JPH01239408A - 微小変位および微小傾角の測定方法 - Google Patents
微小変位および微小傾角の測定方法Info
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- JPH01239408A JPH01239408A JP6499688A JP6499688A JPH01239408A JP H01239408 A JPH01239408 A JP H01239408A JP 6499688 A JP6499688 A JP 6499688A JP 6499688 A JP6499688 A JP 6499688A JP H01239408 A JPH01239408 A JP H01239408A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は１例えば磁気ディスク装置等における磁気ヘッ
ドスライダのように、磁気記録媒体上を微小間隙を保持
して浮上する場合等の微小変位および微小傾角を精度良
く測定する方法に関するものである。
ドスライダのように、磁気記録媒体上を微小間隙を保持
して浮上する場合等の微小変位および微小傾角を精度良
く測定する方法に関するものである。
従来より磁気記録媒体上に記録した情報を再生出力する
ために磁気ディスク装置が使用されているが、この装置
の構成部材である磁気ヘッドと磁気記録媒体との間隙は
１例えば０．２〜０．３μｍのような微小間隙であるの
が通常である。従って磁気ヘッドと磁気記録媒体との接
触により摩擦、摩耗および／または両者の衝突に伴なう
損傷を防止するため、浮動ヘッドスライダが使用される
。すなわち磁気ヘッドを装着したスライダが、磁気記録
媒体面との相対速度により２両者の隙間に発生する流体
力学的浮上刃を利用して１両者の微小間隙を保持するよ
うに構成している。このような微小間隙を高精度かつ充
分なる信鎖性の下に測定することは、磁気ヘッドの設計
および評価のために極めて重要であり、これまでに種々
の手段が提案されている。例えば静電容量式１光干渉方
式、レーザドツプラ方式等がある。
ために磁気ディスク装置が使用されているが、この装置
の構成部材である磁気ヘッドと磁気記録媒体との間隙は
１例えば０．２〜０．３μｍのような微小間隙であるの
が通常である。従って磁気ヘッドと磁気記録媒体との接
触により摩擦、摩耗および／または両者の衝突に伴なう
損傷を防止するため、浮動ヘッドスライダが使用される
。すなわち磁気ヘッドを装着したスライダが、磁気記録
媒体面との相対速度により２両者の隙間に発生する流体
力学的浮上刃を利用して１両者の微小間隙を保持するよ
うに構成している。このような微小間隙を高精度かつ充
分なる信鎖性の下に測定することは、磁気ヘッドの設計
および評価のために極めて重要であり、これまでに種々
の手段が提案されている。例えば静電容量式１光干渉方
式、レーザドツプラ方式等がある。
まず静電容量式のものは、！ｆｆ気記録媒体とスライダ
との間の浮上間隙の変化に伴なう静電容量の変化を検出
するものである（例えば特開昭６２−１９２０８２号公
報等参照）。しかしながら上記方式を使用する場合には
、磁気ヘッド若しくはスライダに測定用の素子を埋設す
るか若しくはリード線その他の測定用部材を装着する等
の細工が必要であり、極めて煩雑である。また磁気ヘッ
ド若しくはスライダを構成する材質が相違すると静電容
量が変化するため、その都度調整をしなければならず、
多種類の磁気ヘッド若しくはスライダについて網羅的に
使用することができないという問題点がある。また光フ
ァイバー、レーザ光線を使用する手段も提案されており
、被測定物に対する付加重量の影響がないという利点が
あり、ｉｆｆ気ディスク装置の動特性の測定に適してい
る。しかしながら反射率の関係で被測定物に反射テープ
を貼着する必要があると共に５測定の直線性を保持する
ための厳密な位置決め手段を要するため、測定が煩雑で
あると共に２装置が複雑かつ極めて高価であるという問
題点がある。
との間の浮上間隙の変化に伴なう静電容量の変化を検出
するものである（例えば特開昭６２−１９２０８２号公
報等参照）。しかしながら上記方式を使用する場合には
、磁気ヘッド若しくはスライダに測定用の素子を埋設す
るか若しくはリード線その他の測定用部材を装着する等
の細工が必要であり、極めて煩雑である。また磁気ヘッ
ド若しくはスライダを構成する材質が相違すると静電容
量が変化するため、その都度調整をしなければならず、
多種類の磁気ヘッド若しくはスライダについて網羅的に
使用することができないという問題点がある。また光フ
ァイバー、レーザ光線を使用する手段も提案されており
、被測定物に対する付加重量の影響がないという利点が
あり、ｉｆｆ気ディスク装置の動特性の測定に適してい
る。しかしながら反射率の関係で被測定物に反射テープ
を貼着する必要があると共に５測定の直線性を保持する
ための厳密な位置決め手段を要するため、測定が煩雑で
あると共に２装置が複雑かつ極めて高価であるという問
題点がある。
また近年の磁気ディスク装置に対する要求は次第に厳し
さを増しており、ｍ気ヘッド若しくはスライダの浮上間
隙のみならず、浮上中における姿勢についても厳密に制
御および管理を行なわないと、上記要求に対応できなく
なってきている。この場合に浮上間隙と姿勢との測定を
個別の手段で行なうときには２装置全体が大型化かつ複
雑化するのみならず、測定作業も煩雑になり、経済上好
ましくないという問題点がある。一方上記測定を同一の
装置若しくは手段で行なうことは極めて困難であるため
、これまでに実用化された例がなく。
さを増しており、ｍ気ヘッド若しくはスライダの浮上間
隙のみならず、浮上中における姿勢についても厳密に制
御および管理を行なわないと、上記要求に対応できなく
なってきている。この場合に浮上間隙と姿勢との測定を
個別の手段で行なうときには２装置全体が大型化かつ複
雑化するのみならず、測定作業も煩雑になり、経済上好
ましくないという問題点がある。一方上記測定を同一の
装置若しくは手段で行なうことは極めて困難であるため
、これまでに実用化された例がなく。
その実現が強く要望されている。
本発明は上記従来技術に存在する問題点を解決し、比較
的簡単な手段により微小変位および微小頭角を精度良く
測定し得る方法を提供することを目的とする。
的簡単な手段により微小変位および微小頭角を精度良く
測定し得る方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため１本発明においては。
被測定物に設けた反射面に集光レンズを介してレーザ光
線を入射角可変に照射し、前記反射面から反射光路上の
距離ｌに設けた光位置検出手段に。
線を入射角可変に照射し、前記反射面から反射光路上の
距離ｌに設けた光位置検出手段に。
前記反射面から反射光路上の距離ａに出没自在にＢ１−
ａ なるレンズを選択的に経由させて前記レーザ光線の反射
光を受光させ、前記光位置検出手段の検出面上における
光点移動量により被測定物の鉛直方向の微小変位および
水平面に対する傾角を測定する。という技術的手段を採
用したのである。
ａ なるレンズを選択的に経由させて前記レーザ光線の反射
光を受光させ、前記光位置検出手段の検出面上における
光点移動量により被測定物の鉛直方向の微小変位および
水平面に対する傾角を測定する。という技術的手段を採
用したのである。
第１図および第２図は各々本発明の測定方法の原理を示
す説明図であり、第１図は微小変位を。
す説明図であり、第１図は微小変位を。
第２図は微小仰角を測定する場合を示している。
まず第１図において、１は反射面であり、鉛直方向に微
小変位りを下降して破線１ａに示す位置まで変位するも
のとする。上記反射面１に対して集光レンズ２を介して
レーザ光線３を、鉛直線４に対して入射角φで照射する
と１反射光路５上に設けた光位置検出手段６上に、照射
点ｐの実像ｐ′を結像することができる。なお７は拡大
レンズであり前記反射面１から反射光路５上の距＃ａの
位置に設ける。なお拡大レンズ７の焦点距離ｆと。
小変位りを下降して破線１ａに示す位置まで変位するも
のとする。上記反射面１に対して集光レンズ２を介して
レーザ光線３を、鉛直線４に対して入射角φで照射する
と１反射光路５上に設けた光位置検出手段６上に、照射
点ｐの実像ｐ′を結像することができる。なお７は拡大
レンズであり前記反射面１から反射光路５上の距＃ａの
位置に設ける。なお拡大レンズ７の焦点距離ｆと。
反射光路５上の拡大レンズ７と光位置検出手段６との間
の距離すとの関係をｒ＜ａ、ｆ＜ｂおよび次に反射面１
が鉛直方向に微小変位りだけ下降して破線１ａに示す位
置に移動すると、照射点がｐ＋の位置に移動するから１
反射光は破線に示すようになり、光位置検出手段６上の
実像はｐｌ′の位置に移動する。光位置検出手段６上に
おける実像ｐ′ とｐＩ′との距離を５とすると。
の距離すとの関係をｒ＜ａ、ｆ＜ｂおよび次に反射面１
が鉛直方向に微小変位りだけ下降して破線１ａに示す位
置に移動すると、照射点がｐ＋の位置に移動するから１
反射光は破線に示すようになり、光位置検出手段６上の
実像はｐｌ′の位置に移動する。光位置検出手段６上に
おける実像ｐ′ とｐＩ′との距離を５とすると。
ａ ｃｏｓ φ
だけ拡大されて検出されるのである。なお光位置検出手
段６上には、拡大レンズ７によって結像される実像ｐ１
′のみが表示されるから２反射面１が傾いてもその影響
を受けないという利点がある。
段６上には、拡大レンズ７によって結像される実像ｐ１
′のみが表示されるから２反射面１が傾いてもその影響
を受けないという利点がある。
次に第２図は最小１頃角の測定方法を示す説明図であり
、同一部分は第１図と同一の参照符号で示す。第２図に
おいて反射面１が微小傾角θだけ傾いて破線１ａに示す
位置に変化すると、照射点ｐの実像ｐ′は光位置検出手
段６上において 、ｌの位置に移動する。従って反射光
路５は破線５ａに示す位置に移動し、微小傾角θが２θ
に拡大され。
、同一部分は第１図と同一の参照符号で示す。第２図に
おいて反射面１が微小傾角θだけ傾いて破線１ａに示す
位置に変化すると、照射点ｐの実像ｐ′は光位置検出手
段６上において 、ｌの位置に移動する。従って反射光
路５は破線５ａに示す位置に移動し、微小傾角θが２θ
に拡大され。
かつ光位置検出手段６上における実像ｐ′ とｐ′１′
との距離を６１とすると、δ１ ＝２θｌとなり。
との距離を６１とすると、δ１ ＝２θｌとなり。
微小傾角θが光位置検出手段Ｇ上において２１だけ拡大
されて検出されるのである。この場合微小傾角θは極め
て小なる値であると共に１反射光路５．５ａ上の測定面
１と光位置検出手段６との距ｌｘが前記距離δ、に対し
て充分大であるため２δ１＝２θｌ としても測定誤差
を殆ど無視することができるのである。
されて検出されるのである。この場合微小傾角θは極め
て小なる値であると共に１反射光路５．５ａ上の測定面
１と光位置検出手段６との距ｌｘが前記距離δ、に対し
て充分大であるため２δ１＝２θｌ としても測定誤差
を殆ど無視することができるのである。
第３図は本発明の実施例における装置を示す要部斜視図
である。第３図において１０は磁気ディスク装置であり
、エアスピンドル１１の上端部に装着した磁気ディスク
１２を回転可能に構成しである。Ｉ３は記録−・ソドで
あり１ 自由端にスライダ１４を装着すると共に、スラ
イダ１４に設けた磁気ヘッド（図示せず）を磁気ディス
ク１２と対向させて、磁気ディスク１２との間において
情報の記録および再生が可能のように構成する。なおス
ライダ１４の上面には１辺１ｍｍに形成した反射鏡１５
を一体に固着する。次に１６はＨｅ−Ｎｅレーザ（日本
電気製ＧＬＧ ５２３０出力１ ｍ Ｗ ）であり、レ
ーザ光線１７を光ＩＵＲ節用のフィルタ１８および集光
レンズ１９ （焦点距離ｆ＝３０ｍｍ）を介して反射鏡
１５上に照射する。なおレーザ光線１７の入射角は可変
となるように構成するが。
である。第３図において１０は磁気ディスク装置であり
、エアスピンドル１１の上端部に装着した磁気ディスク
１２を回転可能に構成しである。Ｉ３は記録−・ソドで
あり１ 自由端にスライダ１４を装着すると共に、スラ
イダ１４に設けた磁気ヘッド（図示せず）を磁気ディス
ク１２と対向させて、磁気ディスク１２との間において
情報の記録および再生が可能のように構成する。なおス
ライダ１４の上面には１辺１ｍｍに形成した反射鏡１５
を一体に固着する。次に１６はＨｅ−Ｎｅレーザ（日本
電気製ＧＬＧ ５２３０出力１ ｍ Ｗ ）であり、レ
ーザ光線１７を光ＩＵＲ節用のフィルタ１８および集光
レンズ１９ （焦点距離ｆ＝３０ｍｍ）を介して反射鏡
１５上に照射する。なおレーザ光線１７の入射角は可変
となるように構成するが。
本実施例においては入射角φ＝４５°に設定すると共に
１反射鏡１５に照射するレーザ光線１７の光点の直径を
２０〜３０μｍとした。次に２０は光位置検出器（浜松
ホトニクス類 Ｃ１４５４）であり、前記レーザ光線１
７の反射光２１の光路上に設け、拡大レンズ２２（焦点
距離ｆ＝７．５ｍｍ）および外来光除去用の金属干渉フ
ィルタ２３を介して前記反射光２１を受光可能に設ける
。なお光位置検出器２０は、受光面の大きさが１辺１０
ｍ ｍ 、最小分解能が約１０μｍ、受光面上の光点移
動量１ｍｍ当りの出力が５Ｖ、使用可能最高周波数が５
０ＫＨｚである。従ってスライダ１４の鉛直方向の微小
変位ｈ（μｍ）（第１図参照）に対する出力電圧Ｈ（Ｖ
）は Ｈ＝５．ＯＸ １０−’Ｊ２ ｈ・□ で表わされる。
１反射鏡１５に照射するレーザ光線１７の光点の直径を
２０〜３０μｍとした。次に２０は光位置検出器（浜松
ホトニクス類 Ｃ１４５４）であり、前記レーザ光線１
７の反射光２１の光路上に設け、拡大レンズ２２（焦点
距離ｆ＝７．５ｍｍ）および外来光除去用の金属干渉フ
ィルタ２３を介して前記反射光２１を受光可能に設ける
。なお光位置検出器２０は、受光面の大きさが１辺１０
ｍ ｍ 、最小分解能が約１０μｍ、受光面上の光点移
動量１ｍｍ当りの出力が５Ｖ、使用可能最高周波数が５
０ＫＨｚである。従ってスライダ１４の鉛直方向の微小
変位ｈ（μｍ）（第１図参照）に対する出力電圧Ｈ（Ｖ
）は Ｈ＝５．ＯＸ １０−’Ｊ２ ｈ・□ で表わされる。
実際の測定に際しては第１図におけるａ、ｂの値を各々
７．５５ｍｍおよび１２００ｍｍとしたから。
７．５５ｍｍおよび１２００ｍｍとしたから。
鉛直方向の微小変位ｈ （μｍ）に対する前記出力電圧
Ｈは１．１２Ｖ／μｍである。なお上記光位置検出器２
０の光点移動量および磁気ディスク１２の回転パルス信
号は各々データレコーダ３ｏおよびシグナルプロセッサ
３１を介してＣＰＵ３２に入力して演算処理を行なう。
Ｈは１．１２Ｖ／μｍである。なお上記光位置検出器２
０の光点移動量および磁気ディスク１２の回転パルス信
号は各々データレコーダ３ｏおよびシグナルプロセッサ
３１を介してＣＰＵ３２に入力して演算処理を行なう。
上記の構成により、スライダー４として外形寸法が下記
のようなＡ、８２種類のものを選定して微小変位すなわ
ち浮上量を測定した。
のようなＡ、８２種類のものを選定して微小変位すなわ
ち浮上量を測定した。
Ａ：幅３．２ｍｍ、長さ４．０８ｍｍ、厚さ１．３９ｍ
ｍＢ：幅３．９５ｍｍ、長さ５．５６ｍｍ、厚さ１．９
３１１１１第４図は周速と浮上量との関係を示す図であ
り。
ｍＢ：幅３．９５ｍｍ、長さ５．５６ｍｍ、厚さ１．９
３１１１１第４図は周速と浮上量との関係を示す図であ
り。
実線Ａ １． Ｂ ＋が各々本発明方法によるものを示
し。
し。
Ａ、Ｂは各々前記スライダの種類に対応する。この場合
のディスクとしてはガラスディスクを使用した。なお比
較のためにレーザドツプラ干渉方法（Ｌ Ｄ Ｉ ：
Ｌａ５ｅｒ Ｄｏｐｐｌｅｒ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｒｙ）によるものを破線Ａ２．８２で示した。Ａ、
Ｂは前記同様スライダの種類に対応する。第４図から明
らかなように９本発明方法によるものは直線性が良好で
あり、従来のＬＤ［方法によるものと同等である。特に
低速度領域、すなわちディスクの回転数が小さく浮上量
が微小である領域においても充分に測定が可能であるこ
とが認められる。なお本実施例に示す光路長における最
小検出量すなわち分解能は０．０４μｍである。
のディスクとしてはガラスディスクを使用した。なお比
較のためにレーザドツプラ干渉方法（Ｌ Ｄ Ｉ ：
Ｌａ５ｅｒ Ｄｏｐｐｌｅｒ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｒｙ）によるものを破線Ａ２．８２で示した。Ａ、
Ｂは前記同様スライダの種類に対応する。第４図から明
らかなように９本発明方法によるものは直線性が良好で
あり、従来のＬＤ［方法によるものと同等である。特に
低速度領域、すなわちディスクの回転数が小さく浮上量
が微小である領域においても充分に測定が可能であるこ
とが認められる。なお本実施例に示す光路長における最
小検出量すなわち分解能は０．０４μｍである。
次に微小傾角の測定方法について記述する。前記第３図
において集光レンズ１９を焦点距離ｆ＝１０００ｍｍの
ものと交換し１反射鏡１５上の光点の直径を約０．６
ｍ ｍとする。次に反射光２１の光路上の拡大レンズ２
２を光路外に除去し１反射光２１をそのまま金属干渉フ
ィルタ２３を介して光位置検出器２０に受光させる。受
光面上の光点移動量１ｍｍ当りの出力電圧を１ｖとした
以外は前記の微小変位測定の場合と同様である。なお微
小傾角を測定する場合には、スライダ１４すなわら反射
鏡１５の鉛直方向の変位りによる反射光の角）を小さく
するために、入射角φを小さくするのが望ましい。本実
施例においては入射角φ−２５°としたので１反射鏡１
５の鉛直方向の変位が９μｍ以下の場合には、光位置検
出器６上に光点移動量として表示されない。なお反射光
路上の反射鏡１５と光位置検出器２０との距離（第２図
におけるｌに相当）を９００ｍｍとしたため、微小傾角
θに対する出力電圧は、１．８Ｘ１０’Ｖ ／ ｒａｄ
であり、また最小検出量すなわち分解能は０．５ Ｘ
１０−’ ｒａｄである。
において集光レンズ１９を焦点距離ｆ＝１０００ｍｍの
ものと交換し１反射鏡１５上の光点の直径を約０．６
ｍ ｍとする。次に反射光２１の光路上の拡大レンズ２
２を光路外に除去し１反射光２１をそのまま金属干渉フ
ィルタ２３を介して光位置検出器２０に受光させる。受
光面上の光点移動量１ｍｍ当りの出力電圧を１ｖとした
以外は前記の微小変位測定の場合と同様である。なお微
小傾角を測定する場合には、スライダ１４すなわら反射
鏡１５の鉛直方向の変位りによる反射光の角）を小さく
するために、入射角φを小さくするのが望ましい。本実
施例においては入射角φ−２５°としたので１反射鏡１
５の鉛直方向の変位が９μｍ以下の場合には、光位置検
出器６上に光点移動量として表示されない。なお反射光
路上の反射鏡１５と光位置検出器２０との距離（第２図
におけるｌに相当）を９００ｍｍとしたため、微小傾角
θに対する出力電圧は、１．８Ｘ１０’Ｖ ／ ｒａｄ
であり、また最小検出量すなわち分解能は０．５ Ｘ
１０−’ ｒａｄである。
第５図は周速と傾き角との関係を示す図であり。
実線Ａ、、Ｂ、と破線Ａ ｚ、 Ｂ ｚ とは、前記第
４図に示すものに夫々対応する。第５図から明らかなよ
うに１本発明方法によるものは直線性が良好であり、従
来のＬＤ１方法によるものと同等であると共に、低速度
領域においても充分に測定可能であることは、前記第４
図におけるものと同様である。
４図に示すものに夫々対応する。第５図から明らかなよ
うに１本発明方法によるものは直線性が良好であり、従
来のＬＤ１方法によるものと同等であると共に、低速度
領域においても充分に測定可能であることは、前記第４
図におけるものと同様である。
次に実際の磁気ディスクを使用してスライダの挙動を前
記の測定手段によって測定した。なお使用したスライダ
は前記２種類のうち１幅３．２ｍｍ。
記の測定手段によって測定した。なお使用したスライダ
は前記２種類のうち１幅３．２ｍｍ。
長さ４．’０８ ｍｍ、厚さ１．３９ｍｍのものを使用
し。
し。
磁気ディスクとスライダとの相対速度は３〜２０ｍ／ｓ
ｅｅである。なお磁気ディスクの表面に予め高さＯ，１
９ｍｍの突起を円周方向の長さ０．４３ｍｍに亘って設
けた。
ｅｅである。なお磁気ディスクの表面に予め高さＯ，１
９ｍｍの突起を円周方向の長さ０．４３ｍｍに亘って設
けた。
第６図は円周方向長さと変位および傾き角との関係を示
す図である。第６図において曲４％ ｂは前記突起の輪
郭を表わし１曲線りおよびＳは各々スライダの変位（鉛
直方向）および傾き角（水平面に対する）を表わしてい
る。第６図から明らかなように、スライダは突起の輪郭
と対応して変位が変化し、磁気ディスク上に前記のよう
な突起が存在すると、突起の高さと対応して浮上、降下
することがわかる。−力曲線Ｓによって示されるように
、スライダは前記突起の若干手前において（頃き角を増
大し、すなわち相対移動方向前端を上方に向け５次に突
起の上方において反転して下方に向け、突起を通過後に
おいて更に反転して上方に向けた後、水平状態に復帰す
る。上記のようにして磁気ディスク上におけるスライダ
の時々刻々の変位すなわち浮上量と共に、傾き角すなわ
ち姿勢を測定することができ、これらの測定結果を解析
。
す図である。第６図において曲４％ ｂは前記突起の輪
郭を表わし１曲線りおよびＳは各々スライダの変位（鉛
直方向）および傾き角（水平面に対する）を表わしてい
る。第６図から明らかなように、スライダは突起の輪郭
と対応して変位が変化し、磁気ディスク上に前記のよう
な突起が存在すると、突起の高さと対応して浮上、降下
することがわかる。−力曲線Ｓによって示されるように
、スライダは前記突起の若干手前において（頃き角を増
大し、すなわち相対移動方向前端を上方に向け５次に突
起の上方において反転して下方に向け、突起を通過後に
おいて更に反転して上方に向けた後、水平状態に復帰す
る。上記のようにして磁気ディスク上におけるスライダ
の時々刻々の変位すなわち浮上量と共に、傾き角すなわ
ち姿勢を測定することができ、これらの測定結果を解析
。
検討することにより、スライダの最適形状および寸法を
決定することができる。また磁気ディスク上に非所望な
異物若しくは突起が存在した場合のスライダの挙動が解
析でき、スライダと磁気ディスクとの接触摺動（ＣＣＳ
： Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ ５ｔｏｐ）に伴な
う両者間の摩擦、摩耗手段の策定に資することができる
。
決定することができる。また磁気ディスク上に非所望な
異物若しくは突起が存在した場合のスライダの挙動が解
析でき、スライダと磁気ディスクとの接触摺動（ＣＣＳ
： Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ ５ｔｏｐ）に伴な
う両者間の摩擦、摩耗手段の策定に資することができる
。
本実施例においてはスライダの変位および傾き角につい
ての測定について記述したが、これらに限定されず、他
の構成部材についての微小変位および微小頭角の測定に
も適用できることは勿論である。
ての測定について記述したが、これらに限定されず、他
の構成部材についての微小変位および微小頭角の測定に
も適用できることは勿論である。
本発明は１以上記述のような構成および作用であるから
、下記の効果を期待できる。
、下記の効果を期待できる。
（１）被測定物の材質、形状等が異なっても光位置検出
手段において検出される光点移動量の値には全く影響が
ないため、適用範囲が広い。
手段において検出される光点移動量の値には全く影響が
ないため、適用範囲が広い。
（２）光点像の位置変化を検出するものであるため。
被測定物の反射面が若干傾いても変位量には影響を及ぼ
さないため、測定精度が極めて高い。
さないため、測定精度が極めて高い。
（３）同一の測定手段により微小変位と微小傾角の測定
に兼用できるため、測定手段を極めてコンパクトにする
ことができると共に、経済的にも極めて有利である。
に兼用できるため、測定手段を極めてコンパクトにする
ことができると共に、経済的にも極めて有利である。
第１図および第２図は各々本発明の測定方法の原理を示
す説明図、第３図は本発明の実施例における装置を示す
要部斜視図、第４図は周速と浮上量との関係を示す図、
第５図は周速と傾き角との関係を示す図、第６図は円周
方向の長さと変位および傾き角との関係を示す図である
。 １：反射面、２．１９：集光レンズ、３．１７：レーザ
光線、５：反射光路、６：光位置検出手段、７．２２：
拡大レンズ、２０：光位置検出器。
す説明図、第３図は本発明の実施例における装置を示す
要部斜視図、第４図は周速と浮上量との関係を示す図、
第５図は周速と傾き角との関係を示す図、第６図は円周
方向の長さと変位および傾き角との関係を示す図である
。 １：反射面、２．１９：集光レンズ、３．１７：レーザ
光線、５：反射光路、６：光位置検出手段、７．２２：
拡大レンズ、２０：光位置検出器。
Claims (1)
- 被測定物に設けた反射面に集光レンズを介してレーザ光
線を入射角可変に照射し、前記反射面から反射光路上の
距離ｌに設けた光位置検出手段に、前記反射面から反射
光路上の距離ａに出没自在に設けた焦点距離ｆ（ｆ＜ａ
，１／ｆ＝１／ａ＋１／［ｌ−ａ］）なるレンズを選択
的に経由させて前記レーザ光線の反射光を受光させ、前
記光位置検出手段の検出面上における光点移動量により
被測定物の鉛直方向の微小変位および水平面に対する傾
角を測定することを特徴とする微小変位および微小傾角
の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6499688A JPH01239408A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 微小変位および微小傾角の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6499688A JPH01239408A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 微小変位および微小傾角の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239408A true JPH01239408A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13274185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6499688A Pending JPH01239408A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 微小変位および微小傾角の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01239408A (ja) |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP6499688A patent/JPH01239408A/ja active Pending
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