JPH0120961Y2 - - Google Patents
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- JPH0120961Y2 JPH0120961Y2 JP14851484U JP14851484U JPH0120961Y2 JP H0120961 Y2 JPH0120961 Y2 JP H0120961Y2 JP 14851484 U JP14851484 U JP 14851484U JP 14851484 U JP14851484 U JP 14851484U JP H0120961 Y2 JPH0120961 Y2 JP H0120961Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
（考案の属する技術分野）
本考案はたとえば半導体素子の製造に用いられ
る減圧CVD装置やプラズマCVD装置に使用され
るロータリ（油回転）真空ポンプの油を清浄に保
つためのオイルクリーナ装置に関するものであ
る。
る減圧CVD装置やプラズマCVD装置に使用され
るロータリ（油回転）真空ポンプの油を清浄に保
つためのオイルクリーナ装置に関するものであ
る。
（従来の技術）
半導体素子を製造する工程の１つであるCVD
（化学的気相成長）工程において、最も一般的に
使用されるのは減圧CVD法とプラズマCVD法を
それぞれ用いた装置である。これらの装置では通
常その反応炉内を減圧状態に保つためにロータリ
真空ポンプ（以下ロータリポンプという）を使用
している。しかし反応炉内に流入させる反応ガス
の種類や組合わせによつては反応生成物や未反応
ガスの混入による油の劣化が起る。たとえば
SiH2Cl2とNH3によつてSi3N4膜を生成する場合
には、反応副生成物としてNH4Cl（塩化アンモニ
ウム）ができ、またSiH4とO2によりSiO2膜を生
成する場合には、未反応ガスによつて油中に
SiO2（二酸化ケイ素）粉末ができ、いずれの場合
も油の粘度は著しく増大する。このような油粘度
の増大はロータリポンプの負荷を大きくし、ポン
プを破損することもある。この問題を防ぐために
従来用いられている方法には、(1)油をひんぱんに
取替える、(2)オイルフイルタを用いて混入物を取
り除く、という２つの方法があるが、(1)の方法は
高価につく、(2)の方法はフイルタをひんぱんに交
換する必要があつて交換時の作業が煩雑で保守が
著しく厄介であるという欠点があつた。
（化学的気相成長）工程において、最も一般的に
使用されるのは減圧CVD法とプラズマCVD法を
それぞれ用いた装置である。これらの装置では通
常その反応炉内を減圧状態に保つためにロータリ
真空ポンプ（以下ロータリポンプという）を使用
している。しかし反応炉内に流入させる反応ガス
の種類や組合わせによつては反応生成物や未反応
ガスの混入による油の劣化が起る。たとえば
SiH2Cl2とNH3によつてSi3N4膜を生成する場合
には、反応副生成物としてNH4Cl（塩化アンモニ
ウム）ができ、またSiH4とO2によりSiO2膜を生
成する場合には、未反応ガスによつて油中に
SiO2（二酸化ケイ素）粉末ができ、いずれの場合
も油の粘度は著しく増大する。このような油粘度
の増大はロータリポンプの負荷を大きくし、ポン
プを破損することもある。この問題を防ぐために
従来用いられている方法には、(1)油をひんぱんに
取替える、(2)オイルフイルタを用いて混入物を取
り除く、という２つの方法があるが、(1)の方法は
高価につく、(2)の方法はフイルタをひんぱんに交
換する必要があつて交換時の作業が煩雑で保守が
著しく厄介であるという欠点があつた。
（考案の具体的な目的）
本考案は減圧CVD装置やプラズマCVD装置に
使用されるロータリポンプの油に混入する混入物
を取り除くのに安価でしかも保守が容易なオイル
クリーナ装置を提供する。
使用されるロータリポンプの油に混入する混入物
を取り除くのに安価でしかも保守が容易なオイル
クリーナ装置を提供する。
（考案の構成と作用）
第１図は本考案を実施したロータリポンプ用オ
イルクリーナの構成例断面図で、ロータリポンプ
との接続方法も示してある。この図においてオイ
ルクリーナ１はロータリポンプ２と配管３ａおよ
び３ｂによつて接続されている。なおロータリポ
ンプについてはよく知られているので構造や動作
の説明は省略する。オイルクリーナ１は熱伝導度
の良いシリンダ４、ピストン５、ピストン駆動軸
６、シリンダ冷却用水冷パイプ７から構成されて
いる。シリンダ４の中には通常はロータリポンプ
２よりの循環油である油８が流れていて、シリン
ダの内壁にはたとえば前記のNH2Cl(9)が糊状に
付着している状態を示した。
イルクリーナの構成例断面図で、ロータリポンプ
との接続方法も示してある。この図においてオイ
ルクリーナ１はロータリポンプ２と配管３ａおよ
び３ｂによつて接続されている。なおロータリポ
ンプについてはよく知られているので構造や動作
の説明は省略する。オイルクリーナ１は熱伝導度
の良いシリンダ４、ピストン５、ピストン駆動軸
６、シリンダ冷却用水冷パイプ７から構成されて
いる。シリンダ４の中には通常はロータリポンプ
２よりの循環油である油８が流れていて、シリン
ダの内壁にはたとえば前記のNH2Cl(9)が糊状に
付着している状態を示した。
本考案ではロータリポンプ２の下部からオイル
クリーナ１の上部に至る配管３ａにはオイルポン
プ１０と３方バルブ１１ａを設け、この３方バル
ブには給油管１２ａを接続する、またオイルクリ
ーナ１の下部からロータリポンプ２の上部に至る
配管３ｂには３方バルブ１１ｂが設けられ、これ
には排油管１２ｂを接続しておく。
クリーナ１の上部に至る配管３ａにはオイルポン
プ１０と３方バルブ１１ａを設け、この３方バル
ブには給油管１２ａを接続する、またオイルクリ
ーナ１の下部からロータリポンプ２の上部に至る
配管３ｂには３方バルブ１１ｂが設けられ、これ
には排油管１２ｂを接続しておく。
第２図ａ，ｂは本考案によるオイルクリーナ１
のシリンダ４の断面の形状を示す断面図で、ａは
円筒形のもの、ｂはシリンダの内面積を大きくす
るための形状としたものをそれぞれ示している。
また第３図は本考案のオイルクリーナ１とオイル
フイルタ１３を組合わせた場合の構成図である。
のシリンダ４の断面の形状を示す断面図で、ａは
円筒形のもの、ｂはシリンダの内面積を大きくす
るための形状としたものをそれぞれ示している。
また第３図は本考案のオイルクリーナ１とオイル
フイルタ１３を組合わせた場合の構成図である。
次に本考案装置の作用を説明する。通常は３方
弁１１ａは配管３ａとオイルポンプ１０とを接続
し、３方弁１１ｂはオイルクリーナ１と配管３ｂ
とを接続しておくものとする。前記のように油へ
の混入物を生成する反応ガスの組合わせは種々な
ものがあるが、ここではSiH2Cl2とNH3により
Si3N4膜を生成する際にNH4Clが混入する場合を
一例として説明する。反応副生成物として生成さ
れるNH4Clはガスまたは微細粉末としてロータ
リポンプの油に溶解しあるいはコロイド状に混入
する。
弁１１ａは配管３ａとオイルポンプ１０とを接続
し、３方弁１１ｂはオイルクリーナ１と配管３ｂ
とを接続しておくものとする。前記のように油へ
の混入物を生成する反応ガスの組合わせは種々な
ものがあるが、ここではSiH2Cl2とNH3により
Si3N4膜を生成する際にNH4Clが混入する場合を
一例として説明する。反応副生成物として生成さ
れるNH4Clはガスまたは微細粉末としてロータ
リポンプの油に溶解しあるいはコロイド状に混入
する。
さてロータリポンプ運転中の油の温度は通常60
〜80℃程度であつて室温よりかなり高くなつてい
る。第１図においてロータリポンプ２内部の
NH4Clを含んだ油はロータリポンプ２の下部か
ら配管３ａ、および３方バルブ１１ａを通つて、
オイルポンプ１０によりオイルクリーナ１の上部
循環油流入口からシリンダ４の内部に流入する。
このシリンダの外側には水冷パイプ７が巻きつけ
てあつて、その内部に冷却水を流すことによつて
シリンダ４の内壁の一部は20℃〜30℃程度に冷却
される。シリンダ４の上部からシリンダ内に流入
したNH4Clを含む油は冷却されたシリンダ内壁
と接触し冷却されるが、油中のNH4Clの濃度が
高い時は過飽和状態となりNH4Clがシリンダ内
壁に糊状に析出する。他方シリンダ４内を通つた
油はシリンダの下部循環油流出口から３方バルブ
１１ｂ、配管３ｂを通つてロータリポンプ２の上
部からロータリポンプ内に戻る。このような油の
循環を行うことによつて油中のNH4Cl濃度は一
定値以下に保たれ、ロータリポンプの損傷を引き
起すような粘度の増大は起きない。
〜80℃程度であつて室温よりかなり高くなつてい
る。第１図においてロータリポンプ２内部の
NH4Clを含んだ油はロータリポンプ２の下部か
ら配管３ａ、および３方バルブ１１ａを通つて、
オイルポンプ１０によりオイルクリーナ１の上部
循環油流入口からシリンダ４の内部に流入する。
このシリンダの外側には水冷パイプ７が巻きつけ
てあつて、その内部に冷却水を流すことによつて
シリンダ４の内壁の一部は20℃〜30℃程度に冷却
される。シリンダ４の上部からシリンダ内に流入
したNH4Clを含む油は冷却されたシリンダ内壁
と接触し冷却されるが、油中のNH4Clの濃度が
高い時は過飽和状態となりNH4Clがシリンダ内
壁に糊状に析出する。他方シリンダ４内を通つた
油はシリンダの下部循環油流出口から３方バルブ
１１ｂ、配管３ｂを通つてロータリポンプ２の上
部からロータリポンプ内に戻る。このような油の
循環を行うことによつて油中のNH4Cl濃度は一
定値以下に保たれ、ロータリポンプの損傷を引き
起すような粘度の増大は起きない。
しかしこのようにしても長時間動作させればシ
リンダ４の内壁に析出したNH4Clの層は次第に
厚くなり、油冷却のための熱伝導は次第に悪くな
るのでNH4Clの析出効率も劣化し、油の粘度が
増すことになる。このような場合にはオイルポン
プ１０を動作停止させた後、３方バルブ１１ａを
ロータリポンプ２の配管３ａ側から給油管１２ａ
側に切替え、また３方バルブ１１ｂをロータリポ
ンプ２の配管３ｂ側から排油管１２ｂ側に切替え
る。なお給油管１２ａは新しい清浄油の入つたオ
イルタンク１４に接続されている。このような状
態で駆動軸６にてピストン５をピストンがシリン
ダ４の底に着くまで押し下げると、これによつて
シリンダ内壁に付着したNH4Clは掻き落され、
シリンダ内の汚れた油８と共に３方バルブ１１ｂ
から排油管１２ｂを通つて外部に排出される。そ
してこの時シリンダ内のピストン上方空間にはオ
イルタンク１４よりの新して油が導入される。
リンダ４の内壁に析出したNH4Clの層は次第に
厚くなり、油冷却のための熱伝導は次第に悪くな
るのでNH4Clの析出効率も劣化し、油の粘度が
増すことになる。このような場合にはオイルポン
プ１０を動作停止させた後、３方バルブ１１ａを
ロータリポンプ２の配管３ａ側から給油管１２ａ
側に切替え、また３方バルブ１１ｂをロータリポ
ンプ２の配管３ｂ側から排油管１２ｂ側に切替え
る。なお給油管１２ａは新しい清浄油の入つたオ
イルタンク１４に接続されている。このような状
態で駆動軸６にてピストン５をピストンがシリン
ダ４の底に着くまで押し下げると、これによつて
シリンダ内壁に付着したNH4Clは掻き落され、
シリンダ内の汚れた油８と共に３方バルブ１１ｂ
から排油管１２ｂを通つて外部に排出される。そ
してこの時シリンダ内のピストン上方空間にはオ
イルタンク１４よりの新して油が導入される。
次に３方バルブ１１ａと１１ｂをそれぞれ３
ａ，３ｂのロータリポンプ側に切替えた後駆動軸
６とピストン５をシリンダ４の上端の位置に戻
す。このピストンの操作によつてシリンダの内壁
は清浄化され、再びNH4Clを効率良く析出させ
ることができるようになる。以上の一連の清浄化
動作は手動でも行えるが自動化することも容易で
ある。なお第１図では本考案によるオイルクリー
ナを垂直に配設した場合を示したが、この配置は
水平または倒立させる場合もある。
ａ，３ｂのロータリポンプ側に切替えた後駆動軸
６とピストン５をシリンダ４の上端の位置に戻
す。このピストンの操作によつてシリンダの内壁
は清浄化され、再びNH4Clを効率良く析出させ
ることができるようになる。以上の一連の清浄化
動作は手動でも行えるが自動化することも容易で
ある。なお第１図では本考案によるオイルクリー
ナを垂直に配設した場合を示したが、この配置は
水平または倒立させる場合もある。
本考案によるオイルクリーナでは従来のオイル
フイルタを用いた方法の欠点であるフイルタ交換
の煩雑な操作を必要とせず保守は極めて容易であ
る。また従来の油交換法に比べて油の消費量は極
めて少くなる。またシリンダ４の断面形状は第２
図ａのような円形でもよいが、第２図ｂのように
内壁の表面積を大きくした形状とすればNH4Cl
の析出効率を高めることができる。たゞしピスト
ン５の形状もシリンダの断面形状に適合したもの
を選ぶことは当然必要である。
フイルタを用いた方法の欠点であるフイルタ交換
の煩雑な操作を必要とせず保守は極めて容易であ
る。また従来の油交換法に比べて油の消費量は極
めて少くなる。またシリンダ４の断面形状は第２
図ａのような円形でもよいが、第２図ｂのように
内壁の表面積を大きくした形状とすればNH4Cl
の析出効率を高めることができる。たゞしピスト
ン５の形状もシリンダの断面形状に適合したもの
を選ぶことは当然必要である。
第３図は本考案によるオイルクリーナ１をさら
にフイルタ１３と組合わせた場合の配管構成例図
である。このように組合わせて使用すればフイル
タ１３の交換頻度は極めて小さくなり、保守はフ
イルタのみ使用した場合に比べて著しく容易であ
る。また油中のNH4Cl粒子を完全に除去できる
ことも大きな長所である。
にフイルタ１３と組合わせた場合の配管構成例図
である。このように組合わせて使用すればフイル
タ１３の交換頻度は極めて小さくなり、保守はフ
イルタのみ使用した場合に比べて著しく容易であ
る。また油中のNH4Cl粒子を完全に除去できる
ことも大きな長所である。
以上はSiH2ClとNH3によるSi3N4膜生成の場合
について説明したが、その他の反応ガスの組合せ
の場合も全く同様にして混入物の除去を行うこと
ができる。またオイルクリーナは必ずしも水冷で
ある必要はなく空冷でもよいが、この場合には水
冷に比べて析出効率は多少悪くなる。
について説明したが、その他の反応ガスの組合せ
の場合も全く同様にして混入物の除去を行うこと
ができる。またオイルクリーナは必ずしも水冷で
ある必要はなく空冷でもよいが、この場合には水
冷に比べて析出効率は多少悪くなる。
（考案の効果）
本考案のオイルクリーナを使用すれば各種
CVD装置のロータリポンプの保守は著しく容易
となり、また油の消費量が少なく経済上有利であ
る。
CVD装置のロータリポンプの保守は著しく容易
となり、また油の消費量が少なく経済上有利であ
る。
第１図は本考案を実施したロータリポンプ用オ
イルクリーナの構造例を示す断面図、第２図は本
考案オイルクリーナのシリンダ部の断面例図、第
３図は本考案のオイルクリーナとフイルタとを組
合わせた場合の配管構成例図である。 １……オイルクリーナ、２……ロータリポン
プ、３ａ，３ｂ……油用配管、４……シリンダ、
５……ピストン、６……駆動軸、７……水冷管、
８……油、９……析出物、１０……油ポンプ、１
１ａ，１１ｂ……３方バルブ（弁）、１２ａ……
給油管、１２ｂ……排油管、１３……フイルタ、
１４……オイルタンク。
イルクリーナの構造例を示す断面図、第２図は本
考案オイルクリーナのシリンダ部の断面例図、第
３図は本考案のオイルクリーナとフイルタとを組
合わせた場合の配管構成例図である。 １……オイルクリーナ、２……ロータリポン
プ、３ａ，３ｂ……油用配管、４……シリンダ、
５……ピストン、６……駆動軸、７……水冷管、
８……油、９……析出物、１０……油ポンプ、１
１ａ，１１ｂ……３方バルブ（弁）、１２ａ……
給油管、１２ｂ……排油管、１３……フイルタ、
１４……オイルタンク。
Claims (1)
- ロータリ真空ポンプの油に混入した物質を除去
することを目的としてロータリ真空ポンプの油を
ポンプ外部に循環するようにした配管の中途に挿
入したオイルクリーナを、その循環油の流入口か
ら流出口に上記循環油を通過させるシリンダ部
と、このシリンダ部を外周より冷却してその内壁
の一部の温度を上記循環油より低くしこの油を過
飽和状態にするためのシリンダ外周に取付けた冷
却装置と、上記シリンダ内壁に析出した物質を掻
き取り循環油流出口より排出するためにオイルク
リーナ内壁に沿つて摺動自在なピストンおよびピ
ストン駆動部とにて構成したことを特徴とするロ
ータリ真空ポンプ用オイルクリーナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14851484U JPH0120961Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14851484U JPH0120961Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6164308U JPS6164308U (ja) | 1986-05-01 |
| JPH0120961Y2 true JPH0120961Y2 (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=30706720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14851484U Expired JPH0120961Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0120961Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210145967A (ko) | 2020-05-26 | 2021-12-03 | 한국화학연구원 | 중질유분 수첨분해용 촉매 재생방법 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP14851484U patent/JPH0120961Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210145967A (ko) | 2020-05-26 | 2021-12-03 | 한국화학연구원 | 중질유분 수첨분해용 촉매 재생방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6164308U (ja) | 1986-05-01 |
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