JPH01237396A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH01237396A JPH01237396A JP6336388A JP6336388A JPH01237396A JP H01237396 A JPH01237396 A JP H01237396A JP 6336388 A JP6336388 A JP 6336388A JP 6336388 A JP6336388 A JP 6336388A JP H01237396 A JPH01237396 A JP H01237396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge port
- pump
- vacuum pump
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、吐出口を大気圧とする真空ポンプに係り、特
に堆積しやすい物質を含む気体を排気するために好適な
真空ポンプに関する。
に堆積しやすい物質を含む気体を排気するために好適な
真空ポンプに関する。
近年、半導体製造装置等において清浄な真空を作り出す
ために、種々の真空ポンプが提案されている。この種の
真空ポンプとして、例えば特開昭６１−２４７８９３号
公報に記載されたものがある。
ために、種々の真空ポンプが提案されている。この種の
真空ポンプとして、例えば特開昭６１−２４７８９３号
公報に記載されたものがある。
この従来の真空ポンプは、第２図に示すように、吸込口
１および吐出口２を有するポンプケーシング３と、これ
の内部に設けられたポンプ機構部６と、モータ室８を有
するモータケーシング７と、前記モータ室８に設けられ
たモータ１１と、油潤滑軸受１３．１３により支持され
た駆動岬１２と、軸封部１４とを備えている。前記ポン
プ機構部６は、駆動軸１２に連結されたポンプロータ４
と、ポンプケーシング３に固定されたポンプステータ５
とを有し、多段に構成されている。前記モータ１１は、
駆動軸１２を回転させるモータロータ９と、モータケー
シング７に固定されたモータステータ１０とを有してい
る。前記軸封部１４には、シールドガス供給口１５を通
じてシールガスが供給され、このシールガスの一部は吸
込口１から流入した気体と一緒に吐出口２から排気され
、他の一部は上部の油潤滑軸受１３およびモータ室８を
通ってシールガス排気口１６から排気されるようになっ
ている。
１および吐出口２を有するポンプケーシング３と、これ
の内部に設けられたポンプ機構部６と、モータ室８を有
するモータケーシング７と、前記モータ室８に設けられ
たモータ１１と、油潤滑軸受１３．１３により支持され
た駆動岬１２と、軸封部１４とを備えている。前記ポン
プ機構部６は、駆動軸１２に連結されたポンプロータ４
と、ポンプケーシング３に固定されたポンプステータ５
とを有し、多段に構成されている。前記モータ１１は、
駆動軸１２を回転させるモータロータ９と、モータケー
シング７に固定されたモータステータ１０とを有してい
る。前記軸封部１４には、シールドガス供給口１５を通
じてシールガスが供給され、このシールガスの一部は吸
込口１から流入した気体と一緒に吐出口２から排気され
、他の一部は上部の油潤滑軸受１３およびモータ室８を
通ってシールガス排気口１６から排気されるようになっ
ている。
そして、この従来の真空ポンプでは、吸込口１から吸い
込んだ気体を、ポンプロータ４とポンプステータ５とに
より多段に構成されたポンプ機構部６により順次圧縮し
、吐出口２から大気へ排気するようになっている。
込んだ気体を、ポンプロータ４とポンプステータ５とに
より多段に構成されたポンプ機構部６により順次圧縮し
、吐出口２から大気へ排気するようになっている。
また、他の従来技術として、実開昭６０−４３１９７号
公報に開示されている技術がある。
公報に開示されている技術がある。
この実開昭６０−４３１９７号公報に示されている真空
ポンプは、これに接続した半導体製造装置で取り扱うプ
ロセスガス中に、固形化し易い物質が入っていて、その
反応生成物がプロセスガスの流路に付着した場合に、装
置を分解し、付着堆積物を除去し得るようにしている。
ポンプは、これに接続した半導体製造装置で取り扱うプ
ロセスガス中に、固形化し易い物質が入っていて、その
反応生成物がプロセスガスの流路に付着した場合に、装
置を分解し、付着堆積物を除去し得るようにしている。
゛
〔発明が解決しようとする課題〕
前記従来技術のうちの、特開昭６１−２４７８９３号公
報に開示されている技術は、半導体製造装置等で取り扱
うプロセスガスの反応生成物が、そのプロセスガスの流
路に付着堆積した場合の対策について考慮されていない
。
報に開示されている技術は、半導体製造装置等で取り扱
うプロセスガスの反応生成物が、そのプロセスガスの流
路に付着堆積した場合の対策について考慮されていない
。
また、前記実開昭６０−４３１９７号公報に開示されて
いる技術では、プロセスガスの流路に反応生成物が付着
堆積した場合に、ガス流路が詰まってしまうため、付着
堆積物を除去すべく装置を分解するようにしている。し
かし、前記付着堆積物を除去するためには、真空ポンプ
に接続した半導体製造装置の稼働を停止しなければなら
ず、作業効率が悪いという問題があった。
いる技術では、プロセスガスの流路に反応生成物が付着
堆積した場合に、ガス流路が詰まってしまうため、付着
堆積物を除去すべく装置を分解するようにしている。し
かし、前記付着堆積物を除去するためには、真空ポンプ
に接続した半導体製造装置の稼働を停止しなければなら
ず、作業効率が悪いという問題があった。
本発明の目的は、プロセスガス等の気体の吐出口に反応
生成物が付着堆積した場合に、運転を停止させることな
く、付着堆積物の除去を行うことができる真空ポンプを
提供することにある。
生成物が付着堆積した場合に、運転を停止させることな
く、付着堆積物の除去を行うことができる真空ポンプを
提供することにある。
前記目的は、気体の吐出口を複数個設けるとともに、前
記複数個の吐出口を選択的に開閉する手段を設けたこと
により、達成される。
記複数個の吐出口を選択的に開閉する手段を設けたこと
により、達成される。
本発明では、プロセスガス等の反応生成物が、ある吐出
口に付着堆積した場合、吐出口を選択的に開閉する手段
により、前記反応生成物が付着堆積した吐出口を閉じ、
他の吐出口を開き、前記反応生成物が付着堆積した吐出
口の付着堆積物を除去できるようにしている。
口に付着堆積した場合、吐出口を選択的に開閉する手段
により、前記反応生成物が付着堆積した吐出口を閉じ、
他の吐出口を開き、前記反応生成物が付着堆積した吐出
口の付着堆積物を除去できるようにしている。
したがって、ある吐出口に反応生成物が付着堆積しても
、真空ポンプの運転を停止させることなく、その付着堆
積物を除去することができる。
、真空ポンプの運転を停止させることなく、その付着堆
積物を除去することができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
この第１図に示す実施例の真空ポンプは、気体の吸込口
１および吐出部２′を有するポンプケーシング３と、こ
れの内部に設けられたポンプ機構部６と、モータケーシ
ング７と、これの内部に設けられたモータ１１と、この
モータ１１に連結されかつ油潤滑軸受１３．１３により
支持された駆動軸１２と、前記ポンプ機構部６と上部の
油潤滑軸受１３間に設けられた軸封部１４と、ポンプケ
ーシング３の吐出部２′に設けられた２個の吐出口１７
ａ、１７ｂと、吐出口を選択的に開閉する手段である方
向切換弁１９とを備えて構成されている。
１および吐出部２′を有するポンプケーシング３と、こ
れの内部に設けられたポンプ機構部６と、モータケーシ
ング７と、これの内部に設けられたモータ１１と、この
モータ１１に連結されかつ油潤滑軸受１３．１３により
支持された駆動軸１２と、前記ポンプ機構部６と上部の
油潤滑軸受１３間に設けられた軸封部１４と、ポンプケ
ーシング３の吐出部２′に設けられた２個の吐出口１７
ａ、１７ｂと、吐出口を選択的に開閉する手段である方
向切換弁１９とを備えて構成されている。
前記ポンプ機構部６は、駆動軸１２に取り付けられたポ
ンプロータ４と、ポンプケーシング３の内部に固定され
たポンプステータ５とにより多段に構成されている。
ンプロータ４と、ポンプケーシング３の内部に固定され
たポンプステータ５とにより多段に構成されている。
前記モータケーシング７の内部には、モータ室８と、モ
ータ１１とが設けられ、さらにこのモータケーシング７
にはシールガス排気口１６が設けられている。
ータ１１とが設けられ、さらにこのモータケーシング７
にはシールガス排気口１６が設けられている。
前記モータ１１は、モータロータ９と、モータケーシン
グ７に固定されたモータステータ１ｏとで構成され、駆
動軸１２を回転駆動するようになっている。
グ７に固定されたモータステータ１ｏとで構成され、駆
動軸１２を回転駆動するようになっている。
前記軸封部１４には、外部からシールガス供給口１５を
通じてシールガスが供給されるようになっている。その
シールガスとしては、吸込口１がら流入する気体と反応
することのないように、乾燥窒素などが用いられる。
通じてシールガスが供給されるようになっている。その
シールガスとしては、吸込口１がら流入する気体と反応
することのないように、乾燥窒素などが用いられる。
前記２個の吐出口１７ａ、１７ｂのうちの、−方の吐出
口１７ａには圧力センサ１８ａが設けられ、他方の吐出
口１７ｂには圧力センサ１８ｂが設けられている。前記
圧力センサ１８ａ、１８ｂは、当該吐出口１７ａ、１７
ｂの圧力を検出し、その圧力が設定値を超えると接点が
作動して外部に信号を発するようになっている。
口１７ａには圧力センサ１８ａが設けられ、他方の吐出
口１７ｂには圧力センサ１８ｂが設けられている。前記
圧力センサ１８ａ、１８ｂは、当該吐出口１７ａ、１７
ｂの圧力を検出し、その圧力が設定値を超えると接点が
作動して外部に信号を発するようになっている。
前記方向切換弁１９は、前記圧力センサ１８ａ。
１８ｂのいずれかより信号が発せられると、その信号を
発した圧力センサ側の吐出口を閉じ、他の吐出口を開く
ように構成されている。
発した圧力センサ側の吐出口を閉じ、他の吐出口を開く
ように構成されている。
前記実施例の真空ポンプでは、吐出口１７ａ。
１７ｂのうちの一方が開かれ、他方が閉じられている。
そして、モータ１１が駆動され、駆動軸１２を通じてポ
ンプ機構部６が駆動されると、吸込口１から吸い込まれ
たプロセスガス等の気体が前記ポンプ機構部６により順
次圧縮され、吐出部２′でほぼ大気圧になるように圧縮
され、開状態の吐出口１７ａまたは１７ｂから大気へ排
気される。
ンプ機構部６が駆動されると、吸込口１から吸い込まれ
たプロセスガス等の気体が前記ポンプ機構部６により順
次圧縮され、吐出部２′でほぼ大気圧になるように圧縮
され、開状態の吐出口１７ａまたは１７ｂから大気へ排
気される。
その間、ポンプ機構部６と上部の油潤滑軸受１３間の軸
封部１４には、シールガス供給口１５を通じて乾燥窒素
等のシールガスが供給される。
封部１４には、シールガス供給口１５を通じて乾燥窒素
等のシールガスが供給される。
前記シールガス供給口１５から流入したシールガスは、
２方向に分かれて流れ、一部はポンプ機構部６へ流入し
、吸込口１から流入した気体と一緒に、開状態の吐出口
１７ａまたは１７ｂから排気される。前記シールガスの
他の一部は、上部の油潤滑軸受１３を通ってモータ室８
に入り、シールガス排気口１６から排気される。この２
方向に分かれて流れるシールガスによって、潤滑油のポ
ンプ機構部６への流入を防止するとともに、吸込口１か
ら流入した気体のモータ室８への流入を防止している。
２方向に分かれて流れ、一部はポンプ機構部６へ流入し
、吸込口１から流入した気体と一緒に、開状態の吐出口
１７ａまたは１７ｂから排気される。前記シールガスの
他の一部は、上部の油潤滑軸受１３を通ってモータ室８
に入り、シールガス排気口１６から排気される。この２
方向に分かれて流れるシールガスによって、潤滑油のポ
ンプ機構部６への流入を防止するとともに、吸込口１か
ら流入した気体のモータ室８への流入を防止している。
真空ポンプの運転時において、吸込口１から流入する気
体中に、固形物や固体化して付着堆積し易い物質が含ま
れている場合、吐出口付近に反応生成物が付着堆積し、
吐出口が詰まってしまうことがある。吐出口付近の内部
気体の圧力は、通常はぼ大気圧であるが、吐出口が詰ま
って来ると、その吐出口の内部圧力が上昇する。
体中に、固形物や固体化して付着堆積し易い物質が含ま
れている場合、吐出口付近に反応生成物が付着堆積し、
吐出口が詰まってしまうことがある。吐出口付近の内部
気体の圧力は、通常はぼ大気圧であるが、吐出口が詰ま
って来ると、その吐出口の内部圧力が上昇する。
いま、開状態の吐出口１７ａまたは１７ｂが付着堆積物
で詰まってしまい、その吐出口の内部圧力が上昇し、設
定値を超えると、圧力センサ１８ａまたは１８ｂがこれ
を検出し、その圧力センサの接点が作動し、外部に信号
を発する。この信号により方向切換弁１９が作動し、開
状態で付着堆積物が詰まっている方の吐出口１７ａまた
は１７ｂを閉じ、他方の吐出口を開き、気体の吐出方向
を切り換える。
で詰まってしまい、その吐出口の内部圧力が上昇し、設
定値を超えると、圧力センサ１８ａまたは１８ｂがこれ
を検出し、その圧力センサの接点が作動し、外部に信号
を発する。この信号により方向切換弁１９が作動し、開
状態で付着堆積物が詰まっている方の吐出口１７ａまた
は１７ｂを閉じ、他方の吐出口を開き、気体の吐出方向
を切り換える。
前記気体の吐出方向を切り換えたのち、付着堆積物で詰
まっている方の吐出口を方向切換弁１９から取り外し、
付着堆積物を除去したうえで、その吐出口を再び方向切
換弁１９に取り付けておく。
まっている方の吐出口を方向切換弁１９から取り外し、
付着堆積物を除去したうえで、その吐出口を再び方向切
換弁１９に取り付けておく。
したがって、この実施例では吐出口１７ａまたは１７ｂ
に反応生成物が付着堆積しても、真空ポンプの運転を停
止させることなく、付着堆積物を除去することができる
。
に反応生成物が付着堆積しても、真空ポンプの運転を停
止させることなく、付着堆積物を除去することができる
。
なお、本発明では吐出口は２個以上であってもよく、ま
た複数個の吐出口を選択的に開閉する手段も、圧力セン
サの信号により動作する方向切換弁に限らない。
た複数個の吐出口を選択的に開閉する手段も、圧力セン
サの信号により動作する方向切換弁に限らない。
以上説明した本発明によれば、気体の吐出口を複数個設
けるとともに、前記複数個の吐出口を選択的に開閉する
手段を設けており、プロセスガス等の反応生成物が、あ
る吐出口に付着堆積した場合、吐出口を選択的に開閉す
る手段により、前記反応生成物が付着堆積した吐出口を
閉じ、他の吐出口を開くことによって、真空ポンプの運
転を停止させることなく、付着堆積物を除去することが
できるので、作業効率の向上を図り得る効果がある。
けるとともに、前記複数個の吐出口を選択的に開閉する
手段を設けており、プロセスガス等の反応生成物が、あ
る吐出口に付着堆積した場合、吐出口を選択的に開閉す
る手段により、前記反応生成物が付着堆積した吐出口を
閉じ、他の吐出口を開くことによって、真空ポンプの運
転を停止させることなく、付着堆積物を除去することが
できるので、作業効率の向上を図り得る効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は従
来の真空ポンプの縦断面図である。 １・・・吸込口、２′・・・吐出部、３・・・ポンプケ
ーシング、６・・・ポンプ機構部、７・・・モータケー
シング、１１・・・モータ、１２・・・駆動軸、１７ａ
、１７ｂ・・・吐出口、１８ａ、１８ｂ・・・圧力セン
サ、１９・・・吐第 １ 図 ■ Ｚ 図 ４ 乙 １５ ／４ ／３’：ｐ１ １２ ／６．。 ／派、／８を瓦１色多丈 １９ 胚捩利 聾≠；勘
来の真空ポンプの縦断面図である。 １・・・吸込口、２′・・・吐出部、３・・・ポンプケ
ーシング、６・・・ポンプ機構部、７・・・モータケー
シング、１１・・・モータ、１２・・・駆動軸、１７ａ
、１７ｂ・・・吐出口、１８ａ、１８ｂ・・・圧力セン
サ、１９・・・吐第 １ 図 ■ Ｚ 図 ４ 乙 １５ ／４ ／３’：ｐ１ １２ ／６．。 ／派、／８を瓦１色多丈 １９ 胚捩利 聾≠；勘
Claims (1)
- １、吸込口から吸い込んだ気体を、ポンプケーシング内
に設けられたポンプ機構部により順次圧縮し、吐出口で
ほぼ大気圧として排気する真空ポンプにおいて、前記吐
出口を複数個設けるとともに、前記複数個の吐出口を選
択的に開閉する手段を設けたことを特徴とする真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336388A JPH01237396A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336388A JPH01237396A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01237396A true JPH01237396A (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=13227112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6336388A Pending JPH01237396A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01237396A (ja) |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP6336388A patent/JPH01237396A/ja active Pending
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