JPH01211684A - ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ - Google Patents
ドライ式多段型ロータリーベーンポンプInfo
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- JPH01211684A JPH01211684A JP3613788A JP3613788A JPH01211684A JP H01211684 A JPH01211684 A JP H01211684A JP 3613788 A JP3613788 A JP 3613788A JP 3613788 A JP3613788 A JP 3613788A JP H01211684 A JPH01211684 A JP H01211684A
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- stage chamber
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 32
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は吐出側にオイルミストが混入しないドライ式真
空ポンプに使用する多段型ロータリーベーンポンプに係
り、各段のケーシングの角度を交互に変換して、最終段
を除く各段室の隔壁に吐出口を設け、その各吐出口を次
段室の吸込口とする構成をもつものである。
空ポンプに使用する多段型ロータリーベーンポンプに係
り、各段のケーシングの角度を交互に変換して、最終段
を除く各段室の隔壁に吐出口を設け、その各吐出口を次
段室の吸込口とする構成をもつものである。
また、各段室の隔壁と各段室の偏心部を貫いて配置した
一個のシャフトに第1段室のローターを1体形成し、第
2段以降のローターをシャフトに螺合して固定した構成
になるものである。
一個のシャフトに第1段室のローターを1体形成し、第
2段以降のローターをシャフトに螺合して固定した構成
になるものである。
また、各段室のローターのすべてをローターに螺合して
固定した構成になるものである。
固定した構成になるものである。
また各段室の偏心部を貫くシャフトを水封を施したモー
ターと直結して水中設置型とするものである。
ターと直結して水中設置型とするものである。
また各段室の吐出口を設ける隔壁に冷気又は冷水を連通
させて、各段室の吐出口を冷却するものである。
させて、各段室の吐出口を冷却するものである。
(従来の技術)
真空の技術分野で50 torrから1×10−コLo
r+の真空度を中真空度と言っているものであるが、吐
出口から吐出する圧縮空気に混入するオイルミストが運
転停止時等に逆流するのを防止するドライ式で、比較的
排気速度が高い200 「o3/ 11以上の場合には
、ルーツ式多段型真空ポンプを使用しているが、小排気
速度になるとルーツ式では容積効率が悪化するから、小
型のロータリー式ベーンポンプを多段型にして使用し、
容積効率の劣下を除き、かつ真空到達時間も改良するこ
とができる。
r+の真空度を中真空度と言っているものであるが、吐
出口から吐出する圧縮空気に混入するオイルミストが運
転停止時等に逆流するのを防止するドライ式で、比較的
排気速度が高い200 「o3/ 11以上の場合には
、ルーツ式多段型真空ポンプを使用しているが、小排気
速度になるとルーツ式では容積効率が悪化するから、小
型のロータリー式ベーンポンプを多段型にして使用し、
容積効率の劣下を除き、かつ真空到達時間も改良するこ
とができる。
しかしながら小型のロータリー式ベーンポンプは−合釘
に吐出口が同じ位置になっているから、複数台の各吐出
口をホースにより次段のベーンポンプの吸込口に接続し
て使用しなければならず前段のポンプの吐出口を後端の
ポンプ吸込口にする構成からなるYライ式多段壁ベーン
ポンプは未開発である。
に吐出口が同じ位置になっているから、複数台の各吐出
口をホースにより次段のベーンポンプの吸込口に接続し
て使用しなければならず前段のポンプの吐出口を後端の
ポンプ吸込口にする構成からなるYライ式多段壁ベーン
ポンプは未開発である。
特開昭61−41996号公報には油封式の多段型ロー
タリーベーンポンプを開示しているが、この構成では前
段室の突出口を後段室の吸込口にする構想はなく、しが
もその全体の構成が油封式であって、ドライ式には適用
し難い。
タリーベーンポンプを開示しているが、この構成では前
段室の突出口を後段室の吸込口にする構想はなく、しが
もその全体の構成が油封式であって、ドライ式には適用
し難い。
(本発明が解決しようとする問題点)
ロータリー式ベーンポンプにおいでは、ケーシングの振
動によるベーンの消耗を防がねばならず、また多段のケ
ーシングの各構成を簡易とし、さらに前段室の吐出口と
後段室の吸込口の連通を最短にすることも重要である。
動によるベーンの消耗を防がねばならず、また多段のケ
ーシングの各構成を簡易とし、さらに前段室の吐出口と
後段室の吸込口の連通を最短にすることも重要である。
本発明はこれらの技術的課題の解決をはかろうとするも
のである。
のである。
(問題点を解決するための手段)
本発明は前項に述べた問題点の課題を解決することを目
的とするもので、隔壁をもつ各段室のケーシングの角度
を交互対称に変角してねし固定を施し、ベーンのロータ
ーがらの出入をバランスさせて振動を封すると共に最終
段を除く多段のケーシングの隔壁に吐出口を設け、その
各吐出口を次段室の吸込口にできるようにして、前段室
の吐出口と後段室の吸込口の連通を最短にすること、及
びベーンを摺動可能に挿入するため各室の偏心部に配置
するローターを一個のシャフトに固定したことを特徴と
するものである。
的とするもので、隔壁をもつ各段室のケーシングの角度
を交互対称に変角してねし固定を施し、ベーンのロータ
ーがらの出入をバランスさせて振動を封すると共に最終
段を除く多段のケーシングの隔壁に吐出口を設け、その
各吐出口を次段室の吸込口にできるようにして、前段室
の吐出口と後段室の吸込口の連通を最短にすること、及
びベーンを摺動可能に挿入するため各室の偏心部に配置
するローターを一個のシャフトに固定したことを特徴と
するものである。
(作用)
本発明は、夫々に隔壁をもつ置数の段室の角度を交互に
対称に変換してねし固定を施し、最終段を除く各段室の
隔壁に設ける吐出口を次段室の吸込口としてい遜から、
前段室の吐出口と次段室の吸込口が最短になり、各隔壁
を貫く1個のシャフトの各段室の偏心部への配置により
、その各段室に対称の角度をもつローターの固定を可能
にしているもので、それらローターが互いにバランスを
取って回転するから、各段室のベーンは吸込、圧縮、吐
出とに交互のバランスを生じて振動を少なくし、多段型
の性能を向上すると同時に各段室の内面を摺擦してロー
ターに対する出入を行うベーンを運動させ、殊に最終段
を除く各段室の吐出口と、第1段の段室な除く吸込口は
、各ベーンの回転の振動源となる凹凸が少なく、大気中
の起動も容易である。
対称に変換してねし固定を施し、最終段を除く各段室の
隔壁に設ける吐出口を次段室の吸込口としてい遜から、
前段室の吐出口と次段室の吸込口が最短になり、各隔壁
を貫く1個のシャフトの各段室の偏心部への配置により
、その各段室に対称の角度をもつローターの固定を可能
にしているもので、それらローターが互いにバランスを
取って回転するから、各段室のベーンは吸込、圧縮、吐
出とに交互のバランスを生じて振動を少なくし、多段型
の性能を向上すると同時に各段室の内面を摺擦してロー
ターに対する出入を行うベーンを運動させ、殊に最終段
を除く各段室の吐出口と、第1段の段室な除く吸込口は
、各ベーンの回転の振動源となる凹凸が少なく、大気中
の起動も容易である。
また、第1段室のローターをシャフトと1[、ト形成し
、第2段以降のローターをシャフトの外周に設けたねじ
に螺合して固定した実施態様により、各段室をねじ固定
する構成と相持って、シャフトの各段室−の偏心部−の
挿通並びtこ各段室ごとの角度を対称に変換したロータ
ーの組込みが合理的である。
、第2段以降のローターをシャフトの外周に設けたねじ
に螺合して固定した実施態様により、各段室をねじ固定
する構成と相持って、シャフトの各段室−の偏心部−の
挿通並びtこ各段室ごとの角度を対称に変換したロータ
ーの組込みが合理的である。
また各段室のローターを、シャフトの外周に設けたねじ
に螺合して固定する実施態様では、前記と同様にシャフ
トの挿通及び各室ごとのローターの組込みが合理的であ
る。
に螺合して固定する実施態様では、前記と同様にシャフ
トの挿通及び各室ごとのローターの組込みが合理的であ
る。
また水封を施したモーターにシャフトを直結するモータ
ービルトイン型式にして水中設置型とする構成より、各
段室の角度を交互に対称に変換してねじ固定をすること
等と相持って、静滑な水中運転を可能にする。
ービルトイン型式にして水中設置型とする構成より、各
段室の角度を交互に対称に変換してねじ固定をすること
等と相持って、静滑な水中運転を可能にする。
また、各隔壁に冷気又は冷水を通して吐出口がら圧出さ
れる吐出気による各段室の圧縮熱を冷却する実施態様に
より、本発明の多段型ローターベーンポンプのドライ運
転を、大気中においても行うことができる合理性を生ず
る。
れる吐出気による各段室の圧縮熱を冷却する実施態様に
より、本発明の多段型ローターベーンポンプのドライ運
転を、大気中においても行うことができる合理性を生ず
る。
(実施例)
本発明の実施例と添付図面について説明する。
本実施例は第1段〜第3段のドライ式多段ロータリーベ
ーンポンプを例示するもので、第1121に示すように
一側に隔壁1aを設けたケーシング1と、−側に隔壁2
aを設けたケーシング2と、−側に隔壁3aを設けたケ
ーシング3とがらなり、S− ケーシング1の隔壁1aの反対端面に21ウノング4の
端板4aを接合する。ケーシング3の隔壁3aはハウジ
ング5の端板5aをなす。
ーンポンプを例示するもので、第1121に示すように
一側に隔壁1aを設けたケーシング1と、−側に隔壁2
aを設けたケーシング2と、−側に隔壁3aを設けたケ
ーシング3とがらなり、S− ケーシング1の隔壁1aの反対端面に21ウノング4の
端板4aを接合する。ケーシング3の隔壁3aはハウジ
ング5の端板5aをなす。
第1段室aと第2段室すと第3段室Cとは第2図にも示
すように交互に位相を180°転換して対称にしたもの
で、ハウジング4のベアリング6とハウジング5のベア
リング6aによって支持したシャフト21を隔壁1a、
2a、3aに設けた挿通孔に緩やかに通して各段室a、
b、cの偏心部に配置する。
すように交互に位相を180°転換して対称にしたもの
で、ハウジング4のベアリング6とハウジング5のベア
リング6aによって支持したシャフト21を隔壁1a、
2a、3aに設けた挿通孔に緩やかに通して各段室a、
b、cの偏心部に配置する。
本実施例はケージング1とケーシング3とは軸方向にお
いて同じ位相とされ、ケーシング2のみが180°の角
度変換を生ずるものであって、ケージング1のハウジン
グ端@ 4 aに対する端面の外周に、第3図に示すよ
うに正四角配置の連結孔8の1個ずつを透設した4個の
取付7ランジ7を突出し、端板1aには、ケーシング2
の端面に対応する正四角形配置の透孔10を設けた取付
7ランジ9を突出し、ケーシング2とケーシング3の刈
応面にも前記の形態に準じた透孔及びフランジを設けて
、夫々を締ねしく図示せず)により固着する。
いて同じ位相とされ、ケーシング2のみが180°の角
度変換を生ずるものであって、ケージング1のハウジン
グ端@ 4 aに対する端面の外周に、第3図に示すよ
うに正四角配置の連結孔8の1個ずつを透設した4個の
取付7ランジ7を突出し、端板1aには、ケーシング2
の端面に対応する正四角形配置の透孔10を設けた取付
7ランジ9を突出し、ケーシング2とケーシング3の刈
応面にも前記の形態に準じた透孔及びフランジを設けて
、夫々を締ねしく図示せず)により固着する。
ケーシング1とハウジングi@5aとの連結固着も前記
の固着に準する(第1.2図参照)。
の固着に準する(第1.2図参照)。
尚、ケーシング1.2.3のねじ締めボルトの数及び位
置は実施例の態様に限定されるものではなく自由に変更
できる。
置は実施例の態様に限定されるものではなく自由に変更
できる。
シャフト21にはケーシング1の隔壁1aと、ケーシン
グ2の隔壁2と、ケーシング3に挿通される部分との外
周にねじ22を設け、ケーシング1内で回転するロータ
ー11をシャフト21と1体に形成する、ケーシング2
には細径部を隔壁1aの透孔に挿入するローター12と
、ケーシング2の隔壁2aに細径部を挿入するローター
13とを夫々シャ7121のねじ22に螺合して、半径
方向のねしく図示せず)により固定を施す。
グ2の隔壁2と、ケーシング3に挿通される部分との外
周にねじ22を設け、ケーシング1内で回転するロータ
ー11をシャフト21と1体に形成する、ケーシング2
には細径部を隔壁1aの透孔に挿入するローター12と
、ケーシング2の隔壁2aに細径部を挿入するローター
13とを夫々シャ7121のねじ22に螺合して、半径
方向のねしく図示せず)により固定を施す。
シャフト21にはケーシング1からケーシング3までの
連続したねじを外周に設け、ローター11.12.13
をそのねしに螺合して前記のように固定を施すこともで
きる。
連続したねじを外周に設け、ローター11.12.13
をそのねしに螺合して前記のように固定を施すこともで
きる。
ローター11.13は第3図に例示するようにケージン
グ1.3の内底面のみに外周を接する偏心を以てシャフ
ト21により回転し、ローター12は第4図に示すよう
にケージング2の内項面のみに外周を接する偏心を以て
シャ7121により回転針るものであって、その各々の
外周から半径力向の数個のベーン摺動溝14.15.1
6を設けて夫々にベーン17.18.19を摺動可能に
嵌める。
グ1.3の内底面のみに外周を接する偏心を以てシャフ
ト21により回転し、ローター12は第4図に示すよう
にケージング2の内項面のみに外周を接する偏心を以て
シャ7121により回転針るものであって、その各々の
外周から半径力向の数個のベーン摺動溝14.15.1
6を設けて夫々にベーン17.18.19を摺動可能に
嵌める。
ハウジング5の端面にはケースにより水封されたビルト
インモーターを取付け、そのモーター軸にシャフト21
を連結し、又は該シャフト21をモーター回転子の軸と
し、それにより水中設置を可能にすることができる。
インモーターを取付け、そのモーター軸にシャフト21
を連結し、又は該シャフト21をモーター回転子の軸と
し、それにより水中設置を可能にすることができる。
シャフト21にはハウジング5の外側、又はハウジング
4の外側に延長した部分に冷気用を取付けることができ
る。
4の外側に延長した部分に冷気用を取付けることができ
る。
ケーシング1にはシャフト21の細心と直交する水平方
向線上に外側で開放された吸込口1cを設け、隔壁1a
の同半径線の延長上の反対側にローター11の外周外側
に合致させた吐出口1dを設ける。
向線上に外側で開放された吸込口1cを設け、隔壁1a
の同半径線の延長上の反対側にローター11の外周外側
に合致させた吐出口1dを設ける。
ケーシング2にはシャフト21の軸心と直交する水平方
向線上で前記の吐出口1dの裏側に該当させた吸込口2
cを設け、同水平方向線の反対側でローター12の外周
外側に合致さぜた吐出口2dを設け、ケーシング3には
内周壁に前記の吐出口2dに斜め下で連通する吸込口3
cを設ける。吸込口3Cと吐出口3dはシャフト21の
細心と直交する水平方向線上である。
向線上で前記の吐出口1dの裏側に該当させた吸込口2
cを設け、同水平方向線の反対側でローター12の外周
外側に合致さぜた吐出口2dを設け、ケーシング3には
内周壁に前記の吐出口2dに斜め下で連通する吸込口3
cを設ける。吸込口3Cと吐出口3dはシャフト21の
細心と直交する水平方向線上である。
各隔壁1a、2a、3aには冷却孔1 e、2 e。
3eを゛シャフト21を挟んで直線形に設け、それらの
冷却孔の夫々をケーシング1.2.3の外周に突出させ
るパイプ材によって連結する。
冷却孔の夫々をケーシング1.2.3の外周に突出させ
るパイプ材によって連結する。
(効果)
本発明は、隔壁1a、2a、3a・・・を夫々に持つケ
ーシング1.2.3・・・が構成する複数の各段室a、
b、c・・・の角度を交互対称に変換し、各室a、b、
c・・・を軸方向で重ねてねし固定を施し、最終段を除
く夫々の隔壁に吐出口を設け、これを大室の吸込口とす
る構成にを以って、前室の吐出口と大室の吸込口とを最
短距離にできるものC゛、これにより前室の吐出口と大
室の吸込口を接続するための通路を設け、成るいは各段
室の外部に突出する連通用のパイプ等を不要として、前
記の最短距離連通の効果を遺憾なく生じさせることがで
きる。また、各隔壁を貫く一個のシャフトを各段室の偏
心部に挿通して配置し、各段室で交互に角度を対称に−
しだローターの固定を以って、ベーンを成る段室で吸込
側を回転移動するとき次の段室では圧縮抵抗が作用する
吐出側とする構成をもつものであるから、シャフトの負
荷のバランスを取って振動の発生と、これに基くベーン
の消耗を防止して、耐久性を大きくする効果をもつもの
で、そのほか実施例に記載したように、夫々の実施態様
により前記した効果をちととする付加的効果を生じさせ
ることができる。
ーシング1.2.3・・・が構成する複数の各段室a、
b、c・・・の角度を交互対称に変換し、各室a、b、
c・・・を軸方向で重ねてねし固定を施し、最終段を除
く夫々の隔壁に吐出口を設け、これを大室の吸込口とす
る構成にを以って、前室の吐出口と大室の吸込口とを最
短距離にできるものC゛、これにより前室の吐出口と大
室の吸込口を接続するための通路を設け、成るいは各段
室の外部に突出する連通用のパイプ等を不要として、前
記の最短距離連通の効果を遺憾なく生じさせることがで
きる。また、各隔壁を貫く一個のシャフトを各段室の偏
心部に挿通して配置し、各段室で交互に角度を対称に−
しだローターの固定を以って、ベーンを成る段室で吸込
側を回転移動するとき次の段室では圧縮抵抗が作用する
吐出側とする構成をもつものであるから、シャフトの負
荷のバランスを取って振動の発生と、これに基くベーン
の消耗を防止して、耐久性を大きくする効果をもつもの
で、そのほか実施例に記載したように、夫々の実施態様
により前記した効果をちととする付加的効果を生じさせ
ることができる。
添付図面は本発明の好適な一実施例を示し、第1図は縦
断側面図、第2図は外観の斜視図、第3図は第1図A−
A線切断面図面、第4図は同B=B線切断面図、0′!
5(21は第3室Cのケーシング3の斜視図、第6図は
シャフト21とローター11.12の斜視図、第7図は
ローター13の斜視図である。 a→第1段室 b−→第2段室 C−+第3段室1.2
.3→ケーシング 1 a、2 a、3 a−+隔壁 1 c、2 c、3 c→吸込口 1 d、2 d、3 d→吐出ロ ア→取付7ランジ 8→連結孔 9→取付7ランジ 10→透孔 11.12.13→ローター 21→シヤフト22→ね
じ 出願人 株式会社 ア ン し ッ ト代理人 弁理士
園 部 祐 夫 第3図 第4図 第6図
断側面図、第2図は外観の斜視図、第3図は第1図A−
A線切断面図面、第4図は同B=B線切断面図、0′!
5(21は第3室Cのケーシング3の斜視図、第6図は
シャフト21とローター11.12の斜視図、第7図は
ローター13の斜視図である。 a→第1段室 b−→第2段室 C−+第3段室1.2
.3→ケーシング 1 a、2 a、3 a−+隔壁 1 c、2 c、3 c→吸込口 1 d、2 d、3 d→吐出ロ ア→取付7ランジ 8→連結孔 9→取付7ランジ 10→透孔 11.12.13→ローター 21→シヤフト22→ね
じ 出願人 株式会社 ア ン し ッ ト代理人 弁理士
園 部 祐 夫 第3図 第4図 第6図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1) 夫々に隔壁をもつ複数の段室の角度を交互対称に
変換してねじ固定を施し、最終段を除く各段室の隔壁に
吐出口を設け、その各吐出口を次段室の吸込口とし、各
隔壁を回転可能に貫く一個のシヤフトを各段室の偏心部
に配置し、各段室ごとに位相を交互に対称にしたベーン
挿入のローターを前記のシヤフトに固定したことを特徴
とするドライ式多段型ロータリーベーンポンプ。 2) 第1段室のローターをシヤフトと一体形成し、第
2段室及びそれ以降の各段室のローターをシヤフトの外
周に設けたねじに螺合して固定したことを特徴とする請
求項1記載のドライ式多段型ロータリーベーンポンプ。 3) 各段室のローターをシヤフトの外周に設けたねじ
に螺合して固定したことを特徴とする請求項1記載のド
ライ式多段型ロータリーベーンポンプ。 4) 水封を施したモーター軸にシヤフトを直結して水
中設置型としたことを特徴とする請求項1、2又は請求
項1、3記載のドライ式多段型ロータリーベーンポンプ
。 5) 各段室の隔壁に冷気又は冷水を通すことを特徴と
する請求項1、2又は1、3記載のドライ式多段型ロー
タリーベーンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3613788A JPH01211684A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3613788A JPH01211684A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01211684A true JPH01211684A (ja) | 1989-08-24 |
Family
ID=12461400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3613788A Pending JPH01211684A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01211684A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7048525B2 (en) * | 2003-07-23 | 2006-05-23 | J. E. Grote Company | Flow divider |
| US7942000B2 (en) * | 2007-09-25 | 2011-05-17 | Engine-Uity Limited | Rotary vane engine system |
| KR20220157177A (ko) * | 2021-05-20 | 2022-11-29 | 한온시스템 주식회사 | 베인 로터리 압축기 |
| US11592024B2 (en) * | 2015-10-02 | 2023-02-28 | Leybold Gmbh | Multi-stage rotary vane pump |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090998A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-22 | Shinko Seiki Kk | 多段油回転真空ポンプ |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP3613788A patent/JPH01211684A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090998A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-22 | Shinko Seiki Kk | 多段油回転真空ポンプ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7048525B2 (en) * | 2003-07-23 | 2006-05-23 | J. E. Grote Company | Flow divider |
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| US11592024B2 (en) * | 2015-10-02 | 2023-02-28 | Leybold Gmbh | Multi-stage rotary vane pump |
| KR20220157177A (ko) * | 2021-05-20 | 2022-11-29 | 한온시스템 주식회사 | 베인 로터리 압축기 |
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