JPH01223789A - 固体レーザ励起用ランプの電源装置 - Google Patents
固体レーザ励起用ランプの電源装置Info
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- JPH01223789A JPH01223789A JP4885088A JP4885088A JPH01223789A JP H01223789 A JPH01223789 A JP H01223789A JP 4885088 A JP4885088 A JP 4885088A JP 4885088 A JP4885088 A JP 4885088A JP H01223789 A JPH01223789 A JP H01223789A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体レーザを励起するランプ用電源装置に関す
るものである。
るものである。
ｉ＠１４図は従来の固体レーザ励起用ランプの電源装置
を示す回路図である。
を示す回路図である。
図において＋１１は直流電源、（２）は昇圧トランス（
Ｔｒ’） Ｋよりランプ（４）の外周に設けたトリガ電
極（３）を印加するトリガ回路、（５）はランプ（４）
の陽極（Ａ）と陰極（８）との間に印加してランプ（４
）にシマー電流を流す直流高電圧電源、（６）は直流電
源（１）により充電されたコンデンサ（Ｃ１）の充電エ
ネルギーをランプ（４）に放電するスイッチング素子で
ある。
Ｔｒ’） Ｋよりランプ（４）の外周に設けたトリガ電
極（３）を印加するトリガ回路、（５）はランプ（４）
の陽極（Ａ）と陰極（８）との間に印加してランプ（４
）にシマー電流を流す直流高電圧電源、（６）は直流電
源（１）により充電されたコンデンサ（Ｃ１）の充電エ
ネルギーをランプ（４）に放電するスイッチング素子で
ある。
上記のように構成された固体レー廿励起用ランプの電ｙ
装置の動作について説明する。
装置の動作について説明する。
トリガ回路（２）はインパルス電圧を発生して昇圧トラ
ンス（Ｔｒ）を印加する。昇圧トランス（’ｒｒ）はラ
ンプ（４）の外周に設けたトリが電極（３）とランプ（
４）の陰極（Ｋ）の間に高電圧（例えば１０〜２０ＫＶ
）を印加してトリガ電極（３）とランプ（４）の陰極（
Ｋ）との間の浮遊キャパシタンスによりランプ（４）内
に封入されたガスをイオン化する。
ンス（Ｔｒ）を印加する。昇圧トランス（’ｒｒ）はラ
ンプ（４）の外周に設けたトリが電極（３）とランプ（
４）の陰極（Ｋ）の間に高電圧（例えば１０〜２０ＫＶ
）を印加してトリガ電極（３）とランプ（４）の陰極（
Ｋ）との間の浮遊キャパシタンスによりランプ（４）内
に封入されたガスをイオン化する。
また直流高圧電源（５）は抵抗（Ｒ２）とランプ（４）
の電極とを直列に接続したシマー回路を形成しており。
の電極とを直列に接続したシマー回路を形成しており。
上記トリが回路（２）の動作で発生したランプ（４）内
のガスイオンにより陽極（Ａ）と陰極（Ｋ）との間に直
流高圧電源（５）のシマー電流を容易に流すことができ
る。
のガスイオンにより陽極（Ａ）と陰極（Ｋ）との間に直
流高圧電源（５）のシマー電流を容易に流すことができ
る。
シマーＮ流はランプ（４）の特性に応じて抵抗（Ｒ２）
で決された１〜１００ｍＡの微少電流で、この電流が流
れるとランプ（４）の電極間の放電々圧は非常に低くな
り、シマー電流を継続して流すことができる。
で決された１〜１００ｍＡの微少電流で、この電流が流
れるとランプ（４）の電極間の放電々圧は非常に低くな
り、シマー電流を継続して流すことができる。
この状態が常時維持されることになり、この状態におい
て直流１諒ｔ＋１は抵抗（Ｒ１）を介してコンデンサ（
Ｃ１）を充電する。コンデンサ（Ｃ１）の両端電圧が上
昇し所定の値に達するとサイリスタ等のスイッチング素
子（６）をオンすることによってコンデンサ（Ｃ１）に
蓄えられたエネルギーがランプ（４）の陽極（Ａ）と陰
極（Ｋ）との間に放電を発生し、リアクトル（Ｌｌ）と
コンデンサ（Ｃ１）とにより決定される時定数の期間中
放電々流が流れる。
て直流１諒ｔ＋１は抵抗（Ｒ１）を介してコンデンサ（
Ｃ１）を充電する。コンデンサ（Ｃ１）の両端電圧が上
昇し所定の値に達するとサイリスタ等のスイッチング素
子（６）をオンすることによってコンデンサ（Ｃ１）に
蓄えられたエネルギーがランプ（４）の陽極（Ａ）と陰
極（Ｋ）との間に放電を発生し、リアクトル（Ｌｌ）と
コンデンサ（Ｃ１）とにより決定される時定数の期間中
放電々流が流れる。
コンデンサ（Ｃ１）は放電ののち放電々流が零になると
スイッチング素子（６）をオフし放電を終了する。以後
１次の放電を開始するにはコンデンサ（Ｃ１）の再充電
が終了したのち上記の動作をくり返すことになる。
スイッチング素子（６）をオフし放電を終了する。以後
１次の放電を開始するにはコンデンサ（Ｃ１）の再充電
が終了したのち上記の動作をくり返すことになる。
上記のように従来の固体レーザ励起用ランプの電源装置
ではコンデンサ自を充電するのに時間がかかり放電々流
のパルス周波数を高くできない。
ではコンデンサ自を充電するのに時間がかかり放電々流
のパルス周波数を高くできない。
また放電時間と放電々流はリアクトルＬ１とコンデンサ
Ｃ１により決定された一定値になってしまうので、放電
々流のパルス巾の制御さらに急峻なパルス応答ができな
く、特にパルス巾が短かい場合はＹＡＧレーザ等の励起
効率が低下し、′またパルスの尖頭値が高い場合はラン
プ寿命が短かく々る等の問題点があった。
Ｃ１により決定された一定値になってしまうので、放電
々流のパルス巾の制御さらに急峻なパルス応答ができな
く、特にパルス巾が短かい場合はＹＡＧレーザ等の励起
効率が低下し、′またパルスの尖頭値が高い場合はラン
プ寿命が短かく々る等の問題点があった。
本発明はかかる問題点を解決するためになされたもので
、放電々流を一定値に保持し、放電々流のパルス巾また
はパルス周波数を任意に制御することにより固体レーザ
の励起効率が向上できる固体レーザ励起用ランプの電源
装置を得ることを目的とする。
、放電々流を一定値に保持し、放電々流のパルス巾また
はパルス周波数を任意に制御することにより固体レーザ
の励起効率が向上できる固体レーザ励起用ランプの電源
装置を得ることを目的とする。
また本発明の別の発明は上記目的に加えて放電停止時に
低パワーの持続電流をランプに供給して放電開始時のミ
ス点弧を防止し放電の開始を容易にできる固体レーザ励
起用ランプの電源装置を得ることを目的とする。
低パワーの持続電流をランプに供給して放電開始時のミ
ス点弧を防止し放電の開始を容易にできる固体レーザ励
起用ランプの電源装置を得ることを目的とする。
さらに本発明の他の別の発明は上記目的に加えて放電開
始時に高エネルギーをランプに印加し放電々流の急峻な
立上げを行なうことのできる固体レーザ励起用ランプの
１曾装置を得ることを目的とする、 〔課題を解決するための手段〕 本発明に係る固体レーザ励起用ランプの電源装置は直流
電源によりランプを放電する電流供給口跡にランプ電流
を断続するスイッチング素子と。
始時に高エネルギーをランプに印加し放電々流の急峻な
立上げを行なうことのできる固体レーザ励起用ランプの
１曾装置を得ることを目的とする、 〔課題を解決するための手段〕 本発明に係る固体レーザ励起用ランプの電源装置は直流
電源によりランプを放電する電流供給口跡にランプ電流
を断続するスイッチング素子と。
ランプに直列ｗＥ９されたリアクトルと、ランプとリア
クトルとの間で閉回路を形成するダイオードとから構成
した直流チョッパ回路を有するとともにランプの放電々
流を一定値に制御する定電流制御手段を備えたものであ
る。
クトルとの間で閉回路を形成するダイオードとから構成
した直流チョッパ回路を有するとともにランプの放電々
流を一定値に制御する定電流制御手段を備えたものであ
る。
さらに定電流制御手段はランプの放電が停止した時でも
ランプに低パワーの持続電流を供給できるようにアイド
ル電流指令器と電流険出器との出力差によりスイッチン
グ素子を匹瀾制御したものである。
ランプに低パワーの持続電流を供給できるようにアイド
ル電流指令器と電流険出器との出力差によりスイッチン
グ素子を匹瀾制御したものである。
また本発明の他の別の発明に係る固体レーザ励起用ラン
プの電源装置は、上記のものにおいてランプに並列に第
２のスイッチング素子を接続してランプ放電をオン・オ
フ制御したものである。
プの電源装置は、上記のものにおいてランプに並列に第
２のスイッチング素子を接続してランプ放電をオン・オ
フ制御したものである。
本発明においてはスイッチング素子のオン・オフ時間を
定電流制御手段によりＰＷＭ制御してランプの放電時間
と放電開始時間を制御することにより放電々流のパルス
巾、パルス周波数を抑制する。
定電流制御手段によりＰＷＭ制御してランプの放電時間
と放電開始時間を制御することにより放電々流のパルス
巾、パルス周波数を抑制する。
また本発−の別の発明においてはランプ放電の停止時に
定電流制御手段のアイドル電流指令によりスイッチング
素子ｆＰＷＭ制御してランプに低パワーの持続電流を供
給することによりランプ放電の開始を容易にしミス点弧
を防止する、さらに本発明の他の別の発明においてはラ
ンプに並列接続した第２のスイッチング素子をオン・オ
フすることによりランプ放電を開始または停止する。即
ち、第２のスイッチング素子がオフした蒔電流供給回路
を通じて流れる電流をＯＦＦすることによりリアクトル
に発生する高電圧をランプに印加しランプ放電を確実に
行い、放電パルスの急峻な立上げをする。
定電流制御手段のアイドル電流指令によりスイッチング
素子ｆＰＷＭ制御してランプに低パワーの持続電流を供
給することによりランプ放電の開始を容易にしミス点弧
を防止する、さらに本発明の他の別の発明においてはラ
ンプに並列接続した第２のスイッチング素子をオン・オ
フすることによりランプ放電を開始または停止する。即
ち、第２のスイッチング素子がオフした蒔電流供給回路
を通じて流れる電流をＯＦＦすることによりリアクトル
に発生する高電圧をランプに印加しランプ放電を確実に
行い、放電パルスの急峻な立上げをする。
以下第１図および第２図により本発明の実施例の構成に
ついて説明する。第１図は本発明のブロック回路図、第
２図は第１図のタイミングチャートである。なお第１図
において第１４図と同様の機能を果たす部分については
同一符号を付しその説明は省略する。
ついて説明する。第１図は本発明のブロック回路図、第
２図は第１図のタイミングチャートである。なお第１図
において第１４図と同様の機能を果たす部分については
同一符号を付しその説明は省略する。
第１図において（８）は直流電源＋１１に直列接続され
たスイッチング素子（例えばＭＯＳＦＥＴ ）、 ＋
ｃＪｉｘイツチング素子（８）に直列接続されたリアク
トル（Ｌ２）とスイッチング素子（８）が開放時にリア
クトル（Ｌ２）の蓄積エネルギーを環流させランプ（４
）との間で閉回路を形成するダイオード（Ｄｌ）で構成
した直流チョッパ回路、αＧはスイッチング素子（８）
をＰＷＭ制御する定電流手段である。 定電流手段ａ〔
は放電々流指令器口１）とアイドル重加指令器αＪおよ
び直流チョッパ回路（９）を流れる電流を検出する電流
検出器Ｉの出力を加減演算して増巾する増巾器（Ｉり、
増巾器ｉｓの出力値と三角波発生器ａＳの出力を比較し
てＰＷＭ信号を出力するコンパレータαη。
たスイッチング素子（例えばＭＯＳＦＥＴ ）、 ＋
ｃＪｉｘイツチング素子（８）に直列接続されたリアク
トル（Ｌ２）とスイッチング素子（８）が開放時にリア
クトル（Ｌ２）の蓄積エネルギーを環流させランプ（４
）との間で閉回路を形成するダイオード（Ｄｌ）で構成
した直流チョッパ回路、αＧはスイッチング素子（８）
をＰＷＭ制御する定電流手段である。 定電流手段ａ〔
は放電々流指令器口１）とアイドル重加指令器αＪおよ
び直流チョッパ回路（９）を流れる電流を検出する電流
検出器Ｉの出力を加減演算して増巾する増巾器（Ｉり、
増巾器ｉｓの出力値と三角波発生器ａＳの出力を比較し
てＰＷＭ信号を出力するコンパレータαη。
放電々流指令器口１１の指令電流をオン・オフするスイ
ッチ＋１２．パルス起動信号ＣＩ’ＤＫより始動されパ
ルス巾指令器α９によりスイッチ＋１２のオン・オフ時
間を制御するパルス発生回路■から構成されている。
ッチ＋１２．パルス起動信号ＣＩ’ＤＫより始動されパ
ルス巾指令器α９によりスイッチ＋１２のオン・オフ時
間を制御するパルス発生回路■から構成されている。
また第３図および第４図により本発明の別の発明の実施
例の構成について説明する。第３図はブロック回路図、
第４図は第３図のタイミングチャートである。なお第３
図において第１図および第１４図と同様の機能を果たす
部分については同一符号を付しその説明は省略する。
例の構成について説明する。第３図はブロック回路図、
第４図は第３図のタイミングチャートである。なお第３
図において第１図および第１４図と同様の機能を果たす
部分については同一符号を付しその説明は省略する。
第３図において■けランプ（４）に並列接続され。
パルス発生回路■の出力によりオン・オフ制御してラン
プの放電を停止または開始せしめる第２のスイッチング
素子である。
プの放電を停止または開始せしめる第２のスイッチング
素子である。
本発明に係る実施例の動作を第１図および第２図を参照
して説明する。トリガ回路（２）によってランプ（４）
内に封入されたガスのイオン化は上記従来技術の動作で
説明したので省略する。まずパルス発生回路■は外部か
ら供給されるパルス起動信号ｃ２１）により起動され（
第２図（ａ）参照）、パルス巾指令器１１９によってス
イッチ口ｚのオン時間とオフ時間を指令する（第２図（
ｂ）参照）。
して説明する。トリガ回路（２）によってランプ（４）
内に封入されたガスのイオン化は上記従来技術の動作で
説明したので省略する。まずパルス発生回路■は外部か
ら供給されるパルス起動信号ｃ２１）により起動され（
第２図（ａ）参照）、パルス巾指令器１１９によってス
イッチ口ｚのオン時間とオフ時間を指令する（第２図（
ｂ）参照）。
従ってパルス巾指令器Ｕ］のオン時間の指令によりスイ
ッチｒｉ”ａがオンした時、放電々流指令器旧）の指令
値はこれα１１とアイドル電流指令器α３の指令値との
和と電流検出器０４１により検出されたランプ（４）の
電流値との差を増巾器ａＳで増巾し、三角波発生器ｎ９
が出力する三角波とをコンパレータαηで比較すること
によりＰＷＭ信号をゲートアンプ益に 供給する（第２
図（Ｃ）参照）。このＰＷＭ信号によりスイッチング素
子（８）がＯＮ してランプ（４）に放電を生じ、リア
クトル（Ｌ２）により放電々流の ピークが短時間に生
ずる。この電流は放電々流指令器Ｃｌ１１で指令した一
定大きさの指令値に達すると放電々流指令器α１）およ
びアイドル電流指令器α（の指令値と電流検出器α４の
出力値との差によりコンパレータαηのＰＷＭ信号がオ
フし、スイッチング素子（８）がＯＦＦ してランプ電
流は減少する。 ランプ電流が放電々流指令値以下にな
るとこの電流による電流検出器Ｉの出力値と放電々流指
令器（ｉｌｌおよびアイドル電流指令器α３の指令値と
の差によりコンパレータ（１７）は再びＰＷＭ信号をオ
ンし、トランジスタ素子（８）をＯＮ してランプ電流
を増加させる。 このようにスイッチ１１３がオンして
いる期間、コンパレータαηのＰＷＭ制御によりランプ
電流を一定値に制御できる（第２図Ｃｄ） −ｕ＋参１
１ｆ）、次にパルス発生口ｉ％＋１９のオフ時間の指令
によりスイッチ＋１３がオフした時について説−する。
ッチｒｉ”ａがオンした時、放電々流指令器旧）の指令
値はこれα１１とアイドル電流指令器α３の指令値との
和と電流検出器０４１により検出されたランプ（４）の
電流値との差を増巾器ａＳで増巾し、三角波発生器ｎ９
が出力する三角波とをコンパレータαηで比較すること
によりＰＷＭ信号をゲートアンプ益に 供給する（第２
図（Ｃ）参照）。このＰＷＭ信号によりスイッチング素
子（８）がＯＮ してランプ（４）に放電を生じ、リア
クトル（Ｌ２）により放電々流の ピークが短時間に生
ずる。この電流は放電々流指令器Ｃｌ１１で指令した一
定大きさの指令値に達すると放電々流指令器α１）およ
びアイドル電流指令器α（の指令値と電流検出器α４の
出力値との差によりコンパレータαηのＰＷＭ信号がオ
フし、スイッチング素子（８）がＯＦＦ してランプ電
流は減少する。 ランプ電流が放電々流指令値以下にな
るとこの電流による電流検出器Ｉの出力値と放電々流指
令器（ｉｌｌおよびアイドル電流指令器α３の指令値と
の差によりコンパレータ（１７）は再びＰＷＭ信号をオ
ンし、トランジスタ素子（８）をＯＮ してランプ電流
を増加させる。 このようにスイッチ１１３がオンして
いる期間、コンパレータαηのＰＷＭ制御によりランプ
電流を一定値に制御できる（第２図Ｃｄ） −ｕ＋参１
１ｆ）、次にパルス発生口ｉ％＋１９のオフ時間の指令
によりスイッチ＋１３がオフした時について説−する。
ランプ電流はアイドル電流指令器１１３で指令した一定
大きさの指令値に達するまで減少する、この指令値に達
するとコンパレータｆｉηはアイドル電流指令器ａ３の
指令値と電流検出器０４で検出した出力値との差のＰＷ
Ｍ信号を出力してランプ（４）にアイドル電流を流す。
大きさの指令値に達するまで減少する、この指令値に達
するとコンパレータｆｉηはアイドル電流指令器ａ３の
指令値と電流検出器０４で検出した出力値との差のＰＷ
Ｍ信号を出力してランプ（４）にアイドル電流を流す。
その後アイドル電流が増加してこの電流を電流検出器α
４が検出しアイドル電流指令器α１の指令値との比較に
よりコンパレータ（４）のＰＷＭ信号をオフサセスイツ
チング素子（８）をＯＦＦ してランプ（４）のアイド
ル電流を減少させる。従ってスイッチσ２がオフしてい
る期間、コンパレータ（１７′ｌのＰＷＭ制御によりラ
ンプ（４１に流れるアイドル電流を一定に制御できる（
第２図（ｄ） −＋２１参照）。
４が検出しアイドル電流指令器α１の指令値との比較に
よりコンパレータ（４）のＰＷＭ信号をオフサセスイツ
チング素子（８）をＯＦＦ してランプ（４）のアイド
ル電流を減少させる。従ってスイッチσ２がオフしてい
る期間、コンパレータ（１７′ｌのＰＷＭ制御によりラ
ンプ（４１に流れるアイドル電流を一定に制御できる（
第２図（ｄ） −＋２１参照）。
以上のごとく定電流制御手段αＧによりスイッチング素
子（８１をＰＷＭ制御し、ランプ（４）の放電々流およ
びアイドル電流を一定値に制御したが、パルス巾指令器
１１９のオン・オフ時間によりパルス発生回路■を作動
させスイッチαＺの開閉時間（Ｔｌ ）、 （Ｔ２ ）
を変化することによって放電パルス巾およびパルス周波
数を変化することができる（′＄２図（ｄ）参照）。
子（８１をＰＷＭ制御し、ランプ（４）の放電々流およ
びアイドル電流を一定値に制御したが、パルス巾指令器
１１９のオン・オフ時間によりパルス発生回路■を作動
させスイッチαＺの開閉時間（Ｔｌ ）、 （Ｔ２ ）
を変化することによって放電パルス巾およびパルス周波
数を変化することができる（′＄２図（ｄ）参照）。
本発甲に係る別の発明の動作ｆ第３図および第４図を参
照して説明する。第１図に構成したアイドル電流指令器
ｔｉ（およびスイッチα２を廃止して放τ々流指令器口
１）の指令値と電流検出器Ｉの出力値との差によりコン
パレータαコをＰＷＭ制御するとともにランプ（４）に
並列接続された第２のスイッチング素子のをパルス発生
回路■の出力によりオン・オフさせ、放電を開始または
停止できるようにしたものである。まずパルス発生回路
■は外部から供給されるパルス起動信号２＋１により起
動され（第４図（ａ）参照）、パルス巾指令器α９によ
って、第２のスイッチング素子■のオン・オフ時間を制
御する（第４図（ｂ）参照）。パルス発生回路■の出力
がＯＦＦ ｌ、た時ゲートアンプのを介してランプ（４
）の電極間に並列接続された第２のスイッチング素子の
けオフし、ランプ（４）に放電々流が流れる。この放マ
々流の開始は電流供給回路（７）のリアクトル（Ｌ２）
を流れている電流を第２のスイッチング素子■のオフに
よって阻止するので、リアクトル（Ｌ２）に高電圧を生
じ、この高圧がランプ（４）の電極（Ａ）に印加しラン
プ放電を確実に行なうとともに放電開始時の放電パルス
の急峻な立上げを行なう（第４図（ｅ）参照）。放電開
始後の定電流制御についてこの族１々流は電流検出器Ｉ
の出力値と放電々流指令器ｎｕの指令値との差を三角波
発生器部の出力値で比較シコンパレータαηによりスイ
ッチング素子（８）ｆＰＷＭ制御して放電々流を一定に
する（第４図（ｅ）−（１）参■）。
照して説明する。第１図に構成したアイドル電流指令器
ｔｉ（およびスイッチα２を廃止して放τ々流指令器口
１）の指令値と電流検出器Ｉの出力値との差によりコン
パレータαコをＰＷＭ制御するとともにランプ（４）に
並列接続された第２のスイッチング素子のをパルス発生
回路■の出力によりオン・オフさせ、放電を開始または
停止できるようにしたものである。まずパルス発生回路
■は外部から供給されるパルス起動信号２＋１により起
動され（第４図（ａ）参照）、パルス巾指令器α９によ
って、第２のスイッチング素子■のオン・オフ時間を制
御する（第４図（ｂ）参照）。パルス発生回路■の出力
がＯＦＦ ｌ、た時ゲートアンプのを介してランプ（４
）の電極間に並列接続された第２のスイッチング素子の
けオフし、ランプ（４）に放電々流が流れる。この放マ
々流の開始は電流供給回路（７）のリアクトル（Ｌ２）
を流れている電流を第２のスイッチング素子■のオフに
よって阻止するので、リアクトル（Ｌ２）に高電圧を生
じ、この高圧がランプ（４）の電極（Ａ）に印加しラン
プ放電を確実に行なうとともに放電開始時の放電パルス
の急峻な立上げを行なう（第４図（ｅ）参照）。放電開
始後の定電流制御についてこの族１々流は電流検出器Ｉ
の出力値と放電々流指令器ｎｕの指令値との差を三角波
発生器部の出力値で比較シコンパレータαηによりスイ
ッチング素子（８）ｆＰＷＭ制御して放電々流を一定に
する（第４図（ｅ）−（１）参■）。
次にパルス発生回路に）がＯＮ信号を出力した時につい
て説明すれば第２のスイッチング素子■がオンしてラン
プ（４）の電極間を短絡するので放電々流が急峻な立下
りとなって放電を停止することになる。
て説明すれば第２のスイッチング素子■がオンしてラン
プ（４）の電極間を短絡するので放電々流が急峻な立下
りとなって放電を停止することになる。
上記の１作説明においてパルス発生回路Ｃ！［）をオン
・オフして、パルス発生の間隔を変えることによって放
電々流のパルス周波数が変化でき、さらにオン時間を変
えることによって放電々流の持続時間即ちパルス巾を変
化することができる。
・オフして、パルス発生の間隔を変えることによって放
電々流のパルス周波数が変化でき、さらにオン時間を変
えることによって放電々流の持続時間即ちパルス巾を変
化することができる。
本発甲に係るシマー電力の供給方式として第５図〜第Ｔ
図は高周波電源艷の出力を同軸ケーブル（３Ｄを介して
ランプ（４）の電極間に加え、主放電がなされていない
時も低パワーの放電を行ないランプ（４）内のガスをイ
オン化したものである。この構成によれば高周波電波田
の電力を同軸ケーブルＧｌｌで任意の距離を伝送させ、
さらに同軸ケーブルＧυの長さを ｍ：整数 に設定すること罠よりランプ（４）が点弧していない時
で本同軸ケーブルＧυは共振しランプ（４）の電極間に
高電圧を発生させることができトリガ回路として有効で
ある３ また上記実施例では１個の直流チョッパ回路（９）で構
成したものを示したが、第８図および第９図に示すごと
くスイッチング素子（８Ａ）、 （８Ｂ）とダイオード
（ＤｌＡ）、（ＤｌＢ）およびリアクトル（Ｌ２Ａ）
。
図は高周波電源艷の出力を同軸ケーブル（３Ｄを介して
ランプ（４）の電極間に加え、主放電がなされていない
時も低パワーの放電を行ないランプ（４）内のガスをイ
オン化したものである。この構成によれば高周波電波田
の電力を同軸ケーブルＧｌｌで任意の距離を伝送させ、
さらに同軸ケーブルＧυの長さを ｍ：整数 に設定すること罠よりランプ（４）が点弧していない時
で本同軸ケーブルＧυは共振しランプ（４）の電極間に
高電圧を発生させることができトリガ回路として有効で
ある３ また上記実施例では１個の直流チョッパ回路（９）で構
成したものを示したが、第８図および第９図に示すごと
くスイッチング素子（８Ａ）、 （８Ｂ）とダイオード
（ＤｌＡ）、（ＤｌＢ）およびリアクトル（Ｌ２Ａ）
。
（Ｌ２Ｂ）の２回路を使用し、 それぞれの電流値を少
なくしても上記実施例と同様の効果を奏する。
なくしても上記実施例と同様の効果を奏する。
さらに複敬回路にすることにより大軍化も回部である。
また第１０図はダイオード（Ｄ２）とコンデンサ（Ｃ２
） ？第２のスイッチング素子のに接続したもので、ラ
ンプ（４）までの配線が長い場合、配線に含まれるイン
ダクタンスにより第２のスイッチング素子■に高電圧が
発生するのでこの素子■の破壊を防止するためにダイオ
ード（Ｄ２）とコンデンサ（Ｃ２）によるスナバ回路を
設けたものである。
） ？第２のスイッチング素子のに接続したもので、ラ
ンプ（４）までの配線が長い場合、配線に含まれるイン
ダクタンスにより第２のスイッチング素子■に高電圧が
発生するのでこの素子■の破壊を防止するためにダイオ
ード（Ｄ２）とコンデンサ（Ｃ２）によるスナバ回路を
設けたものである。
さらに第１１図はコンデンサ（Ｃ２）と抵抗（Ｒ３）を
直列接続することによりサージ吸収回路にしたもので、
これにより第２のスイッチング素子■の破壊が無くなる
。
直列接続することによりサージ吸収回路にしたもので、
これにより第２のスイッチング素子■の破壊が無くなる
。
第１２図は高周波電源■の出力をランプ（４）の外側に
巻いたコイル（至）により電磁誘導を利用して放１を発
生させるもので、直流チョッパ回路（９）に高周波の影
響を与えずにトリが放電、シマー放電全発生することが
できる。
巻いたコイル（至）により電磁誘導を利用して放１を発
生させるもので、直流チョッパ回路（９）に高周波の影
響を与えずにトリが放電、シマー放電全発生することが
できる。
上記実施例では直流チョッパ回路（９）にリアクトル（
Ｒ２）を設けたものを示したが、第１３図はフェライト
ｔたけアモルファス等のトロイダルコア（至）を配線に
挿入してリアクトルとして動作させても上記実施例と同
様の効果を奏する。
Ｒ２）を設けたものを示したが、第１３図はフェライト
ｔたけアモルファス等のトロイダルコア（至）を配線に
挿入してリアクトルとして動作させても上記実施例と同
様の効果を奏する。
上ｇＣ実施例に使用したリアクトルは超電導コイルであ
ってもよく、これに流れる電流による発熱を零にでき効
率の高い電源装置が得られる、〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば低電流制御手段によりラン
プの放電々流をＰ罪制御して放電々流を一定値に保持す
るとともに放電時間または放電開始持間を任意に制御す
ることにより放電パルス巾または放電パルス周波敬を変
化させ固体レーザの励起効率を向上できるものが得られ
ると云う効果がある。
ってもよく、これに流れる電流による発熱を零にでき効
率の高い電源装置が得られる、〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば低電流制御手段によりラン
プの放電々流をＰ罪制御して放電々流を一定値に保持す
るとともに放電時間または放電開始持間を任意に制御す
ることにより放電パルス巾または放電パルス周波敬を変
化させ固体レーザの励起効率を向上できるものが得られ
ると云う効果がある。
また本発明の別の発明はランプ放電の停止時にも低パワ
ーの持続電流を供給することにより放電開始時の放電を
容易にしミス点弧を防止できるという効果がある。
ーの持続電流を供給することにより放電開始時の放電を
容易にしミス点弧を防止できるという効果がある。
なお本発明の他の別の発明は第２のスイッチング素子を
ランプに並列接続してランプ放電をオン・オフするよう
に構成したので、オフ時に発生する高圧によりランプ放
電を確実に行い、放電パルスの急峻な立上げができると
いう効果がある。
ランプに並列接続してランプ放電をオン・オフするよう
に構成したので、オフ時に発生する高圧によりランプ放
電を確実に行い、放電パルスの急峻な立上げができると
いう効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は第１
図の動作を説明するタイミングチャート。 第３図は本発明の他の別の発明の一実施例を示す回路図
、第４図は筆３図の１作を説明するタイミングチャート
、第５図〜第１３図は本発明のさらに他の実施例を示す
回路図、第１４図は従来のランプの電源装置を示す回路
図である。 図においてｔｘｔは直流１少、＋４１はランプ、（７）
は電流供給回路、（８）はスイッチング素子、（９）は
直流チョッパ回路、ｒｌ［ｌは定電流手段、Ｃ２は第２
のスイッチング素子、■は高周波ＩＩｔ源である。 なお図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
図の動作を説明するタイミングチャート。 第３図は本発明の他の別の発明の一実施例を示す回路図
、第４図は筆３図の１作を説明するタイミングチャート
、第５図〜第１３図は本発明のさらに他の実施例を示す
回路図、第１４図は従来のランプの電源装置を示す回路
図である。 図においてｔｘｔは直流１少、＋４１はランプ、（７）
は電流供給回路、（８）はスイッチング素子、（９）は
直流チョッパ回路、ｒｌ［ｌは定電流手段、Ｃ２は第２
のスイッチング素子、■は高周波ＩＩｔ源である。 なお図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）直流電源により固体レーザ励起用ランプを放電す
る電源装置において、上記ランプへの電流供給回路を断
続するスイッチング素子と、上記電流供給回路に直列接
続されたリアクトルと、上記ランプとリアクトルとの間
で閉回路を形成し、上記スイッチング素子の開放時に上
記リアクトルの蓄積エネルギーを環流せしめるダイオー
ドとから構成されている少なくとも１個の直流チョッパ
回路、上記ランプを流れる電流値を検出しこれに応じて
上記スイッチング素子をＰＷＭ制御して上記ランプの放
電々流を一定値に制御する定電流制御手段を備えたこと
を特徴とする固体レーザ励起用ランプの電源装置。 - （２）定電流制御手段はランプ放電の停止時にも上記ラ
ンプに低パワーの持続電流を供給するように構成した請
求項１記載の固体レーザ励起用ランプ電源装置。 - （３）ランプに並列接続され上記ランプの放電々流を短
絡することによりランプ放電を停止せしめる第２のスイ
ッチング素子を備えたことを特徴とする請求項１記載の
固体レーザ励起用ランプの電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4885088A JPH01223789A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 固体レーザ励起用ランプの電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4885088A JPH01223789A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 固体レーザ励起用ランプの電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01223789A true JPH01223789A (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=12814736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4885088A Pending JPH01223789A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 固体レーザ励起用ランプの電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01223789A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631161U (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ電源装置 |
| JP2009070948A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP2009099758A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
| US7564673B2 (en) | 2004-02-24 | 2009-07-21 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Control circuit for converters |
| EP1762124A4 (en) * | 2004-05-06 | 2014-02-19 | Continuum Electro Optics Inc | METHOD AND DEVICES FOR AN IMPROVED AMPLIFIER FOR CONTROLLING A NONLINEAR LOAD |
| CN117937221A (zh) * | 2024-01-26 | 2024-04-26 | 铭镭激光智能装备（河源）有限公司 | 一种光纤激光器泵源驱动器 |
-
1988
- 1988-03-02 JP JP4885088A patent/JPH01223789A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631161U (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ電源装置 |
| US7564673B2 (en) | 2004-02-24 | 2009-07-21 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Control circuit for converters |
| KR101109820B1 (ko) * | 2004-02-24 | 2012-02-13 | 오스람 아게 | 컨버터용 제어 회로 |
| EP1762124A4 (en) * | 2004-05-06 | 2014-02-19 | Continuum Electro Optics Inc | METHOD AND DEVICES FOR AN IMPROVED AMPLIFIER FOR CONTROLLING A NONLINEAR LOAD |
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| US8447177B2 (en) | 2007-09-12 | 2013-05-21 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Heat treatment apparatus heating substrate by irradiation with light |
| US8781309B2 (en) | 2007-09-12 | 2014-07-15 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Heat treatment apparatus heating substrate by irradiation with light |
| US9295107B2 (en) | 2007-09-12 | 2016-03-22 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Heat treatment apparatus heating substrate by irradiation with light |
| JP2009099758A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
| CN117937221A (zh) * | 2024-01-26 | 2024-04-26 | 铭镭激光智能装备（河源）有限公司 | 一种光纤激光器泵源驱动器 |
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