JPH0122641B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、工業用ロボツトの動作特性性能を向
上する制御装置に関する。

一般に工業用ロボツトの制御装置では、作業軸
の指令値に現在値を負帰還して両者の位置偏差量
が零となるように作業軸が動く。

従来から、作業端としてサーボ弁により駆動さ
れる油圧シリンダを用い、そのシリンダの操作力
を検出する手段を設け、この検出手段から得られ
る信号を前記サーボ弁を駆動する信号から減じ
て、制御系を安定化する技術は、たとえば特公昭
44−18409などにおいて公知である。すなわち複
動油圧シリンダの一方の室の受圧面積をB1とし、
その油圧をQ1とし、他方の室の受圧面積をB2と
し、その油圧をQ2とするとき、そのシリンダの
操作力Ｆは、重力の作用がないとすれば、 Ｆ＝B1・Q1−B2・Q2 …(1) である。この操作力Ｆを検出して、直後にフイー
ドバツクしている。

このような先行技術によれば、重力が作用する
作業軸では、定常時、操作力Ｆは零とはならず、
少なくとも重力に相当する定常値が検出手段から
出力される。このような定常値出力があると、シ
リンダによる一方向とその逆方向の駆動速度が不
均衡になり、また作業軸の位置決め精度および軌
跡精度が低下する。すなわちこのような先行技術
では、検出手段から得られる信号を上述のように
直接フイードバツクしているだけであるので、静
特性をもつと改善することが望まれる。

本発明の目的は、作業軸の重力変動に起因した
静特性の低下を防いで振動が無くかつ高精度の動
作を達成することができるようにした工業用ロボ
ツトの制御装置を提供することである。

本発明は、作業軸の軸条件指令値と現在値との
位置偏差駆動信号に従い、電気−油圧サーボ機構
によつて複動シリンダを駆動し、その複動シリン
ダによつて操作される作業軸を用いて作業を行な
う工業用ロボツトの制御装置において、 工業用ロボツトの作業軸の軸条件指令値を予め
ストアした記憶装置２と、 前記工業用ロボツトの作業リピート時に前記作
業軸の現在位置を検出して現在値を出力するエン
コーダ８と、 前記作業リピート時に前記記憶装置２と前記エ
ンコーダ８とからの出力に応答し、前記現在位置
と前記ストア指令値の指令位置との偏差が或る小
さい値未満であるとき偏差駆動信号を出力せず、
その値を越えるとき前記偏差に対応した偏差駆動
信号を出力する、そのような入出力特性を有する
変換手段１０と、 前記作業リピート時と前記軸条件を前記記憶装
置２に予め記憶させるテイーチング時とに、前記
作業軸を低速度で駆動する低速度駆動信号を発生
する手段１と、 前記複動シリンダ６のピストンの両側の駆動力
を検出するとともに、重力の働く作業軸７におけ
るその重力をシリンダ６の駆動力に換算した値を
求め、これによつて作業軸６の振動の発生を抑止
してなおかつ作業軸６の動作速度および位置決め
精度を高精度に達成するためのフイードバツク補
償信号を導出するフイードバツク補償回路２０
と、 低速度駆動信号およびフイードバツク補償信号
の差を求める減算手段３と、 偏差駆動信号と減算手段の出力とを加算する加
算手段４と、 加算手段の出力を前記サーボ機構に与えるとと
もに、低速度駆動信号は作業軸が指令位置に達し
たとき発生させず、サーボ機構による複動シリン
ダのピストンの両側の各駆動力を調整する制御手
段５とを含み、 フイードバツク補償回路２０は、 複動シリンダ６のピストン両側の駆動力P1・
A1、P2・A2を検出する手段２１，２２，２３，
２４と、 重力の働く作業軸７におけるその重力をシリン
ダ６の駆動力に換算した値Ｗをあらわす信号を導
出するクランプレベル設定回路２８と、 前記駆動力検出手段２１，２２，２３，２４の
うち重力の作用する一方の駆動力検出手段２１，
２３によつて検出された駆動力P1・A1から、ク
ランプレベル設定回路２８によつて定められた値
Ｗを減算するクランプ回路２５と、 クランプ回路２５からの出力（＝P1・A1−Ｗ）
から他方の駆動力検出手段２２，２４の出力
P2・A2を減算する減算器２６と、 その減算器２６からの出力を高域波してフイ
ードバツク補償信号を導出する高域波器２７と
を含み、 その高域波器２７の伝達関数Ｈは、次式で表
わされ、 Ｈ＝sT／１＋sT ここでｓはラプラス変数、Ｔは時定数とし、 １／Ｔは、前記作業軸の固有振動数よりも約
1.5〜３オクターブ程度低い値に選ばれているこ
とを特徴とする工業用ロボツトの制御装置であ
る。

第１図は、本発明の一実施例の系統図である。
工業用ロボツトの作業軸の動きを低速度（クリー
プ速度）にして所定位置に精度よく達せしめるた
めの低速度駆動信号s1は、回路１から発生され
る。

低速度駆動信号s1は、第４図に示すように、小
さい一定の値である。

作業軸が所定の作業軌跡を辿るための軸条件指
令値を記憶装置２に予め記憶させるいわゆるテイ
ーチング時において、この低速度駆動信号s1が用
いられ、後述の比較器３および加算器４を介し
て、サーボ弁５に与えられる。サーボ弁５は、複
動油圧シリンダ６したがつて作業軸７を駆動す
る。

低速度駆動信号s1はまた、いわゆる作業リピー
ト時においても用いられ、記憶装置２からのスト
ア指令値とエンコーダ８からの作業軸７の現在値
との偏差に対応した駆動信号に、常に加算され
る。以下により詳しく述べる。記憶装置２からの
ストア指令値は、比較器９によつて、エンコーダ
８からの現在値を減じられ、その偏差信号ｅは変
換回路１０に与えられる。

第２図は、変換回路１０の入出力特性を示す。
入力される偏差信号ｅが小さい値e1未満であると
き、すなわち作業軸がストア指令値の指令位置に
近接しているとき、変換回路１０の出力は零であ
る。偏差信号ｅが前記値e1を超えるとき、その偏
差に対応した偏差駆動信号ｉが出力される。

偏差駆動信号ｉは緩起動となるよう回路１１に
よつて立上り波形が整形され、こうして波形整形
された信号は加算器４に入力される。サーボ弁５
には、作業リピート時において作業軸７が目標値
に到達するまで、低速度駆動信号s1が加算器４に
よつて加えられている。

作業リピート時における加算器４からの出力
は、次に述べるフイードバツク信号s2の無いとき
には、第５図に示すように、波形整形回路１１か
らの出力と低速度駆動信号s1との和である。その
ため指定位置に作業軸７が近づいて変換回路１０
の偏差駆動信号ｉが零になつたときには、低速度
駆動信号s1のみによつて作業軸７が指定位置に低
速度すなわちクリープ速度で精度よく到達するこ
とができる。作業軸が指令位置に位置決めされる
直前においては比較器９の出力は零近くなり、サ
ーボ弁５への入力、すなわち、駆動力は最小とな
る。この時、負荷側（サーボ弁、油圧シリンダ、
および作業軸）に僅かな外乱による反力があれ
ば、その力に負けて位置決め直前にて作業軸７は
停止してしまい、指令位置に到達しないことがあ
る。これを補うため、低速度駆動信号s1を加算し
て、外乱に打ち勝つ力を与え、作業軸７を指令位
置に到達させている。

フイードバツク補償回路２０は、複動シリンダ
のピストンの両側の駆動力を検出するとともに、
重力の働く作業軸におけるその重力をシリンダの
駆動力に換算した値を求め、これによつて作業軸
の振動の発生を抑止してなおかつ作業軸の動作速
度および位置決め精度を高精度に達成するための
フイードバツク補償信号を導出するので、このこ
とによつて停止時の位置精度の向上と作業能率の
向上を達成することができる。

低速度駆動信号s1は、作業軸が指令位置に達し
たときは発生されない。これによつて作業軸は正
確に指令位置に達することができる。サーボ機構
は、作業軸が指令位置に達するように複動シリン
ダのピストンの両側の各駆動力を調整し、これに
よつて作業軸は指令位置に円滑に到達する。

フイードバツク補償回路２０は、油圧シリンダ
６による作業軸７の操作力を検出して、その作業
軸７が不所望な振動を生じないように作業軸７の
動作を補償するために設けられる。注目すべきこ
とは、フイードバツク補償回路２０のフイードバ
ツク信号s2は、低速度駆動信号発生回路１と加算
器４との間に介挿された比較器３に与えられる
が、この低速度駆動信号s1は上述のようにテイー
チング時にもリピート時にも常に使用される。そ
のため作業軸７の動作はテイーチング時およびリ
ピート時において常に補償されることになる。比
較器３は、低速度駆動信号s1からフイードバツク
信号s2を減じる働きをする。サーボ弁５は、加算
器４からの信号のレベルに対応した速度で、油圧
シリンダ６を駆動する。この油圧シリンダ６によ
る作業軸７の移動方向を決定するために室６ａ，
６ｂに供給される圧油は、サーボ弁５に関連して
設けられるマイクロプロセツサなどによつて実現
される処理回路（図示せず）によつて制御され
る。

テイーチング時には、変換回路１０および立上
り波形整形回路１１の動作は休止され、立上り波
形整形回路１１から加算器４に与えられる信号の
レベルは零である。このとき低速度駆動信号発生
回路１からの信号s1と、フイードバツク補償回路
２０からの信号s2との比較器３によつて得られる
偏差は、加算器４からサーボ弁５に与えられる。
操作者はサーボ弁５を前述の処理装置を操作制御
することによつて、加算器４からの信号のレベル
に対応した速度で作業軸７を希望する位置にもた
らすことができる。作業軸７が希望する位置に到
達したときに、操作者は処理装置を操作して記憶
装置２にその作業軸の現在位置をストアする。こ
のようなテイーチング時の制御動作は、本件出願
前に公知である特公昭51−34180公報に開示され
ており、当業者によく知られている。このように
してテイーチング時においても、フイードバツク
補償回路２０からの信号s2によつて動作性能が向
上されることになる。

フイードバツク補償回路２０において、油圧シ
リンダ６のピストンのヘツド側の室６ａの油圧
P1およびロツド側の室６ｂの油圧P2は、圧力検
出器２１，２２によつてそれぞれ検出される。係
数器２３は、油圧シリンダ６のピストンのヘツド
側の油圧P1とその受圧面積A1との積P1・A1を算
出する。この積P1・A1はヘツド側の駆動力をあ
らわす。係数器２４は、油圧シリンダ６のロツド
側の受圧面積をA2とすれば、ロツド側駆動力
P2・A2を算出する。これらの係数器２３，２４
はまた、圧力検出器２１，２２の出力感度特性を
揃える働きをも果す。係数器２３の出力は、クラ
ンプ回路２５を介して、また係数器２４の出力は
そのままで、減算器２６に与えられる。

作業軸７には、第１図の左方に向かう重力が作
用しているものとする。したがつて複動シリンダ
６の一方の室６ａには、その重力に対応した力が
余分に加わつていることになり、クランプ回路２
５は、この重力を差し引く働きをする。すなわち
クランプ回路２５は、クランプレベル設定回路２
８によつて定められるクランプレベルだけ係数器
２３から出力をクランプすなわち減算する。クラ
ンプレベル設定回路２８は、把持物の重量ならび
に極座標系の工業用ロボツトでは作業軸７の長さ
および鉛直面内での上下位置などを検出して、重
力の働く作業軸７におけるその重力をシリンダ６
の操作力に換算した値Ｗに対応するクランプレベ
ルを定める。

したがつてクランプ回路２５の出力は、（P1・
A1−Ｗ）である。

減算器２６は、作業軸７の操作力Ｆを次式のよ
うに算出して、その操作力Ｆに対応した電気信号
を高域波器２７に与える。

Ｆ＝P1・A1−P2・A2−Ｗ …(3) 高域波器２７の伝達関数Ｈは次式で表わされ
る。

Ｈ＝sT／１＋sT …(4) ここで、ｓはラプラス変数、Ｔは時定数であ
る。しかして、一般に多自由度工業用ロボツトの
作業軸は、その長さ、自重および作業端の把持物
の重量などに依存した異なる固有振動数0を有す
るけれども、その固有振動数0は１Hz〜25Hzの周
波数範囲にある。ところで、作業軸７の振動を充
分に小さくまたは無くするためには、高域波器
２７の前記時定数Ｔは、１／Ｔが0よりも約1.5
〜３オクターブ程度低い値となるように選ばなけ
ればならない。振動を吸収するという目的上から
は、時定数Ｔを無限大に選定すること、つまり、
操作力を高域波器２７を介せず直接フイードバ
ツクする方法が最も有効であるが、この高域波
器２７は、直接フイードバツクする場合には損な
われる定常特性の改善と実用上の信頼性確保のた
めに挿入される。

作業軸７では経年変化などに起因して摩擦力の
変動ならびに圧力検出器および増幅器などの電気
回路の温度変化に起因するドリフトによつて、ま
た作業軸７に働く重力の変動によつて、作業軸７
の左右、前後および上下方向などの動作速度が不
均衡になつたり、位置決め精度が低下することを
防ぐために、高域波器２７の時定数Ｔをできる
だけ小さく選ぶことが望ましい。

しかしながら時定数Ｔを小さく選んだときに
は、別の問題が生じる。工業用ロボツトでは作業
軸７の固有振動数は、前述のように小さい値であ
り、したがつて時定数Ｔを小さくすると作業軸７
の固有振動を除去することができなくなる。した
がつて時定数Ｔをむやみに小さくすることはでき
ない。

しかして、作業軸７の動作速度および位置決め
精度を低下する原因としては前述のように作業軸
７に働く摩擦力の変動、圧力検出器および増幅器
のドリフト、ならびに重力の変動があり、これら
の３つの原因のうち、摩擦力の変動およびドリフ
トは、比較的小さい値であつて、その時間変化率
が小さく、したがつて動作速度および位置決め精
度に大きな悪影響をおよぼすことはない。これに
対して、重力の変動は大きな値であり、かつ時間
変化率が大きい。したがつて高域波器２７の時
定数Ｔを小さく選定できなくても、作業軸７の重
力の変動に起因した動作速度および位置決め精度
に対する悪影響を制御する必要がある。本発明は
この問題を解決する。

第６図を参照して、作業軸７は複動シリンダ６
によつて駆動されて昇降し、この作業軸７にワー
ク３１が着脱可能に取付けられている場合を想定
する。このとき、部屋６ａの駆動力は前述のよう
にA1・P1であり、部屋６ｂの駆動力はA2・P2で
あつて、操作力F3としては前述の如く次式で表
わされる。

F3＝A1・P1−A2・P2−Ｗ
…(5) 作業軸７にワーク３１が取付けられている状態
において、第７図１で示される時刻ｔ１でワーク
３１が除去されたときを想定する。このときには
ワーク３１の重力Ｗによつて操作力F3がステツ
プ状に変化する。高域波器２７への入力信号ｉ
は、第７図２で示されるようにステツプ信号とな
る。このステツプ信号の値をａをすると、高域
波器２７の出力信号は、第７図３のような時間経
過を辿る。時刻ｔ１において高域波器２７は出
力レベルａを有し、その時定数Ｔが小さいときに
は、ラインｌ２のように、また時定数Ｔが大きく
なるにつれてラインｌ３，ｌ４の経過を辿る。こ
のことから高域波器２７の時定数Ｔを小さくし
て、その出力を速く低減するか、あるいはまた入
力信号ｉのａをレベル小さくすることが必要であ
ることが判る。時定数Ｔを小さくすると前述のよ
うに固有振動が生じるので、時定数Ｔをむやみに
小さくすることはできず、したがつて本発明で
は、クランプレベル設定回路２８において定めら
れた重力Ｗを、クランプ回路２５において差し引
き、これによつて第３式の演算を行ない、入力信
号ｉのレベルａを低減しているのである。そのた
め高域波器２７の時定数Ｔが大きくても、ステ
ツプ応答の出力レベルの低減を図ることができ
る。

第８図に示されるように、作業軸７が複動シリ
ンダ６によつて駆動され、この作業軸７の端部は
ピン３２によつてもう１つの複動シリンダ３３に
連結され、この複動シリンダ３３のピストン棒３
４にワーク３５が取付けられており、シリンダ６
の端部は、ピン３６によつて固定位置に枢支さ
れ、シリンダ３３はピン３７はピン３７によつて
角変位可能となつている場合を想定する。部屋６
ａ，６ｂの駆動力A1・P1、A2・P2による操作力
は、第９図１で示されるように時間経過に伴つて
複動シリンダ３３のピストン棒３４が伸長すると
き、ワーク３５の重力などに起因して大きくなる
ように変化する。したがつて高域波器２７の入
力信号ｉは第９図２で示されるように、時間経過
に伴つて一次直線で変化し、いわゆるランプ入力
波形となる。このような第９図２で示される入力
信号が、高域波器２７に入力されたとき、その
出力波形は第９図３で示されるとおりとなる。入
力信号ｉの傾きをｂとすると、出力信号の定常値
はbTとなり、時定数Ｔが大きくなるにつれてそ
の定常値は大きくなる。この観点からは、高域
波器２７の時定数Ｔを小さく選ぶことが望ましい
けれども、前述のように時定数Ｔを小さく選ぶ
と、固有振動が生じてしまう。したがつて時定数
Ｔを小さく選ぶことができなくても、出力信号の
レベルbTを小さくするには、高域波器２７へ
の入力信号ｉのレベルを小さくする必要がある。
本発明では、この入力信号ｉを小さくするため
に、クランプレベル設定回路２８およびクランプ
回路２５が設けられているのである。

このようにして本発明によれば、振動の発生を
抑止することによつて、作業軸７の動作速度およ
び位置決め高精度に達成することが可能となる。

第３図は、作業軸７を左右方向に駆動した場合
におけるクリープ速度時の左右の操作力F1、F2
を示す。この第３図に示したように、一般に左右
方向で作業軸７の構成各部の摩擦は異なるので、
左右方向に等速度で作業軸７を駆動するに要する
操作力F1、F2の大きさは等しくならない。その
ため高域波器２７の時定数Ｔが大きい場合に
は、左右方向の動作速度が不均衡となる。このよ
うな速度の不均衡は、特にクリープ速度において
は避けることが望まれる。この目的で、クランプ
回路２５は、係数器２３からの操作力に対応した
出力の直流レベルを上昇または下降し、すなわち
上下両操作力F1、F2のうち大きい方の操作力に
対応した係数器２３または２４からの出力を相対
的に下げるように直流レベルを重畳し、それによ
つて見かけ上の操作力F1、F2がほぼ等しくなる
ように操作力F1、F2のクランプレベルｌ（第３図
参照）が設定されうる。

本発明では、前述の第２式に示される高域波
器２７の伝達関数Ｈにおいて、１／Ｔは、工業用
ロボツトの作業軸の固有振動数よりも約1.5〜３
オクターブ程度低い値に選ばれている。本件発明
者の実験によれば、作業軸７、それに連結される
油圧シリンダ６のピストンおよびピストン棒な
ど、ならびにその作業軸７に連結される溶接機な
どとの可動部分の総重量は、たとえば120Kgであ
り、その可動部分の全長は、たとえば300cmであ
り、作業軸７の固有振動数は６Hz程である。この
時、ハイパスフイルター時定数Ｔを、１／Ｔがそ
の固有振動数より２オクターブ低い、0.1秒に定
めたときに作業軸７の固有振動の発生を防ぐこと
ができるとともに重力の変動による悪影響を防
ぎ、動作速度および位置決め精度を高精度に達成
することができたことが確認された。一般にスポ
ツト溶接、塗装などの用途に広く用いられている
工業用ロボツトでは、１／Ｔは、作業軸７の固有
振動数よりも約1.5〜３オクターブ程度低い値に
あることによつて、本発明の効果を達成すること
が可能である。

低速度駆動信号に関しては、作業軸が指定位置
に達すると、比較器９の出力は零となり、これに
よつて低速度駆動信号は発生されなくなるよう
に、たとえば比較器３の出力が遮断されるよう
に、制御手段（図示せず）が達成される。そのた
め油圧シリンダ６および作業軸は、希望する位置
決め位置にて停止する。また記憶装置２とエンコ
ーダ８との出力によつて、すなわち比較器９の出
力によつて、サーボ弁５に、部屋６ａまたは６ｂ
のいずれに油圧を与えるかを決定する信号が前記
制御手段から与えられる。そのため、油圧シリン
ダ６と作業軸の移動方向が決定される。

上述の実施例では、比較器３は回路１と加算器
４との間に介在されたけれども、本発明の他の実
施例として、加算器４とサーボ弁５との間に、比
較器３を介在させてもよい。

こうして、作業リピート時にもテイーチング時
にもフイードバツク回路が働いて工業用ロボツト
の動作性能を向上することができるようになる。
特に本発明によれば、変換手段では現在位置と記
憶装置のストア指令値の指令位置との偏差が或る
小さい値未満であるとき、偏差駆動信号を出力せ
ず、したがつて低速度駆動信号発生手段からの低
速度駆動信号がサーボ機構に与えられるので、作
業軸を低速度で駆動するとともに、この低速駆動
時にフイードバツク信号により低速度駆動信号を
補正するようにしたから、動作性能が良好とな
り、正確な位置決めが可能になる。このためリピ
ート動作時の動作速度を大きくすることができ、
作業能率を向上させることができる。さらに上記
の低速度駆動信号は、リピート動作時のみなら
ず、テイーチング時においても使用されるので、
テイーチング時の作業能率も併せて向上させるこ
とができる。

以上のように本発明によれば、作業リピート時
にもテイーチング時にもフイードバツク回路が働
いて工業用ロボツトの動作性能を向上することが
できるようになる。特に本発明によれば、変換手
段では現在位置と記憶装置のストア指令値の指令
位置との偏差が或る小さい値未満であるとき、偏
差駆動信号を出力せず、したがつて低速度駆動信
号発生手段からの低速度駆動信号がサーボ機構に
与えられるので、作業軸を低速度で駆動するとと
もに、この低速駆動時にフイードバツク信号によ
り低速度駆動信号を補正するようにしたから、動
作性能が良好となり、正確な位置決めが可能にな
る。このためリピート動作時の動作速度を大きく
することができ、作業能率を向上させることがで
きる。さらに上記の低速度駆動信号は、リピート
動作時のみならず、テイーチング時においても使
用されるので、テイーチング時の作業能率も併せ
て向上させることができる。

また本発明によれば、フイードバツク補償のた
めに高域波器を用い、その時定数をＴとすると
き１／Ｔは作業軸の固有振動数よりも約1.5〜３
オクターブ程度低い値に選ぶことによつて、作業
軸の固有振動の発生を防ぐことができる。

しかも時定数Ｔがこのような固有振動を防ぐ比
較的大きな値に選ばれていても、クランプ回路の
働きによつて重力をシリンダ６の駆動力に換算し
た値Ｗを減算し、高域波器２７への振動の発生
には関係しない入力信号のレベルを低くするよう
にしたので、重力の変動による高域波器２７か
らの静特性を劣化させる出力信号のレベルを小さ
く抑えることが可能となる。こうして重力の変動
による悪影響を防ぎ、動作速度および位置決め精
度を高精度に達成することができる。作業軸７に
働らく摩擦力の変動ならびに圧力検出器および増
幅器のドリフトは、比較的小さな値であり、しか
も時間変化率が重力の変動に比べて格段に小さ
く、したがつてこれら２つの原因によつて動作速
度および位置決め精度が大きく低下することはな
く、実際上問題とならない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図は
第１図の変換回路１０の入出力特性図、第３図は
第１図のクランプ回路２５の動作を説明するため
の図、第４図は低速度駆動信号s1の波形を示す
図、第５図は加算器４の出力波形を示す図、第６
図は作業軸７が上下に延びて設けられる状態を示
す簡略化した図、第７図は第６図の構成における
波器２７のステツプ応答特性を示す図、第８図
はピストン棒３４を伸縮駆動する複動シリンダ３
３をピン３７のまわりに角変位可能となつて取付
けられている構成を示す図、第９図は第８図の構
成における高域波器２７のランプ応答特性を示
す図である。 １……低速度駆動信号発生回路、２……記憶装
置、３，９……比較器、４……加算器、５……サ
ーボ弁、６……複動油圧シリンダ、７……作業
軸、８……エンコーダ、１０……変換回路、１１
……立上り波形整形回路、２０……フイードバツ
ク補償回路、２１，２２……圧力検出器、２３，
２４……係数器、２５……クランプ回路、２６…
…減算器、２７……高域波器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 作業軸の軸条件指令値と現在値との位置偏差
   駆動信号に従い、電気−油圧サーボ機構によつて
   複動シリンダを駆動し、その複動シリンダによつ
   て操作される作業軸を用いて作業を行なう工業用
   ロボツトの制御装置において、 工業用ロボツトの作業軸の軸条件指令値を予め
   ストアした記憶装置２と、 前記工業用ロボツトの作業リピート時に前記作
   業軸の現在位置を検出して現在値を出力するエン
   コーダ８と、 前記作業リピート時に前記記憶装置２と前記エ
   ンコーダ８とからの出力に応答し、前記現在位置
   と前記ストア指令値の指令位置との偏差が或る小
   さい値未満であるとき偏差駆動信号を出力せず、
   その値を越えるとき前記偏差に対応した偏差駆動
   信号を出力する、そのような入出力特性を有する
   変換手段１０と、 前記作業リピート時と前記軸条件を前記記憶装
   置２に予め記憶させるテイーチング時とに、前記
   作業軸を低速度で駆動する低速度駆動信号を発生
   する手段１と、 前記複動シリンダ６のピストンの両側の駆動力
   を検出するとともに、重力の働く作業軸７におけ
   るその重力をシリンダ６の駆動力に換算した値を
   求め、これによつて作業軸６の振動の発生を抑止
   してなおかつ作業軸６の動作速度および位置決め
   精度を高精度に達成するためのフイードバツク補
   償信号を導出するフイードバツク補償回路２０
   と、 低速度駆動信号およびフイードバツク補償信号
   の差を求める減算手段３と、 偏差駆動信号と減算手段の出力とを加算する加
   算手段４と、 加算手段の出力を前記サーボ機構に与えるとと
   もに、低速度駆動信号は作業軸が指令位置に達し
   たとき発生させず、サーボ機構による複動シリン
   ダのピストンの両側の各駆動力を調整する制御手
   段５とを含み、 フイードバツク補償回路２０は、 複動シリンダ６のピストン両側の駆動力P1・
   A1、P2・A2を検出する手段２１，２２，２３，
   ２４と、 重力の働く作業軸７におけるその重力をシリン
   ダ６の駆動力に換算した値Ｗをあらわす信号を導
   出するクランプレベル設定回路２８と、 前記駆動力検出手段２１，２２，２３，２４の
   うち重力の作用する一方の駆動力検出手段２１，
   ２３によつて検出された駆動力P1・A1から、ク
   ランプレベル設定回路２８によつて定められた値
   Ｗを減算するクランプ回路２５と、 クランプ回路２５からの出力（＝P1・A1−Ｗ）
   から他方の駆動力検出手段２２，２４の出力
   P2・A2を減算する減算器２６と、 その減算器２６からの出力を高域波してフイ
   ードバツク補償信号を導出する高域波器２７と
   を含み、 その高域波器２７の伝達関数Ｈは、次式で表
   わされ、 Ｈ＝sT／１＋sT ここでｓはラプラス変数、Ｔは時定数とし、 １／Ｔは、前記作業軸の固有振動数よりも約
   1.5〜３オクターブ程度低い値に選ばれているこ
   とを特徴とする工業用ロボツトの制御装置。