JPH0124288B2 - - Google Patents

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JPH0124288B2
JPH0124288B2 JP56158566A JP15856681A JPH0124288B2 JP H0124288 B2 JPH0124288 B2 JP H0124288B2 JP 56158566 A JP56158566 A JP 56158566A JP 15856681 A JP15856681 A JP 15856681A JP H0124288 B2 JPH0124288 B2 JP H0124288B2
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JP
Japan
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photopolymerizable
carbon atoms
alkyl chain
chain containing
organic compound
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Application number
JP56158566A
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JPS5796332A (en
Inventor
Kuraaku Burainii Gearii
Jozefu Fuyuanisu Suteiibun
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EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Publication of JPS5796332A publication Critical patent/JPS5796332A/ja
Publication of JPH0124288B2 publication Critical patent/JPH0124288B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は水性現像可能な光重合性エレメントに
関する。更に特定的には本発明は改善された現像
速度を有する水性現像可能な光重合性エレメント
に関する。 水性現像性光重合性組成物は、乾燥ホトレジス
トエレメントの製造ならびに印刷、プルーフ形成
その他に対して有用な光重合性エレメントの製造
において漸増的に重要なものとなつてきている。
高い物理的強度の達成のために多くの光重合性エ
レメントはその光重合性組成物中に高分子量重合
体結合剤を使用している。そのようなエレメント
は現像速度と妥協しうることが見出されている。
そのようなエレメントの生産性向上のためには過
大な処理装置が必要とされる。水性現像性光重合
性エレメントに対する現像液はその他の技術例え
ばハロゲン化銀現像液と同様に使用および老化に
よつて活性損失を受けることが知られている。光
重合体現像液によるこの活性損失を補償するため
に、例えば付随する補充組成物を有する補充機の
ような種々の装置が考案された。補充機は高価で
あり、そしてその機械の操作は補充液が購入され
ねばならずそして操作者がその時間を補償しなく
てはならないという点で出費を増大させる。 従つて、エレメントの乾燥光重合性層の物理的
性質例えば引張り強度、光重合速度、表面例えば
金属(例えば銅)、フイルムその他への接着に悪
影響を与えることなく、そして乾燥光重合体層に
対する水性現像液に対してほとんどまたは実質的
に全く作用することなしに、標準現像溶液中で改
善された(すなわちより迅速な)現像速度を示す
水性現像可能な光重合性エレメントを製造するこ
とが望ましい。 本発明によれば、本質的に (a) 遊離ラジカル開始された連鎖延長付加重合に
よつて高分子重合体を生成しうる少くとも1種
の非ガス状エチレン性不飽和化合物、 (b) 少くとも1種の有機酸性重合体状結合剤、 (c) 有機の放射感受性で遊離ラジカル生成性の光
開始剤または光開始剤系、および (d) 光重合性組成物中の固体重量基準で少くとも
2.0重量%の量における (1) R(OCH2CH2o−OH (式中、Rは13〜18個の炭素原子を含有する
アルキル鎖またはCH3(CH27−CH=CH
(CH28−でありそしてnは2〜10である) (2) (式中、Rは7〜17個の炭素原子を含有する
アルキル鎖である) (3) (式中、RはCH3(CH27CH=CH(CH28
−、または16個および18個の炭素原子を含有
するアルキル鎖およびCH3(CH27CH=CH
(CH28−の混合物であり、そしてx+yは
2〜10である) (4) (式中、Rは8〜13個の炭素原子を含有する
直鎖または分枝鎖状アルキル鎖である) (5) (式中、Rは1〜9個の炭素原子を含有する
アルキル鎖である) (6) (式中、nは10〜50である) (7) (8) 〔C16H33N(CH33 +〕Br- (9) RNH CH2CH2COO-Na+ (式中、Rはココナツ油から導かれたアルキ
ル基である) よりなる群から選ばれた有機化合物または有機
化合物塩およびそれらの組合せ物 よりなる光重合性組成物の少くとも1個の層を有
する支持体を包含する水性現像可能な光重合性エ
レメントが提供される。 本発明の水性現像可能な光重合性エレメントは
従来技術に開示された光重合性エレメントに一般
的な以下により詳細に記載されている多くの成分
を含有している。これら成分としては付加重合し
うるエチレン性不飽和化合物(単量体)、有機酸
性重合体状結合剤、および光開始剤または光開始
剤系があげられる。存在させうるその他の添加剤
としては熱重合阻害剤、接着促進剤、可塑剤、増
感剤、染料、キレート剤などのように光重合性エ
レメントの光感受性層の形成に使用される光重合
性組成物中に一般に使用されるものがあげられ
る。「本質的になる」という表現は本発明の利点
の発現を阻止しないこれらおよびその他の添加剤
または成分を除外するものではない。光重合性組
成物は適当な支持体例えばフイルムまたは金属支
持体上に存在せしめられる。保護カバーシートを
支持体と反対の側の光重合性層上に存在させるこ
とができる。 光重合性エレメントはその光重合性層中に層の
固体重量基準で少くとも2重量%の量で前記定義
の有機化合物または有機化合物塩の少くとも1種
を存在させている。本発明の利点の達成のために
は有機化合物または有機塩化合物は可及的最小量
で存在させることが望ましい。有機化合物または
有機塩化合物は一般に固体分の20重量%を越えな
い量、好ましくは固体分の約4〜10重量%で存在
せしめる。 例えば非イオン性、陰イオン性、陽イオン性お
よび両性のタイプからの化合物が有用である。す
べての有機化合物または有機塩化合物が本発明の
化合物により達成される改善された利点を与える
のではない。例えば以下の実施例で試験される化
合物のあるものは改善された現像速度は与えな
い。ある有機化合物は以下に定義の使用済み現像
液中においてのみ改善された結果を与える。その
他の化合物は以下に定義の使用済みおよび新しい
現像液の両方において改善された結果を与える。
新しい現像液中で改善された結果を示す有機化合
物は使用済み現像液中でもまた改善された結果を
示す。 光重合性組成物中で試験された有機化合物およ
び有機化合物塩の例は次のものである。 非イオン性タイプ (1)(a) C13H27(OCH2CH26−OH (1)(b) C18H37(OCH2CH22−OH (1)(c) C18H37(OCH2CH210−OH (1)(d) CH3(CH27CH=CH−(CH28
(OCH2CH210−OH (2) 〔式中Rとしては(a)C7H15(分子量212)、(b)
C12H25(分子量282)、(c)C17H35(分子量345)ま
たは(d)C17H35(分子量350)があげられる〕 (3)(a) 〔式中x+yは5でありそしてRはオレイル
である(分子量498)〕 (3)(b) 〔式中x+yは5であり、そしてRは水素化
獣脂(tallow)より導かれた直鎖アルキル基
である(分子量500)〕 (3)(c) 〔式中x+yは5でありそしてRは水素化獣脂
(tallow)から導かれた直鎖アルキル基である
(分子量2478)〕 (3)(d) (式中x+yは10でありそしてRは獣脂
(tallow)から導かれた直鎖アルキル基であ
る) 陰イオンタイプ (4) 〔式中、Rは(a)C4H9(イソブチル)、(b)C5H11
(アミル)、(c)C6H11(シクロヘキシル)、(d)
C6H13(ヘキシル)、(e)C8H17(オクチル)特に2
−エチルヘキシル、または(f)C13H27(トリデシ
ル)である〕 (5) (式中、Rは1〜9個の炭素原子を含有するア
ルキル鎖である) 〔ウイトコネート(Witconate) 10〜59(ウ
イツトコ・ケミカル社製品)〕 陽イオンタイプ (6) 〔式中、nとしては(a)25(分子量1600)、(b)41
(分子量2500)または(c)9(分子量600)のもの
があげられる〕 (7) ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシ
ド (8) ヘキサデシルトリメチルアンモニウムブロミ
ド 両性タイプ (9) RNHCH2CH2COO-Na+ (式中、Rはココナツ油から導かれたアルキル
基である) 水性現像性光重合性エレメントはポジとして働
くまたはネガとして働くものでありうる。ポジと
して働くエレメントは、米国特許第4162162号明
細書の特に例7(二重露光が使用されている)、そ
して米国特許第4198242号明細書に特に例27(ニト
ロ芳香族組成物が光重合性組成物中に開示されて
いる)に開示されている。ネガとして働くエレメ
ントは、例えば米国特許第3458311号および同第
4273857号各明細書に開示されている。これら乾
燥光重合性層は水性アルカリ性溶液例えば1重量
%のNa2CO3・H2O中で40℃において30〜90秒間
の20psi(1.4×106ダイン/cm2)のスプレー圧で現
像可能である。 単一単量体としてかまたは他との組合せで使用
できる適当な単量体としては、次記すなわち第三
級ブチルアクリレート、1,5−ペンタンジオー
ルアクリレート、N,N−ジエチルアミノエチル
アクリレート、エチレングリコールジアクリレー
ト、1,4−ブタンジオールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、ヘキサメチ
レングリコールジアクリレート、1,3−プロパ
ンジオールアクリレート、デカメチレングリコー
ルジアクリレート、デカメチレングリコールジメ
タクリレート、1,4−シクロヘキサンジオール
アクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジ
アクリレート、グリセロールジアクリレート、ト
リプロピレングリコールジアクリレート、グリセ
ロールトリアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロー
ルプロパントリアクリレートおよびトリメタクリ
レートおよび米国特許第3380831号明細書開示の
同様の化合物、2,2−ジ(p−ヒドロキシフエ
ニル)−プロパンジアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、2,2−ジ(p−
ヒドロキシフエニル)−プロパンジメタクリレー
ト、トリエチレングリコールジアクリレート、ポ
リオキシエチル−2,2−ジ(p−ヒドロキシフ
エニル)−プロパンジメタクリレート、ビスフエ
ノールAのジ(3−メタクリルオキシ−2−ヒド
ロキシプロピル)エーテル、ビスフエノールAの
ジ−(2−メタクリルオキシエチル)エーテル、
ビスフエノールAのジ−(3−アクリルオキシ2
−ヒドロキシプロピル)エーテル、ビスフエノー
ルAのジ(2−アクリルオキシエチル)エーテ
ル、テトラクロロビスフエノールAのジ(3−メ
タクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エー
テル、テトラクロロビスフエノールAのジ−(2
−メタクリルオキシエチル)エーテル、テトラブ
ロモビスフエノールAのジ−(3−メタクリルオ
キシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、テト
ラブロモビスフエノールAのジ−(2−メタクリ
ルオキシエチル)エーテル、1,4−ブタンジオ
ールのジ−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロ
キシプロピル)エーテル、ジフエノール酸のジ−
(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピ
ルエーテル)、トリエチレングリコールジメタク
リレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプ
ロパントリアクリレート、エチレングリコールジ
メタクリレート、ブチレングリコールジメタクリ
レート、1,3−プロパンジオールジメタクリレ
ート、1,2,4−ブタントリオールトリメタク
リレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペ
ンタンジオールジメタクリレート、ペンタエリス
リトールトリメタクリレート、1−フエニルエチ
レン−1,2−ジメタクリレート、ペンタエリス
リトールテトラメタクリレート、トリメチロール
プロパントリメタクリレート、1,5−ペンタン
ジオールジメタクリレート、ジアリルフマレー
ト、スチレン、1,4−ベンゼンジオールジメタ
クリレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン
および1,3,5−トリイソプロペニルベンゼン
があげられる。 結合剤として特に好ましいものは酸性で重合体
状の有機化合物である。その理由は得られる光重
合性組成物は有機溶媒の欠除した単に水性のアル
カリ性溶媒中で現像可能であるからである。単一
または多重結合剤化合物を使用することができ
る。水性アルカリ性媒体中に可溶性でそして本発
明の組成物中で有用な一つの種類のフイルム形成
性結合剤は、遊離カルボン酸基を含有するビニル
付加重合体であり、これは30〜96モル%の1種ま
たはそれ以上のアルキルアクリレートと70〜6モ
ル%の1種またはそれ以上のα,β−エチレン性
不飽和カルボン酸から製造され、そしてより好ま
しくは61〜94モル%の2種のアルキルアクリレー
トおよび39〜6モル%のα,β−エチレン性不飽
和カルボン酸から製造されるものである。これら
重合体状結合剤の製造に使用するに適当なアルキ
ルアクリレートとしてはメチルアクリレート、エ
チルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチ
ルアクリレート、メチルメタクリレート、エチル
メタクリレート、ブチルメタクリレートその他が
あげられる。適当なα,β−エチレン性不飽和カ
ルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸そ
の他があげられる。それらの製造を含めてこのタ
イプの結合剤はドイツ特許出願公開第2320849号
明細書に記載されている。 酸性結合剤を使用する利点はまた、(1)スチレン
タイプのビニル単量体と(2)不飽和カルボキシル含
有単量体との共重合体(英国特許第1361298号明
細書に詳細に記載されている)である予め生成さ
れた相容性の高分子量重合体結合剤の選択によつ
ても得ることができる。 その他の光重合性組成物は二つの群からその成
分が選択されている、予め生成された相容性高分
子量重合体結合剤混合物の使用によつて得られ
る。米国特許第4273857号明細書記載の混合物の
使用は現像における有機溶媒の必要性をなくす
る。これらは2種のタイプの結合剤の混合物であ
る。第1のタイプのものは、好ましくはビニルア
セテートとクロトン酸との共重合体、エチルアク
リレート、メチルメタクリレートおよびアクリル
酸のターポリマー、およびセルロースアセテート
サクシネートから選ばれる。第2のタイプは、好
ましくはトルエンスルホンアミドホルムアルデヒ
ド、メチルメタクリレートとメタクリル酸との共
重合体、メチルメタクリレート、エチルアクリレ
ートおよび水素マレアートのターポリマー、塩化
ビニル、ビニルアセテートおよびマレイン酸のタ
ーポリマー、スチレンとマレイン酸無水物との共
重合体、メチルメタクリレート、エチルアクリレ
ートおよびメタクリル酸のターポリマーから選ば
れる。 この光重合性組成物は、90〜40重量部の量の結
合剤ならびに10〜60重量部の量で存在せしめた単
量体化合物を含有している。1種以上の結合剤を
使用することができる。 活性線放射により活性化可能なそして185℃お
よびそれ以下では熱的に不活性な好ましい遊離ラ
ジカル生成性付加重合開始剤としては、共役炭素
環状環系中に2個の環内カルボニル炭素原子を含
有する化合物である置換または非置換の多核キノ
ン、例えば9,10−アントラキノン、1−クロロ
アントラキノン、2−クロロアントラキノン、2
−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキ
ノン、2−第三級ブチルアントラキノン、オクタ
メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、
9,10−フエナントレンキノン、1,2−ベンズ
アントラキノン、2,3−ベンズアントラキノ
ン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3
−ジクロロナフトキノン、1,4−ジメチルアン
トラキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、
2−フエニルアントラキノン、2,3−ジフエニ
ルアントラキノン、アントラキノンα−スルホン
酸ナトリウム、3−クロロ−2−メチルアントラ
キノン、レテンキノン、7,8,9,10−テトラ
ヒドロナフタセンキノン、および1,2,3,4
−テトラヒドロベンズ(a)アントラセン−7,12−
ジオンがあげられる。あるものは85℃の低い温度
で熱的に活性であるにしてもこれまた有用なその
他の光開始剤が米国特許第2760863号明細書中に
記載されており、そしてこれらとしては、ビシナ
ルケトアルドニルアルコール例えばベンゾイン、
ピバロイン、アシロインエーテル例えばベンゾイ
ンメチルおよびエチルエーテル、α−メチルベン
ゾイン、α−アリルベンゾインおよびα−フエニ
ルベンゾインを含むα−炭化水素置換芳香族アシ
ロインがあげられる。米国特許第2850445号、同
第2875047号、同第3097096号、同第3074974号、
同第3097097号および同第3145104号各明細書に開
示の光還元性染料および還元剤ならびにフエナチ
ン、オキサジンおよびキノン群の染料、ミヒラー
のケトン、ベンゾフエノン、水素ドナーを伴なう
2,4,5−トリフエニル−イミダゾリル二量
体、および米国特許第3427161号、同第3479185号
および同第3549367号各明細書記載のそれらの混
合物を開始剤として使用することができる。また
米国特許第4162162号明細書に開示の増感剤もま
た、光開始剤および光阻害剤に関して有用であ
る。開始剤は全光重合性層の0.1〜10重量%、好
ましくは0.2〜5重量%で存在する。 好ましくは本発明の組成物はまた光重合性系の
熱重合を阻止するための阻害剤をも含有してい
る。 光重合性組成物中に使用しうる熱重合阻害剤と
してはp−メトキシフエノール、ヒドロキノン、
およびアルキルおよびアリール置換ヒドロキノン
およびキノン、第三級ブチルカテコール、ピロガ
ロール、銅レジネート、ナフチルアミン、β−ナ
フトール、塩化第一銅、2,6−ジ第三級ブチル
−p−クレゾール、フエノチアジン、ピリジン、
ニトロベンゼンおよびジニトロベンゼン、p−ト
ルキノンおよびクロラニルがあげられる。米国特
許第4168982号明細書に開示のニトロソ組成物も
また熱重合阻害剤に対して有用である。 また種々の染料および顔料を添加してレジスト
画像の可視性を上昇させることができる。しかし
ながら使用されるすべての着色剤は可視または紫
外スペクトル領域の他の放射線に対して不透明ま
たはこれを強く吸収してもよいが使用される活性
線放射に対して透明であるべきことが好ましい。 光重合性層中に存在せしめるその他の添加剤と
しては非重合性可塑剤例えばジオクチルフタレー
ト、トリエチレングリコールジアセテート、ポリ
(エチレン/プロピレン)グリコール(分子量
3200)、トリクレジルホスフエートその他があげ
られる。 光重合性エレメントは、通常のコーテイング操
作によつて基質上に光重合性組成物をコーテイン
グすることによつて製造できる。適当なコーテイ
ング溶媒としては、メチルエチルケトン、メチレ
ンクロリド、ジメチルホルムアミド、水性アンモ
ニア、水その他があげられる。「基質」とはいず
れかの天然または合成支持体、好ましくは可撓性
または剛性フイルムまたはシート形態で存在しう
るものを意味している。例えば基質は金属シート
または箔、合成有機樹脂のシートまたはフイル
ム、セルロース紙、フアイバーボードその他また
はこれら物質の2種またはそれ以上のものの複合
体でありうる。特定の基質としては、アルミナブ
ラストアルミニウム、アノード処理アルミニウ
ム、ポリエチレンテレフタレートフイルム例えば
樹脂下塗りポリエチレンテレフタレートフイル
ム、ポリビニルアルコールコーテイング紙、交叉
結合ポリエステルコーテイング紙、ナイロン、ガ
ラス、セルロースアセテートフイルム、重質紙例
えば石版印刷紙その他があげられる。 特定の基質は一般に、関係する使途により決定
される。例えば印刷回路の製造の場合にはその基
質はフアイバーボード上の銅コーテイングである
プレートでありうるし、石版印刷プレートの製造
においてはその基質はアノード処理アルミニウム
である。 好ましくはこの光重合性組成物の層は約0.0001
インチ(2.5μm)〜約0.01インチ(250μm)の範
囲の厚さを有しており、そして低度ないし中等度
の接着性で活性線放射を光重合性層に透過させう
る薄い可撓性重合体フイルム支持体に接着してい
る。この光重合性層の反対側ではフイルム支持体
と層との間の接着力よりは弱い接着力を層に対し
て有しているような保護カバー層またはカバーシ
ートをそれに接着させることができる。特に好ま
しい支持体は約0.001インチ(〜0.0025cm)の厚
さを有する透明ポリエチレンテレフタレートフイ
ルムである。ポリエチレン〔0.001インチ(〜
0.0025cm)〕が好ましいカバーシートである。ポ
リビニルアルコールコーテイングは好ましいカバ
ー層である。 光重合性エレメントは活性線放射に露光され
る。この露光はハーフトーン画像透明体例えばプ
ロセス陰画または陽画(実質的に不透明のおよび
実質的に透明な部分のみよりなりそして不透明部
分が実質的に同一の濃度である画像含有透明体)
を通しての紫外線放射に富んだ光源によるもので
ありうる。透明体はまた線画像例えば工業用図面
または回路の形態のものを有しうる。画像または
透明体はエレメントに表面に接触させてもまたは
させていなくてもよく、すなわち密着露光であつ
てもまたは投影露光であつてもよい。透明フイル
ム支持体を通しての露光に対しては、必要な時間
は露光放射の強度および組成物の固有写真速度に
よつて数秒ないし数分の範囲となる。露光後、カ
バーシートまたはシート支持体(それを通してエ
レメントが露光された)を除去し、そしてその硬
化部分および未硬化部分を有する露光層を後者を
エレメントから除去することにより現像する。未
硬化部分の除去は露光されたエレメント側を現像
溶液で処理しそれによつて未露光部分を洗去(ウ
オツシユアウト)することにより達成することが
できる。あるいはまた、オーバーコート層がカバ
ーシートの代りに存在する場合には、未露光光重
合性層のための現像液は未露光部分上のオーバー
コート層を完全に、そして露光部分上のそれを少
くとも一部分除去する。 活性線放射により活性化可能な遊離ラジカル生
成性開始剤は紫外線の範囲においてその最高活性
を示すのであるから、その放射源は通常この放射
の有効量を与えるべきである。点光源および幅広
い放射源の両方が有効である。そのような光源と
してはカーボンアーク、キセノンアーク、水銀蒸
気アーク、紫外線放射発光性螢光体を有する螢光
ランプ、アルゴングローランプ、電子フラツシユ
ユニツトおよび写真用フラツドランプがあげられ
る。タングステン1000W石英ヨーダイドランプも
また適当である。光重合性層から3.8〜61cmの距
離の水銀蒸気アークが一般に使用される。点光源
は一般にエレメントから50〜500cmの距離で使用
される。しかしながらある場合にはスペクトルの
可視領域で感受性の光開始剤を使用して可視光線
に露光させるのが有利でありうることを認識すべ
きである。そのような場合には、その放射源は有
効量の可視放射を与えるべきである。前記した放
射源の多くのものは必要量の可視光線を与える。 露光後、エレメントは例えば露光層の面上の光
硬化性層の未硬化部分を水性現像液で洗去するこ
とによつて現像される。これは露光された層の側
の光重合性層でありうる。これはスプレージエツ
トの含浸、撹拌含浸、刷毛塗り、またはスクラビ
ングによるものでありうる。 水性現像性光重合性組成物は水性塩基すなわち
一般に0.01〜2重量%範囲の濃度の水溶性塩基の
水性溶液を使用して現像される。 現像に適当な塩基としてはアルカリ金属水酸化
物例えばリチウム、ナトリウムおよびカリウムの
水酸化物、弱酸の塩基反応を示すアルカリ金属塩
例えばリチウム、ナトリウムおよびカリウムの炭
酸塩および重炭酸塩、水酸化アンモニウムおよび
テトラ置換水酸化アンモニウムヒドロキサイド例
えばテトラメチル−、テトラエチル−、トリメチ
ルベンジル−およびトリメチルフエニル−アンモ
ニウムヒドロキサイド、スルホニウムヒドロキサ
イド例えばトリメチル−、ジエチルメチル−およ
びジメチルベンジル−スルホニウムヒドロキサイ
ド、およびその塩基性可溶性塩例えば炭酸塩、重
炭酸塩および硫化物、アルカリ金属燐酸塩および
ピロ燐酸塩例えばナトリウムおよびカリウムトリ
ホスフエートおよびナトリウムおよびカリウムピ
ロホスフエート、テトラ置換(好ましくは全部ア
ルキル)ホスホニウム、アルソニウムおよびスチ
ボニウムヒドロキサイド例えばテトラメチルホス
ホニウムヒドロキサイドがあげられる。 本発明の水性現像性光重合性エレメントは改善
された現像速度を有する乾燥ホトレジストの製造
に有用である。ホトレジストは多層回路製造用の
回路板である。この光重合性エレメントはまた、
例えばレリーフ(凸版)または平版印刷タイプの
水性現像性印刷プレートの製造に有用である。光
重合性エレメントに対するその他の用途は、米国
特許第4173673号明細書に示されているような例
えばプルーフおよびリソマスクの製造に使用され
るようなドツトエツチング(網点蝕刻)可能な光
重合体リソフイルムの製造においてである。 次の実施例は本発明を説明するがここに%およ
び部は重量基準である。 後記の例2〜22に使用されている現像液は種々
の経時(エージング)/使用特性のものである。
この尺度は本発明の添加有機化合物または有機塩
化合物を有しない対照エレメント中で観察された
クリアリング時間(露光エレメントの未露光画像
部分を完全に洗去または現像するための時間)範
囲である。対照エレメントと共に使用される新し
い現像液および使用済現像液は、本発明の目的に
対して次のように規定される。これら例中の新し
い現像液は短いクリアリング時間(すなわち90秒
以下)を有している。これら例中に使用される使
用済現像液は比較的より長いクリアリング時間
(すなわち90秒またはそれ以上)を有している。 例 1 オーバーコート処方 澱粉分散液 (A) 1ステンレススチールビーカー中に下記を
スラリー化させる。 米澱粉(「レミ 」タイプB6ニユートラル、水
分散液中で4〜6μmの粒子サイズ、セラニー
ズ社製品) 84.8g 蒸溜水 224.0g (B) 5ステンレススチールポツト中で下記を混
合する。 「ビノール(Vinol) 」107(水中10%固体
分)(98.0〜98.8%加水分解ポリビニルアルコ
ール、ブルツクフイールド型式LVF粘度6〜
8cps4%水洗/20℃/#スピンドル/60rpm、
エア・プロダクツ・アンド・ケミカル社製品)
294.0g 蒸溜水 3885.0g ビーカー(A)の内容をポツト(B)に加え、ビーカー
(A)を224.0gの蒸留水で2回洗い、洗浄水をポツ
ト(B)に加える。この混合物をワーリングブレンダ
ーを使用して分散させる。 オーバーコート組成物 10ステンレススチールポツト中で下記を連続
的に混合する。
【表】 | ‖
体分、〓CF17−SO−N−CH−C−O〓K)
アンダーコート処方 顔料添加チツプ 次の組成物を77rpmのバンバリーミキサー中で
その混合温度が200℃に達した時点から6分間混
合する。
【表】
【表】 混合期間の間この混合物温度は200℃またはそ
れ以下に保持される。混合物を0.025インチ
(0.635mm)厚さのシートにカレンダー処理しそし
てこれを室温まで冷却させそしてチヨツピング
(細断)、ダイシング(方形切断)または顆粒化に
よつて小チツプに破壊させる。 5ガロン(〜19)のステンレススチールポツ
ト中で、順次に次の成分を混合する。
【表】 有機化合物の添加 それぞれ4400gの前記アンダーコート処方の4
区分(A〜Dとする)の各々に、前記有機化合物
4(e)すなわちナトリウムビス−(2−エチルヘキ
シル)−スルホサクシネートを表1に記載の比率
で加える。これら溶液を非下引き側にはポリ珪酸
帯電防止剤化合物を有する0.004インチ(0.10mm)
の樹脂下引きポリエチレンテレフタレートフイル
ムベース上にコーテイングする。コーターは実験
室規模の連続ウエブ用コーターおよびドライヤー
組合せである。この乾燥コーテイングの厚さは約
20μmである。次いでオーバーコートを同様の方
法で適用して5.0μmの乾燥コーテイング厚さとす
る。現像クリアリング時間に対するこの添加有機
化合物の効果は連続洗去プロセサー(「クロナ−
ライト(Crona−Lite)」 (デユポン社製品)
を通る最大線速度をインチ/分(cm/分)で測定
される。クリアリング速度は次の表1に記載され
ておりそしてこれは関係式 標準化クリアリング時間=
75/実測クリアリング速度 を使用して標準化クリアリング時間に変換され
る。
【表】 時間の減少%
例 2〜22 乾燥フイルム光重合体処方 ストツク溶液の調製 適当な容器すなわちステンレススチールビーカ
ー中に、溶解を助けるために撹拌しつつ次の成分
を連続的に加える。重合体結合剤の添加の後では
その結合剤が溶解するまで混合物を撹拌し、そし
てこの後で更にその成分を加える。残りの成分は
比較的速やかに混入する。
【表】 オキシド
【表】 前記ストツク溶液を区分量に分割しそして種種
の比率の供試有機化合物または有機塩化合物およ
び最終単量体化合物たるポリオキシエチルトリメ
チロールプロパントリアクリレートをストツク溶
液の個々の区分量に加える。対照は62.4gの追加
単量体を含有していて800.48gの合計重量を生成
させる。ほとんどの場合、有機化合物はグラム対
グラム基準で単量体の一部を置換する(表に%
で示されている)。記載されている場合には、有
機化合物をその最終単量体の全量を含有する混合
物に加える。この溶液を0.010インチ(0.25mm)
のドクターナイフを使用してポリエチレンテレフ
タレートフイルム上にコーテイングし風乾させそ
して0.001インチ(0.025mm)厚さのポリエチレン
カバーシートに積層させる。カバーシートを除去
した後、フイルムをスクラブした1オンス/平方
フイート(〜30mg/cm2)銅被覆パネルに210〜220
〓(99〜105℃)でロール積層させる。支持体を
除去しそして銅パネルから未露光像部分を溶解さ
せるに必要なクリアリング時間を、デユポン型式
ADS−24プロセサー(デユポン社製品)中で水
性現像液として105〓(40℃)の1%炭酸ナトリ
ウム1水和物の水性溶液を使用して視覚的に測定
する。
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】 例 23 次の成分を含有するストツク溶液を例2〜22に
記載のようにして製造する。
【表】 ナトリウムビス(2−エチルヘキシル)スルホ
サクシネートは添加せずそして14.3gのトリメチ
ロールプロパントルアクリレートを存在させる以
外は前記のようにして対照ストツク溶液をも製造
する。 例2〜22に記載のようにして、この溶液をコー
テイングし、乾燥させそして積層させる。カバー
シートの除去後、フイルムをこれまた前記実施例
に記載のようにして熱ロール積層させる。支持体
を除去しそして上側パネルから未露光像部分を溶
解するに必要なクリアリング時間を例2〜22に記
載のプロセサー中で同様の水性現像液を使用して
視覚的に測定する。対照は45秒で除去され、一方
本発明のエレメントは25秒で除去される。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 本質的に (a) 遊離ラジカル開始された連鎖延長付加重合に
    よつて高分子重合体を生成しうる少くとも1種
    の非ガス状エチレン性不飽和化合物、 (b) 少くとも1種の有機酸性重合体状結合剤、 (c) 有機の放射感受性で遊離ラジカル生成性の光
    開始剤または光開始剤系よりなり、そして更に (d) 光重合性組成物中の固体重量基準で少くとも
    2.0重量%の量における (1) R(OCH2CH2o−OH (式中、Rは13〜18個の炭素原子を含有する
    アルキル鎖またはCH3(CH27−CH=CH
    (CH28−であり、そしてnは2〜10である) (2) (式中Rは7〜17個の炭素原子を含有するア
    ルキル鎖である) (3) (式中、RはCH3(CH27CH=CH(CH28
    −、または16個および18個の炭素原子を含有
    するアルキル鎖およびCH3(CH27CH=CH
    (CH28−の混合物であり、そしてx+yは
    2〜10である) (4) (式中Rは8〜13個の炭素原子含有の直鎖ま
    たは分枝鎖状アルキル鎖である) (5) (式中、Rは1〜9個の炭素原子を含有する
    アルキル鎖である) (6) (式中、nは10〜50である) (7) (8) 〔C16H33N(CH33 +〕Br- (9) RNH CH2CH2COO-Na+ (式中、Rはココナツ油から導かれたアルキ
    ル基である) よりなる群から選ばれた有機化合物または有機
    化合物塩 およびそれらの組合せを含有する光重合性組成物
    の少くとも1個の層を有する支持体を包含する水
    性現像可能な光重合性エレメント。 2 存在する有機化合物が式 (式中Rは8〜13個の炭素原子を含有する直鎖ま
    たは分枝鎖状アルキル鎖である)を有することを
    特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の光重
    合性エレメント。 3 有機化合物がナトリウムビス(2−エチルヘ
    キシル)スルホサクシネートであることを特徴と
    する、前記特許請求の範囲第2項記載の光重合性
    エレメント。 4 有機化合物が式 (2) (式中Rは7〜17個の炭素原子を含有するアルキ
    ル鎖である)を有することを特徴とする、前記特
    許請求の範囲第1項記載の光重合性エレメント。 5 Rが7個の炭素原子を含有するアルキル鎖で
    あることを特徴とする前記特許請求の範囲第4項
    記載の光重合性エレメント。 6 光重合性層が銅支持体に接着していることを
    特徴とする、前記特許請求の範囲第1項記載の光
    重合性エレメント。
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