JPH0121884B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0121884B2 JPH0121884B2 JP4887281A JP4887281A JPH0121884B2 JP H0121884 B2 JPH0121884 B2 JP H0121884B2 JP 4887281 A JP4887281 A JP 4887281A JP 4887281 A JP4887281 A JP 4887281A JP H0121884 B2 JPH0121884 B2 JP H0121884B2
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- JP
- Japan
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- light
- fiber
- receiving
- measured
- central axis
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- Expired
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 39
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は光フアイバーを利用した光線反射方
式による物体表面の状態等を測定するために使用
される光フアイバーの改良に関する。
式による物体表面の状態等を測定するために使用
される光フアイバーの改良に関する。
光フアイバーを利用した光線反射方式による測
定方法は、被測定物の表面に測定用光線を投光用
フアイバーによつて照射し、被測定物表面からの
前記測定用光線の反射光を受光フアイバーによつ
て受光し、この受光光量の変化から被測定物の表
面の状態等を検知するものである。
定方法は、被測定物の表面に測定用光線を投光用
フアイバーによつて照射し、被測定物表面からの
前記測定用光線の反射光を受光フアイバーによつ
て受光し、この受光光量の変化から被測定物の表
面の状態等を検知するものである。
例えば切削加工中の被削材の切削面の荒さを測
定する場合、受光フアイバーを通して検出される
反射光の割合は、切削表面の傾斜角分布に応じて
変化し、表面荒さは傾斜角の分布と相関性がある
ため、反射光出力によつて荒さを測定することが
できる。
定する場合、受光フアイバーを通して検出される
反射光の割合は、切削表面の傾斜角分布に応じて
変化し、表面荒さは傾斜角の分布と相関性がある
ため、反射光出力によつて荒さを測定することが
できる。
ここで前記反射光出力は被測定物の表面の反射
率によつて異なり、またその反射率は被測定物の
材質によつて異なる。従つて表面荒さを正確に測
定するためには反射率の相違の影響を何らかの方
法で除去する必要がある。
率によつて異なり、またその反射率は被測定物の
材質によつて異なる。従つて表面荒さを正確に測
定するためには反射率の相違の影響を何らかの方
法で除去する必要がある。
このための方法として、一般に光フアイバーを
被測定面に対して垂直に配置した場合と傾斜させ
て配置した場合について、それぞれの位置での受
光用フアイバーによつて受光された反射光出力の
比を求め、これから材料の反射率の影響を除去す
るようにした方法がある。
被測定面に対して垂直に配置した場合と傾斜させ
て配置した場合について、それぞれの位置での受
光用フアイバーによつて受光された反射光出力の
比を求め、これから材料の反射率の影響を除去す
るようにした方法がある。
しかしながらこのような方法の場合、投光フア
イバーと受光フアイバーが測定面に対して垂直お
よび傾斜位置をとり、二つの投光された光が互い
に干渉をし合うことになり正確な測定が困難にな
るという不都合がある。
イバーと受光フアイバーが測定面に対して垂直お
よび傾斜位置をとり、二つの投光された光が互い
に干渉をし合うことになり正確な測定が困難にな
るという不都合がある。
本発明はかかる不都合を解消すべく成されたも
のであつて、小型でかつ正確に測定でき取扱いに
便利な光フアイバーを提供することを目的とす
る。
のであつて、小型でかつ正確に測定でき取扱いに
便利な光フアイバーを提供することを目的とす
る。
この目的は被測定物表面に垂直に配置された投
光用フアイバーと、この投光用フアイバーに平行
かつ隣接する受光用フアイバーおよび前記投光用
フアイバーと一定の角度を有する第２の受光フア
イバーと、を一体的に設けることによつて達成さ
れる。
光用フアイバーと、この投光用フアイバーに平行
かつ隣接する受光用フアイバーおよび前記投光用
フアイバーと一定の角度を有する第２の受光フア
イバーと、を一体的に設けることによつて達成さ
れる。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明にかかる光フアイバーの実施例
を示す正面図である。
を示す正面図である。
この図に示されるように、本発明にかかる光フ
アイバー１は、被測定物２の表面に対して垂直に
測定用光線を照射するようにされた投光用フアイ
バー３と、受光光束の中心軸線が前記投光用フア
イバー３の投光光束の中心軸線と平行でありかつ
隣接して配置された受光用フアイバー４と、前記
投光用フアイバー３の投光光束の中心軸線と受光
光束の中心軸線が被測定物２の表面において角度
θをなして交差する第２の受光用フアイバーと、
が一体的に設けられている。図の符号６は光源７
からの光を投光用フアイバーに導くためのレン
ズ、符号８は受光用フアイバー４からの光を受け
る受光素子、符号９は第２の受光用フアイバーの
ための受光素子をそれぞれ示す。
アイバー１は、被測定物２の表面に対して垂直に
測定用光線を照射するようにされた投光用フアイ
バー３と、受光光束の中心軸線が前記投光用フア
イバー３の投光光束の中心軸線と平行でありかつ
隣接して配置された受光用フアイバー４と、前記
投光用フアイバー３の投光光束の中心軸線と受光
光束の中心軸線が被測定物２の表面において角度
θをなして交差する第２の受光用フアイバーと、
が一体的に設けられている。図の符号６は光源７
からの光を投光用フアイバーに導くためのレン
ズ、符号８は受光用フアイバー４からの光を受け
る受光素子、符号９は第２の受光用フアイバーの
ための受光素子をそれぞれ示す。
ここにおいて前記角度θは15度ないし40度とす
るのが理想的である。これは第２図に示されるよ
うに投光用および受光用のフアイバーの中心軸が
平行な光フアイバーを、その光束の中心軸線と被
測定２の表面に垂直な線とのなす角度ψに対する
反射光出力との関係を実験的に求めた結果による
ものである。
るのが理想的である。これは第２図に示されるよ
うに投光用および受光用のフアイバーの中心軸が
平行な光フアイバーを、その光束の中心軸線と被
測定２の表面に垂直な線とのなす角度ψに対する
反射光出力との関係を実験的に求めた結果による
ものである。
すなわち、第２図は角度ψを横軸に、また縦軸
には、ψ＝０の場合の反射光出力を１とした場合
の各ψにおける比出力を示すものであり、４種類
の異なる表面荒さ（Rz）の材料についての実測
値を示している。これによるとψの絶対値が15度
ないし20度のとき、各試料の出力比は、表面荒さ
の変化に対して最も感度が高いことが判つた。し
たがつてθを15度ないし40度に設定すれば最も高
度が高くなる。
には、ψ＝０の場合の反射光出力を１とした場合
の各ψにおける比出力を示すものであり、４種類
の異なる表面荒さ（Rz）の材料についての実測
値を示している。これによるとψの絶対値が15度
ないし20度のとき、各試料の出力比は、表面荒さ
の変化に対して最も感度が高いことが判つた。し
たがつてθを15度ないし40度に設定すれば最も高
度が高くなる。
本発明は上記のように被測定物の表面に測定用
光線を照射するための投光用フアイバーと、前記
被測定物表面からの前記測定用光線の反射光を受
光するための受光用フアイバーとを有し、受光光
量の変化から被測定物の表面の状態等を検知する
ための光フアイバーにおいて、前記受光用フアイ
バーの受光光束の中心軸線を、前記投光用フアイ
バーの投光光束の中心軸線と平行にするととも
に、受光光束の中心軸線が前記投光用フアイバー
の中心軸線と一定角度をなす第２の受光用フアイ
バーを前記投光用フアイバーおよび受光用フアイ
バーと一体的に設けて光フアイバーを構成したの
で、２つの投光が干渉し合うことなく正確に被測
定物表面を測定できるとともに小型一体化により
取扱に便利となつたという優れた効果を有する。
光線を照射するための投光用フアイバーと、前記
被測定物表面からの前記測定用光線の反射光を受
光するための受光用フアイバーとを有し、受光光
量の変化から被測定物の表面の状態等を検知する
ための光フアイバーにおいて、前記受光用フアイ
バーの受光光束の中心軸線を、前記投光用フアイ
バーの投光光束の中心軸線と平行にするととも
に、受光光束の中心軸線が前記投光用フアイバー
の中心軸線と一定角度をなす第２の受光用フアイ
バーを前記投光用フアイバーおよび受光用フアイ
バーと一体的に設けて光フアイバーを構成したの
で、２つの投光が干渉し合うことなく正確に被測
定物表面を測定できるとともに小型一体化により
取扱に便利となつたという優れた効果を有する。
第１図は本発明にかかる光フアイバーの実施例
を示す正面図、第２図は光フアイバーの被測定面
と垂直な線に対する傾斜角と反射光出力との関係
を示すグラフである。 １……光フアイバー、２……被測定物、３……
投光用フアイバー、４……受光用フアイバー、５
……第２の受光用フアイバー。
を示す正面図、第２図は光フアイバーの被測定面
と垂直な線に対する傾斜角と反射光出力との関係
を示すグラフである。 １……光フアイバー、２……被測定物、３……
投光用フアイバー、４……受光用フアイバー、５
……第２の受光用フアイバー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定物の表面に測定用光線を照射するため
の投光用フアイバーと、前記被測定物表面からの
前記測定用光線の反射光を受光するための受光用
フアイバーとを有し、受光光量の変化から被測定
物の表面の状態等を検知するための光フアイバー
において、前記受光用フアイバーの受光光束の中
心軸線を、前記投光用フアイバーの投光光束の中
心軸線と平行にするとともに、受光光束の中心軸
線が前記投光用フアイバーの中心軸線と一定角度
をなす第２の受光用フアイバーを前記投光用フア
イバーおよび受光用フアイバーと一体的に設けた
ことを特徴とする光フアイバー。 ２ 前記第２の受光用フアイバーの中心軸線と投
光用フアイバーの中心軸線とのなす角度は、15度
ないし40度とされた特許請求の範囲第１項記載の
光フアイバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4887281A JPS57163851A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4887281A JPS57163851A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57163851A JPS57163851A (en) | 1982-10-08 |
| JPH0121884B2 true JPH0121884B2 (ja) | 1989-04-24 |
Family
ID=12815373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4887281A Granted JPS57163851A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57163851A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143909A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 表面粗さ検出方法 |
| JPS59143908A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 表面粗さ検出装置 |
| GB201718699D0 (en) | 2017-11-13 | 2017-12-27 | Rolls-Royce Ltd | Measuring surface roughness |
-
1981
- 1981-04-01 JP JP4887281A patent/JPS57163851A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57163851A (en) | 1982-10-08 |
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