加工深さ誤差を診断
し、その診断結果がＮＣ制御装置に送信される。

Ｘ、Ｙテーブル４上に設置された工作物２は、Ｘ、Ｙテ
ーブル機構に搭載され、かつＸ、Ｙテーブル駆動制御回
路２３によって制御される。電極との位置合せや工作物
を揺動させる一連の制御指令はＮＣ制御装置１１より送
信されている。駆動用のパルスモータ１８，１９と移動
検出用のパルスエンコーダ２０，２１は、前記したＺ軸
と同様な機能を持っている。加工槽５には加工液供給装
置より加工液が供給及び循環（図示せず）され、同時に
放電加工近停部にも適量の加工液が供給され、加工生成
物が加工間隙内から適宜排出できるようになっている。

本実施例では、加工前に深さ方向の基準面設定を所定の
位置（従来と同じ加工穴の工作物表面）で行うため、ま
ず、間隙が特定な値になる間隙検出条件で電極と工作物
との間に微小放電を所定時間生じさせる。ここでいう間
隙検出条件とは、最良面加工を行う時のような放電エネ
ルギーがきわめて小さい条件で、かつ印加電圧も通常の
加工条件と同一レベルでよい、所定時間（例えば２０〜
６０秒程度）微少放電させることによって間隙が一定（
ｇｃ）となる、そして、間隙が一定となった地点での電
極位置からｇｃ　を差し引いた地点が加工対象製品の工
作物表面で、基準面となる。このようにして正確な基準
面設定を行った後、所定の加工を開始する。その所定の
加工は従来通り（第１１図参照）であるが５本発明では
、第１図に示したように、加工途中で間隙誤差を診断し
てそれの誤差量を補正制御する。間隙誤差補正制御は補
正指令に従って、第２図、第３図に示したように行う。

まず、加工中（ステップにの条件）のどの地点で開始す
るかを判別させ、例えば加工中の電極送り量Ｚ＆が所定
の目標値Ｚｋからβ手前（βの値としては例えばその加
工下での面粗さ値Ｒ＋＊ａｘｋ）に達した地点とすれば
よい、この地点での加工中の電極位！Ｚａ値を算出後、
間隙が特定値ｇｃになる間隙検出条件に切り換えて、図
中に示すように電極の上下運動による断続的な微小放電
を所定時間生じさせながら間隙を収束させ、収束後の電
極位置Ｚ４を上記と同じように算出する。ｆｆｌ極位置
は放電現象の変化に応じて時々刻々と変動しているので
、安定な測定位置（例えばタイミング時間ｔ□の地点）
を定め、その位置での値を数回測定して平均化するとよ
い。間隙が特定値に収束するのにある程度の時間を要す
るのは、この前段階での加工生成物が残留しているため
で、それを十分に排出する必要があり、電極の上下運動
はその排出促進を図る役目をしている。収束所要時間ｔ
ｃは約３０〜６０秒であることを実験で確認している。

その後、測定した両者の電極位置の変化量ΔＧ。

＝Ｚａ　　Ｚａより、加工中の間隙値Ｇ１を算出（ＧＭ
Δｇ４＋ｇｃ）Ｌ、さらに、加工計画時の間隙値Ｇｋと
の間隙誤差量ΔＧｋを図中に示したように算出（ΔＧ　
ｋ＝　Ｇ　ｈ−Ｇ　ａ　）する、そして、算出した間隙
誤差量を電極送り量に補正（ΔＧｋ＝ΔＺ□）して加工
を再開する。補正後の電極送量Ｚ／１はＺｈ＋ΔＺｏｈ
となる。

このように補正制御することによって、加工中に生じた
間隙変化による加工誤差を解消することができ、従来法
に比べて加工精度が大幅に向上する。上記の間隙誤差の
診断及びその補正制御は最終ステップの加工途中で行い
、また、それに先立つ中間補正も指定のステップの加工
途中で行うようにすることができる。なお、ここでは特
に記述しなかったが、同様な方法で加工中の深さＨａ及
び加工深さ誤差ΔＨｏｈの算出も行うことができる。

第５図及び第６図、第７図は本発明の他の実施例である
。間隙検出条件による基準面設定は、第１図で述べた通
りであるが、加工誤差の診断をここではステップにの加
工後に行い、かつ補正加工の要否を判断させるようにし
である。すなわち、第６図に示すように、指定ステップ
にの加工後に、間隙が特定値になる間隙検出条件に切り
換え、前記と同様に電極の上下運動による断続的な微小
放電を所定時間生じさせて、収束後の電極位置Ｚ４値を
算出（測定）する。そして、加工された深さＨ＆を算出
（Ｈａ＝Ｚｉ＋ｇｃ）後、加工計画時の加工深さＨｈ　
との誤差量ＡＨＯｋを算出（ΔＨａ　ｈ　＝　ＨｋＨａ
）する、さらにこの算出結果から補正加工の要否を判断
し、Ｈｋ＞Ｈａの場合は加工深さ不足で、その誤差量を
電極送り量に補正（八Ｈａ　ｋ＝ΔＺａｈ）して加工を
再開する。補正後の電極送り量Ｚ’にはｚｋ＋ΔＺＯｈ
となる。Ｈｈ　＜　Ｈａの場合には補正加工を行う必要
がない。このように補正制御することによって間隙変化
による加工誤差が解消でき、かつ、制御の簡素化を図る
ことができる。上記の加工誤差の診断（？ｌ１１定）及
び補正制御は最終ステップの加工後に行い、また、必要
に応じて指定したステップの加工後に行えばよい。

尚１次表７は処理条件である。

表７ なお、本発明は、実施例に示した丸穴形状に限らず多種
多用の形状及び複数列の形状の加工に対しても実施する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明はある微小放電の間隙検出条
件での間隙が特定な値に収束する特性を利用して、加工
前の電極と工作物との位置合せ設定を行い、また、放電
加工中に生じる間隙誤差あるいは加工深さ誤差を診断し
、それを補正制御するようにしたので、正確な基準面設
定でき、従来の接触感知法で生じやすい誤差が解消され
、さらに、従来技術では困難であった間隙変化による加
工誤差が解消されて高精度な加工結果を得ることができ
る。さらに本発明の制御法は、簡便な制御回路で迅速、
かつ正確に行うことができるので、従来のような加工を
中断しての加工誤差測定やその手間が省け、また特別な
測定機器を用いる必要がなくなり、記能的、経済的な効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例を示す加工動作のフロー図
、第２図は第１図に開示した間隙誤差補正制御の詳細フ
ロー図、第３図は第２図のフローによる加工成果の経時
変化を示す特性図、第４図は本発明を実施するＮＧ制御
装置の全体構成を示す装置レイアウト図、第５図は本発
明の他の実施例を示す加工動作のフロー図、第６図は第
５図に開示した加工深さ誤差測定及び補正制御の詳細フ
ロー図、第７図は第６図のフローによる加工成果の経時
変化を示す特性図、第８図は従来から使用されているＮ
Ｃ制御式放電加工機の斜視図、第９図は穴加工例におけ
る加工条件を定義する寸法定義説明図、第１０図は加工
穴と電極送り量を示した加工穴近傍の拡大断面図、第１
１図は従来の実施例を示す加工動作のフロー図、第１２
図は第１１図に開示した方法で加工した時の電極位置と
間隙誤差の状況を示す説明図である。 １・・・電極、２・・・工作物、４・・・ＸＹ子テーブ
ル５・・・加工槽、８・・・加工液供給装置、９・・・
加工電源、１０・・・間隙誤差補正制御回路、１１・・
・ＮＧ制御装置、１２・・・電極送り機構、１３・・・
パルスサーボモータ、１４，２０，２１・・・パルスエ
ンコーダ。 １５．２２・・・増「１１器、１６・・・電極送りサー
ボ制御回路、１７・・・ＸＹ子テーブル構、１８，１９
・・・パルスモータ、２３・・・ＸＹ子テーブル動制御
回路、第　２　回 第　３　　口 ４！過許間Ｔ 第　４　の ｔ　−ｔ　極　　　　　　　　　　　／３−　ノｖルス
ｊ−ｊ＜Ｔ−タ２゛Ｌイ￥物　　　　　　　／４．２０
．２Ｊ　−１でルスＬレコータ。 ４　　Ｘ工テーアル　　　　　　ｌｓ、２２　　す宣巾
器７　　カロエ故虎　　　　　　３，１９　へ°ルスモ
ータノ０　　に）免ｔＪ補正Δ御回路　　　　２３　　
　ＸＹチーフル馬Ｃ會１１　ｆｆ？ｌ　ｆ詐回路／／　
　　Ｎｃ＊すｍｕヒ　　　　　　　２４−＊Ａｔｌ’ｔ
ｊｒｋｋ　回ｈｔ２　　電オセ送り＋にη１ 第　Ｓ　目 第　６　図 第　７　口 第　８　　凹 第　１０　日 ど ｌ−を極 ２・・工作物 α・今）を逍込上！ 第　ＩＩ　　図 早　１２　　図 Ｉ・・・を詩 ２・・・１作物

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、各種の制御が可能なＮＣ制御式放電加工機を用いて
   、工作物に対して所定の位置より電極を所定の深さ方向
   に送り、かつその電極送りを制御しながら工作物の加工
   を行う最中に生じる加工誤差を補正制御する方法におい
   て、所定の加工途中で、間隙が特定値になる間隙検出条
   件に切換え、微小放電を所定時間生じさせながら間隙を
   収束させた後、その時の電極位置を測定し、さらにその
   測定結果より、加工計画時の所定値に対する加工間隙の
   誤差量あるいは加工深さの誤差量を算出し、その誤差量
   を補正するように電極送り量を制御してその後の加工を
   再開するようにしたことを特徴とする形彫り放電加工に
   おける加工誤差補正制御法。 ２、各種の制御が可能なＮＣ制御式放電加工機を用いて
   、工作物に対して所定の位置より電極を所定の深さ方向
   に送り、かつ、荒加工から仕上げ加工まで一連の加工ス
   テップ順に電極送りを制御しながら工作物の加工を行う
   最中に生じる加工誤差を補正制御する方法において、加
   工開始前に、所定の位置に各々設定した電極と工作物と
   の間隙が特定値になる間隙検出条件で所定時間微小放電
   させて、その位置検出より加工深さ方向の基準面設定を
   行つた後、所定の加工を開始し、その後さらに、前記加
   工過程で指定したステップの加工途中で、電極送りが指
   定の深さに達した地点での加工中の電極位置を測定し、
   その加工条件から、間隙が特定値になる間隙検出条件に
   切換え、微小放電を所定時間生じさせながら間隙を収束
   させた後、その時の電極位置を測定し、この両方の測定
   値の変化量より、加工計画時の所定値に対する加工間隙
   の誤差量あるいは加工深さの誤差量を算出し、その誤差
   量を補正するように電極送り量を制御してその後の加工
   を再開するようにしたことを特徴とする形彫り放電加工
   における加工誤差補正制御法。 ３、各種の制御が可能なＮＣ制御式放電加工機を用いて
   、工作物に対して所定の位置より電極の所定の深さ方向
   に送り、かつ、荒加工から仕上げ加工まで一連の加工ス
   テップ順に電極送りを制御しながら工作物の加工を行う
   最中に生じる加工誤差を補正制御する方法において、加
   工開始前に、所定の位置に各々設定した電極と工作物と
   の間隙が所定値になる間隙検出条件で所定時間微小放電
   させて、その位置検出より深さ方向の基準面設定を行つ
   た後、所定の加工を開始し、その後さらに、前記荒加工
   から仕上げ加工の終了に至る各ステップの過程で、深さ
   方向の電極位置が指定の目標値に達してそのステップの
   加工を終えた後に、間隙が特定値になる間隙検出条件に
   切換え、微小放電を特定時間生じさせながら間隙を収束
   させた後、その時の電極位置を測定し、その測定値より
   前記ステップの加工後の加工深さを求めた後、さらに加
   工計画時の所定値に対する加工深さの誤差量を算出し、
   この算出結果から補正加工が必要と判断された場合に、
   その誤差量を補正するように電極送り量を制御して補正
   加工を行うようにしたことを特徴とする形彫り放電加工
   における加工誤差補正制御法。