JPH01227671A - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents
超音波モータの駆動回路Info
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- JPH01227671A JPH01227671A JP63053362A JP5336288A JPH01227671A JP H01227671 A JPH01227671 A JP H01227671A JP 63053362 A JP63053362 A JP 63053362A JP 5336288 A JP5336288 A JP 5336288A JP H01227671 A JPH01227671 A JP H01227671A
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- JP
- Japan
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- frequency
- usm
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
- H02N2/008—Means for controlling vibration frequency or phase, e.g. for resonance tracking
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は、超音波モータの駆動回路、更に詳しくは複
数個の超音波モータを1つの駆動源によって動作させる
超音波モータの駆動回路に関するものである。
数個の超音波モータを1つの駆動源によって動作させる
超音波モータの駆動回路に関するものである。
[従来の技術]
圧電体の超音波振動を利用した超音波モータ(以下、U
SMという)は、既に周知である。こ・ の超音波モー
タは、電磁型のモータに比べて(1)小型化、薄型化が
容易。(2)発生トルクが大きく、低速、高トルク駆動
ができ、ダイレクトドライブに適している。(3)構造
が簡単である。といった利点を有していて、新しいアク
チュエータとして脚光を浴びている。また、既にカメラ
分野においては自動焦点装置等の駆動源として用いられ
ている。
SMという)は、既に周知である。こ・ の超音波モー
タは、電磁型のモータに比べて(1)小型化、薄型化が
容易。(2)発生トルクが大きく、低速、高トルク駆動
ができ、ダイレクトドライブに適している。(3)構造
が簡単である。といった利点を有していて、新しいアク
チュエータとして脚光を浴びている。また、既にカメラ
分野においては自動焦点装置等の駆動源として用いられ
ている。
このUSMには特開昭59−96881号公報に開示さ
れているように、進行波による楕円振動を発生する、表
面波型とも呼ばれる進行波型と、特開昭60−1872
71号公報に示されているように、定在波振動による楕
円振動を励起する定在波型との2種類のタイプのものが
あり、更に定在波型のものには、結合子型、キラツキ型
等、数多くのタイプのものが発表されている。そして、
カメラ分野では上記進行波型のものが実用化されており
、更に現在使用されている複数個のDCモータのUSM
への置換が行なわれつつある。
れているように、進行波による楕円振動を発生する、表
面波型とも呼ばれる進行波型と、特開昭60−1872
71号公報に示されているように、定在波振動による楕
円振動を励起する定在波型との2種類のタイプのものが
あり、更に定在波型のものには、結合子型、キラツキ型
等、数多くのタイプのものが発表されている。そして、
カメラ分野では上記進行波型のものが実用化されており
、更に現在使用されている複数個のDCモータのUSM
への置換が行なわれつつある。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、上述のように数々の利点を有するUSMも、
これを効率良く働らかせるための駆動回路の方は、DC
モータの駆動回路に較べ、その回路規模が大きくなり、
これに伴ってコストも上昇する。このことはカメラのよ
うに、特にそのコンパクト性が重要視される分野におい
ては問題であり、また各USM毎に専用の駆動回路を設
けるとなると、スペース的にもコスト的にも話手をかざ
してDCモータをUSMに置換することはできない。特
に異なるタイプの複数個の超音波モータを駆動する場合
には、上記の欠点が顕著に現われる。
これを効率良く働らかせるための駆動回路の方は、DC
モータの駆動回路に較べ、その回路規模が大きくなり、
これに伴ってコストも上昇する。このことはカメラのよ
うに、特にそのコンパクト性が重要視される分野におい
ては問題であり、また各USM毎に専用の駆動回路を設
けるとなると、スペース的にもコスト的にも話手をかざ
してDCモータをUSMに置換することはできない。特
に異なるタイプの複数個の超音波モータを駆動する場合
には、上記の欠点が顕著に現われる。
従って、ここに−工夫を要する。
本発明の目的は、上記の問題点を解消し、一つの駆動回
路で複数個のUSMを駆動でき、安価で省スペース化の
行なえる超音波モータの駆動回路を提供するにある。
路で複数個のUSMを駆動でき、安価で省スペース化の
行なえる超音波モータの駆動回路を提供するにある。
[課題を解決するための手段および作用コ本発明は、上
記目的を達成するために、複数個のUSMのうちの駆動
すべき所望のUSMを選択するモータ選択手段と、この
選択されたUSMの駆動に適した周波数の交流駆動電圧
を上記USMの圧電体に印加する□駆動周波数選択手段
とを具備するUSMの駆動回路において、上記駆動周波
数選択手段における周波数の設定をPLL (phas
e 1ocked 1oop)周波数シンセサイザ
で行なうことを特徴としたものである。
記目的を達成するために、複数個のUSMのうちの駆動
すべき所望のUSMを選択するモータ選択手段と、この
選択されたUSMの駆動に適した周波数の交流駆動電圧
を上記USMの圧電体に印加する□駆動周波数選択手段
とを具備するUSMの駆動回路において、上記駆動周波
数選択手段における周波数の設定をPLL (phas
e 1ocked 1oop)周波数シンセサイザ
で行なうことを特徴としたものである。
[実 施 例] ・
以下、図示の一実施例により本発明を説明する。
本実施例の駆動回路は、2種類のUSM、即ち、進行波
型のUSMとねじり結合子型の定在波型USMとの2種
類のU 、S Mを、複数個のUSMとして有する場合
の駆動回路について説明する。周知の通り、進行波型の
USMは、駆動電圧として90°位相のずれた2相の、
周波数の適した交流電圧が用いられ、これを圧電体の各
電極にそれぞれ印加する。また定在波型のUSMは、駆
動電圧に単相の正弦波からなる、周波数の適した交流電
圧が圧電体に印加されるようになっている。
型のUSMとねじり結合子型の定在波型USMとの2種
類のU 、S Mを、複数個のUSMとして有する場合
の駆動回路について説明する。周知の通り、進行波型の
USMは、駆動電圧として90°位相のずれた2相の、
周波数の適した交流電圧が用いられ、これを圧電体の各
電極にそれぞれ印加する。また定在波型のUSMは、駆
動電圧に単相の正弦波からなる、周波数の適した交流電
圧が圧電体に印加されるようになっている。
本実施例のUSMの駆動回路は、第1図のように構成さ
れている。即ち、電圧制御発振器(VCO)3からの発
振周波数fの信号は、分配器4に導入され、ここでUS
M9.10を駆動するのに必要な正弦波を得るために、
90°づつの位相差のある4つの信号φ。、φ1.φ2
.φ3 (第5図参照)に分けられる。そして、この信
号はUSM切換回路5に入力される。この切換回路5で
は、上述のように進行波型のUSMIOを駆動するには
2相の正弦波が、またねじり結合子型(定在波型)のU
SM9を駆動するには単相の正弦波がそれぞれ必要であ
るため、この必要な信号がマイクロコンピュータ(以下
、マイコンという)1からの指令に基づいて切換制御さ
れる。即ち、このマイコン1と上記切換回路5と2は1
.USM9.10のうちの駆動すべき所望のUSMを選
択するモー夕選択手段を構成している。そして、選択さ
れた駆動すべきUSMに合った信号は、出力回路6また
は出力回路7,8を経てUSM9またはUSMloに印
加される。
れている。即ち、電圧制御発振器(VCO)3からの発
振周波数fの信号は、分配器4に導入され、ここでUS
M9.10を駆動するのに必要な正弦波を得るために、
90°づつの位相差のある4つの信号φ。、φ1.φ2
.φ3 (第5図参照)に分けられる。そして、この信
号はUSM切換回路5に入力される。この切換回路5で
は、上述のように進行波型のUSMIOを駆動するには
2相の正弦波が、またねじり結合子型(定在波型)のU
SM9を駆動するには単相の正弦波がそれぞれ必要であ
るため、この必要な信号がマイクロコンピュータ(以下
、マイコンという)1からの指令に基づいて切換制御さ
れる。即ち、このマイコン1と上記切換回路5と2は1
.USM9.10のうちの駆動すべき所望のUSMを選
択するモー夕選択手段を構成している。そして、選択さ
れた駆動すべきUSMに合った信号は、出力回路6また
は出力回路7,8を経てUSM9またはUSMloに印
加される。
一方、USM9またはUSMIOを選択するとき、US
M9.USMloの共振周波数は当然界なるため、駆動
周波数を各USM毎の共振周波数に合わせる必要があり
、駆動周波数を適した周波数に選択しなければならない
。本発明においては、この各USMの駆動周波数がPL
L周波数シンセサイザ2に設定されていて、マイコン1
のUSMの選択に伴って、このシンセサイザ2の出力電
圧に応じてVCO3の発振周波数を変化させるようにな
っている。
M9.USMloの共振周波数は当然界なるため、駆動
周波数を各USM毎の共振周波数に合わせる必要があり
、駆動周波数を適した周波数に選択しなければならない
。本発明においては、この各USMの駆動周波数がPL
L周波数シンセサイザ2に設定されていて、マイコン1
のUSMの選択に伴って、このシンセサイザ2の出力電
圧に応じてVCO3の発振周波数を変化させるようにな
っている。
次に、このPLL周波、数シンセサイザ2による周波数
設定の様子を、第2図によって説明すると、発振器2d
には基準信号を発振する水晶振動子(X’ tal )
2 eが接続されていて、基準周波数foが出力され
ている。そして、PLL周波数シンセサイザ2内のメイ
ンディバイダ2bとりファレンスディバイダ2cの分周
比を決定するために、上記マイコン1からディバイダデ
ータかパラレル出力されてシンセサイザ2内に入力され
ており、このパラレルデータはP/S変換器(パラレル
−シリアル変換器)2aによってシリアルデータとして
、それぞれ上記ディバイダ2b、2cに入力している。
設定の様子を、第2図によって説明すると、発振器2d
には基準信号を発振する水晶振動子(X’ tal )
2 eが接続されていて、基準周波数foが出力され
ている。そして、PLL周波数シンセサイザ2内のメイ
ンディバイダ2bとりファレンスディバイダ2cの分周
比を決定するために、上記マイコン1からディバイダデ
ータかパラレル出力されてシンセサイザ2内に入力され
ており、このパラレルデータはP/S変換器(パラレル
−シリアル変換器)2aによってシリアルデータとして
、それぞれ上記ディバイダ2b、2cに入力している。
今、メインディバイダ2bの分周比1/n1リフアレン
スデイバイダ2cの分周比1 / mとなるようにデー
タ設定をすると、リファレンスディハイダ2Cの出力周
波数はf o / mとなる。またVCOBの出力周波
数をfとすると、メインディバイダ2bの出力周波数は
f / nとなり、このf o / mとf / nの
両信号を位相比較器2fに入力し、ここで両信号の位相
比較を行なう。この位相比較器2fでは両信号の位相誤
差を出力信号としてループフィルタ2gに入力する。ル
ープフィルタ2gでは、この信号を平滑して発振周波数
コントロール電圧を発生し、この発振周波数コントわさ
れる発振周波数の信号を出力する。
スデイバイダ2cの分周比1 / mとなるようにデー
タ設定をすると、リファレンスディハイダ2Cの出力周
波数はf o / mとなる。またVCOBの出力周波
数をfとすると、メインディバイダ2bの出力周波数は
f / nとなり、このf o / mとf / nの
両信号を位相比較器2fに入力し、ここで両信号の位相
比較を行なう。この位相比較器2fでは両信号の位相誤
差を出力信号としてループフィルタ2gに入力する。ル
ープフィルタ2gでは、この信号を平滑して発振周波数
コントロール電圧を発生し、この発振周波数コントわさ
れる発振周波数の信号を出力する。
次に、このことを今少し具体的に数値を入れて説明する
と、定在波型のUSM9の駆動周波数が、例えば51K
Hzの場合と、進行波型のUSMloの駆動周波数が、
例えば32KHzの場合を考える。このとき、発振周波
数は駆動周波数の4倍であり、また水晶振動子2eの発
振周波数はIMHzとする。
と、定在波型のUSM9の駆動周波数が、例えば51K
Hzの場合と、進行波型のUSMloの駆動周波数が、
例えば32KHzの場合を考える。このとき、発振周波
数は駆動周波数の4倍であり、また水晶振動子2eの発
振周波数はIMHzとする。
先ず、USM9の場合、リファレンス周波数を設定する
ため、上記P/S変換器2aの出力が、1100001
1010100、、となるように、マイコン1からデー
タを出力し、この値をリファレンスディバイダ2cに取
り込む。110000110101002=L2500
1oたからリファレンスディバイダ2cの分周比1 /
mは1 / m = 1 / 12500となり、そ
の出力はIMHz/12500−80Hzとなる。次に
、メインディバイダ2bの分周比1 / nを設定する
ために、P/S変換器2aの出力か、100111.1
101102 (=25501o)となるようにマイコ
ン1からデータを出力し、この値をメインディバイダ2
bに取り込む。この結果、VCOその1/4の51KH
zがUSM9の駆動周波数となる。
ため、上記P/S変換器2aの出力が、1100001
1010100、、となるように、マイコン1からデー
タを出力し、この値をリファレンスディバイダ2cに取
り込む。110000110101002=L2500
1oたからリファレンスディバイダ2cの分周比1 /
mは1 / m = 1 / 12500となり、そ
の出力はIMHz/12500−80Hzとなる。次に
、メインディバイダ2bの分周比1 / nを設定する
ために、P/S変換器2aの出力か、100111.1
101102 (=25501o)となるようにマイコ
ン1からデータを出力し、この値をメインディバイダ2
bに取り込む。この結果、VCOその1/4の51KH
zがUSM9の駆動周波数となる。
次に、USMloの場合、ソファレンズディバイダ2C
の分周比1 / m = 1 / 12500としてメ
インディバイダ2bの分周比1 / nを設定する。P
/S変換器2aの出力かl l 0010000002
(=160010)となるようにマイコン1からデータ
を出力する。これをメインディバイダ2bに取り込むと
、分周比1/n=1/1800となり、VCを得る。そ
の結果、USMIOの駆動周波数128KHz −= 32 K Hzが設定されたことになる。
の分周比1 / m = 1 / 12500としてメ
インディバイダ2bの分周比1 / nを設定する。P
/S変換器2aの出力かl l 0010000002
(=160010)となるようにマイコン1からデータ
を出力する。これをメインディバイダ2bに取り込むと
、分周比1/n=1/1800となり、VCを得る。そ
の結果、USMIOの駆動周波数128KHz −= 32 K Hzが設定されたことになる。
このようにしてマイコン1から各ディバイダの分周比を
設定することで、瞬時に任意の駆動周波数を発振するこ
とができる。
設定することで、瞬時に任意の駆動周波数を発振するこ
とができる。
また、上記USM切換回路5は、第3図に示すように複
数個のアナログスイッチ5a〜5hで構成されており、
分配器4からの出力信号φ。〜φ3をマイコン1からの
制御信号φによりa系統とb系統の2系統の信号に切り
換える。第1図に示した本実施例では、上記2系統の信
号のうち、φ。3.φ1aを出力回路6(第1図参照)
に入力信号X9 、Y9として導入し、ねじり結合子型
のUSM9の駆動用として、φ。5.φ15.φ26.
φ35を出力回路7,8(第1図参照)に入力信号Xi
o’Y X’、Y’ としてそれぞれ入力して進1
0° 1010 行波型USMIOの駆動用として割り付ける。
数個のアナログスイッチ5a〜5hで構成されており、
分配器4からの出力信号φ。〜φ3をマイコン1からの
制御信号φによりa系統とb系統の2系統の信号に切り
換える。第1図に示した本実施例では、上記2系統の信
号のうち、φ。3.φ1aを出力回路6(第1図参照)
に入力信号X9 、Y9として導入し、ねじり結合子型
のUSM9の駆動用として、φ。5.φ15.φ26.
φ35を出力回路7,8(第1図参照)に入力信号Xi
o’Y X’、Y’ としてそれぞれ入力して進1
0° 1010 行波型USMIOの駆動用として割り付ける。
上記出力回路6および7,8は、第4図にそのうちの一
つの具体的な回路例を示すように、抵抗11A、12A
、)ランジスタ13Aおよび抵抗11B、12B、)ラ
ンジスタ1BBと結合トランス14とからなるトランス
結合のプッシュプル接続の構成となっており、トランス
14の二次側の出力は、USM9 (10)の圧電体に
印加されるようになっている。
つの具体的な回路例を示すように、抵抗11A、12A
、)ランジスタ13Aおよび抵抗11B、12B、)ラ
ンジスタ1BBと結合トランス14とからなるトランス
結合のプッシュプル接続の構成となっており、トランス
14の二次側の出力は、USM9 (10)の圧電体に
印加されるようになっている。
このように本発明の駆動回路では、複数個のUSMのう
ち、所望の駆動すべきUSMを、マイコンの制御信号で
切り換わるスイッチ手段によって選択し、その選択した
USMの適正駆動周波数の設定をPLL′Ji!il波
数シンセサイザで行なうようにしたので、周波数設定時
の時間を簡略化できると共に、一つの駆動回路で異なる
種類の複数個のUSMを駆動することができる。
ち、所望の駆動すべきUSMを、マイコンの制御信号で
切り換わるスイッチ手段によって選択し、その選択した
USMの適正駆動周波数の設定をPLL′Ji!il波
数シンセサイザで行なうようにしたので、周波数設定時
の時間を簡略化できると共に、一つの駆動回路で異なる
種類の複数個のUSMを駆動することができる。
また、上記実施例は、ねじり結合子型のUSMと進行波
型のUSMとの2個のUSMを一つの駆動回路によって
切り換える場合について述べたが、USMの種類は他に
キラツキ型のものでも良いことは勿論であり二また組合
わせも自由である。更に同種類の複数個のUSMを切り
換えてもよい。
型のUSMとの2個のUSMを一つの駆動回路によって
切り換える場合について述べたが、USMの種類は他に
キラツキ型のものでも良いことは勿論であり二また組合
わせも自由である。更に同種類の複数個のUSMを切り
換えてもよい。
また個数については、USM切換回路の接点数と出力回
路を用意すれば、上記実施例で示したものと同様の手段
で複数個のUSMを駆動できることは言う迄もない。
路を用意すれば、上記実施例で示したものと同様の手段
で複数個のUSMを駆動できることは言う迄もない。
し発明の効果]
以上述べたように本発明によれば、選択するUSMに合
わせた出力回路の切換に伴い、各USMの共振周波数に
合った駆動周波数の設定を、PLり周波数シンセサイザ
を使うことにより簡単に行なえるため、複数の、しかも
種類の異なるUSMを、一つの駆動回路で動作させるこ
とができる。
わせた出力回路の切換に伴い、各USMの共振周波数に
合った駆動周波数の設定を、PLり周波数シンセサイザ
を使うことにより簡単に行なえるため、複数の、しかも
種類の異なるUSMを、一つの駆動回路で動作させるこ
とができる。
その結果、回路規模も小さく抑えて省スペース化を行な
え、かつコスト的にも安価となり、従来の問題を除去し
たUSMの駆動回路を提供することができる。
え、かつコスト的にも安価となり、従来の問題を除去し
たUSMの駆動回路を提供することができる。
第1図は、本発明の一実施例を示す超音波モータの駆動
回路のブロック構成図、 第2図は、上記第1図中のPLL周波数シンセサイザの
具体的な回路構成を示すブロック図、第3図は上記第1
図中の切換回路の具体的な電気回路を示す線図、 第4図は上記第1図中の出力回路の具体的な電気回路を
示す線図、 第5図は、上記第1図中の分配器の出力波形図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・マイコン(モータ選
択手段)2・・・・・・・・・・・・・・・PLL周波
数シンセサイザ(駆動周波数選択手段) 3・・・・・・・・・・・・・・・電圧制御発振器(V
CO)4・・・・・・・・・・・・・・・分配器(モ
ータ選択手段)5・・・・・・・・・・・・・・・切換
回路(モータ選択手段)9.10・・・・・・超音波モ
ータ
回路のブロック構成図、 第2図は、上記第1図中のPLL周波数シンセサイザの
具体的な回路構成を示すブロック図、第3図は上記第1
図中の切換回路の具体的な電気回路を示す線図、 第4図は上記第1図中の出力回路の具体的な電気回路を
示す線図、 第5図は、上記第1図中の分配器の出力波形図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・マイコン(モータ選
択手段)2・・・・・・・・・・・・・・・PLL周波
数シンセサイザ(駆動周波数選択手段) 3・・・・・・・・・・・・・・・電圧制御発振器(V
CO)4・・・・・・・・・・・・・・・分配器(モ
ータ選択手段)5・・・・・・・・・・・・・・・切換
回路(モータ選択手段)9.10・・・・・・超音波モ
ータ
Claims (1)
- (1)圧電体に交流駆動電圧を印加して超音波振動を発
生させて、この超音波振動により移動体を駆動する超音
波モータを複数個有していて、そのうちの駆動すべき超
音波モータを選択するモータ選択手段と、 このモータ選択手段の選択に伴なって、選択された超音
波モータの駆動に適した周波数の交流駆動電圧を、上記
超音波モータの圧電体に印加する駆動周波数選択手段と
、 を具備する超音波モータの駆動回路において、上記駆動
周波数選択手段は、PLL周波数シンセサイザにより、
周波数を変化させるようにしたことを特徴とする超音波
モータの駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63053362A JPH01227671A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 超音波モータの駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63053362A JPH01227671A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 超音波モータの駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227671A true JPH01227671A (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=12940695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63053362A Pending JPH01227671A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 超音波モータの駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01227671A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01264578A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-20 | Diesel Kiki Co Ltd | 超音波モータ制御装置 |
| JP2008155115A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧電振動子の駆動装置および超音波美顔装置 |
| JP2010245647A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Canon Inc | 圧電素子の駆動回路及び異物除去装置 |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP63053362A patent/JPH01227671A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01264578A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-20 | Diesel Kiki Co Ltd | 超音波モータ制御装置 |
| JP2008155115A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧電振動子の駆動装置および超音波美顔装置 |
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| US8471436B2 (en) | 2009-04-01 | 2013-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element drive circuit and foreign substance removing apparatus |
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