JPH01231017A - レーザ用光学素子 - Google Patents
レーザ用光学素子Info
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- JPH01231017A JPH01231017A JP5858488A JP5858488A JPH01231017A JP H01231017 A JPH01231017 A JP H01231017A JP 5858488 A JP5858488 A JP 5858488A JP 5858488 A JP5858488 A JP 5858488A JP H01231017 A JPH01231017 A JP H01231017A
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- Japan
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- elastic bodies
- optical element
- laser
- scattered light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はエキシマレーザ用光学素子のコーティングに
関するものである。
関するものである。
第２図は例えば雑誌「Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｅ、Ｌｅｔｔ、
Ｊ ４４（１９８４） ６５Ｅｌに示された従来のエキ
シマレーザをもとてエキシマレーザに関してどのような
光学素子が使われるかを示す構成図である。図において
、（１）は放電部、（２）は部分反射鏡、（３）は全反
射鏡、（４）はレーザビーム、（５） −ｆ６）は窓、
（９ａ）、（９ｂ）、（９ｃ）はエタロン、αＩＨビー
ムスプリッタ、α刀はレンズ、（イ）はパワーメータで
ある。また、第３図は２ぐ、窓。
Ｊ ４４（１９８４） ６５Ｅｌに示された従来のエキ
シマレーザをもとてエキシマレーザに関してどのような
光学素子が使われるかを示す構成図である。図において
、（１）は放電部、（２）は部分反射鏡、（３）は全反
射鏡、（４）はレーザビーム、（５） −ｆ６）は窓、
（９ａ）、（９ｂ）、（９ｃ）はエタロン、αＩＨビー
ムスプリッタ、α刀はレンズ、（イ）はパワーメータで
ある。また、第３図は２ぐ、窓。
ビームスプリッタ、レンズ等光学素子の部分拡大断面図
であ−１７、Ｇｌｔ−ｊｌｔｔ乱光、Ｑ４） ｉｊ Ｏ
リング、（５１）は光学素子本体の、ここでは窓を保持
するホルダである。
であ−１７、Ｇｌｔ−ｊｌｔｔ乱光、Ｑ４） ｉｊ Ｏ
リング、（５１）は光学素子本体の、ここでは窓を保持
するホルダである。
次に動作について説明する。放電部（１）をはさんで、
部分反射鏡（２）と全反射鏡（３）よりなる光共振器を
組むと放電部＋０で発生した光は光共振器を往復するう
ちに増幅され、レーザビーム（４）となる。ただエキシ
マレーザの場合は、波長幅が広いので、光共振器中に分
光素子を入れることてよって狭帯域化することができる
。例えば第２図では３穐類のエタロン（９ａ） 、（ρ
ｂ）、（９ｃ）を挿入している。
部分反射鏡（２）と全反射鏡（３）よりなる光共振器を
組むと放電部＋０で発生した光は光共振器を往復するう
ちに増幅され、レーザビーム（４）となる。ただエキシ
マレーザの場合は、波長幅が広いので、光共振器中に分
光素子を入れることてよって狭帯域化することができる
。例えば第２図では３穐類のエタロン（９ａ） 、（ρ
ｂ）、（９ｃ）を挿入している。
また、図示されていないが、エタロンのうちエアギャッ
プタイプのもの（９′ｂ）は、気圧変動てより、選択波
長がかわる。そこで例えばｍｕ ｒ Ａｐｐｌ、Ｏｐｔ
。
プタイプのもの（９′ｂ）は、気圧変動てより、選択波
長がかわる。そこで例えばｍｕ ｒ Ａｐｐｌ、Ｏｐｔ
。
Ｊ １３ （１９７４） １６２５に示されたように、
エアギャップエタロンは気密室に入れる場合がある（第
４図）。この場合、気密室にはレーザビームを通すため
の窓を力昌８）が必要でわる０ さらにレーザビームの一部を用いてノくワーをモニタす
る場合を考えてみると第２図に示されたよウニ、ビーム
スプリッタＱｌとレンズｌ］１）と、ノ（ワーモニタ＠
が必要であろう。
エアギャップエタロンは気密室に入れる場合がある（第
４図）。この場合、気密室にはレーザビームを通すため
の窓を力昌８）が必要でわる０ さらにレーザビームの一部を用いてノくワーをモニタす
る場合を考えてみると第２図に示されたよウニ、ビーム
スプリッタＱｌとレンズｌ］１）と、ノ（ワーモニタ＠
が必要であろう。
このように、エキシマレーザてはきわめてたくさんの光
学素子が使われる。
学素子が使われる。
ところで、これらの光学素子はいかに保持されているの
だろうか。多くの場合、「レーザ研究」ｘｘ （１９８
３） ６９４にあるように、０リング等の弾性体に光学
素子本体を押しつけることによって保持している（第３
図）０ 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のエキシマレーザは以上の様にたくさんの光学部品
によって構成されていた。ところがこのように多くの素
子が存在すると、レーザビームが成孔され、思わぬ方向
に散乱光（２）が飛んでゆくＯこの光が０リング等の弾
性体に６たると弾性体は変質し、不純物が発生する０例
えば、よく用いられる弾性体材料であるパイトンは ＯＨ２のところにエキシマレーザの散乱光、すなわち紫
外線があたると結合が消け、炭素が発生する。
だろうか。多くの場合、「レーザ研究」ｘｘ （１９８
３） ６９４にあるように、０リング等の弾性体に光学
素子本体を押しつけることによって保持している（第３
図）０ 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のエキシマレーザは以上の様にたくさんの光学部品
によって構成されていた。ところがこのように多くの素
子が存在すると、レーザビームが成孔され、思わぬ方向
に散乱光（２）が飛んでゆくＯこの光が０リング等の弾
性体に６たると弾性体は変質し、不純物が発生する０例
えば、よく用いられる弾性体材料であるパイトンは ＯＨ２のところにエキシマレーザの散乱光、すなわち紫
外線があたると結合が消け、炭素が発生する。
この炭素が光学素子を汚す原因となっていた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので散乱光等のレーザ光がＯリング等の弾性体に達
しないようにして光学素子の汚れを少なくシ、レーザ出
力の低下のないエキシマレーザを得ることを目的とする
。
たもので散乱光等のレーザ光がＯリング等の弾性体に達
しないようにして光学素子の汚れを少なくシ、レーザ出
力の低下のないエキシマレーザを得ることを目的とする
。
この発明に係るレーザ用光学素子は、光学素子本体表面
の、弾性体との接触部に、上記弾性体に入射するレーザ
光を遮ヘイするコーテイング膜を施したものである。
の、弾性体との接触部に、上記弾性体に入射するレーザ
光を遮ヘイするコーテイング膜を施したものである。
この発明におけるコーテイング膜は、弾性体に入射する
散乱光等の入射レーザ光を蓮へイして、弾性体の劣化を
防ぐ０ 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例によるレーザ用光学素子を示す
部分拡大断面図であり、０均は弾性体Ｏ■に入射するレ
ーザ光を箔へイする高反射率コーティング膜、Ｈは無反
射コーテイング膜でちる。
散乱光等の入射レーザ光を蓮へイして、弾性体の劣化を
防ぐ０ 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例によるレーザ用光学素子を示す
部分拡大断面図であり、０均は弾性体Ｏ■に入射するレ
ーザ光を箔へイする高反射率コーティング膜、Ｈは無反
射コーテイング膜でちる。
次に各部の働きについて説明する。従来例でも説明した
ようにエキシマレーザにはきわめてたくさんの光学素子
が使われており、これらの素子からの散乱光ａ３がレー
ザ装置のまわりに充満している。これが光学素子本体と
、これを保持しているホルダとの間のＯリング等の弾性
体（１４に＄たると不純物が発生し、光学素子を汚すと
いう問題があった。そこで、散乱光による劣化の少ない
テフロンや、カルレツツ、あるいは柔かいインジウム等
の金属を用いることも考えられる。しかし、これらは高
価であったり、パイトン等のゴムにくらべるとかたく、
光学素子を歪ませる心配があった。
ようにエキシマレーザにはきわめてたくさんの光学素子
が使われており、これらの素子からの散乱光ａ３がレー
ザ装置のまわりに充満している。これが光学素子本体と
、これを保持しているホルダとの間のＯリング等の弾性
体（１４に＄たると不純物が発生し、光学素子を汚すと
いう問題があった。そこで、散乱光による劣化の少ない
テフロンや、カルレツツ、あるいは柔かいインジウム等
の金属を用いることも考えられる。しかし、これらは高
価であったり、パイトン等のゴムにくらべるとかたく、
光学素子を歪ませる心配があった。
そこで光学素子の、弾性体と接する面のうち、レーザビ
ームが通過する部分以外のところにＡｄ。
ームが通過する部分以外のところにＡｄ。
Ｔ１等の金属をコーティングした。コーテイング膜（至
）により散乱光α１の大部分は反射され、弾性体α論に
達しない。そのため、弾性体として安価で柔かいパイト
ンやシリコンゴムを利用できるようになった。このコー
テイング膜０Ｑは金鳴である必要はなく、誘重体多層膜
でもかまわない。また、コーティングｙＡＵのかわりに
、一般に光学材器で用いられるように無反射コーテイン
グ膜αＱを施こし、散乱光の量を減少させるのも効果が
ある。さらに両者を共用すれば効果は著しい。
）により散乱光α１の大部分は反射され、弾性体α論に
達しない。そのため、弾性体として安価で柔かいパイト
ンやシリコンゴムを利用できるようになった。このコー
テイング膜０Ｑは金鳴である必要はなく、誘重体多層膜
でもかまわない。また、コーティングｙＡＵのかわりに
、一般に光学材器で用いられるように無反射コーテイン
グ膜αＱを施こし、散乱光の量を減少させるのも効果が
ある。さらに両者を共用すれば効果は著しい。
また、第１図では光学素子として窓を示したがエタロン
、部分反射鏡、レンズ、ビームスプリッタ等でも上記と
同様の高反射率コーテイング膜を施こすことによシ、実
施例と同等の効果がおる。
、部分反射鏡、レンズ、ビームスプリッタ等でも上記と
同様の高反射率コーテイング膜を施こすことによシ、実
施例と同等の効果がおる。
また、弾性体としては、０リングα→を示したが、これ
に限るものではない。
に限るものではない。
以上のようをで、この発明てよれば光学素子本体表面の
、上記弾性体との接触部に、上記弾性体に入射するレー
ザ光を遮へイするコーテイング膜を施したので、弾性体
にレーザ光が達せず、弾性体の劣化が防げ、光学素子が
汚れにくくなる効果がある。
、上記弾性体との接触部に、上記弾性体に入射するレー
ザ光を遮へイするコーテイング膜を施したので、弾性体
にレーザ光が達せず、弾性体の劣化が防げ、光学素子が
汚れにくくなる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ用光学素子を
示す部分拡大断面図、第２図は従来のレーザ用光学素子
を用いたレーザ装置を示す構成図、第３図は従来のレー
ザ用プと字素子を示す部分拡大断面図、及び第４図は従
来のエアギャップエタロンを示す構成図である。 （５）・・・窓、（社）・・・光学素子本体、（５１）
・・・ホルダ、０・・・散乱光、（１４・・・０リング
、ＱＳ・・・高反射率コーティング膜 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
示す部分拡大断面図、第２図は従来のレーザ用光学素子
を用いたレーザ装置を示す構成図、第３図は従来のレー
ザ用プと字素子を示す部分拡大断面図、及び第４図は従
来のエアギャップエタロンを示す構成図である。 （５）・・・窓、（社）・・・光学素子本体、（５１）
・・・ホルダ、０・・・散乱光、（１４・・・０リング
、ＱＳ・・・高反射率コーティング膜 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- レーザ用光学素子本体、この光学素子本体を保持するホ
ルダ、このホルダと上記光学素子本体間に設けられた弾
性体、及び上記光学素子本体表面の、上記弾性体との接
触部に施され、上記弾性体に入射するレーザ光を遮ヘイ
するコーティング膜を備えたレーザ用光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63058584A JP2569700B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | レーザ用光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63058584A JP2569700B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | レーザ用光学素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01231017A true JPH01231017A (ja) | 1989-09-14 |
| JP2569700B2 JP2569700B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=13088515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63058584A Expired - Lifetime JP2569700B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | レーザ用光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569700B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009164371A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 |
| US12283786B2 (en) | 2020-07-06 | 2025-04-22 | Gigaphoton Inc. | Gas laser apparatus and electronic device manufacturing method |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP63058584A patent/JP2569700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009164371A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 |
| US12283786B2 (en) | 2020-07-06 | 2025-04-22 | Gigaphoton Inc. | Gas laser apparatus and electronic device manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2569700B2 (ja) | 1997-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 12 |