JPH01239858A - 基板支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ワイヤポンダ、ダイポンダ等に用いる基板支
持機構に関する。

［従来の技術］ 従来のポンダに用いる基板支持機構は、第５図に示すよ
うな構造よりなる。即ち、基板ｌの送り動作時には、同
図（ｂ）に示すように、基板１は相対向して配設された
ガイドレール２．２の基板案内溝２ａ、２ａに沿って図
示しない移送手段によって紙面に垂直な方向に送られる
。ポンディング時には、同図（ａ）に示すように、ヒー
トブロック３が図示しない上下動機構によって上昇して
基板１を基板案内溝２ａ、２ａより若干持上げ、また基
板クランパ４が図示しない上下動機構によって下降し、
基板１をヒートブロック３と基板クランパ４とで挟持す
る。

ところで、かかる基板支持機構においては、基板１の品
種が、第５図に示すように厚さ１ｍｍの薄い基板ｌより
、第６図及び第７図に示すように、厚さ４ｍｍの厚い基
板ＬＡに変った場合には、次のような作業を必要とする
。

第６図及び第７図に示すように幅広の基板案内溝２ｂ、
２ｂを有するガイドレール２Ａ、２Ａに交換する必要が
ある。また第６図に示すように基板ＩＡと基板１との厚
さの差だけ薄いヒートブロック３Ａに交換するか、又は
第７図に示すように第５図の場合と同じ厚さのヒートブ
ロック３を用いる場合には、ポンディングレベルが基板
ｌとＩＡの厚さ分だけ変るので、基板クランパ４の上下
位置変更調整作業及び図示しないポンディングヘッドの
ツールの高さを調整する必要があった。

なお、この種の機構に関連するものとして、例えば実公
昭５０−４２６９６号公報に示すものが知られている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、基板１、ＩＡの厚さが変った場合には
、次のような作業を必要とする。ガイドレール２．２Ａ
で基板１．ＩＡを受けて送っているので、ガイドレール
２．２Ａの基板案内溝２ａ、２ｂの寸法を基板１、ＩＡ
の厚さに合せたガイドレール２．２Ａと交換する必要が
あった。また基板１、ＩＡの厚さに対応した厚さのヒー
トブロック３．３Ａに交換する必要があった。この場合
には、ヒートブロック３．３Ａが冷却するまでは作業は
できなく、冷却時間が必要であると共に、交換作業に多
大の時間を要する。またヒートブロック３を交換しない
場合には、基板クランパ４の上下位置調整作業及びツー
ルの高さ調整をする必要があり、この調整作業には熟練
を要する。

本発明の目的は、ガイドレール及びヒートブロックの交
換作業を必要としなく、またポンディングレベルが一定
でツールの上下調整も不要であり、基板の厚さの変化に
極めて容易に対処できる基板支持機構を提供することに
ある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、第１の解決手段として、基板を載置して上
下動可能に設けられたヒートブロックと、このヒートブ
ロックの両側に相対向して設けられ上面に基板の上面を
位置決めする基板支え部が形成された一対のガイドレー
ルと、回転自在に設けられ前記ヒートブロックを上下動
させるヒートブロック上下動カムと、前記ヒートブロッ
ク上下動カム上の基板を前記ガイドレールの基板支え部
に圧接及び離間させるように前記ヒートブロック上下動
カムを回動させるロッドを有する自動駆動手段と、この
自動駆動手段の固定部が固定され該自動駆動手段を介し
て前記ヒートブロックを回動させる方向に往復動可能に
設けられたテーブルと、基板の厚さに応じて前記テーブ
ルを手動によって往復動させる手動駆動手段とを備えた
構成にすることにより解決される。

また第２の解決手段として、基板をａ置して上下動可能
に設けられたヒートブロックと、このヒートブロックの
両側に相対向して設けられ上面に基板の上面を位置決め
する基板支え部が形成された一対のガイドレールと、回
転自在に設けられ前記ヒートブロックを上下動させるヒ
ートブロック上下ａカムと、このヒートブロック上下動
カムを駆動するモータと、前記ヒートブロック上下動カ
ム上の基板を前記ガイドレールの基板支え部に圧接及び
離間させるように前記モータを回転させる自動駆動手段
と、基板の厚さに応じて前記モータを手動操作で回転さ
せる手動駆動手段とを備えた構成にすることにより解決
される。

［作用］ 第１の解決手段の場合には、基板の厚さの差に対応した
量だけ手動駆動手段によりテーブルを移動させると、自
動駆動手段を介してヒートブロック上下動カムが回動し
てヒートブロックが上下動し、基板の厚さが変っても基
板の上面は常に一定レベルに位置させられるようになる
。また基板クランプ状態及び基板送り状態は自動駆動手
段が作動してヒートブロック上下動カムが回動してヒー
トブロックを上下動させて行う。

第２の解決手段の場合には、ヒートブロック上下動カム
をモータで駆動してなるので、基板の厚さが異なる場合
には手動駆動手段によってモータを回転させて行い、ま
た基板クランプ状態及び基板送り状態は自動駆動手段よ
り自動的にモータが回転させられる。

［実施例］ 以下１本発明の一実施例を第１図乃至第３図により説明
する。第１図及び第２図に示すように、基板１０の側面
をガイドする一対のガイドレール１１．１１の上面には
、基板１０の上面を位置決めする基板支え部１１ａが形
成されている。前記ガイドレール１１．１１間にはヒー
トブロックホルダ１２に固定されたヒートブロック１３
が配設されており、前記ヒートブロックホルダ１２は上
下動ブロック１４に固定されている。上下動ブロック１
４は、ベース１５に固定された上下ガイド部材１６に上
下動自在に設けられている。

前記上下動ブロック１４には水平に伸びた上下動レバー
２０が固定されており、この上下動レバー２０の端部に
はローラ２１が回転自在に支承されている。ローラ２１
の上方には、前記ベース１５に固定された図示しない軸
受に両端が回転自在に支承されたカムシャフト２２が配
設されており、このカムシャフト２２には前記ローラ２
１に対応した部分にヒートブロック上下動カム２３が固
定されている。そして、ローラ２１がヒートブロック上
下動カム２３に圧接するように、前記上下動レバー２０
はばね２４で上方に付勢されている。ここで、ヒートブ
ロック上下動カム２３は。

第１図（ａ）において時計方向の回動によって上昇プロ
フィルをとるようになっている。

一方、ベース１５には前記カムシャフト２２に対して直
角なガイド面を内側に有する２個の水平ガイド部材３０
．３０が固定されており、この水平ガイド部材３０．３
０には水平動テーブル３１が水平動自在に設けられてい
る。水平動テーブル３１上にはエアシリンダ３２が固定
されており。

エアシリンダ３２の作動軸にはロッド３３が固定されて
いる。ロッド３３には回転止めどン３４が固定されてお
り、回転止めピン３４はベース１５に固定されたガイド
プレート３５に形成された水平溝３５ａに挿入されてい
る。またロッド３３にはローラ３６が回転自在に支承さ
れており、このローラ３６に対応して前記ヒートブロッ
ク上下動カム２３の側面には作動レバー３７が固定され
ている。そして、作動レバー３７がローラ３６に圧接す
るように、前記ヒートブロック上下動カム２３はばね３
８で付勢されている。

また前記水平動テーブル３１上にはう、り４０が固定さ
れており、このラック４０には手動シャツ）４１に固定
されたピニオン４２が＋４合している。手動シャフト４
１はベース１５に固定された軸受４３．４３に回転自在
に支承されており、手動シャツ）４１の一端側にはすべ
りキー４４を介して手動ダイヤル４５が手動シャフト４
１と共に回転可能で、かつ手動シャフト４１の軸方向に
摺動自在に取付けられている。また手動ダイヤル４５に
対応してベース１５にはスタンド４６が固定されており
、このスタンド４６には手動ダイヤル４５側に突出した
回転止めピン４７が固定されている。そして、手動ダイ
ヤル４５には前記回転止めピン４７が入る多数の穴４５
ａが同心円上に設けられ、スタンド４６には手動ダイヤ
ル４５の外周に設けられた合せマークを合せるための数
字が刻印されている。ここで、刻印は前記多数の穴４５
ａに対応して設けられ、基板１０の厚さを示す。また手
動シャフト４１にはキャップ４８が固定されており、キ
ャップ４８と手動ダイヤル４５間の手動シャフト４１の
部分には手動ダイヤル４５をスタンド４６に圧接させる
ばね４９が配設されている。

次に作用について説明する。第１図及び第２図（ａ）は
、厚さ１ｍｍの基板１０に適合するように手動ダイヤル
４５がセットされ、かつヒートブロック１３が上昇して
ガイドレール１１．１１の基板支え部１１ａに基板１０
を押付けてクランプした状態を示す、この状態でポンデ
ィングが行われてポンディングが終了し、基板ｌＯを送
る場合には、エアシリンダ３２が作動してロッド３３及
びローラ３６が一定量突出（左側に移動）する。

これにより、作動し八−３７を介してヒートブロック上
下動カム２３が時計方向に一定量回動させられる。この
ように、ヒートブロック上下動カム２３が時計方向に回
動すると、ヒートブロック上下動カム２３の上昇プロフ
ィルによって上下動レバー２０が一定量押し下げられ、
上下動ブロック１４、ヒートブロックホルダ１２を介し
てヒートブロック１３が第２図（ｂ）のように下降し、
基板１０はガイドレール１１．１１の基板支え部１１ａ
より離れる。この状態で基板１０がヒートブロック１３
に接触しながら図示しない移送手段で送られ、基板１０
のポンディング部分がポンディング位置に位置させられ
る。

次にエアシリンダ３２が前記と逆に作動してロッド３３
及びローラ３６が右側に移動し、ばね３８の付勢力によ
って作動レバー３７及びヒートブロック上下動カム２３
が反時計方向に回動する。これによってヒートブロック
上下動カム２３は下降プロフィルをとるので、ばね２４
の付勢力によってローラ２１及び上下動レバー２０はヒ
ートブロック上下動カム２３に追従して上昇し、ヒート
ブロック１３が上昇して第１図及び第２１う（ａ）に示
すように基板１０をガイドレール１１．１１の基板支え
部１１ａに押付けてクランプする。

次に第３図に示すように前記基板ｌＯより厚い厚さ４ｍ
ｍの基板１０Ａにポンディングする場合について説明す
る。この場合、エアシリンダ３２が作動してロッド３３
が突出、即ち第２図（ｂ）の状態より第３図の基板１０
Ａに適合するように調整する場合について説明する。

手動ダイヤル４５は基板ｌＯに適合するようにセットさ
れているので１手動ダイヤル４５を引っ張って穴４５ａ
を回転止めピン４７より外し、手動ダイヤル４５を時計
方向に回して基板１０Ａに対応したスタンド４６の刻印
に手動ダイヤル４５の合せマークを合せて手を離すと、
基板１０Ａに対応した穴４５ａが回転止めピン４７に入
り、手動ダイヤル４５はロックされる。

前記のように手動ダイヤル４５を時計方向に一定量回す
と、手動シャツ）４１が回動してラック４０が左方向に
移動する。即ち、ラック４０の左方向移動量だけ水平動
テーブル３１、エアシリンダ３２、ロッド３３を介して
ローラ３６が左方向に移動する。これにより、作動レバ
ー３７を介してヒートブロック上下動カム２３が時計方
向に一定量回動させられ、ヒートブロック上下動カム２
３の上昇プロフィルによって上下動レバー２０は基板１
０と基板１０Ａとの厚さの差３ｍｍだけ下降させられ、
第３図（ｂ）に示す状態となる。即ち、第３図（ｂ）の
状態は、第２図（ｂ）の状態より基板１０と基板１０Ａ
の厚さの差だけ下降させられた状態であるので、基板１
０Ａの上面は第２図（ｂ）の基板１０の上面のレベルと
同じになる。またポンディング時及び基板１０Ａの送り
時には前記した場合と同様にエアシリンダ３２を作動さ
せることによってヒートブロック１３が第３図（ａ）（
ｂ）の状態となる。即ち、厚い基板１０Ａの場合も薄い
基板１０の場合とポンディングレベル及び基板送りレベ
ルは同じとなる。

第４図は本発明の他の実施例を示す。なお、第１図と同
じ部材には同一番号を付し、その説明は省略する。本実
施例は、ベース１５に軸受５５．５５を介して回転自在
に支承されたカムシャフト２２を直接モータ４６によっ
て制御するように構成してなる。

前記実施例は、第２図に示す薄い基板１０より第３図に
示す厚い基板１０Ａ又は逆に厚い基板１０Ａより薄い基
板１０に適合させるには１手動グ′イヤル４５を回して
行ったが、本実施例の場合には、デジタルスイッチ等の
外部入力部４７に手動で基板１０と基板１０Ａとの厚さ
の差に応じたデジタル信号を入力する。これにより、入
力信号が制御部４８、出力部４９を経由してモータ４６
を回転させ、ヒートブロック上下動カム２３は回動させ
るので、前記実施例と同様に基板１０Ａ又は基板１０に
適合するようにヒートブロック１３は上下動する。

また基板クランプ状態と基板送り状態の切換え、即ち第
２図（ａ）、第３図（ａ）の状態と第２図（ｂ）、第３
図（ｂ）の状態の切換えは、前記実施例はエアシリンダ
３２のロッド３３が作動して行ったが、本実施例は演算
部５０の指令により記憶部５１の信号が制御部４８、出
力部４９を経由してモータ４６を回転させて行う。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ガイ
ドレールには基板案内溝を無くしてヒートブロックを設
け、またヒートブロックを上下動させるヒートブロック
上下動カムを手動及び自動で上下動させるように構成し
てなるので、ガイドレール及びヒートブロックの交換作
業を必要としなく、またポンディングレベルが一定でツ
ールの上下調整も不要であり、基板の厚さの変化に極め
て容易に対処できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示し、（ａ）は−部断面正
面図、（ｂ）は一部断面平面図、第２図は第１図（ａ）
のＡ−Ａ線断面を示し、（ａ）は基板クランプ状態図、
（ｂ）は基板送り状態図、第３図は厚い基板の場合を示
し、（ａ）は基板クランプ状態図、（ｂ）は基板送り状
態図、第４図は本発明の他の実施例を示し、（ａ）は一
部断面正面図、（ｂ）は一部断面平面図、第５図（ａ）
（ｂ）、第６図（ａ）（ｂ）、第７図は従来例を示し、
第５図（ａ）、第６図、第７図は基板クランプ状態図、
第５図（ｂ）、第６図（ｂ）は基板送り状態図である。 １０．１０Ａ二基板、　　１１ニガイドレール、１１ａ
：基板支え部、　　１３：ヒートブロック、１４：上下
動ブロック、２０：上下動レバー、２２：カムシャフト
、　　２３：ヒートブロック上下動カム、　　　　　　
３２：エアシリンダ、３３：ロッド、　　　　　３１：
水平動テーブル。 ３７：作動レバー、　　　４０ニラツク、４１：手動シ
ャフト、　　４２：ピニオン、４５：手動ダイヤル、　
　４６：モータ、４７：外部入力部、　　　４８二制御
部、４９：出力部、　　　　５０：演算部、５１：記憶
部。 第２図 （ａ）　　　　　　　（ｂ） １０：基板　　　　　　　　　　１１ｑ：基飯支え部１
１：力゛イドルール 第３図 （Ｇ）　　　　　　（ｂ） １１：切・・イト・しール　　　　　　　１３−　ヒル
ドブ°ａ・・１７第７図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板を載置して上下動可能に設けられたヒートブ
   ロックと、このヒートブロックの両側に相対向して設け
   られ上面に基板の上面を位置決めする基板支え部が形成
   された一対のガイドレールと、回転自在に設けられ前記
   ヒートブロックを上下動させるヒートブロック上下動カ
   ムと、前記ヒートブロック上下動カム上の基板を前記ガ
   イドレールの基板支え部に圧接及び離間させるように前
   記ヒートブロック上下動カムを回動させるロッドを有す
   る自動駆動手段と、この自動駆動手段の固定部が固定さ
   れ該自動駆動手段を介して前記ヒートブロックを回動さ
   せる方向に往復動可能に設けられたテーブルと、基板の
   厚さに応じて前記テーブルを手動によって往復動させる
   手動駆動手段とを備えた基板支持機構。
2. （２）基板を載置して上下動可能に設けられたヒートブ
   ロックと、このヒートブロックの両側に相対向して設け
   られ上面に基板の上面を位置決めする基板支え部が形成
   された一対のガイドレールと、回転自在に設けられ前記
   ヒートブロックを上下動させるヒートブロック上下動カ
   ムと、このヒートブロック上下動カムを駆動するモータ
   と、前記ヒートブロック上下動カム上の基板を前記ガイ
   ドレールの基板支え部に圧接及び離間させるように前記
   モータを回転させる自動駆動手段と、基板の厚さに応じ
   て前記モータを手動操作で回転させる手動駆動手段とを
   備えた基板支持機構。