JPH01219164A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH01219164A JPH01219164A JP4384088A JP4384088A JPH01219164A JP H01219164 A JPH01219164 A JP H01219164A JP 4384088 A JP4384088 A JP 4384088A JP 4384088 A JP4384088 A JP 4384088A JP H01219164 A JPH01219164 A JP H01219164A
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- Japan
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- vacuum
- stage
- evaporation
- chamber
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- Granted
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title abstract 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 9
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプラスチックフィルム等の薄膜（蒸着基板）ヘ
アルミニー−ム等の金属の蒸着を行う連続真空蒸着装置
に関する。
アルミニー−ム等の金属の蒸着を行う連続真空蒸着装置
に関する。
（従来の技術〕
従来例を第３図に示す。
フィルム１０は外部より入側真空シール部１１に搬入さ
れ、徐々に真空度が高くなってい（真空シール室５を通
過して所定の真空度を有する蒸着室３へ導入される。こ
の蒸着室３で金属蒸着が施された後、フィルム１０は徐
々に真空度が低（なっていく真空シール室５よりなる出
側真空シール部１２を経てもとの外部へと搬出されてい
る。１はケーシング、２は各真空シール室５を形成する
シールロールである。
れ、徐々に真空度が高くなってい（真空シール室５を通
過して所定の真空度を有する蒸着室３へ導入される。こ
の蒸着室３で金属蒸着が施された後、フィルム１０は徐
々に真空度が低（なっていく真空シール室５よりなる出
側真空シール部１２を経てもとの外部へと搬出されてい
る。１はケーシング、２は各真空シール室５を形成する
シールロールである。
また、４は蒸着室３及び各真空シール室５の真空びきを
行う容積形の真空ポンプであり、蒸着室３や蒸着室３に
近い真空シール室５には、高真空を形成する必要がある
ため、真空ポンプ４が並列あるいは直列に複数連結され
ている。
行う容積形の真空ポンプであり、蒸着室３や蒸着室３に
近い真空シール室５には、高真空を形成する必要がある
ため、真空ポンプ４が並列あるいは直列に複数連結され
ている。
６は冷却器であり、特に、装置内の雰囲気ガスにＮ１
ガス等の特別なガスが必要とされ条場合には、真空ポン
プ４により大気圧程度に排気されるガスを大気圧に近い
真空シール室５へ送り込み、装置内を循環させている。
ガス等の特別なガスが必要とされ条場合には、真空ポン
プ４により大気圧程度に排気されるガスを大気圧に近い
真空シール室５へ送り込み、装置内を循環させている。
一般Ｋ、往復動又はロータリー式等の容積形の真空ポン
プは吸入容量及び１台当りの圧力比が低いため、隣接す
る高圧側の真空シール室より多分に大量の気体が漏入し
てくる真空シール室や蒸着室を所望の高真空に保つため
には、各真空シール室、蒸着室ごとに非常に多数台の真
空ポンプを並列、直列に組み合せて設置する必要があり
、広い設置空間を要するばかりか、各真空ポンプ等機器
間を連結する配管も多くなり複雑となってしまう。又、
容量形の真空ポンプを直列で使用する場合には各真空ポ
ンプの制御が特別に必要となるため、装置全体としての
価格が高くなってしまうという経済上のデメリットもあ
る。
プは吸入容量及び１台当りの圧力比が低いため、隣接す
る高圧側の真空シール室より多分に大量の気体が漏入し
てくる真空シール室や蒸着室を所望の高真空に保つため
には、各真空シール室、蒸着室ごとに非常に多数台の真
空ポンプを並列、直列に組み合せて設置する必要があり
、広い設置空間を要するばかりか、各真空ポンプ等機器
間を連結する配管も多くなり複雑となってしまう。又、
容量形の真空ポンプを直列で使用する場合には各真空ポ
ンプの制御が特別に必要となるため、装置全体としての
価格が高くなってしまうという経済上のデメリットもあ
る。
本発明は上記課題を解決するために提案されたもので、
シールロールにより仕切られ漸次真空度が増大する多段
の真空シール室からなる入側真空シール部を介して、蒸
着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金属の蒸着を行
ったのち、シールロールにより仕切られ漸次真空度が減
少する多段の真空シール室からなる出側真空シール部を
介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連続真空蒸着装
置において、上記多段の真空シール室を真空度の高い側
から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込口へと接続し
てなる真空排気系を具備したことを特徴とするものであ
る。
シールロールにより仕切られ漸次真空度が増大する多段
の真空シール室からなる入側真空シール部を介して、蒸
着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金属の蒸着を行
ったのち、シールロールにより仕切られ漸次真空度が減
少する多段の真空シール室からなる出側真空シール部を
介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連続真空蒸着装
置において、上記多段の真空シール室を真空度の高い側
から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込口へと接続し
てなる真空排気系を具備したことを特徴とするものであ
る。
（作 用〕
このような構成を有する本発明によれば、各真空シール
室は多段非容形ポンプにより真空排気されることになり
機器間の接続が簡素化されることになると同時に、真空
排気系に特別な制御も不要となる。
室は多段非容形ポンプにより真空排気されることになり
機器間の接続が簡素化されることになると同時に、真空
排気系に特別な制御も不要となる。
（実施例〕
第１図は本発明の１実施例を示すもので、第４図と同一
部材には同一符号を付し説明は省略する。
部材には同一符号を付し説明は省略する。
図より明らかなように、８は多段ターボポンプであり、
この各段の吸込口は、冷却器６、制御弁７を介して各真
空シール室５と連結しており、かつこの連結関係は、高
真空側の真空シール室５が低圧段側の吸込口と、低真空
側の真空シール室５が高圧段側の吸込口と接続うるよう
になっている。従って、真空シール室５より多段ターボ
ポンプ８のある段の吸込口に流入するガスは、前段、次
段の吸込口から流入したガスといっしょに最終段（最高
圧段＝大気圧程度）に向けて圧縮されることになる。
この各段の吸込口は、冷却器６、制御弁７を介して各真
空シール室５と連結しており、かつこの連結関係は、高
真空側の真空シール室５が低圧段側の吸込口と、低真空
側の真空シール室５が高圧段側の吸込口と接続うるよう
になっている。従って、真空シール室５より多段ターボ
ポンプ８のある段の吸込口に流入するガスは、前段、次
段の吸込口から流入したガスといっしょに最終段（最高
圧段＝大気圧程度）に向けて圧縮されることになる。
なお、蒸着室３に必要とされるような高真空を多段ター
ボポンプ８により実現できない場合には、真空ポンプ４
をその間に介してやればよい。９は電動機である。
ボポンプ８により実現できない場合には、真空ポンプ４
をその間に介してやればよい。９は電動機である。
第２図は多段ターボポンプの構成図を示すもので、図よ
り明らかなように１２１はその中心軸を鉛直方向に据付
けられるケーシング、２２は流入ガスの通路を形成する
仕切板、２３は流入ガスの吸込口、２４は羽根車、２５
はデイフユーザ、２６はスラストカラー、ｎはスラスト
軸受、３２は吐出口、３４はピボット軸受３３を下方に
押出し羽根車２４群の位置を安定させるバネである。ま
た、第３図は羽根車２４間連結部の拡大図であり、図よ
り明らかなように、３８は羽根車２４軸下部に取付けら
れた電磁軸受回転子３６は電磁軸受回軸子あと間隔を置
いて仕切板２２に取付けられた電磁軸受固定子であり、
羽根車２４軸の変位検出器３９からの信号を得て羽根車
２４軸の軸変位を制御するものである。３５は前段の羽
根車２４軸と後段の羽根車２４軸の軸心な一致させると
ともに、前段の羽根車２４の自重と後段の羽根車２４０
回転トルクをビン結合により相互に伝えるカップリング
である。
り明らかなように１２１はその中心軸を鉛直方向に据付
けられるケーシング、２２は流入ガスの通路を形成する
仕切板、２３は流入ガスの吸込口、２４は羽根車、２５
はデイフユーザ、２６はスラストカラー、ｎはスラスト
軸受、３２は吐出口、３４はピボット軸受３３を下方に
押出し羽根車２４群の位置を安定させるバネである。ま
た、第３図は羽根車２４間連結部の拡大図であり、図よ
り明らかなように、３８は羽根車２４軸下部に取付けら
れた電磁軸受回転子３６は電磁軸受回軸子あと間隔を置
いて仕切板２２に取付けられた電磁軸受固定子であり、
羽根車２４軸の変位検出器３９からの信号を得て羽根車
２４軸の軸変位を制御するものである。３５は前段の羽
根車２４軸と後段の羽根車２４軸の軸心な一致させると
ともに、前段の羽根車２４の自重と後段の羽根車２４０
回転トルクをビン結合により相互に伝えるカップリング
である。
このように、各羽根車２４を独立して軸受けさせ、各羽
根車２４軸端な曲げモーメントを伝えないピン結合によ
り連結することによって、各羽根車２４群にほぼ剛体の
性質を呈しせしめ、危険速度を上げることで、より一層
の多段高速化を可能としている。
根車２４軸端な曲げモーメントを伝えないピン結合によ
り連結することによって、各羽根車２４群にほぼ剛体の
性質を呈しせしめ、危険速度を上げることで、より一層
の多段高速化を可能としている。
なお、このような多段ターボポンプ構造は、−台にて各
真空シール室の真空排気を可能たらしめようとするもの
であって、危険速度の限界により一台では各真空シール
室に所要される真空排気が不能な場合には、複数台の多
段ターボポンプを直列に接続するようにしてやればよい
ことは言うまでもない。
真空シール室の真空排気を可能たらしめようとするもの
であって、危険速度の限界により一台では各真空シール
室に所要される真空排気が不能な場合には、複数台の多
段ターボポンプを直列に接続するようにしてやればよい
ことは言うまでもない。
以上具体的に説明したように、本発明によれば、各真空
シール室の真空排気を多段非容積形ポンプによって行う
ことにより、従来の真空排気系に比べ必要敷地面積が少
なくてすみ、配管が簡素化される上、複雑な制御が不要
となり、コスト低減を図ることができる。
シール室の真空排気を多段非容積形ポンプによって行う
ことにより、従来の真空排気系に比べ必要敷地面積が少
なくてすみ、配管が簡素化される上、複雑な制御が不要
となり、コスト低減を図ることができる。
第１図は本発明の１実施例に係わる連続真空蒸着装置の
構成図、第２図は多段ターボポンプの構成図、第３図は
第２図の各羽根車間詳細図、第４図は従来の連続真空蒸
着装置の構成図である。 ２・・・シールロール、５・・・真空シール室、８・・
・多段ターボポンプ、１０・・・フィルム、１１・・・
入側真空シール部、１２・・・出側真空シール部。
構成図、第２図は多段ターボポンプの構成図、第３図は
第２図の各羽根車間詳細図、第４図は従来の連続真空蒸
着装置の構成図である。 ２・・・シールロール、５・・・真空シール室、８・・
・多段ターボポンプ、１０・・・フィルム、１１・・・
入側真空シール部、１２・・・出側真空シール部。
Claims (1)
- シールロールにより仕切られ漸次真空度が増大する多段
の真空シール室からなる入側真空シール部を介して、蒸
着基板を外部より蒸着室へ導入して蒸着金属の蒸着を行
つたのち、シールロールにより仕切られ漸次真空度が減
少する多段の真空シール室からなる出側真空シール部を
介して、上記蒸着基板を外部へ搬出する連続真空蒸着装
置において、上記多段の真空シール室を真空度の高い側
から順次多段非容積形ポンプの高圧側吸込口へと接続し
てなる真空排気系を具備したことを特徴とする連続真空
蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4384088A JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4384088A JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219164A true JPH01219164A (ja) | 1989-09-01 |
| JPH076065B2 JPH076065B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=12674944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4384088A Expired - Fee Related JPH076065B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076065B2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4384088A patent/JPH076065B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH076065B2 (ja) | 1995-01-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |