JPH01213503A

JPH01213503A - ビーム中心位置検出装置

Info

Publication number: JPH01213503A
Application number: JP3894688A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Hanashima; 正昭花嶋; Takehiro Kurono; 剛弘黒野
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1988-02-22
Filing date: 1988-02-22
Publication date: 1989-08-28
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: JPH06105166B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は三次元物体にスリット光を投光し、物体面に生
じた輝線をテレビカメラで撮像して物体面までの距離を
計測する三次元物体計測装置に係り、特に計測物体によ
りスリット光が分割されてしまう場合でも、その中心位
置を求めることができるビーム中心位置検出装置に関す
る。

〔従来の技術〕

一般に、工場における検査工程や組み立てロボットに使
用される視覚機能としては、三次元の認識能力が必要と
されるが、従来行われていた輝度画像情報から物体認識
を行う方式では十分でないのが実情である。そのため、
輝度画像情報だけでなく物体までの距離情報を求めるこ
とによって物体の認識や抽出を容易にする試みが盛んに
行われるようになってきている。

第１５図（イ）はこのような従来の三次元物体計測装置
の構成を示す図、同図（ロ）は輝線を示す図であり、図
中、１はテレビカメラ、３は投光器、５は計測面、７は
スリット光である。

図において、テレビカメラｌと投光器３は間隔ｌで所定
位置に配置されているものとし、投光器３は計測面を華
位角度ずつ角度を変え視野範囲Ｐ１−Ｐ２に渡つてスリ
ット光７を投光する。テレビカメラｌは視野範囲を撮像
可能で、スリット光による輝線を撮像して図示しないモ
ニタ上に表示する。

このような構成において、まずテレビカメラにより物体
面を走査して通常の輝度画像情報が得られる０次に、投
光器３を所定ステップ数だけスキ′ヤンし、その結果第
１５図（ロ）のような輝線画像が得られる。今、計測面
５の位置Ｐｘにおける輝線を観測したとする。投光器３
の単位ステップにおける角度は既知であるので、これと
ステップ数とから投光器３の角度αが分かり、またｔｔ
ｕａｔｉされた輝線の位置から輝線のテレビカメラへの
入射角度βも分かるので、投光器とテレビカメラ間の距
Ｑｌとにより三角法でテレビカメラから計測位置までの
距離を算出することができる。

こうして、輝度画像情報と共に、距離情報を求めること
が可能となる。

ところで、テレビカメラで輝線を観測する場合、スリッ
ト光には幅があるので、輝線の中心位置を正確に求める
必要があり、この方法として、従来、輝線の輝度分布よ
り中心位置を求める方法、輝線の２値化像の中心位置を
求める方法、輝線の２値化像の幅をあらかじめ実測して
仮定しておき、輝線の２値化像の左右エツジを求めて中
心値を概算して求める方法等が行われている。

これらの方法について第１６図を参照して説明する。

第１６図（イ）は輝線の分割が生じないような平面にレ
ーザー光を照射した状態においてＴＶカメラで撮像した
画像の１次元プロファイルを示す図で、横軸に画素数、
縦軸に輝度をとったものである。

第１６図（ロ）は輝線の輝度分布より中心位置を求める
方法を示すもので、第１６図（イ）のような輝線の輝度
分布が得られたとき、ガウス分布等の分布関数を想定し
てその最大値から中心となる画素を求めている。

第１６図（ハ）はレーザー光の輝線の画像を２値化して
２値化像の中心位置を求める方法を示すもので、第１６
図（イ）のような輝度分布に対しである２値化レベルを
設定して２値化した画像の１次元プロファイル像の中心
位置を求めることにより、スリット光の投光された位置
を求めている。

第１６図（ニ）は輝線の２値化像の幅をあらかじめ実測
して仮定しておき、輝線の２値化像の左右エツジを求め
て中心値を概算して求める方法を示すもので、２値化像
の幅をあらかじめ求めておき、この幅の１／２の値を補
正量として左右どちらかのエッヂの位置より加減するこ
とにより中心となる画素を求めている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら観測される輝線は、例えば第１７図（イ）
のような形状の３次元物体の場合にはＩ１、Ｉ２のよう
に分割されてしまい、輝線画像は第１７図（ロ）（図の
黒い部分が輝線）のように観測されることになる。この
場合、ビームの中心位置が第１７図（イ）のＰｃの位置
であるとすると、この位置を精度よく求める必要があり
、これから第１７図（ハ）のように輝度分布を求め、こ
れに対して適当な２値化レベルを設定して第１７図（ニ
）に示すような２値化画像が得られることになる。ビー
ムの中心は、各２値化画像の幅をＡ、Ｂとしたとき（Ａ
＋Ｂ）／２として求められる。

しかしながらこのように２値化画像のプロファイルを求
めたとしても前述した輝度分布を求める方法や２値化像
の中心値を求める方法、輝線のエツジを求めて中心値を
概算する方法では、Ｐｃの位置を正確に求めることはで
きない。

本発明は上記問題点を解決するために前述の２値化像の
中心値を求める方法を応用したもので、輝線が分割され
ても正確に投光したスリット光の中心を検出し、その結
果物体形状を高精度に計測することを可能にするビーム
中心位置検出装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明のビーム中心位置検出装置は、計測物
体にスリット光を投光し、スリット光による計測物体上
の輝線を撮像して計測物体の形状を計測する三次元物体
計測装置において、スリ７）光による輝線撮像データが
得られている期間クロックを計数して輝線幅を求める手
段と、該計数値を１／２する手段とを備え、輝線幅の計
数値のｌ／２にあたるアドレスをスリット光の投光され
たアドレスとすることを特徴とする。

〔作用〕

本発明のビーム中心位置検出装置は、計測物体にスリッ
ト光を投光し、スリット光による輝線撮像データが得ら
れている期間クロックを計数して輝線幅を求め、該計数
値の１／２にあたるアドレスをスリット光の投光された
アドレスとする。

〔実施例〕

以下、実施例を図面に基づき説明する。

第１図は本発明のビーム中心位置検出装置の構成を示す
ブロック図、第２図はタイミングチャート、第３図は計
測物体による輝線の分割を示す図である０図中、１０１
は２値化回路、１０２はクロック発生器、１０３はＡＮ
Ｄ回路、１０５は幅カウンタ、１０７は１／２回路、１
１１はセレクタ、１１３はＲＡＭ５１１７はＸアドレス
カウンタである。

第３図（イ）に示すように投光器３からのスリット光の
拡がりにより計測物体上で２つの輝線に分割され、これ
がテレビカメラｌで第３図（ロ）に示すように２本の輝
線として撮像されたとすると、輝度分布は第３図（ハ）
に示すようになり、これに所定の２値化レベルを設定す
ることにより、第３図（ニ）に示すような２値化画像が
得られる。

こうして２値化回路１０１では第２図（ロ）のような２
値化信号を発生する。この信号とクロック発生器１０２
からのクロック（第２図（イ））がＡＮＤ回路１０３に
加えられるので、幅カウンタ１０５では２つの輝線の幅
に対応した計数値がカウントされる。即ち、第２図（ハ
）に示すように、例えば左側の輝線でクロックをｎ＋３
までカウントしたとすると、右側の輝線でｆｉ＋４から
カウントを始め、例えば合計値が２ｎとなる。そして幅
カウンタ１０５の値をアドレスとしてクロックをカウン
トしているＸアドレスカウンタ１１７の計数値をデータ
としてＲＡＭ１１３に読み込み、幅カウンタ１０５での
カウントが終了したときの値を１／２回路１０７で１／
２する。そしてこの値ｎをアドレスとして、ＲＡＭに読
み込んだデータの値を取り出せば、第２図（ニ）に示す
ようにビームの中心に対応したアドレス値Ｘｎを求める
ことができる。

なお、上記説明ではビームが２分された例について説明
したが、どのように分割されても同様にビーム中心を求
めることができる。

本発明は第１５図に示した従来の三次元物体計測装置に
適用することができるが、さらに以下に示す本発明の三
次元物体計測装置に好適に適用することが可能である。

前述の第１５図に示す従来の３次元物体計測装置では、
輝度画像は瞬時に得られるにしても、第１７図（イ）に
示すような形状の物体の場合、影の部分が生じてしまう
ので、先ずテレビカメラに対して一方の側からスリット
光を投光してスキャニングし、次にテレビカメラに対し
て反対側からスリット光を投光して同様にスキャニング
し、合計２回のスキャニングを行わなければ完全な計測
を行うことはできない、１本の輝線を撮像するのに１画
面の走査時間である１／３０秒を要するので、これを水
平方向に、例えば５１２画素スキャンするとすると、１
回のスキャンだけで約１７秒（−５１２Ｘ１／３０）も
要し、２回では３４秒も要してしまう。

第４図はこの点を解決するようにした本発明による三次
元物体計測装置の一実施例を示す図、第５図はスキャン
方法を示す図、第６図は半球状計測物体の計測例を示す
図であり、ｌはテレビカメラ、３ａ、３ｂは左右の投光
器、Ｓは基準面、５は計測面、７ａ、７ｂはスリット光
、１１．１３はステップモータ、１５は前処理部、１７
は位置検出部、１９は距離演算部、２１は距離データ記
録部、２３は距離画像メモリ、２５はテーブル補正部、
２７．２９は制御テーブル、３１は左側投光角制御部、
３３は右側投光角制御部である。

図において、テレビカメラｌの両側には投光器３ａ、３
ｂが配置され、スリット光７ａ、７ｂを、テレビカメラ
ｌから一定距離ｄの基準面Ｓ上の同一位置に向けて投光
し、第５図に示すように１画素ごとにスキャニングする
。投光器３ａ、３ｂの投光角は、左側投光角制御部３１
、右側投光角制御部３３によりステップモータ１１．１
３を制御することにより行われる。この場合、ステップ
モータの回転はギヤ等を用い、減速して投光器に伝達さ
れるため、ギヤのピッチ誤差、ベアリング径の誤差、あ
るいはバックラッシュ等の機械的な誤差のためにステッ
プモータに加えられるパルス数と投光器の回転角の関係
が完全には線形にはならないので、パルス数と回転角と
の関係をあらかじめ実測して求め、基準面の各画素に応
じたパルス数を制御テーブル２７．２９として作成して
おき、制御テーブルの値を読み出して投光角の制御を行
うことにより各画素ごとにスキャニングを行うようにし
ている。このように制御テーブルはあらかじめ作成して
おくが、さらに精度よくするために、計測に先立ち、基
準面を１画素ごとにスキャニングして計測を行い、輝線
の位置検出結果から実際に投光されている位置に対する
本来あるべき位置とのずれからパルス数を換算し、テー
ブル補正部２５により制御テーブル２７．２９の内容を
補正するようにする。

計測面５は、第５図に示すように基準面Ｓより所定間隔
だけ前側とする。こうすることにより計測面上の輝線位
置は、基準面上の対象画素に対して必ず左右に分離し、
左側スリット光による左側の輝線と、右側スリット光に
よる右側輝線をそれぞれ測定することにより１回のスキ
ャニングにより膨部をな（して計測することができる。

例えば、第６図（イ）に示すように計測面に半球状物体
を置いた場合で説明すると、輝度画像は第６図（ロ）の
ように得られる。基準面Ｓ上のＡ、Ｂ、Ｃ位置における
輝線が第６図（ハ）のようであるとすると、基準面Ａ位
置にスリット光が投光されている場合、左側スリット光
は平面を投光しているので輝線は直線状になり、右側ス
リット光は球面を投光するので輝線は円弧状となる（第
６図（ニ））、また基準面上のＢの位置を投光した場合
は、左側スリット光と右側スリット光とも球面を投光し
ているので輝線は円弧状となり（第６図（ホ））、基準
面上のＣの位置を投光した場合は、同様に輝線は円弧状
となるが、右側スリット光は球面の端を投光するので、
つぶれた円弧状となる（第６図（へ））、なお、破線は
基準面における輝線位置を示している。

こうして得られた輝度画像、輝線信号はテレビカメラ１
から前処理部１５に取り込まれる。前処理部１５は輝度
画像用のフレームメモリ、輝線を２値化して抽出するた
めの回路、明環境で輝線の認識を行い易くするための輝
度画像と輝線画像との差分をとる回路を有している。

前処理部からのデータにより位置検出部１７はスリット
光の位置検出を行い、これに基づき距離演算部１９は、
投光の輝線の位置とテレビカメラ、投光器の位置、投光
角により従来のものと同様に３角法により距離演算を行
う、算出された距離データは、距離データ記録部２１で
記録されると共に、距離画像メモリ部２３において位置
検出された画像上のアドレスに書き込まれる。

ところで、スリット光のビームに幅があると、左右の投
光器のビームが重なる領域においてビームが分離されず
、その結果撮像された輝線も左右に分離されず測定精度
が落ちてしまう。

第７図はこの様子を示す図で、ビームの幅が５画素の場
合を示しており、基準面からＲの領域では左右のビーム
が重なってしまうので、計測面はＲより手前にあるよう
にする必要がある０重なり領域りの大きさはビーム幅、
基準面への入射角度に応じて変化するので、これらを考
慮して計測面を設定する必要がある。なお、図示のよう
に左側ビームと右側ビームでアドレスＸの画素を投光し
たとき、１画素幅を投光するビームの距離換算値ｒｌ（
左側投光の場合）、距離換算値ｒ２（右側投光の場合）
が距離分解能となり、これらはビームの入射角度に依存
することが分かる。

第８図は距離分解能を説明するための図で、同図（イ）
は全体構成図、同図（ロ）は視野中心部Ｐの拡大図、同
図（ハ）はテレビカメラと投光器との距離に対する距離
分解能の関係を示す図である。

第８図（イ）に示すようにレーザ光の入射角度をθ、θ
′、テレビカメラｌと投光器３との距離を１１測定距離
をｄ、テレビカメラの視野をＶとし、第８図（ロ）に示
すように視野中心部の１画素の視野をΔＶとしたとき、
距離分解能はΔ■に対する分解能Δｄとして定義される
。このΔｄは入射角度θ′に依存し、θ′はｌに依存し
て変化するので、Δｄとｌとの関係を示すと第８図（ハ
）に示すようになる。第８図（ハ）から分かるように距
離分解能はテレビカメラと投光器との距離を長くするこ
とにより高くすることができる。

第９図は第４図の三次元計測装置の具体的構成の実施例
を示す図で、図中、４１はＨｅ−Ｎｅレーザ、４３はハ
ーフミラ−１４５，４７は可動ミラー、ＤＳＥはスリッ
ト光の輝線である。

この実施例では、Ｈｅ−Ｎｅレーザ４１からのレーザ光
をハーフミラ−４３で２分し、それぞれ可動ミラー４５
．４７で左右のスリット光を発生させている。可動ミラ
ーはＹ方向に振動すると共に、前述のようにステップモ
ータに、よりＸ方向に駆動されるミラーからなり、Ｙ方
向に振動させることによりスリット光を生じさせ、Ｘ方
向に駆動することよりスキャニングしている。図のり、
Ｅは左右の投光器により物体に照射されたスリット光の
輝線を示している。

なお、この実施例のようにレーザ光源は１個でなく、左
右の投光器にそれぞれ設けてもよい。

第１０図は本発明により三次元物体を計測した例を示す
図で、例えば硬貨のように反射率が同じものが同図（イ
）に示すように配置されている場合、輝度画像だけでは
同図（ロ）のように観測され、各硬貨の相対位置関係は
実際には判別不可能であるが、本発明によればこれらの
距離信号が同図（ハ）に示すように、また各硬貨のエツ
ジによる輝線が同図（ニ）に示すように得られ、反射率
の同じものであってもそれらの相対位置関係を明瞭に判
別することが可能となる。

第１１図は第１図に示すビーム中心位置検出装置を第４
図の三次元物体計測装置に適用した場合の構成を示す図
、第１２図はタイミングチャートを示す図、第１３図は
動作説明用の図である０図中、１０１は２値化回路、１
０３はＡＮＤ回路、１０５は幅カウンタ、１０？は１／
２回路、１０９は遅延回路、１１１はセレクタ、１１３
はＲＡＭ、１１５は遅延回路、１１７はＸアドレスカウ
ンタ、１１９は比較回路、１２１は２進カウンタ、１２
３はＸカウンタである。

図において、テレビカメラの画像クロックは約１３Ｑｎ
ｓ周期（約１２．５ＭＨｚ）であり、Ｘアドレスカウン
タ１１７で計数され、水平走査（ＨＤ）毎にリセットさ
れている。したがってＸアドレスカウンタ１１７の内容
は各走査ラインにおけるＸアドレスを表している。計測
範囲はテレビ画面上に全て入っている必要があるので、
計測有効領域はｌ水平走査よりも短くなる（第１２図（
ハ））、また垂直偏向（Ｖ　Ｄ）信号は２進カウンタ１
２１に入力されて１／２に分周され、Ｘカウンタ１２３
で計数されている。したがってＸカウンタ１２３は、奇
数フィールドまたは偶数フィールドごと、即ち１画面更
新ごとにカウントアツプされるので、スリット光のスキ
ャニングステップ数、即ち第１３図で破線で示す現在の
基準面上の投光位置を表している。したがって、Ｘアド
レスカウンタとＸカウンタの大小により走査位置が基準
面上の投光画素位置より左か右が分かるので、輝線が検
出された時のＸアドレスカウンタとＸカウンタの内容を
比較し、ＸアドレスカウンタくＸカウンタ→左輝線Ｘアドレスカ
ウンタ〉Ｘカウンタ→右輝線と判別することができ、比
較回路１１９の出力が「１」ならば左側投光器による輝
線、「０」ならば右側投光器による輝線として検出する
ことができる。なお、Ｘアドレスカウンタの出力を９ビ
ツト構成として示しているが、これは画像クロック周波
数に依存して適宜変更すればよい。

一方、ビデオ信号は２値化回路１０１に加えられ、スレ
ンショールドレベルと比較されてスリット投光像、即ち
輝線信号が検出される。この輝線信号と画像クロックと
がＡＮＤ回路１０３に加えられるので、輻カウンタ１０
５は輝線画像が得られている期間のみクロックを計数す
る。

従って、例えば２つにビームが分割されて第１２図（ホ
）に示すような２値化輝線信号が得られたような場合に
は、幅カウンタは第１２図（へ）に示すように分割され
たビームの幅の総和を計数することになり、この計数が
終了したときにこの値を１／２回路１０７で１／２する
ことによりビームの中心を求めることができる。１７２
回路は例えばシフトレジスタで構成し、１ビツトシフト
することにより１／２の演算を行うようにすればよい。

そこで、幅カウンタの値をアドレスとしてＸアドレスカ
ウンタの値（第１２図く二））をデータとしてＲＡＭ１
１３に読み込み、１／２回路の出力をアドレスとしてデ
ータを読み、このときの比較回路１１９の出力が「１」
ならば、第１２図（ト）に示すように、例えば５５が左
側からの投光器によるビームの中心位置を示すことにな
る。

この様子を第１３図に示すと、走査開始位置からのクロ
ックカウント数５５が左側輝線の中心位置を示すことに
なる。そしてＸアドレスカウンタとＸカウンタの内容が
一敗したときの比較回路１１９の出力で幅カウンタ１０
５をクリアする。即ち、走査位置が第１３図の破線で示
す基準面上投光位置に達した時点でカウンタをクリアす
る。そして、同様にして右側輝線の中心位置検出を行い
、水平偏向（ＨＤ）のブランキングの開始と同時に幅の
中心値をアドレスとしてＸアドレスの内容を読むと、輝
線位置からＨＤのブランキング開始位置までのカウント
数（第１３図でｍとして示した値）として右側投光器に
よるビームの位置検出を行うことができる。

以後ＨＤにより幅カウンタ１０５．１／２回路１０７を
リセットして各水平走査毎に同様の検出を行って左側輝
線、右側輝線の位置検出を行っていく。

なお、セレクタ１１１は、ＲＡＭＩ　１３が１ポートで
ある場合に必要なもので、デュアルポートでランダムア
クセスできるのであれば必要がない。

また遅延回路１０９．１１５は各回路装置のタイミング
調整用である。

次に第１４図により代表的な輝線の状態についての本発
明と従来の方法による投光位置検出精度についての比較
結果を説明する。

第１４図は、（Ａ）物体が平面の場合、（Ｂ）物体のエ
ツジにより幅が減少した場合、（Ｃ）物体エツジにより
２分割されて左輝線の幅が広い場合、（Ｄ）物体エツジ
により２分割されて右輝線の幅が広い場合、（Ｅ）物体
の反射率の変化により幅が変化した場合について、■輝
線の輝度分布、■輝線の２値化画像、■求めたい中心画
素、■輝度分布より求めた中心画素、■２値化像より求
めた中心画素、■２値化像の左右エツジより求めた中心
画素、■本発明により求めた中心画素をそれぞれ求めた
ものである。なお、輝線の幅は１０画素とし、■の方法
の補正量は５画素とする。

物体が平面である（Ａ）の場合は、■〜■の各方法によ
り求めた中心画素は■の真の中心画素と一致し、いづれ
の方法によってもずれは生じない。

物体のエツジにより輝度分布の幅に変化が生じた（Ｂ）
の場合（図の例では幅が半分に変化し、求めたい中心画
素が左端画素）、■の方法では、輝線の２値化像にガウ
ス分布関数等をフィッティングしてその関数の最大値か
ら中心位置を求めるため、真の中心画素より右側にずれ
、■の方法による２値化像の中心位置は、真の中心画素
より右側に２画素ずれ、■の方法では左エツジに対して
は５画素を加算し、右エツジに対しては５画素を減する
ので、左エツジによる中心は右エツジとなり、右エツジ
による中心は左エツジとなり、ずれ量は０または５画素
となる。また■の本発明では、■の方法と同じ位置とな
る。

物体エツジにより２分割され、左側輝線が７画素、右側
輝線が３！ｉｉ素である（Ｃ）の場合、■、■の方法で
は右側輝線は無視するため、中心位置は真の中心位置よ
り左側に１〜２画素ずれ、■の方法では左側輝線の左エ
ツジと右側輝線の右エツジに５西素を加減するため、左
エツジによる中心は左側輝線の左端から５画素、右エツ
ジによる中心は右側輝線の右端から５画素となり、図示
するようなずれを生ずる。■の本発明では、前述したよ
うに分割された両画素の幅の合計の中心を求めるので、
ずれは生じない。

物体エツジにより２分割され、左側輝線が３Ｗｊ素、右
側輝線が７画素である（Ｄ）の場合、■、■の方法では
右側輝線は無視するため、中心位置は真の中心位置より
左側に大きくずれ、■の方法では左側輝線の左エツジと
右側輝線の右エツジに５画素を加減するため、左エツジ
による中心は左側輝線の左端から５画素、右エツジによ
る中心は右側ｍ線の右端から５画素となり左側エツジに
よる中心がずれを生ずる。■の本発明では、前述したよ
うに分割された両画素の幅の合計の中心を求めるので、
ずれは生じない。

物体の反射率の変化により輝線の幅が半分の５画素に変
化した（Ｅ）の場合、■、■、■ではずれは生ぜず、■
では左側エツジによる中心は右側エツジ、右側エツジに
よる中心は左側エツジとなり、ずれ量は±２画素となる
。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、ビームが分割された場合
にも正確にその中心位置を求めることができるので、高
精度に輝線の位置検出を□行うことかでき、これを三次
元物体計測装置に適用することにより高精度な距離画像
を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のビーム中心位置検出装置の構成を示す
ブロック図、第２図はタイミングチャート、第３図は輝
線の分割を示す図である０図中、第４図は本発明による
三次元物体計測装置の一実施例を示す図、第５図はスキ
ャン方法を示す図、第６図は半球状計測物体の計測例を
示す図、第７図はビームの重なり領域を説明するための
図、第８図はテレビカメラ、投光器との間隔に対する距
離分解能の関係を示す図、第９図は本発明の三次元計測
装置の具体例を示す図、第１θ図は本発明による計測結
果を示す図、第１１図は第１図のビームの中心位置検出
装置を第４図の三次元物体計測装置に適用した場合の構
成を示す図、第１２図はタイミングチャートを示す図、
第１３図は動作を説明するための図、第１４図は本発明
と従来法による投光位置検出についての比較結果を示す
図、第１５図は従来の三次元計測装置の構成を示す図、
第１６図は投光位置を求める従来の方法を説明するため
の図、第１７図は３次元物体による輝線の分割の例を示
す図である。１０１・・・２値化回路、１０２・・・クロック発生器
、１０３・・・ＡＮＤ回路、ｌＯ５・・・幅カウンタ、
１０７・・・１／２回路、１１１・・・セレクタ、１１
３・・・ＲＡＭ、１１７・・・Ｘアドレスカウンタ。出　　願　　人　　浜松ホトニクス株式会社代　　理　
　人　　弁理士　蛭　川　昌　信第１図第２図（イ）（Ｏｊ　　　　　　　　　（ハ）第５図第６図（イ）第一７図第８図（イ）第８図（０）第８図（ハ）〒しピカメラとけ−を蕗ε弓１１第１０図（イ）　　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｏ）（二
］　　　　　　　　　　　　（ハ）第１１図第１６図

Claims

【特許請求の範囲】

計測物体にスリット光を投光し、スリット光による計測
物体上の輝線を撮像して計測物体の形状を計測する三次
元物体計測装置において、スリット光による輝線撮像デ
ータが得られている期間クロックを計数して輝線幅を求
める手段と、該計数値を１／２する手段とを備え、輝線
幅の計数値の１／２にあたるアドレスをスリット光の投
光されたアドレスとすることを特徴とするビーム中心位
置検出装置。