JPH01213820A - 磁気ヘッドスライダの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法に係り、特に
磁気記録媒体との粘着を低減した磁気ヘットのスライダ
の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録媒体の記録密度の増大に伴い、磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体との間隙が狭くなる方向にある。その
ため、例えば１．いわゆるコンタクト・スタート・スト
ップ型（以下Ｃ８Ｓ型と略す）、すなわち磁気ヘッドと
磁気記録媒体とが相対運動を停止しているときは両者が
接触し、相対運動中は磁気ヘッドが媒体から離れて浮上
している型においては、磁気ヘッドと磁気記録媒体との
接触や摺動による双方の損傷を軽減するため、磁気記録
媒体の表面には潤滑剤が塗布されているのが一般的であ
る。しかしながら、潤滑剤が塗布された磁気記録媒体と
磁気ヘッドの間では１両者が相対運動を行すずに接触し
ているときに互いに吸着する現象が生じ、そのため相対
運動を開示する際に磁気ヘッドが媒体から速やかに離れ
ることができないという問題が生じる。間者の粘着力が
大きい場合は、相対運動の開始を阻害するばかりでなく
、磁気ヘッドや媒体に損傷を与える。この粘着力は、磁
気ヘッドや媒体の面精度や潤滑剤の性質や量によっても
影響を受ける。

前述のように記録密度の向上に伴って、磁気へラドと媒
体の空隙はより狭くなるため、磁気ヘッドや媒体の面精
度はより向上させる必要があるが、両者の面精度を上げ
れば粘着力がより増大する傾向にある。

この問題の解決のため、特開昭６１−２０４３８４には
、磁気ヘッドスライダの端部を除いた浮上面をエツチン
グして凹部を形成させることが記載されている。また、
特開昭５６−１０７３６３には、磁気ヘッドスライダ面
にスパッタ又は蒸着により微小な突起を複数個設けるこ
とが記載されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術において、エツチングにより磁気ヘッドス
ライダ浮上面に凹部を形成した場合は、潤滑剤がその凹
部に浸入すると、凹部を形成した効果が減少する。その
ため凹部の大きさ、潤滑剤の種類や量を十分配慮して定
めても、長期間の使用中に環境の変化等により、潤滑剤
が四部に侵入して凹部を形成した効果が失われるという
問題があった。

また、磁気ヘッドスライダ浮上面にスパッタ又は蒸着に
より微小突起を形成する場合は、浮上面と微小突起との
境界面が必ずしも強度が十分でないということについて
配慮されておらず、長期間の使用中に何らかの衝撃によ
り微小突起が脱落し、磁気記録媒体面を損傷するという
問題があった。

本発明の目的は、十分な強度を持ち、媒体との粘着性を
低減した磁気ヘッドスライダの製造方法を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、遷移金属炭化物で、該遷移金属の酸化物よ
り体積が小さい炭化物をセラミックスに混合して磁気ヘ
ッドスライダを形成する工程及び該磁気ヘッドスライダ
を酸化し、上記遷移金属炭化物を酸化物とすることによ
って上記磁気ヘッドスライダの少なくともエアベアリン
グ面に上記酸化物を突出させる工程を有することを特徴
とする磁気ヘッドスライダの製造方法によって達成され
る。

遷移金属炭化物としては、例えば炭化チタンや炭化ジル
コニウム等が好ましい。これらの化合物は酸化物の硬度
が優れるためである。

遷移金属炭化物は、０．５〜３０容量％の範囲で含まれ
ていることが好ましい。０．５容量％未満では効果が顕
著でなく、３０容量％を越えると磁気ヘッドスライダと
しての材料の性質が多少変化するためである。

酸化物の突起の高さは、３ｎｍ以上で、磁気ヘッドの浮
上高さの約１／１０の高さ以下であることが好ましい。

現在、磁気ヘッドの浮上高さは約２００ｎ　ｍであるの
で、このような磁気ヘッドを用いるときは酸化物の突起
の高さは３〜２０ｎ　ｍの範囲が好ましいことになる。

酸化物の突起の高さが３ｎｍ未満では効果が顕著でない
。

第６図は、後述する実施例１及び２で作成した磁気ヘッ
ドスライダを用いた磁気ヘッドの粘着力測定結果である
。粘着力の測定は、磁気ヘッドを８０℃−６０％ＲＨの
環境下に荷重１０ｇの条件で５時間磁気ディスクに接触
させた後移動させ得る最大荷重の値である。なお測定に
用いた磁気ディスクの面粗さは約ｌｎｍＲａである。図
に示したように、酸化物の突起の高さが３ｎｍ以上にお
いて粘着力低減の効果が顕著に見られ、突起の低いもの
に比較して最大１／３に粘着力が減少している。なお、
突起高さが１２〜１４ｎｍにおいて、粘着力低減の効果
が飽和する傾向にあるが、磁気ディスクの潤滑剤塗布量
が多い場合、突起高さが約２０ｎ　ｍ程度迄粘着力低減
の効果が増加する。突起高さは例えば酸化条件を変える
ことにより制御できる。

〔作用〕

一例を挙げて本発明の詳細な説明する。第１図に示すよ
うに、薄膜ヘッド型磁気ヘッドスライダ１は、回転して
いる磁気ディスク上に浮上してこれを支えるためのエア
ベアリング面２を有する。

第２図は表面を平滑に加工したエアベアリング面の部分
拡大断面図である。その表面にはマトリックに分散させ
た炭化チタンの一部が露出している。

磁気ヘッドスライダを酸化すると、第３図に示すように
、炭化チタンが酸化チタンに変質し、それによる体積膨
張により酸化チタンがエアベアリング面より突出する。

酸化チタンは磁気へッドスライブ中に一部分が埋め込ま
れているので強度に優れる。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例を用いて説明する。

実施例　１ ９モル％のＹ２Ｏ，を固溶したＺｒＯ，に５容量％のＴ
ｉＣを添加して磁気ヘッドスライダを形成した。この磁
気ヘッドスライダを大気中で３０分間加熱した。その結
果を第４図に示す。図に示したように加熱温度が３００
℃までは酸化チタンへの変質はほとんど生ぜず、従って
突出も生じていない。

３２０℃近傍から突出量は顕著となり、４００℃でほぼ
突出量は飽和する。

この磁気ヘッドスライダを用い磁気ヘッドとし、第６図
の測定と同じ方法で粘着力を測定した。突出量（突起の
高さ）が約３ｎｍ以上のものは、いずれも粘着力が突起
のないものより低減し、長時間作動させても磁気ヘッド
にも磁気ディスクにも損傷は認められなかった。またこ
のような磁気ヘッドスライダは安いコストで製造できた
。

実施例　２ 実施例１と同じ磁気ヘッドスライダを用い、下記の条件
でプラズマエツチングした。その結果を第５図に示す。

プラズマ　　　　　ｏ２ 流　量　　　　　　１８ｃｃ／分 ガス圧　　　　　　４　Ｘ　ＩＦ３Ｔｏｒｒ投入パワー
　　　　１．３ＫＷ 電極　　　Ｓ　ｉｏ２ この磁気ヘッドスライダを用いて磁気ヘッドとし、実施
例１と同様に粘着力を測定した。突出量が約３ｎｍ以上
のものはいずれも粘着力が突起のないものより低減し、
長時間作動させても磁気ヘッドにも磁気ディスクにも損
傷は認められなかった。また、このような磁気ヘッドス
ライダは安いコストで製造できた。

なお、炭化ジルコニウムを用いても、炭化チタンの場合
とほぼ同様の効果を得た。

〔発明の効果〕

本発明によれば、安いコストで磁気記録媒体との粘着力
を低減した磁気ヘッドのスライダを製造することができ
る。本発明の方法により製造した磁気ヘッドスライダの
突起は極めて強固である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の磁気ヘッドスライダの斜
視図、第２図及び第３図は、第１図の磁気ヘッドスライ
ダのエアベアリング面の部分拡大断面図、第４図、第５
図及び第６図は本発明を説明するための図である。 １・・・磁気ヘントスライダ ２・・エアベアリング面 ３・・炭化チタン ４・・・酸化チタン 代理人弁理士　　中　村　純之助 第１図 第２図 １−−一石へ気へｖＩ：スライダ ２−一一エアへ゛′７１ルア”面 ３−一一匁化呼タシ ４−ｍ−酸化す２〉 第３図 第４図 工、、＋ジグ時間ｃ分ノ 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．遷移金属炭化物で、該遷移金属の酸化物より体積が
   小さい炭化物をセラミックスに混合して磁気ヘッドスラ
   イダを形成する工程及び該磁気ヘッドスライダを酸化し
   、上記遷移金属炭化物を酸化物とすることによって上記
   磁気ヘッドスライダの少なくともエアベアリング面に上
   記酸化物を突出させる工程を有することを特徴とする磁
   気ヘッドスライダの製造方法。