JPH01239743A

JPH01239743A - 電子顕微鏡像記録読取方法

Info

Publication number: JPH01239743A
Application number: JP63066750A
Authority: JP
Inventors: Nobufumi Mori; 信文森
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1988-03-19
Filing date: 1988-03-19
Publication date: 1989-09-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は電子顕微鏡像の記録読取方法に関するものであ
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で読み取るようにし、そし
て電子顕微鏡像が高速で再生されるようにした記録読取
方法に関するものである。

（従来の技術）従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。

したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦平面を
投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察される
。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを配
置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節により、
上述の拡大ｅ！（散乱像）あるいは回折パターンが随意
に得られる。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、−括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して感度が低い上場像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、画
像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいという問
題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

上記のような事情に鑑みて本出願人は、電子顕微鏡像を
高感度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理が容
易となるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直接得
られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法を提案した（
特開昭６１−５１７３８号、同６１−９３５３９号等）
。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電子線エ
ネルギーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電
子線を真空状態で蓄積記録し、次いで該２次元センサに
光照射あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを
光として放出させ、この放出光を光電的に検出して画像
信号を得、この画像信号を用いて試料の透過電子線像を
再生するものである。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少なく
とも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出する
能力を持つ材料からなるものである。この２次元センサ
として具体的には、例えば特開昭５５−１２４２９号、
同５５−１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、同
５６−１１３９５号、同５６−１０４６４５号公報等に
示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられうる
。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を照射
するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体中に
蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を照射
すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍光（
輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を蓄積
性蛍光体と言い、蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄積性
蛍光体からなるシート状の記録体のことであり、一般に
支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍光体層とか
らなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適当な結合剤
中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性蛍光
体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性蛍光体
シートとなりつる。なお、この蓄積性蛍光体シートを形
成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開昭６１−９
３５３９号公報に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱蛍
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱蛍光として放出する蛍光体（熱蛍光
体）からなるシート状の記録体である。

ところで、上記のような記録再生方法によって７１子顕
微鏡像を再生する場合、視野探し操作やビンＩ・合せ操
作を、従来から行なオ）れてきたように、電子顕微鏡の
結像面に蛍光スクリーンを配し、この蛍光スクリーンに
映し出された画像を見ながら行なうという手法をとると
、電子線露光量を上げなければならず、試料が損傷しや
すくなるという問題がある。また特に、高感度記録が可
能であるという長所を活用すべく電子線露光量を極めて
低くする場合は、蛍光スクリーンに照射される電子線型
が低いために該スクリーンに鮮明な画像が写し出され得
ない、という不具合も生じる。

上記の事情に鑑みて本出願人は、試料を損傷させず、か
つ簡便、短時間に視野探しを行なうことのできる電子顕
微鏡像記録読取方法を提案した。

この方法は、上述のような蛍光スクリーンは使用せずに
、視野探しおよび／またはピント合せ用の電子顕微鏡像
（モニタ画像）を２次元センサに蓄積記録し、このモニ
タ画像を、試料観察用の電子顕微鏡像を読み取って再生
する場合と同様にして再生し、この再生されたモニタ画
像から視野範囲やフォーカス状態を判別する、というも
のである（例えば特開昭６１−２４０５４６号等）。

上記の方法によれば、電子線露光量が低くても、鮮明な
モニタ画像が得られるから、このモニタ画像を観察する
ことにより、視野探しゃピント合せを能率良くかつ正し
く行なえるようになる。

（発明が解決しようとする課題）しかし上記の方法においては、視野範囲やフォーカス状
態が適正なモニタ画像が得られるまで視野範囲やフォー
カス状態を少しずつ変えて何回もモニタ画像の記録およ
び読取再生を繰り返す必要がある。

そこで本発明は、モニタ画像の読取再生を本質的に１回
行なうだけで、視野探しゃピント合ぜを満足に実行する
ことができる電子顕微鏡像記録読取方法を提供すること
を目的とするものである。

（課題を解決するための手段及び作用）本発明の電子顕
微鏡像記録読取方法は、前述したような２次元センサに
、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次い
で該２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積
されたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光
電的に検出して、上記電子線が担う電子顕微鏡像を可現
像として出力するための画像信号を得るようにした電子
顕微鏡像記録読取方法において、電子線の蓄積記録操作
に先立って予め、試料を透過した電子線を試料の視野範
囲および／またはフォーカス状態が相異なる状態で１枚
のモニタ用２次元センサの別々の箇所に照射することに
より、該センサに複数の電子顕微鏡像を蓄積記録し、こ
のときの視野範囲および／またはフォーカス状態を得る
電子顕微鏡の操作条件を各電子顕微鏡像と対応をとった
上で記憶手段に記憶しておき、上記モニタ用２次元セン
サに対して光照射あるいは加熱を行ない、そのときの放
出光を光電的に検出してモニタ用画像信号を得、該モニタ用画像信号に基づいて、上記モニタ用２次元セ
ンサに蓄積記録された複数の電子顕微鏡像を再生し、これらの再生された電子顕微鏡像を観察して所望の視野
範囲および／またはフォーカス状態の電子顕微鏡像を選
択し、この選択された電子顕微鏡像と対応する前記操作条件を
前記記憶手段から読み出し、この条件を電子顕微鏡にお
いて設定した上で、最終的な可視像を出力するための２
次元センサに電子線を蓄積記録するようにしたことを特
徴とするものである。

なお上記モニタ用２次元センサと、最終的な可視像を出
力するために用いる２次元センサは、互いに別個のもの
を使用してもよいし、あるいは共用することもできる。

（実　施　例）以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

第１図は本発明の方法を実施する電子顕微鏡像記録読取
装置の大略を示すものである。電子顕微鏡１の鏡体部１
ａは、−様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、電
子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等か
らなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５と、
上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、中間レンズ
７′　と、投影レンズ７とを有してなる。試料台５上に
載置された試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ
６により屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成す
る。この拡大散乱像８ａは投影レンズ７により結像面９
に結像投影される（図中の８ｂ）。

上記鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像記録読取装置
ＩＯが配置されている。この電子顕微鏡像記録読取装置
ＩＯは、鏡体部ｌａ内の前記結像面９に固定された蓄積
性蛍光体からなる第１の２次元センサ（以下、蓄積性蛍
光体シート１１という）と、励起光源１２および光走査
系１３からなる第１の励起手段と、前記鏡体部１ａの周
壁に設けられた透光窓１４を介して上記第１の蓄積性蛍
光体シート１１に対向するように配された第１のフォト
マルチプライヤ−（光電子増倍管）１５と、第１の消去
光源１ＢとをＨしている。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体レ
ーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の光偏
向器１３ａ、１３ｂと、固定ミラー１３ｃとからなる。

第１および第２の光偏向器１３ａ、１３ｂとしてはそれ
ぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、ホログ
ラムスキャナ、ＡＯＤ等の公知の光偏向器が使用されう
る。励起光源１２から射出された励起光ビーム１２ａは
第１の光偏向器１３ａにより偏向されるとともに、第２
の光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向と直角な方向（
図の矢印Ａ方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等が嵌め
込まれた透光窓２１を透過して鏡体部ｌａ内に入射し、
固定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性蛍光体シ
ートｌｌ上に入射する。このようにして蓄積性蛍光体シ
ートは光ビームによりＸ−７両方向に走査される。なお
図示はしないが、励起光１１ｉＸ１２から発せられた励
起光ビーム１２ａは、蓄積性蛍光体シーＨ１が発する輝
尽発光光（後に詳述する）の波長領域をカットするフィ
ルターを通過させ、ビームエキスパンダーによりビーム
径を調整した後、光偏向器１３ａ、　１３ｂで偏向され
、次いでｆθレンズを通過させて均一なビーム径となさ
れ蓄積性蛍光体シートに入射されるのが好ましい。

また前記消去光源１Ｇは蓄積性蛍光体シート１１の励起
波長領域に含まれる光を発生するものである。

そして上記第２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃと
の間において励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と
、該光路から外れた位置とをとりうるミラー１７が配設
されている。消去光源１６が発する消去光ｌｅａはレン
ズ１８によって集光され、上記ミラー１７が励起光ビー
ム１２ａの光路中に入る位置に設定されていれば、該ミ
ラー１７および固定ミラー１３ｃにおいて反射して、蓄
積性蛍光体シート１１を全面的に照射する。また対物レ
ンズ７と蓄積性蛍光体シート１１との間において鏡体部
１ａには、電子線２を遮断しつるシャッター１９が設け
られ、蓄積性蛍光体シーＭｌと第１のフォトマルチプラ
イヤ＝１５との間には光シヤツター２４が設けられてい
る。

そして前記透光窓１４には、蓄積性蛍光体シート１１が
発する輝尽発光光のみを透過させ、前記励起光ビーム１
２ａを取り除く光学フィルターを備えたガラス２０が嵌
芒されている。また鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微
鏡におけるのと同様に、上記蓄積性蛍光体シート１１が
配置されている部分も含めて、電子顕微鏡稼動中は真空
ポンプ等の公知の手段により真空状態に維持される。

電子顕微鏡像記録読取装置１０はさらに、上記のように
真空状態に維持される部分内において、シート搬送テー
ブル３０と、このシート搬送テーブル３０に沿って配列
されたシート搬送ローラ３１と、第２の消去光源３２と
、集光体３３と、この集光体３３に光学的に接続された
第２のフォトマルチプライヤ−３４と、上記シート搬送
テーブル３０上に載置されたモニタ用蓄積性蛍光体シー
ト３５とを有している。

上記モニタ用蓄積性蛍光体シート３５はシート搬送ロー
ラ３［を正転、逆転させることにより、シート搬送テー
ブル３０上を図中左右方向に搬送されるようになってい
る。そしてシート搬送テーブル３０はテーブル駆動手段
２９により、第１図の左右方向および紙面に垂直な方向
に２次元的に移動されるようになっている。また前記励
起光源１２と同様の励起光１ＴＩＸ３Ｇと、前記光偏向
器１３ａあるいは１３ｂと同様の光偏向器３７とからな
る第２の励起手段が設けられている。上記励起光源３Ｇ
から射出された励起光ビーム３８ａは、光偏向器３７に
より偏向され、透光窓３８を透過して、蓄積性蛍光体シ
ート３５をその搬送方向と直角な方向に走査するように
なっている。またシート搬送テーブル３０には、固定さ
れた前記第１の蓄積性蛍光体シートｌｌに対向する部分
において開口３０ａが設けられ、第２の蓄積性蛍光体シ
ート３５がこの開口３０ａ上から図中左方に退出すれば
、蓄積性蛍光体シートｌｌへ電子線２が照射されうるよ
うになっている。

次に上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置１０による電
子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。ま
ず視野探しおよびピント合せのためのモニタ画象を蓄積
記録するため、第２の蓄積性蛍光体シート３５は開口３
０ａ上の位置に置かれる。

そして前述のシャッター１９を開くと、第２の蓄積性蛍
光体シート３５に、試料８の拡大散乱像８ｂを担持する
電子線２のエネルギーが蓄積される。この際撮影条件コ
ントローラ５０には、複数の所望のレンズ条件（焦点距
離を変更する条件）と複数の所望の試料ポジション（電
子線２に対する相対的な位置）が入力され、該コントロ
ーラ５０はこのレンズ条件を示す信号ＳＩＯをレンズ条
件コントローラ５１に、また試料ポジションを示す信号
Ｓｌｌをポジションコントローラ５２に送る。レンズ条
件コントローラ５１は、信号ＳＩＯが示すレンズ条件を
レンズ６．７°、７において設定させる。なおこの場合
のレンズ条件は、第２図に示すように、電子線２がモニ
タ用蓄積性蛍光体シート３５の一部分（本例ではほぼ各
１７１２の部分）に照射されるように設定される。一方
ポジションコントローラ５２は、信号Ｓｌｌが示す試料
ポジションが得られるように試料台５を移動させる。本
例では撮影条件コントローラ５０に１回当り３種のレン
ズ条件と４種の試料ポジションが入力されるようになっ
ており、したがってレンズ条件と試料ポジションの組合
せ状態は１２通り有る。そこで撮影条件コントローラ５
０は上記信号ＳＩＯと８１１を順次変えて、上記１２通
りの組合せ状態を順次設定させる。そして撮影条件コン
トローラ５０はこの組合せ状態を変える都度、シート移
動信号ＳＬ２をシート移動コントローラ５３に送る。シ
ート移動コントローラ５３はこの移動信号Ｓ１２に基づ
いて前述のテーブル駆動手段２９の駆動を制御して、モ
ニタ用蓄積性蛍光体シート３５を電子線２に対して相対
的に移動させる。この際の移動量と移動方向は、予め定
められたプログラムに従って、シート３５の前記各１／
１２の部分に電子線２が順次照射されるように設定され
る。

また撮影条件コントローラ５０は、以上述べたようにし
てレンズ条件と試料ポジションの組合せを順次変更し、
またそれとともに蓄積性蛍光体シート３５を移動させる
毎にシャッターコントローラ５７に駆動信号Ｓ１４を送
り、シャッター１９を所定時間開かせる。シャッター１
９が開かれると、電子線２か蓄積性蛍光体シート３５に
照射され、そこに試料８の電子顕微鏡像を担う電子線２
が照射される。

以上の操作がなされることにより蓄積性蛍光体シート３
５には、それぞれ視野範囲とフォーカス状態の少なくと
も一方が異なる合計１２の電子顕微鏡像（モニタ画像）
が蓄積記録される。なおこれら１２のモニタ画像を蓄積
記録した際の各レンズ条件（レンズ条件コントローラ５
１の出力Ｓ１５が示す）は、各画像の番号（例えばシー
ト３５への記録順に従って１．２．３・・・・・・１２
と定められる）と対応をとってレンズ条件メモリ５４に
記憶される。同様に試料ポジションはポジションセンサ
５５によって検出され、該センサ５５の出力Ｓ１Ｇが示
す試料ポジションは、上記各画像の番号と対応をとった
上でポジションメモリ５Ｇに記憶される。

次いで上記モニタ画像の読取りが行なわれる。

モニタ用蓄積性蛍光体シート３５はシート搬送ローラ３
１を回転駆動させることにより、第１図中左方に所定速
度で搬送される。このとき前述したようにして励起光ビ
ーム３６ａが蓄積性蛍光体シート３５を走査しく主走査
）、また該シート３５が移送されて副走査がなされるこ
とにより、このシート３５は励起光ビーム３６ａにより
２次元的に走査される。

それにより蓄積性蛍光体シート３５は、１２の拡大散乱
像８ｂを担持する輝尽発光光を放出する。この輝尽発光
光は、蓄積性蛍光体シート３５の全幅に亘って延びる入
射端面を有する集光体３３によって集光され、第２のフ
ォトマルチプライヤ−３４により光電的に検出される。

上記輝尽発光光を第２のフォトマルチプライヤ−３４に
よって読み取って得られた電気信号（モニタ画像信号）
Ｓｍは、画像読取回路３９に入力され必要な増幅、ディ
ジタル化、および画像処理が施された上で、モニタ画像
再生装置４０に送られる。

このモニタ画像再生装置４０はＣＲＴ等のデイスプレィ
であってもよいし、また感光フィルムに光走査記録を行
なってハードコピーを得るような装置でもよい。しかし
、モニタ画像はさほど高精細である必要はないので、再
生処理速度を考慮してデイスプレィ装置を用いるのが好
ましい。このように輝尽発光光量に対応したモニタ画像
信号５Ｉ１１を用いて画像を出力することにより、上記
輝尽発光光が担持する１２の拡大散乱ｆｌｂがモニタ画
像として再生される。

上記読取りが終了した後、蓄積性蛍光体シート３５は第
２の消去光源３２に対向する位置まで搬送され、そこで
該消去光源３２から、消去光の照射を受け、再使用可能
な状態になる。この消去の仕組みは、後に詳述する蓄積
性蛍光体シートｌｌに対する消去処理におけるのと同様
である。

電子顕微鏡オペレータは、上記のようにしてモニタ画像
再生装置４０に再生された１２の拡大散乱像８ｂ（モニ
タ画像）の視野範囲とフォーカス状態を観察して、それ
らが最も好ましい状態になっている画像を選択する。そ
してこの選択されたモニタ画像の番号を撮影条件コント
ローラ５０に入力すると、この画像番号に対応したレン
ズ条件と試料ポジションがそれぞれレンズ条件メモリ５
４、ポジションメモリ５６から読み出され、これらの読
み出されたレンズ条件および試料ポジションが電子顕微
鏡１において設定される。なおこの際、対物レンズ６と
中間レンズ７°　と投影レンズ７のレンズ条件を変えて
拡大率が大きくなるようにし、電子線２が蓄積性蛍光体
シート１１にほぼ全面的に照射されるようにする。

次いで前述のシャッター１９が開かれると、結像画９に
固定された第１の蓄積性蛍光体シート１１に、試料８の
拡大散乱像８ｂを担持する電子線２のエネルギーが蓄積
記録される。この電子線露光の際には、光シヤツター２
４は閉じられていることが好ましい。次いでシャッター
１９が閉じられ光シヤツター２４は開かれて、続いて前
述のように励起光源１２から射出され、Ｘ−Ｙ両方向に
偏向された励起光ビーム１２ａがシート１１上に入射せ
しめられる。

このように偏向された励起光ビーム１２ａにより蓄積性
蛍光体シート１１は２次元的に走査され、該シート１１
は上記電子線エネルギーのレベルに応じた強度の輝尽発
光光を放出する。この輝尽発光光はシート１１の裏側か
ら、上記励起光ビーム１２ａを取り除く光学フィルター
を備えたガラス２０を介して第１のフォトマルチプライ
ヤ−１５によって受光され、輝尽発光光量が光電的に読
み取られる。

上記輝尽発光光を第１のフォトマルチプライヤ−１５に
よって読み取って得られた電気信号（画像信号）Ｓｔは
、画像読取回路２２に伝えられ必要な増幅、ディジタル
化、および画像処理等が施された上で、画像再生装置２
３へ送られる。この画像再生装置２３としては、前述し
たＣＲＴ等のデイスプレィ装置や光走査記録装置が用い
られる。このように前記輝尽発光光量に対応した画像信
号Ｓｔを用いて画像を出力することにより、上記輝尽発
光光が担持する１つの拡大散乱像８ｂが再生される。

こうして再生された電子顕微鏡像は、前述したように１
２のモニタ画像の中から視野範囲およびフォーカス状態
が最良のものを選択し、そのときのレンズ条件および試
料ポジションを設定して蓄積性蛍光体シート１１に記録
されたものであるから、当然上記選択されたモニタ画像
と同様の視野範囲およびフォーカス状態のものとなる。

上述の画像読取りが終了した後、第１のフォトマルチプ
ライヤ−１５と光学フィルターガラス２０の間に設けら
れた光シヤツター２４が閉じられ、ミラー１７は励起光
ビーム１２ａの光路中に入る位置に立てられ、そして第
１の消去光源１６が点灯される。

それによりシートｌｌの表面には、該第１の消去光１１
１ｆｔが発する消去光１８ａが照射される。蓄積性蛍光
体シート１１に前記のように励起光ビーム１２ａが照射
されても、該シート１１に蓄積されていた電子線エネル
ギーがすべて放出される訳ではなく、残像が残る場合が
ある。しかしここで上記のように蓄積性蛍光体シート１
１に消去光を照射すれば、上記残像が消去され、蓄積性
蛍光体シート１１が再使用可能となる。またこの消去光
照射により、シー１−１１の蛍光体中に不純物として含
まれている２３Ｒａなどの放射性元素によるノイズ成分
も放出される。上記消去光源１６としては、例えば特開
昭５６−１１３９２号に示されているようなタングステ
ンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、キセノンフ
ラッシュランプあるいはレーザ光源等が任意に選択使用
され得る。また読取り用の励起光源１２を消去用に兼用
してもよい。

以上、モニタ画像の読取部と最終出力画像の読取部を別
々に設けた態様について説明したが、モニタ画像と最終
出力画像の読取りを一つの読取部で行なってもよい。ま
た、モニタ画像記録用と最終出力画像記録用の２次元セ
ンサを共用しても構わない。さらに上記実施例では、モ
ニタ画像を利用して電子顕微鏡像の視野範囲とフォーカ
ス状態を確認するようにしているが、これらの一方のみ
を確認して、最終出力画像記録時にその条件を設定する
ようにしてもよい。

さらに上記実施例では、モニタ用蓄積性蛍光体シート３
５への電子線照射位置（つまり画像記録位置）を変える
ためにこのシート３５を移動させるようにしているが、
シート３５は固定したまま、電子線２の偏向状態を変え
ることによって上記照射位置を変えることも可能である
。

以上透過電子線による試料８の拡大散乱像を記録再生す
る実施態様について説明したが、本発明は、前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第３図は試料８の回折パターン８Ｃを記録する
様子を示すものである。本実施態様において電子顕微鏡
８０は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レン
ズ８１を備えたものが使用さ゛れ、対物レンズ７の後焦
平面に形成された試料８の回折パターン８Ｃは、上記後
焦平面に焦点を合わせた中間レンズ７１および投影レン
ズ７により、結像面９に拡大投影される。この場合にも
上記結像面９に２次元センサとしての蓄積性蛍光体シー
ト１１あるいはモニタ用蓄積性蛍光体シート３５を配置
すれば、該シート１１あるいは３５に透過電子線２によ
る上記回折パターン８ｃの拡大像が蓄積記録される。こ
の蓄積記録された回折パターン８Ｃは、前記第１図で説
明したのと全く同様にして読取り可能であり、その読取
り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピーとし
て再生したりすることができる。

また、以上述べた蓄積性蛍光体シート１１あるいは３５
に代えて熱蛍光体シートを用いる場合、このシートから
蓄積エネルギーを加熱によって放出させるには、例えば
ＣＯ２レーザなどの熱線を放出する加熱源を用い、この
熱線で熱蛍光体シートを走査すればよく、そのためには
例えば特公昭５５−４７７２０号公報等の記述を参考に
すればよい。

（発明の効果）以上詳細に説明した通り本発明によれば、モニタ用２次
元センサに視野探しおよび／またはピント合せのための
モニタ用電子顕微鏡像を複数記録し、各モニタ用電子顕
微鏡像を記録した際の電子顕微鏡の操作条件を記憶して
おき、上記複数のモニタ用電子顕微鏡像を再生して最良
のものを選択し、この選択されたモニタ用電子顕微鏡像
を記録した際の電子顕微鏡操作条件を設定して最終出力
画像の記録を行なうようにしているから、モニタ画像の
読取りおよび再生は本質的に１回行なうだけで済むよう
になる。したがって本発明方法によれば、所望の視野範
囲および／またはフォーカス状態の電子顕微鏡像を短時
間のうちに再生できるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の方法により電子顕微鏡像の記録読取
りを行なう装置の一例を示す概略図、第２図は上記装置
におけるモニタ画像記録の様子を示す概略斜視図、第３図は本発明方法が適用される電子顕微鏡の他の例を
示す概略図である。１・・・電子顕微鏡　　　　２・・・電子線８・・・試
料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０・・
・電子顕微鏡像記録読取装置１１・・・蓄積性蛍光体シート１２．３６・・・励起光
源１２ａ、　３８ａ・・・励起光ビーム　　１３・・・
光走査系１３ａ、　１３ｂ、　３７−・・光偏向器１５
・・・第１のフォトマルチプライヤ−１６・・・第１の
消去光源２３・・・最終出力画像再生装置２９・・・テーブル駆動手段　３０・・・シート搬送テ
ーブル３１・・・シート搬送ローラ　３２・・・第２の
消去光源３４・・・第２のフォトマルチプライヤ−３５
・・・モニタ用蓄積性蛍光体シート４０・・・モニタ画
像再生装置５０・・・撮影条件コントローラ５１・・・レンズ条件コントローラ５２・・・ポジションコントローラ５３・・・シート移動コントローラ５４・・・レンズ条件メモリ　５５・・・ポジションセ
ンサ５Ｇ・・・ポジションメモリ５７・・・シャッターコントローラー面の浄書（内容に変更なし）第１Ｖｇ１

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
的に検出して前記電子線が担う電子顕微鏡像を可視像と
して出力するための画像信号を得る電子顕微鏡像記録読
取方法において、前記電子線の蓄積記録操作に先立って予め、前記試料を
透過した電子線を試料の視野範囲および／またはフォー
カス状態が相異なる状態で１枚のモニタ用２次元センサ
の別々の箇所に照射することにより、該センサに複数の
電子顕微鏡像を蓄積記録し、このときの視野範囲および／またはフォーカス状態を得
る電子顕微鏡の操作条件を各電子顕微鏡像と対応をとっ
た上で記憶手段に記憶しておき、前記モニタ用２次元セ
ンサに対して光照射あるいは加熱を行ない、そのときの
放出光を光電的に検出してモニタ用画像信号を得、該モニタ用画像信号に基づいて、前記モニタ用２次元セ
ンサに蓄積記録された複数の電子顕微鏡像を再生し、これらの再生された電子顕微鏡像を観察して所望の視野
範囲および／またはフォーカス状態の電子顕微鏡像を選
択し、この選択された電子顕微鏡像と対応する前記操作条件を
前記記憶手段から読み出し、この条件を電子顕微鏡にお
いて設定した上で前記２次元センサへの電子線の蓄積記
録操作を行なうことを特徴とする電子顕微鏡像記録読取
方法。
（２）前記画像信号とモニタ用画像信号を得るための操
作を、前記２次元センサを真空状態に置いたままで行な
うことを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡像記録読
取方法。
（３）前記２次元センサとして蓄積性蛍光体シートを用
い、この蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートを
励起光で走査して蛍光を放出させ、この放出された蛍光
を光電的に検出することを特徴とする請求項１または２
記載の電子顕微鏡像記録読取方法。