JPH01227667A - 高電圧発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば、イオンビームを加速する場合に必要
とする高電圧を発生させる高電圧発生装置の改良に関す
る。

（従来の技術） 近年、イオンビームを用いた技術としては、粒子加速装
置、質量分析器、同位元素分離装置などの他に、エツチ
ング等の表面処理装置や金属加工装置があり、このよう
なイオンビームを加速するための加速管には高電圧を供
給する必要がある。

例えば、微量元素分析の分野においては、極めて微量の
試料にイオンビームを照射し、この試料から発生する特
性Ｘ線を半導体検出器で検出し、そのエネルギーと強度
とから微量元素の分析を行なう分析方法を用いている。

この分析方法では、イオン源からのイオンを加速管を用
いて集束良く加速させる必要があることから、この加速
管には通常、高電圧発生装置が一体的に設けられており
、この高電圧発生装置により得られた高電圧を利用して
この加速を行なわせている。尚、この高電圧発生装置は
、通常でｉ　ｏｏ。

にＶ程度以上の高電圧を発生するので、このような高電
圧の下でもコロナ放電を起こさないように、絶縁耐力の
大きいＳＦ６ガスを高圧で充填した容器に収めて使用し
ている。上記以外に高電圧発生装置を用いる必要がある
場合としては、電子ビーム加工、スパッタリング、イオ
ンブレーティング等がある。

この高電圧発生装置としては、従来からパンデグラーフ
加速器等１種々のものが用いられているが、最近では、
特開昭５７−４０３８０号公報に開示されているような
回転円板型高電圧発生器を用いたものがある。

この回転円板型高電圧発生器は、第６図に示されるよう
に構成されている。

同図に示すように、この高電圧発生器の回転軸０には、
例えばアクリル樹脂性の絶縁性材料から成る回転円板３
が同心的に取付けられており、この回転円板３の外周付
近には、前記回転軸Ｏに対して軸対称同心状にこの回転
円板３を貫通して固設された電荷搬送体１が等間隔に配
設されている。

そして、この電荷搬送体１には、回転円板３の外周面に
突設された接触子２が接続されている。また、この電荷
搬送体１の回転通路上において回転軸０に対して相対向
するそれぞれの位置には、回転円板３の表裏両面におい
てこれらの電荷搬送体１をその移動方向の所定距離を跨
ぐように配設され、隙間部分を介して二分割された例え
ばステンレススチール等の導電性材料から成るインダク
ター４Ａ〜４Ｄが設けられている。尚、この例にあって
は、インダクター４Ａ及び４Ｄには、十の電位が与えら
れ、インダクター４Ｂ及び４Ｃには、−の電位が与えら
れている。そして、この円板３の外周側部には、導電性
のプーリー６．６°に取付けられた例えばカーボン粉末
を含む合成ゴム材の導電性の弾性体から成るベルト５，
５°が設けてあり、このゴムベルト５．５°は接触子２
に接触し、その接触時に生ずる摩擦力によって回転円板
３の周速に応じて回転するようになっている。

さらに、各インダクター４Ａ〜４Ｄに前記したように電
位が与えられていることを条件として低電位となってい
る低電位側のプーリー６は、アースされている接続端子
７に、同様の条件によって高電位となっている高電位側
のプーリー６°は、接続端子８にそれぞれ接続され、接
続端子７と接続端子８とは、高抵抗値を呈する抵抗器９
を介して接、続されている。

このような構成を有する回転円盤型高電圧発生器は、以
下のようにして高電圧を発生させる。なお、説明を簡単
にするために１つの電荷搬送体１のみに着目してその作
用を説明する。

まず、インダクター４Ａと４Ｂとの隙間部分１０に位置
する電荷搬送体１は、その電荷搬送体１に接続されてい
る接触子２を介してベルト５に接触しているのでアース
されており、アース電位になっている。この電荷搬送体
１が図に示すように円板３とともに時計回りに回転し、
インダクター４Ｂ中を移動すると、この電荷搬送体１は
ベルト５に接触している限りにおいてはアース電位を保
っており、このインダクター４Ｂには−の電位が与えら
れているので、この電荷搬送体１が隙間部分１０から離
れるにしたがって次第に多くの十の電荷が静電誘導作用
により電荷搬送体１の表面に現れる。そして、この電荷
搬送体１は、この電荷を持ったまま接触子２を介してベ
ルト５を離れ、所定の電荷分布状態が形成されたままイ
ンダクター　４．　、Ｂから不ンダクター４Ｃに近づき
、その内部に入って、インダクター４０の電位によって
インダクター４Ｂを離れた時と同様の電荷分布状態を維
持しつつ接触子２を介してベルト５°に接触する。そし
て、この・電荷搬送体１がインダクター４０・と４Ｄと
の隙間部分１０°に近づくにしたがってインダクター４
Ｄに発生している電界の影響を受けて前記電荷分布状態
が次第に変化し、ベルト５°に電荷が受は渡される。こ
の電荷の受は渡しは電荷搬送体１が隙間部分１０°に到
達した時点で終了する。その・後、この電荷搬送体１は
、高電位を有するベルト５°に接触しつつインダクター
４Ｄ中を移動すると、今度は、前記したとは反対に、イ
ンダクター４Ｄには十の電位が与えられているので、こ
の電荷搬送体１が隙間部分から離れるにしたがって次第
に多くの−の電荷が静電誘導作用により電荷搬送体１の
表面に現われる。そして、この電荷搬送体１は、この電
荷を持ったまま接触子２を介してベルト５゛を離れ、イ
ンダクター４Ｄからインダクター４Ａに近づき、その内
部に入って、インダクター４Ａは電荷搬送体１に対し前
記したインダクター４Ｃと同様に作用しつつ電荷搬送体
１に誘導されているーの電荷を接触子２を介してベルト
５°に受は渡す。

以上のようにして各電荷搬送体１に静電的に誘導される
それぞれの極性の電荷をベルト５又はベルト５゛に連続
的に運ぶことによって、低電圧端子７．高電圧端子８間
が高電圧となるようになっている。

（発明が解決しようとする課Ｈ） しかしながら、このような従来の高電圧発生装置にあっ
ては、電荷搬送体１の電荷分布を、相互に逆極性の電圧
が印加されたインダクター内を通過させることによって
徐々に変化させて、誘導されている電荷の授受を行なう
ようになっているので、その電荷の授受を行なう距離を
大きくする必要があることから、この距離を長くとるこ
とのできる弾性体で構成されたベルト５，５゛によって
行なっている。このベルト５，５゛は、各電荷搬送体１
の接触子２に対して適当な圧力をもって押圧しつつこの
接触子２の移動速度（円板３の周速にほぼ等しい）に応
じた高回転（約１０．００Ｏｒｐｍ　＞で回転しなけれ
ばならないので、大型となり、かつ耐久性に問題をきた
す虞がある。

そして、高電圧発生装置は前記したように、ＳＦ６ガス
が高圧充填されている容器内に収納されているので、定
期的なメインテナンスにあっても多くの時間と手数を要
することになり、また、運転中に異常が発生すれば、迅
速な復旧はほとんど不可能である等９種々の問題があっ
た。

本発明は、このような従来の問題を解決するなめに成さ
れたものであり、各インダクターに印加する電圧を交流
とし、おのおのの接触子に接触して電荷の授受を行なう
１対の電荷授受手段によって前記電荷搬送体相互間の電
荷の授受を行なわせ、安価であり、かつ耐久性及び信頼
性の高い高電圧発生装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するための本発明は、駆動軸に連結され
絶縁材料から成る回転円板の端面に、誘導された電荷を
搬送する電荷搬送体を、前記回転円板の回転中心から所
定の半径にそれぞれ位置させて相互に所定の間隔を隔て
て多数立設し、おのおのの前記電荷搬送体に電気的に接
続された接触子を前記回転円板に当該回転円板の外部に
露呈させて取付け、前記回転円板に対向して固定設置さ
れた基台に、前記電荷搬送体に対して所定の間隔を有す
る第１誘導電極と第２誘導電極とを固着し、前記電荷搬
送体の回転数に同期した周波数を有し、かつ相互に位相
差をもった交流電圧を発生する電圧発生手段を前記第１
誘導電極及び前記第２誘導＝　　９　− 電極のそれぞれに接続し、それぞれ前記接触子に接触す
る導電材料部を有し、前記電荷搬送体に誘導された電荷
を授受する第１電荷授受手段と第２電荷授受手段とを前
記第１誘導電極及び前記第２誘導電極のそれぞれに位置
させて前記基台に装着したことを特徴とするものである
。

（作用） このように構成すると、第１誘導電極あるいは第２誘導
電極には、電荷搬送体の移動位置に同期した周波数を有
する交流電圧が電圧発生手段によってそれぞれ位相が異
なった状態で印加される。

例えば、この位相が１８０°であって、第１誘導電極に
十のピーク電圧が印加されている場合には、第２誘導電
極には−のピーク電圧が印加されている状態にある。こ
れによって第１誘導電極及び第２誘導電極内を通過中の
電荷搬送体には、その誘導電極のそれぞれに印加されて
いる現在の電圧の変化に伴ってその変化とは逆の極性の
電荷が誘導されることになる。

つまり、第１誘導電極に−の電圧が印加されている状態
の下で−の電荷を有する電荷搬送体が第１誘導電極に入
り始めたとすると、この電荷搬送体の移動に伴って第１
誘導電極に印加される電圧は次第に十の電圧に移行して
いくことになる。この移行期間中において、十のピーク
電圧が第１誘導電極に印加された時に接触子と第１授受
手段とが接触して、第１誘導電極に印加される電圧が次
第に−の電圧に移行し、−のピーク電圧に達する期間中
に、前記電荷搬送体に誘導されている−の電荷が前記第
１誘導電極に受渡される。そして、−のピーク電圧が第
１誘導電極に印加された時に、前記電荷搬送体には十の
電荷が誘導された状態で前記接触子と第１授受手段とが
離れる。

その後、この十の電荷が誘導された電荷搬送体は、この
十の電荷を持ったまま回転円板の回転と共に移動して第
２誘導電極に入る。これとは逆の状態は第２誘導電極に
おいても同時に行なわれており、このようなことが回転
円板に配設されている電荷搬送体について連続的に行な
われることによって第１誘導電極と第２誘導電極間の電
位差を非常に高くすることができ、高電圧を得ることが
できる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図には、本発明に係る高電圧発生装置の横断面図が
、第２図には、同装置の縦断面図がそれぞれ示しである
。尚、第６図に示した部材と同一の部材には、同一符号
を付しである。

これらの図に示すように、例えばアクリル樹脂のような
絶縁性の合成樹脂によって形成された回転円板３の表裏
両面には、角部を有しないようになめらかな形成された
円筒形状を有する電荷搬送体１が多数その回転円板３の
回転軸０に対して軸中心同心状に等間隔で配設されてお
り、それぞれの電荷搬送体１は、回転円板３を貫通する
固定体ＩＡによって固設されている。また、それぞれの
電荷搬送体１には、回転円板３の外周面３Ａに埋め込ま
れ露呈された接触子２が接続されており、この接触子２
と電荷搬送体１とは、第２図に示すように電荷搬送体１
を固定している固定体ＩＡに接触子２が係合されること
によって電気的及び機械的に連結されている。この接触
子２は、図示しないが円板球面形状を有しており後述す
るローラー１２，１２°との接触が極めてスムースに行
なわれるようにしてあり、また、隣合う接触子２同士が
相互にある程度の絶縁耐圧を有するように、相互間距離
をある程度離隔してとっである。

そして、回・転円板３の回転軸Ｏは、基台としての第１
支持台１０Ａ及び第２支持台１０Ｂにそれぞれ設けられ
ている軸受けＩＩＡ及びｉｌＢによって回転自在に取付
けられ、この回転軸０には、図示しない誘導電動機等の
回転動力発生機器が接続されており、これにより回転円
板３が例えば１８ｏｏｒｐｍ位で回転させられる。また
、回転軸Ｏにはこの回転軸の回転数及び回転円板３の任
意に設定した原位置からの相対位置を検出する１例えば
エンコーダー等の回転数センサ１４が取付けられている
。そして、回転円板３はこのように高速で回転すること
から、この回転円板３は十分な機械的剛性とダイナミッ
クバランスを兼備えるとともに可能な限り軽量化が図ら
れている。

また、第１支持台１０Ａ及び第２支持台１０Ｂには、第
１誘導電極として機能し得る低電位側ののインダクター
４と、第２誘導電極として機能し得る高電位側のインダ
クター４°とが前記した回転軸Ｏに対して軸対称かつ電
荷搬送体１の移動通路上の円板３の表裏両側に相対向し
て固定配置され、この各インダクター４，４°を、回転
円板３と共に回転する電荷搬送体１が極めて狭少の間隙
をもって通過するようになっている。

これらのインダクター４，４°には、電圧発生手段であ
る交流電圧発生回路１８がそれぞれ接続されており、後
述するように、交流電圧が印加されるが、これらのイン
ダクター４．４°にはこの交流電圧に応じた電荷が誘導
されることになる。

なお、第２図においては、構造をわかりゃすくするため
に電荷搬送体１の厚みの比較的大きなものを記載しであ
るが、実際には、この誘導される電荷量は、電荷搬送体
１とインダクター４によって形成される間隙と電荷搬送
体１のインダクター４側の面積によって決定されるので
、電荷搬送体１の厚みをもっと薄くして高電圧発生装置
の小形化を図ることができるのは勿論である。

さらに、第１支持台１０Ａには、各電荷搬送体１に設け
られている接触子２のそれぞれに接触し、その接触時に
生ずる摩擦力によって回転円板３の　−周速に応じて回
転しながら電荷搬送体１に誘導されている電荷を授受す
る第１電荷授受手段としてのローラー１２と第２電荷授
受手段としてのローラー１２°が支持軸１３Ａ又は１３
Ｂに取付けられており、この支持軸１３Ａ及び１３Ｂは
第１支持台１０Ａに取付けられている。そして、このロ
ーラー１２及び１２°には、導電材料部である導電性の
弾性体から成る例えばその内部にカーボン等が含まれた
合成ゴム１２Ａが強固にあるいは接着などによって取付
けである。そして、このローラー１２はアースされてい
る接続端子７に、ローラー１２゛は、高抵抗値を呈する
抵抗器９に接続されている。これにより、ローラー１２
とローラ一１２°とに接続された抵抗器９間には非常に
高い電位差が発生することになる。なお、これらのロー
ラー１２，１２°は第１支持台に取付けられた支持軸１
３Ａ及び１３Ｂによって支持するようにしたが、これら
の支持軸１３Ａ及び１３Ｂを第２支持台または第１及び
第２支持台の双方に取付けるようにしても良い。

また、第３図には、本発明に係る高電圧発生装置の制御
ブロック図が示しである。

同図に示すように、高電圧発生装置の制御を行なう制御
装置２０には、この装置を起動する起動スイッチ１９と
、回転円板３の回転数あるいは電荷搬送体１の移動位置
を検出する回転数センサ１４と、インダクター４及び４
゛に交流電圧を印加する電圧発生手段としての交流電圧
発生回路１８と、回転円板３を回転駆動する円板駆動モ
ータ１５とが接続され、交流電圧発生回路１８がらは、
回転数センサ１４の検出信号に応じた周波数の交流電圧
がそれぞれのインダクター４及び４°にそれぞれ位相を
例えば１８０°違えて印加されることになる。

このような構成を有する本発明の高電圧発生装置は、次
のように作用する。以下にこの作用を第４図の動作フロ
ーチャートに基づき、第３図に示した制御ブロック図を
参照しながら詳細に説明する。

まず、制御装置２０は、高電圧発生装置を起動させる起
動スイッチ１９がオンされているかどうかを判断する。

この判断の結果、起動スイッチ１９がオフであればオン
の信号が入力されるまで待機する（ステップ１０）。一
方、起動スイッチ１９がオンであれば、制御装置２０は
誘導電動機等が用いられている円板駆動モータ１５を起
動しくステップ１１）、回転数センサ１４から出力され
る回転円板３の回転数が入力される（ステップ１２）。

そして、制御装置２０はこの回転数を入力し、この回転
数が規定回転数（例えば１８００ｒｐｍ）に達したかど
うかを判断する。この判断の結果、規定回転数に達して
いなければ円板駆動モータ１５を規定回転数になるまで
加速させ（ステップ１３）、規定回転数に達したら、制
御装置２０は交流電圧発生回路８を起動させ、インダク
ター４及びインダクター４゛に規定周波数の交流電圧を
印加する。この周波数は、接触子２の大きさにも関係し
てくるために実際には下記のように単純な計算によって
は求めることはできないが、一応の目安としては例えば
回転円板３に配設されている電荷搬送体１が２４体あり
、その回転数が１８００１’ｐｍである場合には、２４
ｘ　１８００／６０　＝　７２０１（Ｚとなる。

つまり、７２０Ｈ２の周波数を持った交流電圧がインダ
クター４及びインダクター４゛に印加されることになる
。そして、この場合にインダクター４とインダクター４
°との印加電圧は１８０°の位相差を持っている。なお
、この回転数センサ１４は回転数のみでなく、回転円板
３の移動位置をも検知しうるものであり、各電荷搬送体
１と各インダクター４，４°との相対位置をも検知可能
なものである（ステップ１４）。そして、制御装置２０
は、起動スイッチ１９がオフされたかどうかの判断をし
、この起動スイッチ１９がオフされるまでステップ１１
からステップ１４の処理を繰返し、起動スイッチ１９が
オフされたらプログラムの実行を終了し、高電圧発生装
置の機能を停止させる（ステップ１５）。

制御装置２０は、以上のように動作するが、高電圧発生
装置の具体的な高電圧発生の作用は以下の通りである。

この作用を第５図を用いて説明する。

この場合、回転円板３の回転数は１８００ｒｐｍでその
移動方向は図中矢印方向、交流電圧発生回路１８から出
力されている交流電圧の周波数は７２０Ｈ２である。そ
して、前記した通り、回転数センサ１４は回転円板３の
移動位置をも検知しうるちのであるので・、・回転円板
３の移動位置と交流電圧発生装置１８から出力される交
流電圧の波形位相とは完全に同期がとられており、交流
電圧発生装置１８によってインダクター４゛に印加され
る交流電圧は、第５図に示すような周波数及び位相を有
する正弦波形となっている。また、同図に示すように、
電荷搬送体１の半径と、接触子の半径は共にＲである。

説明を簡単にするために、十の高電圧となるインダクタ
ー４°側の動作のみについて説明するが、インダクター
４側の動作は以下に説明する動作とは全く反対の動作を
することになるのでその説明は省略する。

まず、第５図に示すように、電荷搬送体１の移動位置、
さらに厳密に言えば、接触子２の移動位置と交流電圧発
生回路１８から出力される交流正弦波形の位相とは回転
センサ１４からの信号に基づいて完全に同期がとられて
おり、回転円板３の回転に伴って電荷搬送体１の接触子
２がローラー１２′と接触する瞬間の状態においては、
インダクター４°には図示するような十のピーク電圧が
印加されており、この状態における電荷搬送体１には、
この電荷搬送体１が通過してきた図示しない低電位側の
インダクター４によって誘導された十の電荷の電荷分布
状態が維持されたままになっている。このためにコロナ
放電が抑えられた状態となっている。そして、この接触
子２がローラー１２°と接触している状態で電荷搬送体
１が次第番゛こインダクター４°内に入るにしたがって
、インダクター４°に印加される電圧も図示するように
羊の位置とともに一側に移行し、このなめにインダクタ
ー４゛に生じる電界が変化することになる。

このように電荷搬送体１の移行に伴ってインダクター４
°に印加される電圧が一方向に変化すると、電荷搬送体
１の電荷分布がインダクター４°に印加される電圧の変
化とともにに変わりながら図中に示す電荷授受区間を電
荷搬送体１が移行する間に電荷搬送体１のインダクター
４°に入る前に誘導されていな十電荷をローラー１２゛
に受渡すことになる。

そして、電荷搬送体１が電荷授受区間を通過後、接触子
２とローラー１２゛の接触した状態が解除された状態で
は、インダクター４°には−のピーク電圧が印加されて
いるので、電荷搬送体１には、十の電荷が誘導されてお
り、インダクター４′を出た直後には、電荷搬送体１に
は所定の電荷分布が形成されてインダクター４に向かう
ことになる。

そして、インダクター４に入ると、このインダクター４
には、インダクター４゛と゛は逆位相の交流電圧が印加
されているので、□前記したとは逆にローラー１２に−
の電荷が受渡され、十の電荷が誘導されてインダクター
４°に向かうことになる。

したがって、電荷搬送体１に誘導されている電荷の授受
及び誘導は、インダクターの電荷受渡区間内、つまり、
接触子とローラーとが接触状態にある期間内において行
なわれることになる。しかも、この電荷の受渡と電荷の
誘導は交流電圧発生回路によって出力される電荷搬送体
１の移動位置と同期がとられた正弦波形によって自動的
に短い距離区間内で行なわれることになる。したがって
、効率良く電荷の搬送を行なうなめにインダクターに印
加される交流電圧の周波数及び位相は、波形の士ピーク
間において電荷の授受及び誘導が完了するような周波数
に設定されなければならないことから、この周波数及び
位相は回転円板３の回転数のみならず、接触子の大きさ
及び電荷搬送体の配設数によって異なってくることにな
る。

また、第５図において有効距離とは、インダクターの電
界が電荷搬送体に電荷の授受及び電荷の誘導に対して有
効に作用する距離（最低この範囲はインダクターが平坦
に形成されている。）を示しており、同図に示されるよ
うに、電荷搬送体の半径がＲであればこの有効距離は２
Ｒとなる。そして、インダクターがこの有効距離以上に
長くなっているのは、位相の相異なる電圧の印加されて
いる高圧側及び低圧側の各インダクターからの電界（こ
よる影響が、電荷の授受及び誘導に悪影響を及ぼさない
ようにするためである。

なお、本実施例においては回転円板の回転数が１８００
ｒｐｍのものを例示したが、例えば、１５００ｒｐｍの
ものであっても、交流電圧発生回路１８から出力される
交流電圧の周波数と出力波形とを電荷搬送体の有する接
触子とローラーとの接触位置に同期させて各インダクタ
ーに印加すれば、回転数などに関係なく本発明の適用は
可能である。また、本実施例においては、インダクター
に印加する電圧波形が正弦波のものを例示したが、＝　
２３− これに限らず、本発明の実施が可能な範囲内において他
の交流波形を適用することができるのはもちろんである
。

（発明の効果） 以上の説明により明らかなように、本発明によれば、各
誘導電極に印加する電圧を交流とし、また、おのおのの
接触子に接触して電荷の授受を行なう１対の授受手段に
よって前記電荷搬送体からの電荷の授受を行なわせるよ
うにしたので、短い距離で電荷の授受及び電荷の誘導を
行なわせることができ、回転円板の回転数に関係なく交
流電圧の周波数及び位相を適宜台わせることによって高
電圧の発生が可能となる。また、前記授受手段は小形化
が可能となり、非常に堅固なものとすることができ、そ
の耐久性及び信頼性を向上させることができるのみなら
ず、高電圧発生装置としての信頼性の向上及び製造コス
トの低下を共に図ることができる。さらには、これに伴
なって定期的なメインテナンスの周期も長期化すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る高電圧発生装置の横断面図、 第２図は、本発明に係る高電圧発生装置の縦断面図、 第３図は、本発明に係る高電圧発生装置の制御ブロック
図、 第４図は、本発明に係る高電圧発生装置の動作フローチ
ャート、 第５図は、本発明に係る高電圧発生装置の詳細な動作説
明に供する図、 第６図は、従来の高電圧発生装置の横断面図である。 １・・・電荷搬送体、　　２・・・接触子、３・・・回
転円板、 ４・・・インダクタニー（第１誘導電極）、４°・・・
インダクター（第２誘導電極）、５．５゛・・・ベルト
、　６．６°・・・プーリー、７・・・低電位端子、　
　　９・・・抵抗器、１０Ａ、ＩＯＢ・・・第１．第２
支持台（基台）、＝　２５− １１Ａ、ＩＩＢ・・・軸受け、　　　１２・・・ローラ
ー（第１受渡し手段）、 １２−・・ローラー（第２受渡し手段）、１２Ａ・・・
合成ゴム（導電材料部〉、１４・・・回転数センサ、 １８・・・交流電圧発生回路（電圧発生手段）。 特許出願人　　株式会社アズサエンジニアリング代理人
　弁理士　　　八　１）幹　雄（ほか１名）第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 駆動軸に連結され絶縁材料から成る回転円板の端面に、
   誘導された電荷を搬送する電荷搬送体を前記回転円板の
   回転中心から所定の半径にそれぞれ位置させて相互に所
   定の間隔を隔てて多数立設し、おのおのの前記電荷搬送
   体に電気的に接続された接触子を前記回転円板に当該回
   転円板の外部に露呈させて取付け、前記回転円板に対向
   して固定設置された基台に、前記電荷搬送体に対して所
   定の間隔を有する第１誘導電極と第２誘導電極とを固着
   し、前記電荷搬送体の回転速度に同期した周波数を有し
   、かつ相互に位相差をもった交流電圧を発生する電圧発
   生手段を前記第１誘導電極及び前記第２誘導電極のそれ
   ぞれに接続し、それぞれ前記接触子に接触する導電材料
   部を有し、前記電荷搬送体に誘導された電荷を授受する
   第１電荷授受手段と第２電荷授受手段とを前記第１誘導
   電極及び前記第２誘導電極のそれぞれに位置させて前記
   基台に装着して成る高電圧発生装置。