JPH0120645Y2 - - Google Patents
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- JPH0120645Y2 JPH0120645Y2 JP1982088957U JP8895782U JPH0120645Y2 JP H0120645 Y2 JPH0120645 Y2 JP H0120645Y2 JP 1982088957 U JP1982088957 U JP 1982088957U JP 8895782 U JP8895782 U JP 8895782U JP H0120645 Y2 JPH0120645 Y2 JP H0120645Y2
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- JP
- Japan
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- electrode
- fixed
- capacitance
- displacement
- movable electrode
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力や力等を静電容量として検出す
るための変位・容量変換装置に関するものであ
る。
るための変位・容量変換装置に関するものであ
る。
従来、圧力伝送器や差圧伝送器等においては、
受圧素子に受圧する圧力や差圧を検出するため
に、差動容量式の変位・容量変換装置が用いられ
ている。この種の変位・容量変換装置を適用した
例として第１図に差圧伝送器の検出器を示す。図
について説明すると、符号１は本体である。この
本体１は、内部に室２を有すると共に両側部に凹
部３ａ，３ｂが形成されている。また、本体１に
は、前記室２と凹部３ａ，３ｂとを連通する貫通
孔４ａ，４ｂが穿設されている。
受圧素子に受圧する圧力や差圧を検出するため
に、差動容量式の変位・容量変換装置が用いられ
ている。この種の変位・容量変換装置を適用した
例として第１図に差圧伝送器の検出器を示す。図
について説明すると、符号１は本体である。この
本体１は、内部に室２を有すると共に両側部に凹
部３ａ，３ｂが形成されている。また、本体１に
は、前記室２と凹部３ａ，３ｂとを連通する貫通
孔４ａ，４ｂが穿設されている。
また、室２内部には、移動電極５が板ばね６を
介して本体１に連結されている。この移動電極５
の両側方には、それぞれ絶縁体７ａ，７ｂを介し
て第１の固定電極８ａと第２の固定電極８ｂとが
配設されている。上記移動電極５には、板ばね６
を介してリード線１１ａが接続されると共に、第
１、第２の固定電極８ａ，８ｂには、リード線１
１ｂ，１１ｃが接続されている。上記の移動電極
５と第１及び第２の固定電極８ａ，８ｂとは、互
いに所定距離離間して平行に対向配置されるもの
で、差動容量式の変位・容量変換装置１０を構成
するものである。
介して本体１に連結されている。この移動電極５
の両側方には、それぞれ絶縁体７ａ，７ｂを介し
て第１の固定電極８ａと第２の固定電極８ｂとが
配設されている。上記移動電極５には、板ばね６
を介してリード線１１ａが接続されると共に、第
１、第２の固定電極８ａ，８ｂには、リード線１
１ｂ，１１ｃが接続されている。上記の移動電極
５と第１及び第２の固定電極８ａ，８ｂとは、互
いに所定距離離間して平行に対向配置されるもの
で、差動容量式の変位・容量変換装置１０を構成
するものである。
また、移動電極５の中央部には、連結軸１２の
中間部が固定されている。この連結軸１２の両端
部は、それぞれダイアフラム１３ａ，１３ｂに固
定されている。ダイアフラム１３ａ，１３ｂは、
凹部３ａ，３ｂをそれぞれ塞ぐようにして本体１
に取り付けられている。
中間部が固定されている。この連結軸１２の両端
部は、それぞれダイアフラム１３ａ，１３ｂに固
定されている。ダイアフラム１３ａ，１３ｂは、
凹部３ａ，３ｂをそれぞれ塞ぐようにして本体１
に取り付けられている。
上記のように構成された差圧検出器は、２つの
ダイアフラム１３ａ，１３ｂに圧力Pa，Pbを加
え、これらの圧力Pa，Pbの差圧Ｐを検出するも
のである。すなわち、ダイアフラム１３ａ，１３
ｂに連結された連結軸１２には、差圧Ｐに比例す
る力が加わり、これによつて移動電極５に差圧Ｐ
に対応する変位が生じる。この移動電極５の変位
に伴つて、第１の固定電極８ａと移動電極５との
間の静電容量CHと、第２の固定電極８ｂと移動
電極５との間の静電容量CLとが差動的に変化す
る。これらの静電容量CH，CLをリード線１１ａ，
１１ｂ，１１ｃを介して取り出し、図示しない電
気回路に入力して移動電極５の変位（すなわち差
圧Ｐ）に対応する信号を得るものである。
ダイアフラム１３ａ，１３ｂに圧力Pa，Pbを加
え、これらの圧力Pa，Pbの差圧Ｐを検出するも
のである。すなわち、ダイアフラム１３ａ，１３
ｂに連結された連結軸１２には、差圧Ｐに比例す
る力が加わり、これによつて移動電極５に差圧Ｐ
に対応する変位が生じる。この移動電極５の変位
に伴つて、第１の固定電極８ａと移動電極５との
間の静電容量CHと、第２の固定電極８ｂと移動
電極５との間の静電容量CLとが差動的に変化す
る。これらの静電容量CH，CLをリード線１１ａ，
１１ｂ，１１ｃを介して取り出し、図示しない電
気回路に入力して移動電極５の変位（すなわち差
圧Ｐ）に対応する信号を得るものである。
ところで、上記のような変位・容量変換装置１
０を備えた差圧検出器においては、通常静電容量
CH，CLについて次のような演算を行なつて差圧
Ｐに比例する出力信号Ｚを得ている。
０を備えた差圧検出器においては、通常静電容量
CH，CLについて次のような演算を行なつて差圧
Ｐに比例する出力信号Ｚを得ている。
Ｚ＝CH−CL／CH＋CL ……(1)
ただし、この(1)式により与えられる出力信号Ｚ
は、変位・容量変換装置１０の静電容量CH，CL
が、各電極５，８ａ，８ｂの間の距離に反比例す
るという条件のもとで差圧Ｐに対して線形とな
る。すなわち、静電容量CH，CLについて、次の
ような関係を仮定した場合に線形となる。
は、変位・容量変換装置１０の静電容量CH，CL
が、各電極５，８ａ，８ｂの間の距離に反比例す
るという条件のもとで差圧Ｐに対して線形とな
る。すなわち、静電容量CH，CLについて、次の
ような関係を仮定した場合に線形となる。
CH＝Ac／dH＋KP ……(2)
CL＝Ac／dL−KP ……(3)
Ａ：電極の面積
dH，dL：電極間の初期設定距離
Ｋ：移動電極のコンプライアンス
ｃ：誘電率
これらの(2)，(3)式を(1)式に代入すると
Ｚ＝Ac（ａ＋bP） ……(4)
ただし
ａ＝dL−dH／dH＋dL，ｂ＝2K／dH＋dL。
この(4)式から、上記(2)，(3)式が成立する場合に
は、差圧Ｐに対して線形な出力信号Ｚが得られる
ことがわかる。
は、差圧Ｐに対して線形な出力信号Ｚが得られる
ことがわかる。
しかしながら、実際には、静電容量CH，CLは、
変位・容量変換装置の構造によつて決まる固定容
量CHS，CLSを含むため、CH，CLは(2)，(3)式と異な
り次式のようになる。
変位・容量変換装置の構造によつて決まる固定容
量CHS，CLSを含むため、CH，CLは(2)，(3)式と異な
り次式のようになる。
CH＝Ac／dH＋KP＋CHS ……(5)
CL＝Ac／dL−KP＋CLS ……(6)
(5)，(6)式を(1)式に代入して明らかなように、出
力信号Ｚと、差圧Ｐとの関係は非線形となり、こ
のため(1)式に基づく出力信号Ｚは、例えば第２図
に破線で示すような非線形の特性を示す。
力信号Ｚと、差圧Ｐとの関係は非線形となり、こ
のため(1)式に基づく出力信号Ｚは、例えば第２図
に破線で示すような非線形の特性を示す。
上記のように従来の変位・容量変換装置は、そ
の構造により決まる固定容量CHS，CLSのために、
通常の演算処理（(1)式）を行なつた場合に、入力
（例えば差圧Ｐ）に対して出力信号Ｚが非線形の
特性を有するという問題があつた。この問題を解
消するには、CH，CLに対しての演算処理方法を
改善することが考えられるが、(1)式による演算は
汎用性に富み、かつ簡単であるという利点を有す
ることや、上記の非線形性が変位・容量変換装置
の構造に起因するもので、これに対処するには各
変換装置に対応して特殊な電気回路を必要とする
等の理由から実用的ではない。
の構造により決まる固定容量CHS，CLSのために、
通常の演算処理（(1)式）を行なつた場合に、入力
（例えば差圧Ｐ）に対して出力信号Ｚが非線形の
特性を有するという問題があつた。この問題を解
消するには、CH，CLに対しての演算処理方法を
改善することが考えられるが、(1)式による演算は
汎用性に富み、かつ簡単であるという利点を有す
ることや、上記の非線形性が変位・容量変換装置
の構造に起因するもので、これに対処するには各
変換装置に対応して特殊な電気回路を必要とする
等の理由から実用的ではない。
本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、
通常の演算処理によつて入力に対して線形な出力
を得ることができる変位・容量変換装置を提供す
ることを目的とするものである。この目的を達成
するために、考案者等は鋭意研究の結果、変位・
容量変換装置の固定容量CHS，CLSの割合を種々に
変えた場合に、入力と出力との関係が第３図に示
すように種々の特性を示すことを知見した。
通常の演算処理によつて入力に対して線形な出力
を得ることができる変位・容量変換装置を提供す
ることを目的とするものである。この目的を達成
するために、考案者等は鋭意研究の結果、変位・
容量変換装置の固定容量CHS，CLSの割合を種々に
変えた場合に、入力と出力との関係が第３図に示
すように種々の特性を示すことを知見した。
本考案は、この知見に基いてなされたもので、
移動電極両面と第１及び第２の固定電極面の少な
くとも一つを、前記移動電極の移動方向に対して
傾斜させて設けることにより、移動電極と各固定
電極との間に形成される各隙間を異なる形状と
し、もつて第１または第２の固定電極と移動電極
との間の静電容量の固定容量成分を適宜設定する
ことにより、所望の出力特性が得られるようにし
たものである。
移動電極両面と第１及び第２の固定電極面の少な
くとも一つを、前記移動電極の移動方向に対して
傾斜させて設けることにより、移動電極と各固定
電極との間に形成される各隙間を異なる形状と
し、もつて第１または第２の固定電極と移動電極
との間の静電容量の固定容量成分を適宜設定する
ことにより、所望の出力特性が得られるようにし
たものである。
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第４図は、本考案の第１の実施例を示す図であ
る。この図において第１図と同じ構成要素には、
同一符号を付してその説明を省略する。
る。この図において第１図と同じ構成要素には、
同一符号を付してその説明を省略する。
第４図に示す変位・容量変換装置１９が、第１
図に示すものと異なる点は、移動電極２０の第１
の固定電極２１に対向する電極面２０ａと、第２
の固定電極２２に対向する電極面２０ｂとが互い
に異なる形状となるように形成されている点であ
る。すなわち、移動電極２０は、第１の固定電極
２１側に位置する円盤状の電極部２０−１と第２
の固定電極２２側に位置する円盤状の電極部２０
−２とが、板ばね６を挾み込むようにして互いに
溶接、固定されてなるもので、第２の固定電極２
２側の電極部２０−２に形成された環状の溶接溝
で、電子ビーム溶接されている。そして、移動電
極２０の第１の固定電極２１と対向する電極面２
０ａは、平面状に形成されると共に、第１の固定
電極２１と平行となるように配置されている。一
方、移動電極２０の第２の固定電極２２と対向す
る電極面２０ｂは、その面と第２の固定電極２２
との間の距離が中央部で小さく、外周縁部で大き
くなるような円錐状の曲面として形成されてい
る。なお、この電極面２０ｂの曲面は、溶接時の
熱変形により形成することもできる。
図に示すものと異なる点は、移動電極２０の第１
の固定電極２１に対向する電極面２０ａと、第２
の固定電極２２に対向する電極面２０ｂとが互い
に異なる形状となるように形成されている点であ
る。すなわち、移動電極２０は、第１の固定電極
２１側に位置する円盤状の電極部２０−１と第２
の固定電極２２側に位置する円盤状の電極部２０
−２とが、板ばね６を挾み込むようにして互いに
溶接、固定されてなるもので、第２の固定電極２
２側の電極部２０−２に形成された環状の溶接溝
で、電子ビーム溶接されている。そして、移動電
極２０の第１の固定電極２１と対向する電極面２
０ａは、平面状に形成されると共に、第１の固定
電極２１と平行となるように配置されている。一
方、移動電極２０の第２の固定電極２２と対向す
る電極面２０ｂは、その面と第２の固定電極２２
との間の距離が中央部で小さく、外周縁部で大き
くなるような円錐状の曲面として形成されてい
る。なお、この電極面２０ｂの曲面は、溶接時の
熱変形により形成することもできる。
上記のような移動電極２０両面の電極面２０
ａ，２０ｂの形状の差異のために、第１の固定電
極２１と移動電極２０との間の静電容量CLと、
第２の固定電極２２と移動電極２０との間の静電
容量CHとは、互いに異なる固定容量成分を有す
るものである。
ａ，２０ｂの形状の差異のために、第１の固定電
極２１と移動電極２０との間の静電容量CLと、
第２の固定電極２２と移動電極２０との間の静電
容量CHとは、互いに異なる固定容量成分を有す
るものである。
次に、上記の変位・容量変換装置１９の作用を
説明する。
説明する。
今、受圧ダイアフラム１３ｂに入力圧が加わる
とした場合、第２の固定電極２２と移動電極２０
との間の容量CHは、次式のように表わされる。
とした場合、第２の固定電極２２と移動電極２０
との間の容量CHは、次式のように表わされる。
CH＝CA／deq−Δd−CF（Δd）＋CHS ……(7)
ただし deq：仮想初期電極間距離
Δd：変位量
(7)式において、右辺第１項は、電極間距離に反
比例する容量、第２項は、電極面の形状及び変位
量Δdに依存する容量、第３項は固定容量を表わ
している。ここで、第２項CF（Δd）は、一般に変
位量Δdの関数であるが、第２の固定電極２２に
対して平行でない移動電極２０の電極面２０ｂの
形状によつて、(7)式の第１項に比べてΔdに関し
ての変化率が小さく、実質的に固定容量とみなす
ことができる。従つて、第２の固定電極２２と移
動電極２０との間の実際の固定容量成分C′HSは、 C′HS＝CHS−CF ……(8) となり、移動電極２０の形状に依存して定められ
ることがわかる。
比例する容量、第２項は、電極面の形状及び変位
量Δdに依存する容量、第３項は固定容量を表わ
している。ここで、第２項CF（Δd）は、一般に変
位量Δdの関数であるが、第２の固定電極２２に
対して平行でない移動電極２０の電極面２０ｂの
形状によつて、(7)式の第１項に比べてΔdに関し
ての変化率が小さく、実質的に固定容量とみなす
ことができる。従つて、第２の固定電極２２と移
動電極２０との間の実際の固定容量成分C′HSは、 C′HS＝CHS−CF ……(8) となり、移動電極２０の形状に依存して定められ
ることがわかる。
従つて、第４図に示す変位・容量変換装置１９
によれば、移動電極２０の電極面の形状を適宜設
定することにより、第１及び第２の固定電極２
１，２２と移動電極２０との間の固定容量CLS，
C′HSを任意に設定でき、これらの固定容量CLS，
C′HSとの比を選択することにより所望の出力特性
をもたせることができる。更には、所望の出力特
性を得ることができるため、これを差圧伝送器等
の検出器に適用することにより、検出器の出力に
非線形をもたらす種々の要因（例えば、受圧ダイ
アフラムの圧力に対する有効面積の非線形性や、
レンジスプリングのバネ特性の非線形性等）にも
対応して、これを補償でき、検出器の出力を線形
とすることができる。
によれば、移動電極２０の電極面の形状を適宜設
定することにより、第１及び第２の固定電極２
１，２２と移動電極２０との間の固定容量CLS，
C′HSを任意に設定でき、これらの固定容量CLS，
C′HSとの比を選択することにより所望の出力特性
をもたせることができる。更には、所望の出力特
性を得ることができるため、これを差圧伝送器等
の検出器に適用することにより、検出器の出力に
非線形をもたらす種々の要因（例えば、受圧ダイ
アフラムの圧力に対する有効面積の非線形性や、
レンジスプリングのバネ特性の非線形性等）にも
対応して、これを補償でき、検出器の出力を線形
とすることができる。
また、第５図ないし第７図は、それぞれ本考案
の第２〜第５の実施例を示す図である。
の第２〜第５の実施例を示す図である。
第５図に示す第２の実施例では、移動電極３０
として、２枚の円盤状の電極部３０−１，３０−
２のそれぞれに溶接溝を形成し、両面から溶接し
て互いに固定したものを用いてある。この移動電
極３０は、その第１の固定電極２１と対向する電
極面３０ａが平面に、また第２の固定電極２２と
対向する電極面３０ｂが円錐状の曲面に形成され
ている。
として、２枚の円盤状の電極部３０−１，３０−
２のそれぞれに溶接溝を形成し、両面から溶接し
て互いに固定したものを用いてある。この移動電
極３０は、その第１の固定電極２１と対向する電
極面３０ａが平面に、また第２の固定電極２２と
対向する電極面３０ｂが円錐状の曲面に形成され
ている。
第６図に示す第３の実施例では、移動電極３５
が、２枚の円盤状の電極部３５−１，３５−２を
雄螺子部を有する連結軸３６と雌螺子部を有する
連結軸３７とによつてレンジスプリング６を挾み
込んだ状態で取り付けられている。この場合も、
移動電極３５の第１の固定電極２１と対向する電
極面３５ａが平面状に、また第２の固定電極２２
と対向する電極面３５ｂが曲面状に形成されてい
る。
が、２枚の円盤状の電極部３５−１，３５−２を
雄螺子部を有する連結軸３６と雌螺子部を有する
連結軸３７とによつてレンジスプリング６を挾み
込んだ状態で取り付けられている。この場合も、
移動電極３５の第１の固定電極２１と対向する電
極面３５ａが平面状に、また第２の固定電極２２
と対向する電極面３５ｂが曲面状に形成されてい
る。
第７図に示す第４の実施例では、第１の固定電
極４５の電極面が平面状に、また第２の固定電極
４６の電極面が円錐状の曲面に形成されている。
この場合、移動電極４７両面の電極面は、ともに
平面状に形成されている。
極４５の電極面が平面状に、また第２の固定電極
４６の電極面が円錐状の曲面に形成されている。
この場合、移動電極４７両面の電極面は、ともに
平面状に形成されている。
上記のような第５図ないし第７図に示す変位・
容量変換装置３４，３９，４９によつても第４図
に示す変位・容量変換装置１９と同様に、第１の
固定電極と移動電極との間の固定容量と、第２の
固定電極と移動電極との間の固定容量との比を適
宜設定して所望の出力特性を得ることができる。
容量変換装置３４，３９，４９によつても第４図
に示す変位・容量変換装置１９と同様に、第１の
固定電極と移動電極との間の固定容量と、第２の
固定電極と移動電極との間の固定容量との比を適
宜設定して所望の出力特性を得ることができる。
なお、図示しないが、移動電極両面の電極面と
２つの固定電極の電極面とを共に傾斜させた場合
も同様な効果を得ることができる。
２つの固定電極の電極面とを共に傾斜させた場合
も同様な効果を得ることができる。
以上、説明したように、本考案の変位・容量変
換装置は、移動電極両面と第１及び第２の固定電
極面の少なくとも一つを、前記移動電極の移動方
向に対して傾斜させて設けることにより、移動電
極と各固定電極との間に形成される各隙間を異な
る形状とし、もつて第１または第２の固定電極と
移動電極との間の固定容量を適宜設定するように
したものであるから、移動電極と第１及び第２の
固定電極との間の固定容量の比を選択することに
より所望の出力特性を得ることができる。従つ
て、本考案の変位・容量変換装置は、これを差圧
伝送器等の検出器に適用することにより、検出器
の出力特性を非線形とする要因を補償して、線形
の出力特性を有する検出器を容易に製造できる。
更には、上記の出力特性の設定を、電極面の傾斜
度合の変更により容易に行なうことができるの
で、コストアツプを招くことがなく、従つて出力
特性の優れた変位・容量変換装置を安価で提供で
きる等の利点を有するものである。
換装置は、移動電極両面と第１及び第２の固定電
極面の少なくとも一つを、前記移動電極の移動方
向に対して傾斜させて設けることにより、移動電
極と各固定電極との間に形成される各隙間を異な
る形状とし、もつて第１または第２の固定電極と
移動電極との間の固定容量を適宜設定するように
したものであるから、移動電極と第１及び第２の
固定電極との間の固定容量の比を選択することに
より所望の出力特性を得ることができる。従つ
て、本考案の変位・容量変換装置は、これを差圧
伝送器等の検出器に適用することにより、検出器
の出力特性を非線形とする要因を補償して、線形
の出力特性を有する検出器を容易に製造できる。
更には、上記の出力特性の設定を、電極面の傾斜
度合の変更により容易に行なうことができるの
で、コストアツプを招くことがなく、従つて出力
特性の優れた変位・容量変換装置を安価で提供で
きる等の利点を有するものである。
第１図は、従来の変位・容量変換装置を適用し
た差圧検出器の断面図、第２図は、従来の変位・
容量変換装置の出力特性の一例を示すグラフ、第
３図は、固定容量値を種々に変化させた場合の出
力特性の例を示すグラフ、第４図は、本考案の第
１の実施例を示す差圧検出器の断面図、第５図な
いし第７図は、それぞれ本考案の第２ないし第４
の実施例を示す断面図である。 １９，３４，３９，４９……変位・容量変換装
置、２０，３０，３５，４７……移動電極、２０
ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂ，３５ａ，３５ｂ…
…移動電極の電極面、２１，４５……第１の固定
電極、２２，４６……第２の固定電極。
た差圧検出器の断面図、第２図は、従来の変位・
容量変換装置の出力特性の一例を示すグラフ、第
３図は、固定容量値を種々に変化させた場合の出
力特性の例を示すグラフ、第４図は、本考案の第
１の実施例を示す差圧検出器の断面図、第５図な
いし第７図は、それぞれ本考案の第２ないし第４
の実施例を示す断面図である。 １９，３４，３９，４９……変位・容量変換装
置、２０，３０，３５，４７……移動電極、２０
ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂ，３５ａ，３５ｂ…
…移動電極の電極面、２１，４５……第１の固定
電極、２２，４６……第２の固定電極。
Claims (1)
- 圧力または力を受けて変位を生じる移動電極
と、この移動電極を挟んで対向するように配設さ
れた第１の固定電極及び第２の固定電極とを備
え、前記移動電極に生じる変位量を前記第１の固
定電極と前記移動電極との間の静電容量と、前記
第２の固定電極と前記移動電極との間の静電容量
の差動的な変化量に変換する変位・容量変換装置
において、前記移動電極の各電極面と第１及び第
２の固定電極面の少なくとも一つを、前記移動電
極の移動方向に対して傾斜させて設けることによ
り、移動電極と各固定電極との間に形成される各
隙間を異なる形状とし、前記移動電極と第１及び
第２の固定電極との間に存在する固定容量を補償
するようにしたことを特徴とする変位・容量変換
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8895782U JPS58191512U (ja) | 1982-06-15 | 1982-06-15 | 変位・容量変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8895782U JPS58191512U (ja) | 1982-06-15 | 1982-06-15 | 変位・容量変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58191512U JPS58191512U (ja) | 1983-12-20 |
| JPH0120645Y2 true JPH0120645Y2 (ja) | 1989-06-21 |
Family
ID=30097606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8895782U Granted JPS58191512U (ja) | 1982-06-15 | 1982-06-15 | 変位・容量変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58191512U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016221285A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 株式会社アクセル | 動作検出装置、遊技機 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669511A (en) * | 1979-11-12 | 1981-06-10 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Displacement detecting device |
-
1982
- 1982-06-15 JP JP8895782U patent/JPS58191512U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016221285A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 株式会社アクセル | 動作検出装置、遊技機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58191512U (ja) | 1983-12-20 |
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