JPH01210924A

JPH01210924A - レーザ装置

Info

Publication number: JPH01210924A
Application number: JP3560488A
Authority: JP
Inventors: Kenji Iwasaki; 岩崎　賢二
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-02-18
Filing date: 1988-02-18
Publication date: 1989-08-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、角型均一出力を得るレーザ装置に関する。

（従来の技術）レーザ光は、単色性、可干渉性、高エネルギー密度性、
直進性等の特徴を有しており、その単色性、高エネルギ
ー密度性を利用することにより、皮膚表存性色疾患を治
療したりすることができる。

また、レーザ光は、その断面のエネルギー分布はガウス
分布をなしているが、上述の用途つまり被照射面を均一
に加熱する必要が有る用途にあっては、ガウス分布でな
く、角型均一分布を必要とする。

上述の角型均一分布を得る構成として、従来、第４図及
び第５図に示すものがある。すなわち、第４図に示す構
成は、図示しない光ファイバ等から出たレーザ光（ガウ
ス分布）ｉｂを、レンズ１にて集束した後に特定の発散
角にて石英又はガラスからなる角柱２に入射させると、
角柱２の出力端からは正方形で平坦な出力を得ることが
できる。

第５図に示す構成はレンズを用いない場合を示し、３は
光ファイバである。

第４図及び第５図に示す構成においては、例えば、断面
１０×１０（ｆｆｌＩｌｌ）、長さ１００（１００（の
角柱２に、約２０°の発散角のレーザ光を入射すると、
その出力分布は第６図に示すようになる。

このときの平坦度は、平坦度−（最大出力−最少出力）／平均出力１２％が得
られる。

（発明が解決しようとする課題）上述した従来の方式でも十分に平坦であり、多くの用途
には足りるが、例えば平均化出力としては十分であるが
、集積回路素子（ＩＣ）のアンニール等のように被照射
面をより均一に加熱する必要性があるものにあっては、
未だ歩十分であり、問題であった。

そこで本発明の目的は、被照射面をより均一に加熱する
ことができるようにしたレーザ装置を提供することにあ
る。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は上記課題を解決し且つ目的を達成するために次
のような手段を講じた構成にしている。

すなわち、本発明は、レーザ光を透明角柱に導入し、角
型均一出力を得るようにしたレーザ装置において、前記
角柱に導入するレーザ光の角柱への入射中心の位置及び
入射角のうち少なくとも一方を時間経過ともに変化させ
る手段を具備したことを特徴とする。

（作用）このような構成によれば、角柱端面へのレーザ光の入射
状況が変化し、出力分布も変化し、よって、時間平均を
とると出力分布は平均化されたものとなるので、被照射
面をより均一に加熱することができる。

（実施例）以下本発明にかかるレーザ装置の実施例を図面を参照し
て説明する。

第１図の構成は、第４図に対応するもので、レンズ１又
はレーザ光、＆ｂを、入射中心の位置及び入射角のうち
少なくとも一方を時間経過ともに変化させるべく図示し
ない駆動機構により動かすよう、にしている。

第２図の構成は、第５図に対応するもので、光ファイバ
３を、図示しない駆動機構により僅かに動かすようにし
ている。

ここで、レンズ１又はレーザ光ノｂを入射中心の位置及
び入射角を変化させるためにの駆動機構や光ファイバ３
を僅かに動かす駆動機構としては、機械的に動かす構成
が一般的であり、各種の構成を採用することができる。

例えば、光ファイバ３を僅かに動かす駆動機構としては
、第３図のものがある。第３図のものは、光ファイバ３
の先端に磁性体例えば鉄片４を取付け、その左右に電磁
石５ａ、５ｂを置き、この電磁石５ａ、５ｂを交互に付
勢することにより鉄片４が取付けられた光ファイバ３の
先端は振れさせることができる。

以上の如くの構成によれば、角柱１の端面へのレーザ光
ノｂの入射状況が変化し、出力分布も変化し、よって、
時間平均をとると出力分布は平均化されたものとなるの
で、被照射面をより均一に加熱することができる。

この池水発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実
施できるものである。例えば、光ファイバ又はレンズを
動かす代りに角柱を動かすようにしてもよい。

［発明の効果］以上のように本発明では、角柱に導入するし一ザ光の角
柱への入射中心の位置及び入射角のうち少なくとも一方
を時間経過ともに変化させるようにしたので、角柱端面
へのレーザ光の入射状況が変化し、出力分布も変化し、
よって、時間平均をとると出力分布は平均化されたもの
となる。従って、被照射面をより均一に加熱することが
できるレーザ装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明にかかるレーザ装置の実施例
の構成を示す図、第３図は同実施例における駆動機構の
一例を示す図、第４図及び第５図は従来例を示す図、第
６図は平均化出力の特性を示す図である。１・・・レンズ、２・・・角柱、３・・・光ファイバ、
４・・・鉄片、５ａ、５ｂ・・・電磁石。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第３図宵５図嬉　６　図

Claims

【特許請求の範囲】

レーザ光を透明角柱に導入し、角型均一出力を得るよう
にしたレーザ装置において、前記角柱に導入するレーザ
光の角柱への入射中心の位置及び入射角のうち少なくと
も一方を時間経過ともに変化させる手段を具備したこと
を特徴とするレーザ装置。