JPH01240841A - 光学式表面検査装置 - Google Patents
光学式表面検査装置Info
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- JPH01240841A JPH01240841A JP2559089A JP2559089A JPH01240841A JP H01240841 A JPH01240841 A JP H01240841A JP 2559089 A JP2559089 A JP 2559089A JP 2559089 A JP2559089 A JP 2559089A JP H01240841 A JPH01240841 A JP H01240841A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザー等の光源と、直線状の走査区域に沿
って走査面への光線の照準を定めるミラーホイール等の
ような光線偏向装置と、フォトレシーバ−及び電子評価
回路を有し走査面で反射した光線又は走査面を透過した
光線を受信するとこれに対応した電気信号を送出する走
査光線受信装置とを有し、前記光線は走査面に偏光して
入射され、更に前記走査光線受信装置は偏光の通過を妨
げる分析器を有する光学式表面検査装置に係るものであ
る。
って走査面への光線の照準を定めるミラーホイール等の
ような光線偏向装置と、フォトレシーバ−及び電子評価
回路を有し走査面で反射した光線又は走査面を透過した
光線を受信するとこれに対応した電気信号を送出する走
査光線受信装置とを有し、前記光線は走査面に偏光して
入射され、更に前記走査光線受信装置は偏光の通過を妨
げる分析器を有する光学式表面検査装置に係るものであ
る。
（従来技術）
従来、偏光を使用して、欠陥（エラー）の無い走査面を
走査すると、走査光線受信装置のフォトレシーバ−には
光線が届かずに、フォトレシーバ−は暗い信号（レベル
の低い信号）を送出する表面検査装置は、ＤＥ−ＯＳ３
３１４６２０号公報に記載されて公知である。
走査すると、走査光線受信装置のフォトレシーバ−には
光線が届かずに、フォトレシーバ−は暗い信号（レベル
の低い信号）を送出する表面検査装置は、ＤＥ−ＯＳ３
３１４６２０号公報に記載されて公知である。
（発明が解決しようとする課題）
前記フォトレシーバ−として−射的に使用される光電子
増倍管（ｐｂｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ）の感度レベ
ルを正しく１ｆＩＪするには、照合用のエラーを設けた
コンパクトディスク等の走査面を走査光線上に置いて、
オシロスコープによりチェックするという方法を、月の
１回の割合で、個々の装置毎に手作業で行なう必要があ
った。この手作業の調節においては、誤：Ｊ！４節の惧
れもさることながら、個々の調節作業に長時間を要する
という厄介な問題がある。特に、現代の光電子増信管は
、増倍率特性がかなり高く、また極めて大きなドリフト
率が望まれているため、−層厄介な問題となっている 更に、直交偏光子間の偏光では、エラーにより生じる走
査面のコントラストを、たまに検出できないという問題
がある。
増倍管（ｐｂｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ）の感度レベ
ルを正しく１ｆＩＪするには、照合用のエラーを設けた
コンパクトディスク等の走査面を走査光線上に置いて、
オシロスコープによりチェックするという方法を、月の
１回の割合で、個々の装置毎に手作業で行なう必要があ
った。この手作業の調節においては、誤：Ｊ！４節の惧
れもさることながら、個々の調節作業に長時間を要する
という厄介な問題がある。特に、現代の光電子増信管は
、増倍率特性がかなり高く、また極めて大きなドリフト
率が望まれているため、−層厄介な問題となっている 更に、直交偏光子間の偏光では、エラーにより生じる走
査面のコントラストを、たまに検出できないという問題
がある。
（発明の目的）
本発明の基本的目的は、継続的かつ自動的に光学的照合
信号を得られ、かつ、走査面の所定区域内のコントラス
トエラーを検出しうる光学式表面検査装置を提供するこ
とにある。
信号を得られ、かつ、走査面の所定区域内のコントラス
トエラーを検出しうる光学式表面検査装置を提供するこ
とにある。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は、入射光線の偏光
状態を切替え、また、走査区域の一部分一ヒに光学的に
歌ね合せられる小平板体（ｐｌａｔｅｌｅｔ）を、所定
の位置の送射光線路１−又は受信光線路上に配設し、走
査光線受信装置と同期させた電子評価回路により、光線
が小平板体を透過したとき又は小平板体で反射したとき
の位相においてフォトレシーバ−で受信した電気信号と
、光線が小平板体を透過せず又は小平板体で反射しなか
ったときの位相においてフォトレシーバ−で受信した電
気信号とを判別しうるようにしたものである。
状態を切替え、また、走査区域の一部分一ヒに光学的に
歌ね合せられる小平板体（ｐｌａｔｅｌｅｔ）を、所定
の位置の送射光線路１−又は受信光線路上に配設し、走
査光線受信装置と同期させた電子評価回路により、光線
が小平板体を透過したとき又は小平板体で反射したとき
の位相においてフォトレシーバ−で受信した電気信号と
、光線が小平板体を透過せず又は小平板体で反射しなか
ったときの位相においてフォトレシーバ−で受信した電
気信号とを判別しうるようにしたものである。
本発明の基本概念は、フォトレシーバ−に明るさを責す
小平板体を、走査区域の所定の一部分七に故意に配置さ
せ、もって、走査光線が小平板体上を走査したときに得
られる電気信号を、光電子増倍管の調節及び／又はコン
トラストエラーの分析に使用しようとするものである。
小平板体を、走査区域の所定の一部分七に故意に配置さ
せ、もって、走査光線が小平板体上を走査したときに得
られる電気信号を、光電子増倍管の調節及び／又はコン
トラストエラーの分析に使用しようとするものである。
前記小平板体は、送射光線または受信光線が透過しうる
透光体であり、また、偏光状態を切替える反射体でもあ
り、走査面の近傍位置に配設される。
透光体であり、また、偏光状態を切替える反射体でもあ
り、走査面の近傍位置に配設される。
本願実施例においては、小平板体は、装置が正常に機能
しているか、即ち、装置の機能が正常であるかをチェッ
クするために、小さな検査指示物として光線上に挿入配
設される。小平板体は、所望の回数だけ、例えば定期的
に光線上に置かれ、その回ごとに照合用信号が得られ、
電子評価回路の同期の結果、装置が正常であるかが判明
する。
しているか、即ち、装置の機能が正常であるかをチェッ
クするために、小さな検査指示物として光線上に挿入配
設される。小平板体は、所望の回数だけ、例えば定期的
に光線上に置かれ、その回ごとに照合用信号が得られ、
電子評価回路の同期の結果、装置が正常であるかが判明
する。
本願実施例において、光電子増倍管等により構成される
フォトレシーバ−の調節に使用される基本信号は、光線
上に置かれた小平板体を通じて電子評価回路で得られる
０本願実施例では、光電子増倍管を制御する照合信号は
、小平板体の各走査毎に得られる。
フォトレシーバ−の調節に使用される基本信号は、光線
上に置かれた小平板体を通じて電子評価回路で得られる
０本願実施例では、光電子増倍管を制御する照合信号は
、小平板体の各走査毎に得られる。
コントラストエラーの検出は、光線上に置かれた小平板
体によりコントラストエラーを調査する走査面の一部が
定められ、光線が小平板体を透過したときに電子評価回
路で、受光した光線の明暗が電気信号に分析されたとき
に、走査区域の所定の一部分に従って口される。この分
析作業は１通常の作業であるが、受光したときに必ず行
なわなければならないものではない。
体によりコントラストエラーを調査する走査面の一部が
定められ、光線が小平板体を透過したときに電子評価回
路で、受光した光線の明暗が電気信号に分析されたとき
に、走査区域の所定の一部分に従って口される。この分
析作業は１通常の作業であるが、受光したときに必ず行
なわなければならないものではない。
コントラストエラーが起りうる全ての場所で、フォトレ
シーバ−に明るさを責すために、数種の小平板体を選択
的に適宜の間隔で走査区域に設けることがある。
シーバ−に明るさを責すために、数種の小平板体を選択
的に適宜の間隔で走査区域に設けることがある。
小平板体は、局ウェーブ板または電ウェーブ板で構成さ
れる。
れる。
本願発明は、特に、コンパクトディスクのエラーを検出
するときに使用される。
するときに使用される。
コンパクトディスクの表面を検査するに適した装置は、
送射光線がディスクの表面で反射して、走査光線受信装
置に偏向されるものにおいて、小平板体を臨ませる走査
区域の一部分は、コンパクトディスクの構造部分（デー
タを記憶させた部分）の放射方向内側から、少なくとも
ディスクの中央孔まで至り、電子評価回路は金属で被覆
させない部分の金属汚染を検出する構成である。
送射光線がディスクの表面で反射して、走査光線受信装
置に偏向されるものにおいて、小平板体を臨ませる走査
区域の一部分は、コンパクトディスクの構造部分（デー
タを記憶させた部分）の放射方向内側から、少なくとも
ディスクの中央孔まで至り、電子評価回路は金属で被覆
させない部分の金属汚染を検出する構成である。
前記装置では、前記走査区域の一部分が、構ｉ′ｌｉ部
分より放射方向内側の、非構造部分（データを記憶させ
ていない部分）で、かつ、金属被覆した部分に至り、ま
た、電子評価回路が金属被覆の特性をチェックできると
きは、この部分の電気信号を基本信号として使用できる
利点を有する。
分より放射方向内側の、非構造部分（データを記憶させ
ていない部分）で、かつ、金属被覆した部分に至り、ま
た、電子評価回路が金属被覆の特性をチェックできると
きは、この部分の電気信号を基本信号として使用できる
利点を有する。
また１本発明によるコンパクトディスクの表面検査装置
は、送射走査光線はディスクの表面で反射して、走査光
線受信装首に偏向されるものにおいて、前記走査区域の
一部分は構造部分の放射方向内側から、少なくともコン
パクトディスクの中央孔まで至り、反射小平板体はコン
パクトディスクの近傍でディスクに平行に前記走査区域
の一部に沿って配設され、電子評価回路はエラー検出用
の、又は、フォトレシーバ−の調節用の基本信号を、反
射小平板体の結果に基づいて走査周期毎に１回形成する
構成である。
は、送射走査光線はディスクの表面で反射して、走査光
線受信装首に偏向されるものにおいて、前記走査区域の
一部分は構造部分の放射方向内側から、少なくともコン
パクトディスクの中央孔まで至り、反射小平板体はコン
パクトディスクの近傍でディスクに平行に前記走査区域
の一部に沿って配設され、電子評価回路はエラー検出用
の、又は、フォトレシーバ−の調節用の基本信号を、反
射小平板体の結果に基づいて走査周期毎に１回形成する
構成である。
（実施例）
本発明の一実施例を図面により説明すると、第１図にお
いて、直線偏光レーザー光を送射する偏光レーザー２４
は、帯状凹面鏡すの焦点位置に設けられたミラーホイー
ル１６にレーザー光を送射する。ミラーホイール１６で
反射された光線は、帯状凹面鏡乙に対して幾分傾斜した
状態で衝突するようにし、帯状凹面鏡６で反射した光線
がミラーホイール１６を避けて被検査物の表面に届くよ
うに構成する。被検査物の一例として。
いて、直線偏光レーザー光を送射する偏光レーザー２４
は、帯状凹面鏡すの焦点位置に設けられたミラーホイー
ル１６にレーザー光を送射する。ミラーホイール１６で
反射された光線は、帯状凹面鏡乙に対して幾分傾斜した
状態で衝突するようにし、帯状凹面鏡６で反射した光線
がミラーホイール１６を避けて被検査物の表面に届くよ
うに構成する。被検査物の一例として。
第１図および第３図にコンパクトディスクηの概略を示
す、ミラーホイール１６は偏光レーザー２４からの光線
を帯状凹面鏡δに反射させるが、このとき、帯状凹面鏡
３の全面を扇状に走査しうるように光線を反射させる。
す、ミラーホイール１６は偏光レーザー２４からの光線
を帯状凹面鏡δに反射させるが、このとき、帯状凹面鏡
３の全面を扇状に走査しうるように光線を反射させる。
走査光線は帯状凹面鏡６で反射される。帯状凹面鏡δは
走査面出と対峙し、また、ミラーホイール１６の回転の
矢印方向に対して並行に設けられる。従って、光線の照
準は、ディスクηの右端から左端まで至る直線状の走査
区域１１に沿って走査面１８全域を定期的に走査する。
走査面出と対峙し、また、ミラーホイール１６の回転の
矢印方向に対して並行に設けられる。従って、光線の照
準は、ディスクηの右端から左端まで至る直線状の走査
区域１１に沿って走査面１８全域を定期的に走査する。
：５１図に示したように、送射光線路〃は走査面１＆に
対して傾斜しており、走査面１８は木質的に鏡のような
反射面であるから、受信光線路１３も走査面１８に対し
て傾斜する。受信光線路１３は帯状分析器昂と帯状集光
レンズｎにより集光され、光電子増倍管１７に導かれる
。光電子増倍管１７には電子評価回路１５を接続する０
分析器冗は入射偏光に対して直交しており、通常、走査
面１８での偏光状態に変化が無い場合には、光電子増倍
管１７に導かれる光線は極めて僅かな量、または零とな
る。
対して傾斜しており、走査面１８は木質的に鏡のような
反射面であるから、受信光線路１３も走査面１８に対し
て傾斜する。受信光線路１３は帯状分析器昂と帯状集光
レンズｎにより集光され、光電子増倍管１７に導かれる
。光電子増倍管１７には電子評価回路１５を接続する０
分析器冗は入射偏光に対して直交しており、通常、走査
面１８での偏光状態に変化が無い場合には、光電子増倍
管１７に導かれる光線は極めて僅かな量、または零とな
る。
第１図および第２図において、ポテンショモータ３０は
送射光線路１２の近傍位置に設けられ、リンク３１を介
してホルダーｇに接続される。ホルダー支は小平板体１
４（ｐｌａｔｅｌｅｔ）を支持する。
送射光線路１２の近傍位置に設けられ、リンク３１を介
してホルダーｇに接続される。ホルダー支は小平板体１
４（ｐｌａｔｅｌｅｔ）を支持する。
該小平板体１４は、好適には、只ウェーブフィルターで
あり、偏光状態を切替えるものである。
あり、偏光状態を切替えるものである。
ポテンショモータ凋は前記電子評価回路１５に制御線画
を介して接続され、回動信号が電子評価回路１５からポ
テンショモータ加に送出されると、前記小平板体１４は
、破線で示された送射光線路１２の近傍位置から実線で
示された送射光線路ｌの位置に回動する。
を介して接続され、回動信号が電子評価回路１５からポ
テンショモータ加に送出されると、前記小平板体１４は
、破線で示された送射光線路１２の近傍位置から実線で
示された送射光線路ｌの位置に回動する。
前記電子評価回路１５は、制御ｌ線冗を介して前記ミラ
ーホイール１６に接続され、走査光線（照準）が送射さ
れている走査区域１１の正確な位置（光線の照準位置）
ごとの示度を受信する。
ーホイール１６に接続され、走査光線（照準）が送射さ
れている走査区域１１の正確な位置（光線の照準位置）
ごとの示度を受信する。
オシロスコープ２３は、エラー画像を表示するもので、
電子評価回路１５に接続される。
電子評価回路１５に接続される。
第３図に示した第２実施例において、同じ符号を付した
ものは、第１図および第２図に示したものと同等物を示
しており、ポテンショモータ３０は、受信光線路１３の
近傍位置に設けられており、小平板体１４はポテンショ
モータ３ｏの作動により破線で示した非作動位置から受
信光線路１３上に回動している。その他の構成部品は、
第１図および第２図と全く同じである。
ものは、第１図および第２図に示したものと同等物を示
しており、ポテンショモータ３０は、受信光線路１３の
近傍位置に設けられており、小平板体１４はポテンショ
モータ３ｏの作動により破線で示した非作動位置から受
信光線路１３上に回動している。その他の構成部品は、
第１図および第２図と全く同じである。
第４図は、第１図及び第２図、又は第３図に示した表面
検査装置によりエラーを監視されるコンパクトディスク
ηの斜視図を示す。
検査装置によりエラーを監視されるコンパクトディスク
ηの斜視図を示す。
コンパクトディスクηは、外周に金属面である外側部分
Ｊを有する。外側部分加には、例えば、音楽を再生する
溝等が形成される。外側部分２０に隣接した内側には、
金属面で、非構造部（データを記録してない部）である
中央部分３３が設けられる。更に、中央部分邪の内側に
は非金属面・非構造部である内側部分あが設けられ、中
央に中心孔２１が設けられる。
Ｊを有する。外側部分加には、例えば、音楽を再生する
溝等が形成される。外側部分２０に隣接した内側には、
金属面で、非構造部（データを記録してない部）である
中央部分３３が設けられる。更に、中央部分邪の内側に
は非金属面・非構造部である内側部分あが設けられ、中
央に中心孔２１が設けられる。
第１、第２実施例の光学表面検査装置は、中央を中心に
矢印方向に回転するコンパクトディスクηの外端から中
心に至る放射方向の走査区域１１に沿って、コンパクト
ディスク２２の走査面１８を走査する。
矢印方向に回転するコンパクトディスクηの外端から中
心に至る放射方向の走査区域１１に沿って、コンパクト
ディスク２２の走査面１８を走査する。
もし、第１．第２実施例の光学表面検査装置により、小
平板体１４を使用しないで第４図のように走査すると、
第５図のダイヤグラムＩがオシロスコープ２３により得
られる。また、もし、走査光線が非金属の内側部分具に
至れば、光電子増倍管１７には信号は現れない、この内
側部分３４の部分はダイヤグラムエのａで示される。金
属面である中央部分３３と外側部分屋が走査されると、
始めて信号が現れるが、光線を分析器２６により不正確
（ｎｏｎ−ｐｒｅｃｉｓｅ）にフィルターしているため
、微弱なものとなる。偏光解消されたエラー（ｄｅｐｏ
ｌａｒｉｓｉｎｇｆａｕｌｔｓ）は、信号中のビークｂ
で認識される。
平板体１４を使用しないで第４図のように走査すると、
第５図のダイヤグラムＩがオシロスコープ２３により得
られる。また、もし、走査光線が非金属の内側部分具に
至れば、光電子増倍管１７には信号は現れない、この内
側部分３４の部分はダイヤグラムエのａで示される。金
属面である中央部分３３と外側部分屋が走査されると、
始めて信号が現れるが、光線を分析器２６により不正確
（ｎｏｎ−ｐｒｅｃｉｓｅ）にフィルターしているため
、微弱なものとなる。偏光解消されたエラー（ｄｅｐｏ
ｌａｒｉｓｉｎｇｆａｕｌｔｓ）は、信号中のビークｂ
で認識される。
ダイヤグラムＩＩおよび■は、偏光状態を切替える第４
図に概略を示した小平板体１４を、金属面で構造部（デ
ータを記録した部分）である第４図の外側部分屋から放
射方向内側の部分に使用したときの走査結果を示してい
る。
図に概略を示した小平板体１４を、金属面で構造部（デ
ータを記録した部分）である第４図の外側部分屋から放
射方向内側の部分に使用したときの走査結果を示してい
る。
ダイヤグラム■は、エラーの無いコンパクトディスクη
のときにオシロスコープ乙に現れるものである。非金属
面である内側部分あの部分に該当する区域ａでは、信号
は現れないが、金属面で非構造部分である中央部分田に
入射された光線では、大きな矩形波形Ｃが生じる。この
中央部分諺の部分では、送射又は受信光線は小平板体１
４を透過している。
のときにオシロスコープ乙に現れるものである。非金属
面である内側部分あの部分に該当する区域ａでは、信号
は現れないが、金属面で非構造部分である中央部分田に
入射された光線では、大きな矩形波形Ｃが生じる。この
中央部分諺の部分では、送射又は受信光線は小平板体１
４を透過している。
小平板体１４が届かない外側部分２０に該当する後続の
信号は、再び低いレベルとなる。
信号は、再び低いレベルとなる。
コンパクトディスクηを製造中、非金属面とする筈の内
側部分具が金属蒸気で汚染されることがあり、この場合
には、内側部分具で反射される光線が増大し、第５図の
ダイヤグラムＩＩのように示される。即ち、オシロスコ
ープ乙の信号の、側部ｄは、中央部分おの金属被覆が内
側部分別にまで掛ってしまったために生じる。このよう
な信号が現れると、工立う−がオペレータに報知され、
このコンパクトディスクηは選別される。更に、エラー
の原因が調査され、対処される。
側部分具が金属蒸気で汚染されることがあり、この場合
には、内側部分具で反射される光線が増大し、第５図の
ダイヤグラムＩＩのように示される。即ち、オシロスコ
ープ乙の信号の、側部ｄは、中央部分おの金属被覆が内
側部分別にまで掛ってしまったために生じる。このよう
な信号が現れると、工立う−がオペレータに報知され、
このコンパクトディスクηは選別される。更に、エラー
の原因が調査され、対処される。
第５図のダイヤグラムＩＩおよびＴは、小平板体１４を
固定状態にした状態のときのものであり、ダイヤグラム
■は、小平板体１４を、制御のために外側部分屋に送射
された光線に当るように回動させたときのものである。
固定状態にした状態のときのものであり、ダイヤグラム
■は、小平板体１４を、制御のために外側部分屋に送射
された光線に当るように回動させたときのものである。
ここで重要なことは、小平板体１４を支持しているホル
ダー支が光線をカットしていることである。このため、
ダイヤグラム■には、短かい暗いパルスｆが、光線が小
平板体１４を透過したときの明るいパルスｅの両側に現
れている。暗いパルスｆは、小平板体１４の位置の指標
に使用される。この場合、顕著な矩形パルスは、外側部
分２０に該当する通常の微弱な信号に毛なっている。こ
の信号は、装置の機能をチェックするのに使用でき、ま
た、光電子増倍管１７の調節にも使用できる。
ダー支が光線をカットしていることである。このため、
ダイヤグラム■には、短かい暗いパルスｆが、光線が小
平板体１４を透過したときの明るいパルスｅの両側に現
れている。暗いパルスｆは、小平板体１４の位置の指標
に使用される。この場合、顕著な矩形パルスは、外側部
分２０に該当する通常の微弱な信号に毛なっている。こ
の信号は、装置の機能をチェックするのに使用でき、ま
た、光電子増倍管１７の調節にも使用できる。
同様に、各走査ごとに得られる第５図のダイヤグラムｍ
の矩形信号Ｃを、光電子増倍管１７の調節に使用するこ
とも可能である。
の矩形信号Ｃを、光電子増倍管１７の調節に使用するこ
とも可能である。
以上のように１本発明によれば、光電子増倍管のｒＡｌ
！ｉを自動的に行なえ、光パルスと通じて自動的に装置
をチェックでき、また、所望により、これらを継続して
行なえ、更に、特殊な検査区域においけるコントラスト
エラーの評価用の明るさを得ることができる。
！ｉを自動的に行なえ、光パルスと通じて自動的に装置
をチェックでき、また、所望により、これらを継続して
行なえ、更に、特殊な検査区域においけるコントラスト
エラーの評価用の明るさを得ることができる。
偏光状態を切替える小平板体１４を、第４図のコンパク
トディスクｎの区域１９上の近傍位置で、走査面１８に
平行に固定的に配置することもある。
トディスクｎの区域１９上の近傍位置で、走査面１８に
平行に固定的に配置することもある。
この場合、外側部分屋の放射方向内側に位置するコンパ
クトディスクηの区域１９は、明らかに、監視されない
が、固定的に設けた小平板体１４により、光電子増倍管
１７の調節用の、ダイヤグラム■の信号Ｃのような矩形
基本信号が、各走査ごとに得られる。
クトディスクηの区域１９は、明らかに、監視されない
が、固定的に設けた小平板体１４により、光電子増倍管
１７の調節用の、ダイヤグラム■の信号Ｃのような矩形
基本信号が、各走査ごとに得られる。
第１図は本発明による光学式表面検査装置の第１実施例
の構成図、第２図は小平板体１４の部分の拡大図、第３
図は第２実施例の構成図、第４図はコンパクトディスク
ηと小平板体１４との関係を示す斜視図、第５図はコン
パクトディスクηの走査結果をコンパクトディスクηの
半径ｒに合せてオシロスコープｎで表示させたときの４
種類のダイヤグラムを示す表面である。 符号の説明 １１・・・走査区域、臣・・・送射光線路、１３・・・
受信光線路、１４・・・小平板体、１５・・・電子評価
回路、１６・・・ミラーホイール、１７・・・光電子増
倍管、１８・・・走査面、１９・・・区域、２０・・・
外側部分、２１・・・中心孔、η・・・コンパクトディ
スク、ｎ・・・オシロスコープ、２４・・・偏光レーザ
ー、２５・・・帯状凹面鏡、九・・・帯状分析器、ｎ・
・・帯状集光レンズ、冗・・・制御線、３・・・制御線
、Ｉ・・・ポテンショモータ、３１・・・リンク、３２
・・・ホルダー、お・・・中央部分、Ｕ・・・内側部分
。 特許出願人 工ルヴイン シック ゲーエムベーＦｉｇ
、４
の構成図、第２図は小平板体１４の部分の拡大図、第３
図は第２実施例の構成図、第４図はコンパクトディスク
ηと小平板体１４との関係を示す斜視図、第５図はコン
パクトディスクηの走査結果をコンパクトディスクηの
半径ｒに合せてオシロスコープｎで表示させたときの４
種類のダイヤグラムを示す表面である。 符号の説明 １１・・・走査区域、臣・・・送射光線路、１３・・・
受信光線路、１４・・・小平板体、１５・・・電子評価
回路、１６・・・ミラーホイール、１７・・・光電子増
倍管、１８・・・走査面、１９・・・区域、２０・・・
外側部分、２１・・・中心孔、η・・・コンパクトディ
スク、ｎ・・・オシロスコープ、２４・・・偏光レーザ
ー、２５・・・帯状凹面鏡、九・・・帯状分析器、ｎ・
・・帯状集光レンズ、冗・・・制御線、３・・・制御線
、Ｉ・・・ポテンショモータ、３１・・・リンク、３２
・・・ホルダー、お・・・中央部分、Ｕ・・・内側部分
。 特許出願人 工ルヴイン シック ゲーエムベーＦｉｇ
、４
Claims (10)
- （１）レーザー等の光源と、直線状の走査区域に沿って
走査面への光線の照準を定めるミラーホィール等のよう
な光線偏向装置と、フォトレシーバー及び電子評価回路
を有し走査面で反射した光線又は走査面を透過した光線
を受信するとこれに対応した電気信号を送出する走査光
線受信装置とを有し、前記光線は走査面に偏光して入射
され、更に前記走査光線受信装置は偏光の通過を妨げる
分析器を有する光学式表面検査装置において、前記入射
光線の偏光状態を切替え、また、走査区域１１の一部分
１９上に光学的に重ね合せられる小平板体１４を、所定
の位置の送射光線路１２又は受信光線路１３上に配設し
、前記走査光線受信装置１６と同期させた前記電子評価
回路１５により、光線が前記小平板体１４を透過したと
き又は前記小平板体で反射したときの位相において前記
フォトレシーバー１７で受信した電気信号と、光線が前
記小平板体１４を透過せず、又は、前記小平板体で反射
しなかったときの位相において前記フォトレシーバーで
受信した電気信号とを判別するようにした光学式表面検
査装置。 - （２）特許請求の範囲第１項のものにおいて、前記小平
板体１４は送射光線または受信光線が透過しうる透光体
である光学式表面検査装置。 - （３）特許請求の範囲第１項のものにおいて、前記小平
板体１４は偏光状態を切替える反射体であり、被検査物
である走査面１８の近傍位置に設けられた光学式表面検
査装置。 - （４）特許請求の範囲第１項、第２項または第３項のも
のにおいて、前記小平板体１４は装置の機能が正常であ
るかをチェックするために、小さな検査指示物として送
射光線路１２又は受信光線路１３上に配設される光学式
表面検査装置。 - （５）特許請求の範囲第１項、第２項、第３項または第
４項のものにおいて、光電子増倍管等で構成される前記
フォトレシーバー１７を調節する基本信号は、送射光線
路１２又は受信光線路１３上に配設される前記小平板体
１４を介して前記電子評価回路１５により得られる光学
式表面検査装置。 - （６）特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項
または第５項のものにおいて、コントラストエラーを調
査する走査面１８の一部は、前記送射光線路１２又は受
信光線路１３上に置かれた小平板体１４により定められ
、電気信号は光線が前記小平板体１４を透過したときに
前記電子評価回路１５で受光した光線の明暗により分析
される光学式表面検査装置。 - （７）特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項
、第５項または第６項のものにおいて、直線状偏光が使
用され、前記小平板体１４は１／２ウェーブ板または１
／４ウェーブ板で構成される光学式表面検査装置。 - （８）特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項
、第５項、第６項または第７項のものにおいて、送射光
線はコンパクトディスクの表面で反射して、走査光線受
信装置に偏向され、前記小平板体１４を臨ませる走査区
域１１の一部分１９は、コンパクトディスク２２の構造
部である外側部分２０の放射方向内側から、少なくとも
コンパクトディスク２２の中央孔２１まで至り、前記電
子評価回路１５は非金属面に形成すべき部分の金属汚染
を検出するコンパクトディイスクの表面を検査するに適
した光学式表面検査装置。 - （９）特許請求の範囲第８項のものにおいて、前記走査
区域の一部分１９は構造部である外側部分２０の放射方
向内側の、非構造で金属面である中央部分３３まで至り
、前記電子評価回路１５は金属面の特性をチェックし、
及び／又はこの部分の電気信号を基本信号として使用す
る光学式表面検査装置。 - （１０）特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４
項、第５項、第６項または第７項のものにおいて、送射
走査光線はコンパクトディスクの表面で反射して、走査
光線受信装置に偏向され、前記走査区域１１の一部分１
９は構造部分である外側部分２０の放射方向内側から、
少なくともコンパクトディスク２２の中央孔２１まで至
り、反射小平板体１４はコンパクトディスク２２の近傍
でコンパクトディスクに平行に前記走査区域の一部に沿
って配設され、前記電子評価回路１５はエラー検出用の
、又は、前記フォトレシーバー１７の調節用の基本信号
を、前記反射小平板体１４の結果に基づいて走査周期毎
に１回形成するコンパクトディイスクの表面を検査する
に適した光学式表面検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3803181.7 | 1988-02-03 | ||
| DE19883803181 DE3803181A1 (de) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | Optische oberflaecheninspektionsvorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240841A true JPH01240841A (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=6346533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2559089A Pending JPH01240841A (ja) | 1988-02-03 | 1989-02-03 | 光学式表面検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0326945A3 (ja) |
| JP (1) | JPH01240841A (ja) |
| DE (1) | DE3803181A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4434473A1 (de) * | 1994-09-27 | 1996-03-28 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von Gegenständen mit polarisiertem Licht |
| US5764363A (en) * | 1995-06-30 | 1998-06-09 | Nikon Corporation | Apparatus for observing a surface using polarized light |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3325649A (en) * | 1964-08-28 | 1967-06-13 | Polaroid Corp | Radiation responsive apparatus for monitoring a web |
| DE2151529A1 (de) * | 1971-10-15 | 1973-04-19 | Sick Erwin Fa | Verfahren und vorrichtung zur optischen fehlerueberwachung von transparentem bahnmaterial |
| US4319847A (en) * | 1979-12-05 | 1982-03-16 | Measurex Corporation | Apparatus to measure select properties of a moving sheet with improved standardization means |
| US4634880A (en) * | 1982-04-19 | 1987-01-06 | Siscan Systems, Inc. | Confocal optical imaging system with improved signal-to-noise ratio |
| DE3411934C2 (de) * | 1983-04-22 | 1986-04-24 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Fehlerfeststellungsvorrichtung |
| JPS60132616U (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-04 | パイオニア株式会社 | 記録装置 |
| JPS60237347A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-26 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 異物検査装置 |
| JPS62220837A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-29 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査システム |
-
1988
- 1988-02-03 DE DE19883803181 patent/DE3803181A1/de active Granted
-
1989
- 1989-01-26 EP EP19890101351 patent/EP0326945A3/de not_active Withdrawn
- 1989-02-03 JP JP2559089A patent/JPH01240841A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0326945A3 (de) | 1991-03-20 |
| EP0326945A2 (de) | 1989-08-09 |
| DE3803181A1 (de) | 1989-08-17 |
| DE3803181C2 (ja) | 1990-07-19 |
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