JPH01219367A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JPH01219367A JPH01219367A JP4438788A JP4438788A JPH01219367A JP H01219367 A JPH01219367 A JP H01219367A JP 4438788 A JP4438788 A JP 4438788A JP 4438788 A JP4438788 A JP 4438788A JP H01219367 A JPH01219367 A JP H01219367A
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- pump
- rotary pump
- oil rotary
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分子ポンプと油回転ポンプ又は分子ポンプと
メカニカルブースタおよび油回転ポンプの組合せを排気
ポンプとする真空排気装置に係り、特に被排気側の油汚
染を防止するのに好適な真空排気装置に関する。
メカニカルブースタおよび油回転ポンプの組合せを排気
ポンプとする真空排気装置に係り、特に被排気側の油汚
染を防止するのに好適な真空排気装置に関する。
［従来の技術〕
第９図は実開昭５２−９６４０８号公報に記載された分
子ポンプとメカニカルブースタおよび油回転ポンプの組
合せを排気ポンプとする従来の真空排気装置の一例で示
したものである。同図において真空容器１を排気する際
、真空容器１の体積が大きいか、又はガス負荷が大きい
場合には、本排気ポンプである分子ポンプ２は大型とな
り十分に低い圧力でしか作動できないので、真空容器１
内の圧力を分子ポンプ２が運転できる圧力まで粗引きす
ることが必要になる。そこで、まず粗引きバルブ３を開
きメカニカルブースタ５と油回転ポンプ６にて真空容器
１を排気する。真空容器１内の圧力が分子ポンプ２が十
分作動する圧力まで低くなったら粗引きバルブ３を閉じ
、分子ポンプ吐出バルブ８を開き、本排気バルブ９を開
いて本排気を行なう、排気ポンプの停止時には本排気バ
ルブ９を閉じ、ガスリークバルブ１０を開いてノズル１
１により排気ポンプに使われている油よりも離脱エネル
ギの小さい気体をリークさせて停止させる。
子ポンプとメカニカルブースタおよび油回転ポンプの組
合せを排気ポンプとする従来の真空排気装置の一例で示
したものである。同図において真空容器１を排気する際
、真空容器１の体積が大きいか、又はガス負荷が大きい
場合には、本排気ポンプである分子ポンプ２は大型とな
り十分に低い圧力でしか作動できないので、真空容器１
内の圧力を分子ポンプ２が運転できる圧力まで粗引きす
ることが必要になる。そこで、まず粗引きバルブ３を開
きメカニカルブースタ５と油回転ポンプ６にて真空容器
１を排気する。真空容器１内の圧力が分子ポンプ２が十
分作動する圧力まで低くなったら粗引きバルブ３を閉じ
、分子ポンプ吐出バルブ８を開き、本排気バルブ９を開
いて本排気を行なう、排気ポンプの停止時には本排気バ
ルブ９を閉じ、ガスリークバルブ１０を開いてノズル１
１により排気ポンプに使われている油よりも離脱エネル
ギの小さい気体をリークさせて停止させる。
なお第９図において、１２は本排気配管、１３は粗引き
配管、１５は分子ポンプ吐出配管である。
配管、１５は分子ポンプ吐出配管である。
近年真空排気装置の真空容器１に関しては、排気に用い
る排気ポンプの油の逆拡散による真空容器１内の油汚染
が問題となっている。特に到達圧力付近で作動している
油回転ポンプ６では油の逆拡散が激しく発生している。
る排気ポンプの油の逆拡散による真空容器１内の油汚染
が問題となっている。特に到達圧力付近で作動している
油回転ポンプ６では油の逆拡散が激しく発生している。
この油汚染の発生源である油回転ポンプ６の油の逆拡散
を低減させれば、真空容器１内の油汚染を低減させるこ
とができる。
を低減させれば、真空容器１内の油汚染を低減させるこ
とができる。
しかし上記従来の真空排気装置では排気ポンプ停止時の
油の逆拡散の防止については考慮されているが、油汚染
の最大の原因となる粗引き時に到達圧力付近で作動して
いるメカニカルブースタ５と油回転ポンプ６に使われて
いる油の粗引き配管１３を通じての真空容器１への逆拡
散を防止することについては考慮されていなかった。ま
た本排気中には分子ポンプ吐出バルブ８を開き分子ポン
プ吐出配管１５を通じてメカニカルブースタ５と油回転
ポンプ６にて分子ポンプ２の後段排気をする。この場合
真空容器１内の圧力が低くなり到達圧力付近になるとメ
カニカルブースタ５．油回転ポンプ６も到達圧力付近で
作動することとなり、このとき油の逆拡散を発生する。
油の逆拡散の防止については考慮されているが、油汚染
の最大の原因となる粗引き時に到達圧力付近で作動して
いるメカニカルブースタ５と油回転ポンプ６に使われて
いる油の粗引き配管１３を通じての真空容器１への逆拡
散を防止することについては考慮されていなかった。ま
た本排気中には分子ポンプ吐出バルブ８を開き分子ポン
プ吐出配管１５を通じてメカニカルブースタ５と油回転
ポンプ６にて分子ポンプ２の後段排気をする。この場合
真空容器１内の圧力が低くなり到達圧力付近になるとメ
カニカルブースタ５．油回転ポンプ６も到達圧力付近で
作動することとなり、このとき油の逆拡散を発生する。
この逆拡散した油は分子ポンプ吐出配管１５．分子ポン
プ２の内面吐出側を汚染する。この油の逆拡散による汚
染を防止するために、メカニカルブースタ５の吸込口側
（上流側）にコールドトラップ又は吸着剤の入ったトラ
ップを設ける方法があるが、いずれの場合も配管中にこ
れらの要素を設けると、配管のコンダクタンスが小さく
なるため排気速度が低下したり、トラップに付着した油
の除去や吸着剤の交換が必要になるなどという問題があ
った。
プ２の内面吐出側を汚染する。この油の逆拡散による汚
染を防止するために、メカニカルブースタ５の吸込口側
（上流側）にコールドトラップ又は吸着剤の入ったトラ
ップを設ける方法があるが、いずれの場合も配管中にこ
れらの要素を設けると、配管のコンダクタンスが小さく
なるため排気速度が低下したり、トラップに付着した油
の除去や吸着剤の交換が必要になるなどという問題があ
った。
本発明の目的は、油回転ポンプなどの排気ポンプの吸込
口側（上流側）より微量のパージガスをパージし、油の
逆転数を抑えるようにした真空排気装置を提供すること
にある。
口側（上流側）より微量のパージガスをパージし、油の
逆転数を抑えるようにした真空排気装置を提供すること
にある。
かかる目的達成のため、本発明は、真空容器と、この真
空容器を排気するための分子ポンプと、この分子ポンプ
と前記真空容器を連結する本排気配管と、この本排気配
管に配設された本排気バルブと、前記真空容器を粗引き
するための油回転ポンプと、この油回転ポンプと前記真
空容器とを連結する粗引き配管と、この粗引き配管に配
設された粗引きバルブと、前記油回転ポンプの吐出口に
配設された油回転ポンプ吐出蛇管とからなる真空排気装
置において、前記油回転ポンプを列数圧力まで運転する
過程時に微量のパージガスを前記油回転ポンプの上流側
よりパージするパージガス微小流量供給機構を設けたも
のである。
空容器を排気するための分子ポンプと、この分子ポンプ
と前記真空容器を連結する本排気配管と、この本排気配
管に配設された本排気バルブと、前記真空容器を粗引き
するための油回転ポンプと、この油回転ポンプと前記真
空容器とを連結する粗引き配管と、この粗引き配管に配
設された粗引きバルブと、前記油回転ポンプの吐出口に
配設された油回転ポンプ吐出蛇管とからなる真空排気装
置において、前記油回転ポンプを列数圧力まで運転する
過程時に微量のパージガスを前記油回転ポンプの上流側
よりパージするパージガス微小流量供給機構を設けたも
のである。
上述のの構成によれば、油回転ポンプの吸込口−（上流
側）に設けられたパージカス微小流量供給機構により、
油回転ポンプを到達圧力まで運転する過程時に同ポンプ
に使われている油の吸込口側への逆拡散を抑えるのに十
分な最小量のパージガスが油回転ポンプの吸込口側にパ
ージされる。
側）に設けられたパージカス微小流量供給機構により、
油回転ポンプを到達圧力まで運転する過程時に同ポンプ
に使われている油の吸込口側への逆拡散を抑えるのに十
分な最小量のパージガスが油回転ポンプの吸込口側にパ
ージされる。
このときのパージガスの量は従来のパージガスの量の約
数十分の一程度となり、排気系の到達圧力にほとんど影
響を与えず、清浄な真空が得られる。
数十分の一程度となり、排気系の到達圧力にほとんど影
響を与えず、清浄な真空が得られる。
これにより被排気系の油汚染の少ない真空排気装置が得
られる。
られる。
以下、本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。
第１図は本発明の第１実施例に係り、第９図に示す従来
装置と同−又は同等の部分には同一符号を付して説明す
る。
装置と同−又は同等の部分には同一符号を付して説明す
る。
真空容器１には、気体を導入するためのリークバルブ２
１、本排気配管１２および粗引き配管１３が連結されて
いる。本排気配管１２の他端は本排気ポンプである分子
ポンプ２に連結されている０本排気配管１２の途中には
本排気バルブ９が設けらている０分子ポンプ２の吐出口
には分子ボンプ吐出配管１５が連結されており、この分
子ポンプ吐出配管１５の途中には分子ポンプ吐出バルブ
８が設けられている１分子ポンプ吐出配管１５の他端は
油回転ポンプ６に連結されている。また粗引き配管１３
の他端は分子ポンプ吐出バルブ８と油回転ポンプ６との
間の分子ポンプ吐出配管１５に連結されている。また粗
引き配管１３の途中には粗引きバルブ３が設けられてい
る。油回転ポンプ６の吐出口には油回転ポンプ吐出配管
２２が設けらている。
１、本排気配管１２および粗引き配管１３が連結されて
いる。本排気配管１２の他端は本排気ポンプである分子
ポンプ２に連結されている０本排気配管１２の途中には
本排気バルブ９が設けらている０分子ポンプ２の吐出口
には分子ボンプ吐出配管１５が連結されており、この分
子ポンプ吐出配管１５の途中には分子ポンプ吐出バルブ
８が設けられている１分子ポンプ吐出配管１５の他端は
油回転ポンプ６に連結されている。また粗引き配管１３
の他端は分子ポンプ吐出バルブ８と油回転ポンプ６との
間の分子ポンプ吐出配管１５に連結されている。また粗
引き配管１３の途中には粗引きバルブ３が設けられてい
る。油回転ポンプ６の吐出口には油回転ポンプ吐出配管
２２が設けらている。
パージガス微小流量供給機構２３は、油回転ポンプ６の
吸込口側、すなわち上流側、駒の実施例では粗引き配管
１３が分子ポンプ吐出配管１５と連結する点と油回転ポ
ンプ６との間に設けられており、分子ポンプ吐出配管１
５に連結されたパージガス配管２５と、このパージガス
配管２５に上流側より順次設けられた微小流量オリフィ
ス２６およびフィルタ２８とから構成されている。
吸込口側、すなわち上流側、駒の実施例では粗引き配管
１３が分子ポンプ吐出配管１５と連結する点と油回転ポ
ンプ６との間に設けられており、分子ポンプ吐出配管１
５に連結されたパージガス配管２５と、このパージガス
配管２５に上流側より順次設けられた微小流量オリフィ
ス２６およびフィルタ２８とから構成されている。
なお油回転ポンプ６は、第９図に示すメカニカルブース
タ５と組合せて使用するようにしてもよい。
タ５と組合せて使用するようにしてもよい。
つぎに、本発明の第１実施例の作用を説明する。
はず分子ポンプ２内を粗引きするために分子ポンプ吐出
バルブ８を開き油回転ポンプ６により粗引きを行なう、
この粗引きが終わったら分子ポンプ２の運転を開始し、
分子ポンプ吐出バルブ８を閉じる。つぎに真空容器１内
を粗引きするためにリークバルブ２１および本排気バル
ブ９を閉じ粗引きバルブ３を開いて油回転ポンプ６によ
り真空容器１を排気する。そして真空容器１内の圧力が
分子ポンプ２が作動する圧力まで低下した後粗引きバル
ブ３を閉じ本排気バルブ９を開いて本排気を行なう、油
回転ポンプ６により真空容器１内の粗引きをする過程時
に油回転ポンプ６内の圧力が到達圧力付近になると、同
ポンプ内に使われている油が激しく逆拡散を起こし、真
空容器１内を油汚染する。また本排気時には油回転ポン
プ６は分子ポンプ２の後段排気をしているが、分子ポン
プ２が到達圧力付近となると油回転ポンプ６もその到達
圧力付近の圧力で作動することになり油回転ポンプ６に
使われている油は分子ポンプ２の吐出側に激しく逆拡散
して分子ポンプ２内の吐出側を汚染する。さらに油回転
ポンプ６により分子ポンプ２内の粗引きをする過程時に
油回転ポンプ６内の圧力が到達圧力付近になると、同ポ
ンプ内に使われている油が激しく逆拡散を起こし、分子
ポンプ２内を油汚染する。また分子ポンプ２の再生時に
は本排気バルブ９と粗引きバルブ３を閉じ分子ポンプ２
を昇温させて分子ポンプ２内の分子面に吸着した気体を
離脱させ、この気体を油回転ポンプ６により排気する。
バルブ８を開き油回転ポンプ６により粗引きを行なう、
この粗引きが終わったら分子ポンプ２の運転を開始し、
分子ポンプ吐出バルブ８を閉じる。つぎに真空容器１内
を粗引きするためにリークバルブ２１および本排気バル
ブ９を閉じ粗引きバルブ３を開いて油回転ポンプ６によ
り真空容器１を排気する。そして真空容器１内の圧力が
分子ポンプ２が作動する圧力まで低下した後粗引きバル
ブ３を閉じ本排気バルブ９を開いて本排気を行なう、油
回転ポンプ６により真空容器１内の粗引きをする過程時
に油回転ポンプ６内の圧力が到達圧力付近になると、同
ポンプ内に使われている油が激しく逆拡散を起こし、真
空容器１内を油汚染する。また本排気時には油回転ポン
プ６は分子ポンプ２の後段排気をしているが、分子ポン
プ２が到達圧力付近となると油回転ポンプ６もその到達
圧力付近の圧力で作動することになり油回転ポンプ６に
使われている油は分子ポンプ２の吐出側に激しく逆拡散
して分子ポンプ２内の吐出側を汚染する。さらに油回転
ポンプ６により分子ポンプ２内の粗引きをする過程時に
油回転ポンプ６内の圧力が到達圧力付近になると、同ポ
ンプ内に使われている油が激しく逆拡散を起こし、分子
ポンプ２内を油汚染する。また分子ポンプ２の再生時に
は本排気バルブ９と粗引きバルブ３を閉じ分子ポンプ２
を昇温させて分子ポンプ２内の分子面に吸着した気体を
離脱させ、この気体を油回転ポンプ６により排気する。
この過程時の終わりには油回転ポンプ６は到達圧力付近
で作動することになり、同ポンプ内に使われている油が
激しく逆拡散を起こし、分子ポンプ２内を油汚染する。
で作動することになり、同ポンプ内に使われている油が
激しく逆拡散を起こし、分子ポンプ２内を油汚染する。
上記のような油回転ポンプ６が到達圧力付近で作動する
ときに発生する逆拡散による油汚染を防止するため、真
空容器１の粗引き時、分子ポンプ２の本排気時、粗引き
時、再生時には、パージガス微小流量供給機構２３によ
り油回転ポンプ６で排気する始めから微量のパージガス
を油回転ポンプ６の上流側より流す０本実施例ではパー
ジする気体としてフィルタ２８を通して清浄な空気を使
用しており、この清浄な空気は微小オリフィス２６、パ
ージガス配管２５を通って油回転ポンプ６の上流側へと
パージされる。
ときに発生する逆拡散による油汚染を防止するため、真
空容器１の粗引き時、分子ポンプ２の本排気時、粗引き
時、再生時には、パージガス微小流量供給機構２３によ
り油回転ポンプ６で排気する始めから微量のパージガス
を油回転ポンプ６の上流側より流す０本実施例ではパー
ジする気体としてフィルタ２８を通して清浄な空気を使
用しており、この清浄な空気は微小オリフィス２６、パ
ージガス配管２５を通って油回転ポンプ６の上流側へと
パージされる。
なおパージするガスは、化学的に安定な不活性ガスが好
ましいが、窒素ガス又は油分を含まない清浄な空気など
でも十分効果があり、実験の結果では分子量の大きいガ
ス程少ない流量で効果があることが表１に示すように立
証されている。
ましいが、窒素ガス又は油分を含まない清浄な空気など
でも十分効果があり、実験の結果では分子量の大きいガ
ス程少ない流量で効果があることが表１に示すように立
証されている。
表１
第２図は油回転ポンプ６の上流側から窒素ガスをパージ
したときの到達圧力付近の油回転ポンプ６吸込口側の残
留ガスを四重極質量分析器で分析したときの残留ガスス
ペクトルを示したもので、縦軸はイオン電流値、横軸は
質量数である。得られたスペクトルは、空気の残留ガス
スペクトルで、きわめて清浄な状態が得られたことがわ
かる。
したときの到達圧力付近の油回転ポンプ６吸込口側の残
留ガスを四重極質量分析器で分析したときの残留ガスス
ペクトルを示したもので、縦軸はイオン電流値、横軸は
質量数である。得られたスペクトルは、空気の残留ガス
スペクトルで、きわめて清浄な状態が得られたことがわ
かる。
第３図は微小流量のパージを行なわないときの油回転ポ
ンプ６の吸込口側の残留ガススペクトルである。油回転
ポンプ６に使用されている油の成分（炭化水素）による
ピークが質量数３９以上に多数検出されており、油の逆
拡散が激しく進展していることがわかる。
ンプ６の吸込口側の残留ガススペクトルである。油回転
ポンプ６に使用されている油の成分（炭化水素）による
ピークが質量数３９以上に多数検出されており、油の逆
拡散が激しく進展していることがわかる。
第４図はパージするガスの量による残留ガス、油回転ポ
ンプ６の吸込口の圧力（以下、単に吸込口圧力という）
の変化を調べるために、窒素ガスをパージした結果を示
したものである。左側の縦軸は残留ガスの検出ピークに
対するイオン電流値で、右側の縦軸は吸込口圧力、横軸
はパージ量を表わしている。
ンプ６の吸込口の圧力（以下、単に吸込口圧力という）
の変化を調べるために、窒素ガスをパージした結果を示
したものである。左側の縦軸は残留ガスの検出ピークに
対するイオン電流値で、右側の縦軸は吸込口圧力、横軸
はパージ量を表わしている。
以上を比較すると、わずかな量のパージによって油の各
成分ごとにみると微小流量のパージを行なった場合の油
成分のピークは、パージを行なわない場合の約１／１０
０程度となり、十分清浄な真空が得られていることがわ
かる。このときパージを行なった量と従来のパージ量と
を比較すると、本発明のパージ量がきわめてわずかの量
となることがわかる。１例として排気速度が２４０ Ｑ
／ ｗｉｎの油回転ポンプ６についてパージするガス
の量を従来の方法によるものと本発明によるものとを比
較する。
成分ごとにみると微小流量のパージを行なった場合の油
成分のピークは、パージを行なわない場合の約１／１０
０程度となり、十分清浄な真空が得られていることがわ
かる。このときパージを行なった量と従来のパージ量と
を比較すると、本発明のパージ量がきわめてわずかの量
となることがわかる。１例として排気速度が２４０ Ｑ
／ ｗｉｎの油回転ポンプ６についてパージするガス
の量を従来の方法によるものと本発明によるものとを比
較する。
油回転ポンプ６の排気速度をＳ、排気量をＱ。
吸込口圧力をＰとすると、各々の関係は次式で与えられ
る。
る。
Ｑ＝ＳＰ ・・・（１）Ｓ
＝２４０Ｑ／＋＋＋ｉｎとし、パージによる油の逆拡散
防止には従来は圧力Ｑ 、 Ｉ Ｔｏｒｒ以上がよいと
されているため、Ｐ ＝ ０ 、 Ｉ Ｔｏｒｒとする
と従来の方法によるパージ量は、式（１）より Ｑｘ＝０．４ＴｏｒｒＱ／ｓ”ｒ３２８ｃｃＭとなり、
本発明によるパージの量Ｑｚは第４図によると０．６Ｓ
ＣＣＭ （到達圧カフ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒのとき）
でも十分に効果があることからＱ ｚ ＝ ０ 、６８
ＣＣＭとすると、従来量に比べて約１１５３と少ない、
パージする量がわずかであるため油回転ポンプの到達圧
力を劣化させない０以上により微量のパージガスの油回
転ポンプ６上流側へのパージにより油の逆拡散を抑えら
れることがわかる。
＝２４０Ｑ／＋＋＋ｉｎとし、パージによる油の逆拡散
防止には従来は圧力Ｑ 、 Ｉ Ｔｏｒｒ以上がよいと
されているため、Ｐ ＝ ０ 、 Ｉ Ｔｏｒｒとする
と従来の方法によるパージ量は、式（１）より Ｑｘ＝０．４ＴｏｒｒＱ／ｓ”ｒ３２８ｃｃＭとなり、
本発明によるパージの量Ｑｚは第４図によると０．６Ｓ
ＣＣＭ （到達圧カフ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒのとき）
でも十分に効果があることからＱ ｚ ＝ ０ 、６８
ＣＣＭとすると、従来量に比べて約１１５３と少ない、
パージする量がわずかであるため油回転ポンプの到達圧
力を劣化させない０以上により微量のパージガスの油回
転ポンプ６上流側へのパージにより油の逆拡散を抑えら
れることがわかる。
本実施例によれば比較的少ない装置の改造により油汚染
の少ない真空が得られる。
の少ない真空が得られる。
第５図は本発明の第２実施例に係り、本発明を真空容器
１の体積が少ない場合、すなわち、ガス負荷の小さい場
合に適用した他の実施例である。
１の体積が少ない場合、すなわち、ガス負荷の小さい場
合に適用した他の実施例である。
この実施例ではガス負荷が小さいため分子ポンプ２が作
動できる圧力となる粗引き時間が短いので粗引きは分子
ポンプ２も粗引き過程時に運転したまま本排気バルブ９
を開き、本排気配管１２を通して行なうことができる。
動できる圧力となる粗引き時間が短いので粗引きは分子
ポンプ２も粗引き過程時に運転したまま本排気バルブ９
を開き、本排気配管１２を通して行なうことができる。
そのため本実施例では粗引き配管系を省くことができる
装置が簡単になるという特徴がある。
装置が簡単になるという特徴がある。
第６図は本発明の第３実施例に係り、本発明を分子ポン
プ２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装
置に適用した他の実施例である。
プ２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装
置に適用した他の実施例である。
本実施例ではパージガス微小流量供給機構２３は、微小
流量供給バルブ２９．微小流量供給流量計３０、パージ
カス源３１．パージガス配管２５から構成されており、
この実施例ではパージするパージガスを空気とは異なる
別のパージガス源３１としたものである０本実施例によ
れば、第４図に示したように残留ガスの主成分はパージ
したガス種となるため、真空容器１内を任意のガス雰囲
気にできるという特徴がある。
流量供給バルブ２９．微小流量供給流量計３０、パージ
カス源３１．パージガス配管２５から構成されており、
この実施例ではパージするパージガスを空気とは異なる
別のパージガス源３１としたものである０本実施例によ
れば、第４図に示したように残留ガスの主成分はパージ
したガス種となるため、真空容器１内を任意のガス雰囲
気にできるという特徴がある。
第７図は本発明の第４実施例に係り、本発明を通常の分
子ポンプ２より高い圧力まで作動する複合分子ポンプ３
２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装置
に適用した他の実施例である９本実施例では本排気ポン
プである分子ポンプが、通常の分子ポンプ２よりも高い
圧力でも作動する複合分子ポンプ３２を用いているため
本排気を始める圧力が高くてよいため、粗引き時間が短
かくできるという特徴がある。
子ポンプ２より高い圧力まで作動する複合分子ポンプ３
２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装置
に適用した他の実施例である９本実施例では本排気ポン
プである分子ポンプが、通常の分子ポンプ２よりも高い
圧力でも作動する複合分子ポンプ３２を用いているため
本排気を始める圧力が高くてよいため、粗引き時間が短
かくできるという特徴がある。
第８図は本発明の第５実施例に係り、本発明を分子ポン
プ２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装
置に適用した他の実施例である。
プ２と油回転ポンプ６とを排気ポンプとする真空排気装
置に適用した他の実施例である。
本実施例ではパージガス微小流量供給機構２３は。
パージガス配管２５．微小流量供給マスプローコントロ
ーラ３３（この構造および原理は「計測技術」８６、増
刊号５５頁から６２頁に記載されている）フィルタ２８
から構成されている０本実施例によればパージするガス
の流量を常時測定、制御しているため系の信頼性が向上
するという特徴がある。
ーラ３３（この構造および原理は「計測技術」８６、増
刊号５５頁から６２頁に記載されている）フィルタ２８
から構成されている０本実施例によればパージするガス
の流量を常時測定、制御しているため系の信頼性が向上
するという特徴がある。
上述のとおり、本発明によれば、メカニカルブースタと
油回転ポンプの組合せ又は油回転ポンプをその到達圧力
まで運転する過程時に、油回転ポンプに使われている油
の油回転ポンプ吸込口側への逆拡散が抑えられるので、
被排気系の油汚染の少ない真空排気装置が得られる。
油回転ポンプの組合せ又は油回転ポンプをその到達圧力
まで運転する過程時に、油回転ポンプに使われている油
の油回転ポンプ吸込口側への逆拡散が抑えられるので、
被排気系の油汚染の少ない真空排気装置が得られる。
第１図から第４図は本発明の第１実施例に係り、第１図
は本発明を分子ポンプと油回転ポンプとを排気系とする
真空排気装置に適用した構成図、第２図はパージを行な
ったときの油回転ポンプ上流側の残留ガススペクトル、
第３図はパージを行ないわないときの油回転ポンプ上流
側の残留ガススペクトル、第４図はパージガスの量と残
留ガスの成分の検出ピークの変化とポンプ吸込口圧力の
変化との関係図、第５図から第８図は本発明の第２実施
例から第４実施例に係り、本発明を分子ポンプと油回転
ポンプとを排気系とする真空排気装置に適用した他の実
施例の構成図、第９図は従来の分子ポンプ、メカニカル
ブースタ、油回転ポンプを排気系とする真空排気装置の
構成図である。 １・・・真空容器、２，３２・・・分子ポンプ、３・・
・粗引きポンプ、５・・・メカニカルブースタ、９・・
・本排気バルブ、１２・・・本排気配管、１３・・・粗
引き配管、２２・・・油回転ポンプ、２３・・・パージ
ガス微小流量供給機構。 第 ｌ 図 第 ２ 圀 へ［４丈 （’シくジン ￥ ３ 国 Ｖ号数（嘔〕 藤 ４− 国 ’／２３４ｒ６ を秦“力゛スへ°−ヅ量（ＳＣＣＭン 境 タ 因 第 ６ 目 第 ７ 潟 ３２・ ４名Ｎ分与ボンフ・ 第 ８１！１ ／ ３５４タル人會イ井給マスフ虻 コンＹローフ
は本発明を分子ポンプと油回転ポンプとを排気系とする
真空排気装置に適用した構成図、第２図はパージを行な
ったときの油回転ポンプ上流側の残留ガススペクトル、
第３図はパージを行ないわないときの油回転ポンプ上流
側の残留ガススペクトル、第４図はパージガスの量と残
留ガスの成分の検出ピークの変化とポンプ吸込口圧力の
変化との関係図、第５図から第８図は本発明の第２実施
例から第４実施例に係り、本発明を分子ポンプと油回転
ポンプとを排気系とする真空排気装置に適用した他の実
施例の構成図、第９図は従来の分子ポンプ、メカニカル
ブースタ、油回転ポンプを排気系とする真空排気装置の
構成図である。 １・・・真空容器、２，３２・・・分子ポンプ、３・・
・粗引きポンプ、５・・・メカニカルブースタ、９・・
・本排気バルブ、１２・・・本排気配管、１３・・・粗
引き配管、２２・・・油回転ポンプ、２３・・・パージ
ガス微小流量供給機構。 第 ｌ 図 第 ２ 圀 へ［４丈 （’シくジン ￥ ３ 国 Ｖ号数（嘔〕 藤 ４− 国 ’／２３４ｒ６ を秦“力゛スへ°−ヅ量（ＳＣＣＭン 境 タ 因 第 ６ 目 第 ７ 潟 ３２・ ４名Ｎ分与ボンフ・ 第 ８１！１ ／ ３５４タル人會イ井給マスフ虻 コンＹローフ
Claims (1)
- １、真空容器と、この真空容器を排気するための分子ポ
ンプと、この分子ポンプと前記真空容器を連結する本排
気配管と、この本排気配管に配設された本排気バルブと
、前記真空容器を粗引きするための油回転ポンプと、こ
の油回転ポンプと前記真空容器とを連結する粗引き配管
と、この粗引き配管に配設された粗引バルブと、前記油
回転ポンプの吐出口に配設された油回転ポンプ吐出配管
とからなる真空排気装置において、前記油回転ポンプを
到達圧力まで運転する過程時に微量のパージガスを前記
油回転ポンプの上流側よりパージするパージカスを微小
流量供給機構を設けた真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4438788A JP2507518B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4438788A JP2507518B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219367A true JPH01219367A (ja) | 1989-09-01 |
| JP2507518B2 JP2507518B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=12690098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4438788A Expired - Fee Related JP2507518B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507518B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007191799A (ja) * | 2007-03-26 | 2007-08-02 | Foundation For Advancement Of International Science | 真空処理方法 |
| JP2014122602A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | High Energy Accelerator Research Organization | ハイブリッド真空装置及びそれを用いた排気方法 |
| US9209401B2 (en) | 2012-06-20 | 2015-12-08 | Joled Inc | Method for manufacturing organic EL element, organic EL element, organic EL display panel, organic EL display apparatus, and organic EL light-emitting apparatus |
| US9224956B2 (en) | 2012-03-27 | 2015-12-29 | Joled Inc. | Method for manufacturing organic thin-film element, apparatus for manufacturing organic thin-film element, method for forming organic film, and method for manufacturing organic EL element |
| EP4379769A4 (en) * | 2021-07-30 | 2025-08-27 | Shimadzu Corp | MASS SPECTROMETER |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4438788A patent/JP2507518B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007191799A (ja) * | 2007-03-26 | 2007-08-02 | Foundation For Advancement Of International Science | 真空処理方法 |
| US9224956B2 (en) | 2012-03-27 | 2015-12-29 | Joled Inc. | Method for manufacturing organic thin-film element, apparatus for manufacturing organic thin-film element, method for forming organic film, and method for manufacturing organic EL element |
| US9209401B2 (en) | 2012-06-20 | 2015-12-08 | Joled Inc | Method for manufacturing organic EL element, organic EL element, organic EL display panel, organic EL display apparatus, and organic EL light-emitting apparatus |
| JP2014122602A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | High Energy Accelerator Research Organization | ハイブリッド真空装置及びそれを用いた排気方法 |
| EP4379769A4 (en) * | 2021-07-30 | 2025-08-27 | Shimadzu Corp | MASS SPECTROMETER |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2507518B2 (ja) | 1996-06-12 |
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