JPH01229202A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
多層膜反射鏡Info
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- JPH01229202A JPH01229202A JP5569588A JP5569588A JPH01229202A JP H01229202 A JPH01229202 A JP H01229202A JP 5569588 A JP5569588 A JP 5569588A JP 5569588 A JP5569588 A JP 5569588A JP H01229202 A JPH01229202 A JP H01229202A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明線、投光照明などに使用される多層膜反射鏡、特
に冷光鏡を基本とし耐熱性・耐湿性にすぐれた多層膜反
射鏡に関する。
に冷光鏡を基本とし耐熱性・耐湿性にすぐれた多層膜反
射鏡に関する。
従来、冷光鏡を基体とする多層膜反射鏡は、投映器１店
舗用照明、医療用照明等の光源用として多く使用されて
いるが、可視光をできるだけ反射し、長波長の赤外域を
透過させることにより、照明された物体が熱線によって
加熱されることを少なくシ、かつ熱線が多層膜を通過す
る際には基板が加熱されない特長をもっている。この多
層膜反射鏡は、反射基板面に高屈折率材料の薄膜と低屈
折率材料の薄膜とを、真空蒸着法によシ交互に積層して
多層膜が形成され、積層される材料の屈折率の比が大き
い程、高い反射率と広い反射帯を有するものでおる。一
般に、硫化亜鉛（Ｚｎ８）と弗化マグネシウム（ＭｇＦ
２）との薄膜を交互に積層したＺ ｎ ８ ／ Ｍ ｇ
Ｆｚ交互層、または硫化亜鉛と酸化珪素（８ｉＯ□）
との薄膜を交互に積層したＺｎ８／８ｉ０□交互層が、
反射鏡の多層膜として採用されている。
舗用照明、医療用照明等の光源用として多く使用されて
いるが、可視光をできるだけ反射し、長波長の赤外域を
透過させることにより、照明された物体が熱線によって
加熱されることを少なくシ、かつ熱線が多層膜を通過す
る際には基板が加熱されない特長をもっている。この多
層膜反射鏡は、反射基板面に高屈折率材料の薄膜と低屈
折率材料の薄膜とを、真空蒸着法によシ交互に積層して
多層膜が形成され、積層される材料の屈折率の比が大き
い程、高い反射率と広い反射帯を有するものでおる。一
般に、硫化亜鉛（Ｚｎ８）と弗化マグネシウム（ＭｇＦ
２）との薄膜を交互に積層したＺ ｎ ８ ／ Ｍ ｇ
Ｆｚ交互層、または硫化亜鉛と酸化珪素（８ｉＯ□）
との薄膜を交互に積層したＺｎ８／８ｉ０□交互層が、
反射鏡の多層膜として採用されている。
ＺｎＳ ７ＭｇＦ２ 交互層またはＺ ｎ Ｓ ／ ８
ｔ Ｏ２交互層を被着した多層膜反射鏡について、ラ
ンプ点灯時および高温多湿の雰囲気内に放置したときの
膜の剥離発生時間を第１表に示す。ランプ点灯による熱
負荷は３００℃および３５０℃で必シ、高温多湿の雰囲
気は温度５０℃、湿度９０％の雰囲気内に反射鏡を放置
した場合である。
ｔ Ｏ２交互層を被着した多層膜反射鏡について、ラ
ンプ点灯時および高温多湿の雰囲気内に放置したときの
膜の剥離発生時間を第１表に示す。ランプ点灯による熱
負荷は３００℃および３５０℃で必シ、高温多湿の雰囲
気は温度５０℃、湿度９０％の雰囲気内に反射鏡を放置
した場合である。
第１表
Ｚ ｎ ８７Ｍ ｇ Ｆ ２糸条層膜は、耐湿性はよい
が耐熱性に劣るため、比較的熱負荷が低く長寿命の光源
たとえば低出力・長寿命型ハロゲンランプに適用されて
いる。Ｚ ｎ ８ ／ Ｓ ｉ Ｏｚ系系層層膜、耐熱
性はよいが耐湿性に劣るため、熱負荷が高く短寿命の光
源、たとえば高出力・短寿命型ハロゲンランプに適用さ
れている。
が耐熱性に劣るため、比較的熱負荷が低く長寿命の光源
たとえば低出力・長寿命型ハロゲンランプに適用されて
いる。Ｚ ｎ ８ ／ Ｓ ｉ Ｏｚ系系層層膜、耐熱
性はよいが耐湿性に劣るため、熱負荷が高く短寿命の光
源、たとえば高出力・短寿命型ハロゲンランプに適用さ
れている。
また、上記の多層膜を形成する場合の真空蒸着法による
薄膜は、膜の柱状成長のために多孔質な膜となりＳ膜密
度が低くなる。真空蒸着法における各成膜材料の機密度
を第２表に示す。
薄膜は、膜の柱状成長のために多孔質な膜となりＳ膜密
度が低くなる。真空蒸着法における各成膜材料の機密度
を第２表に示す。
第２表
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の多層膜反射鏡は、その多層膜の膜密度が低く耐熱
性・耐湿性のいずれかの特性で欠点を有するために、光
源の性能に応じて適当するものを選択して使用しなけれ
ばならなかった。しかるに光源の高出力化・長寿命化が
進むにつれて、多層膜の耐熱性および耐湿性を強化する
ことが要望されるようになった。
性・耐湿性のいずれかの特性で欠点を有するために、光
源の性能に応じて適当するものを選択して使用しなけれ
ばならなかった。しかるに光源の高出力化・長寿命化が
進むにつれて、多層膜の耐熱性および耐湿性を強化する
ことが要望されるようになった。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、Ｚｎ８／
ＭｇＦ２系多層膜の膜密度を高密度化して、耐熱性およ
び耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡を提供することを目的
とする。
ＭｇＦ２系多層膜の膜密度を高密度化して、耐熱性およ
び耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡を提供することを目的
とする。
本発明は上記の目的を達成するために、蒸着材料のガス
をイオン化して、基体に被着するイオンブレーティング
法によｐ１高位の膜密度を有する多層膜を形成したもの
である。すなわち、反射基板面に硫化亜鉛の薄膜と弗化
マグネシウムの薄膜とを交互に積層してなる多層膜反射
鏡において、硫化亜鉛の薄膜の膜密度が０．９６以上、
弗化マグネシウムの薄膜の膜＠度が０．９８以上なる機
密度特性を有する多層膜反射鏡である。
をイオン化して、基体に被着するイオンブレーティング
法によｐ１高位の膜密度を有する多層膜を形成したもの
である。すなわち、反射基板面に硫化亜鉛の薄膜と弗化
マグネシウムの薄膜とを交互に積層してなる多層膜反射
鏡において、硫化亜鉛の薄膜の膜密度が０．９６以上、
弗化マグネシウムの薄膜の膜＠度が０．９８以上なる機
密度特性を有する多層膜反射鏡である。
本発明の多層膜反射鏡はイオンブレーティング法によシ
多層膜が形成されているので、従来の真空蒸着による多
層膜よυも膜＠度が大きくなり、耐熱性および耐湿性を
大幅に向上させることができる。硫化亜鉛および弗化マ
グネシウムの機密度が多層膜の耐熱性および耐湿性にお
よほす影響について、機密度ｔ一種々変更した多層膜反
射鏡における、ランプ点灯時および嵩温多湿の雰囲気内
に放置したときの膜の剥離発生時間を第３表に示す。
多層膜が形成されているので、従来の真空蒸着による多
層膜よυも膜＠度が大きくなり、耐熱性および耐湿性を
大幅に向上させることができる。硫化亜鉛および弗化マ
グネシウムの機密度が多層膜の耐熱性および耐湿性にお
よほす影響について、機密度ｔ一種々変更した多層膜反
射鏡における、ランプ点灯時および嵩温多湿の雰囲気内
に放置したときの膜の剥離発生時間を第３表に示す。
表中、高温多溝の雰囲気は温度５０℃、湿度９０％であ
る。
る。
第３表
第３表から明らかなように、硫化亜鉛および弗化マグネ
シウムのｆｌｍの膜＠度が大きくなるほど耐熱性および
耐湿性が向上し、本発明の多層膜反射鏡の膜密度特性、
すなわち硫化亜鉛の機密度が０．９６以上、かつ弗化マ
グネシウムの機密度が０．９８以上になると、耐熱性お
よび耐湿性はほぼ最高値に達して安定する。
シウムのｆｌｍの膜＠度が大きくなるほど耐熱性および
耐湿性が向上し、本発明の多層膜反射鏡の膜密度特性、
すなわち硫化亜鉛の機密度が０．９６以上、かつ弗化マ
グネシウムの機密度が０．９８以上になると、耐熱性お
よび耐湿性はほぼ最高値に達して安定する。
本発明の実施例について図面を診照して説明する。
硬質ガラスからなるハロゲンランプ用反射＊ （１１は
、その−面金拡開させた回転放物状の凹５（２）を形成
し、四部（２）の中心に位置するようにハロゲンランプ
（３）が装着されている。Ｉ！！ｌＩ９． （２１上に
被着された多層膜（４）は、Ｚ ｎ ８ ／ Ｍ ｇ
Ｐ２構成の２５層からなる光学膜厚１／４λの交互層（
λ１−１３ ＝ ６００１ｍ。
、その−面金拡開させた回転放物状の凹５（２）を形成
し、四部（２）の中心に位置するようにハロゲンランプ
（３）が装着されている。Ｉ！！ｌＩ９． （２１上に
被着された多層膜（４）は、Ｚ ｎ ８ ／ Ｍ ｇ
Ｐ２構成の２５層からなる光学膜厚１／４λの交互層（
λ１−１３ ＝ ６００１ｍ。
λ１４〜２５ ＝ ４５０ ｎｍ ）である。すなわち
、ＺｎＳからなる高屈折率材料を同とし、ＭｇＦ２から
なる低屈折率材料を（Ｌ）とした場合、この（ハ）とＣ
Ｌ）とを交互に６回計１２層被潰し、これに（５）を１
層付加して計１３層となし、さらに（Ｌ）と（ロ）とを
交互に６回計１２層を積層被層したものである。そして
これら被膜の形成はすべてイオンブレーティング成膜に
よって行々われる。
、ＺｎＳからなる高屈折率材料を同とし、ＭｇＦ２から
なる低屈折率材料を（Ｌ）とした場合、この（ハ）とＣ
Ｌ）とを交互に６回計１２層被潰し、これに（５）を１
層付加して計１３層となし、さらに（Ｌ）と（ロ）とを
交互に６回計１２層を積層被層したものである。そして
これら被膜の形成はすべてイオンブレーティング成膜に
よって行々われる。
上記の多、ｒｗ展の成膜条件は、アルゴンガスを導入し
た真空圧８ Ｘ １０”” 〜Ｉ Ｘ １０−’ ）−
ｙｖ、ａｕｇ波出力５０Ｗ〜１０謂、直流バイアス０〜
１ｏＫｖ１基板温度１００〜３００℃、蒸発源は抵抗加
熱（Ｚｎ８ ）と電子ビーム（ＭｇＦ２）である。なお
成膜前に上記の条件でプラズマクリーニングを行なう。
た真空圧８ Ｘ １０”” 〜Ｉ Ｘ １０−’ ）−
ｙｖ、ａｕｇ波出力５０Ｗ〜１０謂、直流バイアス０〜
１ｏＫｖ１基板温度１００〜３００℃、蒸発源は抵抗加
熱（Ｚｎ８ ）と電子ビーム（ＭｇＦ２）である。なお
成膜前に上記の条件でプラズマクリーニングを行なう。
このように構成された多層膜反射鏡について、多層膜の
膜密度、ランプ点灯時および高温多湿の雰囲気内に放置
したときの膜の剥離発生時間を第４表に示す。ランプ点
灯による熱負荷は３００℃と３５０℃であシ、高温多湿
の雰囲気は温度５０℃、湿度９０％である。
膜密度、ランプ点灯時および高温多湿の雰囲気内に放置
したときの膜の剥離発生時間を第４表に示す。ランプ点
灯による熱負荷は３００℃と３５０℃であシ、高温多湿
の雰囲気は温度５０℃、湿度９０％である。
第 ４ 表
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
イオンアシスト法によシ多層膜を被着しても同様の効果
を得ることができる。またＺｎＳ／８１０２系多層膜に
おいても高換密度化にょｐ同等の効果が得られる。
イオンアシスト法によシ多層膜を被着しても同様の効果
を得ることができる。またＺｎＳ／８１０２系多層膜に
おいても高換密度化にょｐ同等の効果が得られる。
本発明は上述のように構成された多層膜反射鏡であｐ１
高位の膜密度特性を有しているので、従来よりも格段に
すぐれた耐熱性および耐湿性が得られ、高出力・長寿命
型ハロゲンランプ等の光源に十分適合することができる
。
高位の膜密度特性を有しているので、従来よりも格段に
すぐれた耐熱性および耐湿性が得られ、高出力・長寿命
型ハロゲンランプ等の光源に十分適合することができる
。
図面は本発明の実施例を示す断面図である。
Claims (1)
- 反射基板面に硫化亜鉛の薄膜と弗化マグネシウムの薄
膜とを交互に積層してなる多層膜反射鏡において、硫化
亜鉛の薄膜の膜密度が０．９６以上、弗化マグネシウム
の薄膜の膜密度が０．９８以上なる膜密度特性を有する
多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5569588A JPH01229202A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5569588A JPH01229202A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01229202A true JPH01229202A (ja) | 1989-09-12 |
Family
ID=13006028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5569588A Pending JPH01229202A (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | 多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01229202A (ja) |
-
1988
- 1988-03-09 JP JP5569588A patent/JPH01229202A/ja active Pending
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