JPH01243041A - ウェハ観察用写真撮影機 - Google Patents
ウェハ観察用写真撮影機Info
- Publication number
- JPH01243041A JPH01243041A JP63070025A JP7002588A JPH01243041A JP H01243041 A JPH01243041 A JP H01243041A JP 63070025 A JP63070025 A JP 63070025A JP 7002588 A JP7002588 A JP 7002588A JP H01243041 A JPH01243041 A JP H01243041A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage case
- camera body
- film
- developed
- photo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
- G03B17/50—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus
- G03B17/52—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus of the Land type
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
- G03B17/50—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cameras Adapted For Combination With Other Photographic Or Optical Apparatuses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置の製造に用いられるクリーンルーム
内等において、光学または電子顕微鏡に取付けて使用さ
れる写真撮影機に関するものである。
内等において、光学または電子顕微鏡に取付けて使用さ
れる写真撮影機に関するものである。
従来の技術
一般に半導体装置等の超微細加工を要する製品は、大気
中のダスト数を厳しく制限したクリーンルーム内で製造
される。！た半導体装置等の製造にあたっては、素子の
表面状態や断面形状を光学または電子顕微鏡で確認し、
解析や分析を行う必要がある。
中のダスト数を厳しく制限したクリーンルーム内で製造
される。！た半導体装置等の製造にあたっては、素子の
表面状態や断面形状を光学または電子顕微鏡で確認し、
解析や分析を行う必要がある。
従来より、このような解析や分析を行うために、光学顕
微鏡または電子顕微鏡に第４図に示すような写真撮影機
を装着し、素子の表面や断面を写真撮影する方法がとら
れている。
微鏡または電子顕微鏡に第４図に示すような写真撮影機
を装着し、素子の表面や断面を写真撮影する方法がとら
れている。
第４図に示す写真撮影機は、いわゆるインスタントカメ
ラと呼ばれているもので、撮影機本体１内に１枚ずつフ
ィルムを収納し、写真撮影を完了する都度、フィルム取
シ出し口３からはみ出したフィルム引き出し紙片２を引
っ張ってフィルム４を引き出し、フィルム面に塗布され
た現像用薬剤をローラーで押しひろげて現像するもので
ある。
ラと呼ばれているもので、撮影機本体１内に１枚ずつフ
ィルムを収納し、写真撮影を完了する都度、フィルム取
シ出し口３からはみ出したフィルム引き出し紙片２を引
っ張ってフィルム４を引き出し、フィルム面に塗布され
た現像用薬剤をローラーで押しひろげて現像するもので
ある。
発明が解決しようとする課題
ところが、このような従来の写真撮影機をクリーンルー
ム内で使用すると、フィルム４を引き出す際にフィルム
取り出し口３からフィルム４に使用されている紙繊維や
薬剤粒子等が周囲の空間に飛散し、クリーンルーム内を
汚染するという問題がある。
ム内で使用すると、フィルム４を引き出す際にフィルム
取り出し口３からフィルム４に使用されている紙繊維や
薬剤粒子等が周囲の空間に飛散し、クリーンルーム内を
汚染するという問題がある。
近年、このような問題を解決するとともに顕微鏡撮影を
能率よくするために、撮影機本体１にフィルム取り出し
口３を覆うように第６図に示す収納ケース６を着脱自在
に取付け、撮影機本体１で現像まで完了した写真を順次
収納ケース５内に送υ出す方式の写真撮影機も開発され
ている。このようにすれば、現像済写真が送り出される
際に様様なダストが発生しても、これらのダストは収納
ケース５内に送り込まれるだけで、クリーンルーム内に
飛散することは少ない。
能率よくするために、撮影機本体１にフィルム取り出し
口３を覆うように第６図に示す収納ケース６を着脱自在
に取付け、撮影機本体１で現像まで完了した写真を順次
収納ケース５内に送υ出す方式の写真撮影機も開発され
ている。このようにすれば、現像済写真が送り出される
際に様様なダストが発生しても、これらのダストは収納
ケース５内に送り込まれるだけで、クリーンルーム内に
飛散することは少ない。
ところが、この場合、撮影後の写真を確認しようとして
、収納ケース５を撮影機本体１がら取９外すと、その瞬
間に収納ケースＳ内にあったダストが収納ケース５の開
口部からクリーンルーム内に飛散するため、クリーンル
ーム内を汚染してしまう。
、収納ケース５を撮影機本体１がら取９外すと、その瞬
間に収納ケースＳ内にあったダストが収納ケース５の開
口部からクリーンルーム内に飛散するため、クリーンル
ーム内を汚染してしまう。
この問題を避けるには、収納ケース５を取付けたまま撮
影機本体１を顕微鏡から取外し、撮影機本体１をクリー
ンルーム外に持ち出してから写真を取り出さなければな
らない。このため、クリーンルームへの出入９回数が増
え、結果的にクリーンルーム内のクリーン度が低下する
。しかもいちいち撮影機本俸１を顕微鏡に着脱しなけれ
ばならないから、トータル的にみると必ずしも写真撮影
作業は効率化されない。
影機本体１を顕微鏡から取外し、撮影機本体１をクリー
ンルーム外に持ち出してから写真を取り出さなければな
らない。このため、クリーンルームへの出入９回数が増
え、結果的にクリーンルーム内のクリーン度が低下する
。しかもいちいち撮影機本俸１を顕微鏡に着脱しなけれ
ばならないから、トータル的にみると必ずしも写真撮影
作業は効率化されない。
また、上記収納ケース５は不透明な樹脂ケース等で構成
されているため、作業中に写真の撮影状態を確認するこ
とができないという問題がある。
されているため、作業中に写真の撮影状態を確認するこ
とができないという問題がある。
特に何枚か全連続して撮影する際、−枚目の撮影で露光
量、焦点１色あい等が適正かどうかを判断し、引き続き
同一条件で撮影してよいかどうかを決定しなければなら
ないが、現像済みの写真が不透明な収納ケース５に入り
込んでしまうため、露光量や焦点の確認ができない。こ
れを確認するためには、前述と同様に、撮影機本体１ご
とりＩＪ −ンルーム外に持ち出し、写真を取り出して
行わなければならない。このためクリーンルームへの出
入りによる汚染の問題や撮影作業が非効率になることは
避けられない。また、この確認作業を怠ると、連続的に
撮影した何枚かの写真撮影をすべて失敗することもあり
得る。
量、焦点１色あい等が適正かどうかを判断し、引き続き
同一条件で撮影してよいかどうかを決定しなければなら
ないが、現像済みの写真が不透明な収納ケース５に入り
込んでしまうため、露光量や焦点の確認ができない。こ
れを確認するためには、前述と同様に、撮影機本体１ご
とりＩＪ −ンルーム外に持ち出し、写真を取り出して
行わなければならない。このためクリーンルームへの出
入りによる汚染の問題や撮影作業が非効率になることは
避けられない。また、この確認作業を怠ると、連続的に
撮影した何枚かの写真撮影をすべて失敗することもあり
得る。
更に撮影機本体１と収納ケース５を一体にしたままクリ
ーンルーム外へ持ち出し、収納ケース５を取シ外す際に
、収納ケースＳ内に収納された何枚かの写真が床等に落
下することも多く、この場合、どの写真が何番目に撮影
されたものかが判らなくなり、写真の確認作業が著しく
困難になる。
ーンルーム外へ持ち出し、収納ケース５を取シ外す際に
、収納ケースＳ内に収納された何枚かの写真が床等に落
下することも多く、この場合、どの写真が何番目に撮影
されたものかが判らなくなり、写真の確認作業が著しく
困難になる。
本発明はこのような従来の問題を解決する写真撮影機を
提供するものである。
提供するものである。
課題を解決するための手段
本発明は写真の収納ケースに、その写真収納用開口部を
開閉自在に密封する蓋を設けたものである。また本発明
は収納ケースの少なくとも一部を透明にしたものである
。さらに本発明は収納ケースそのものを導電性材料で構
成するか、あるいは収納ケースの表面に導電性処理を施
したものである。また本発明は撮影される複数の写真に
連続符号を付与する構成を備えている。
開閉自在に密封する蓋を設けたものである。また本発明
は収納ケースの少なくとも一部を透明にしたものである
。さらに本発明は収納ケースそのものを導電性材料で構
成するか、あるいは収納ケースの表面に導電性処理を施
したものである。また本発明は撮影される複数の写真に
連続符号を付与する構成を備えている。
作用
収納ケースに、その写真収納用開口部を開閉自在に密封
する蓋を設ければ、蓋で収納ケースを密封した後に収納
ケースを撮影機本体から取り外すことにより、クリーン
ルーム内にダストを飛散させることなく、収納ケースの
みをクリーンルーム外に持ち出すことができろうこのた
め、顕微鏡からいちいち撮影機本体を取り外す必要がな
くなり、トータルの作業効率を高めることができる。ま
た収納ケースの少なくとも一部を透明にすることにより
、収納ケースの外から写真の露光量、焦点。
する蓋を設ければ、蓋で収納ケースを密封した後に収納
ケースを撮影機本体から取り外すことにより、クリーン
ルーム内にダストを飛散させることなく、収納ケースの
みをクリーンルーム外に持ち出すことができろうこのた
め、顕微鏡からいちいち撮影機本体を取り外す必要がな
くなり、トータルの作業効率を高めることができる。ま
た収納ケースの少なくとも一部を透明にすることにより
、収納ケースの外から写真の露光量、焦点。
色あい等を確認することができ、撮影ミスを少なくする
ことができる。さらに収納ケースに導電性処理を施すこ
とにより高圧の静電気の発生を防止し、静電気によるダ
ストのひきつけを防止することができる。また収納ケー
スに送り込まれる写真に連続符号を付与することにより
、何番目に撮影された写真かが一目で判るため、写真の
確認作業が容易になり、確認ミスを確実に防止すること
ができる。
ことができる。さらに収納ケースに導電性処理を施すこ
とにより高圧の静電気の発生を防止し、静電気によるダ
ストのひきつけを防止することができる。また収納ケー
スに送り込まれる写真に連続符号を付与することにより
、何番目に撮影された写真かが一目で判るため、写真の
確認作業が容易になり、確認ミスを確実に防止すること
ができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図とともに説明
する。
する。
第３図は光学顕微鏡へ写真撮影機を取付けた状態を示す
ものであり、６は顕微鏡、７は焦点調整用ねじ、８は照
明用光源、９は写真撮影装置（シャッター）、１ｏは撮
影用ファインダー、１１は顕微鏡６の上部に写真撮影機
を着脱自在に取付けるためのアタッチメント、１２はア
タッチメント１１の先端部に取付けられるホルダー、１
３はホルダークランプねじ、１４はホルダー１２とホル
ダークランプねじ１３によってアタッチメント１１に着
脱自在に取付けられた撮影機本体、１６は撮影機本体１
４に着脱自在に取付けられた収納ケース、１６は収納ケ
ース１５に取付けられた蓋である。
ものであり、６は顕微鏡、７は焦点調整用ねじ、８は照
明用光源、９は写真撮影装置（シャッター）、１ｏは撮
影用ファインダー、１１は顕微鏡６の上部に写真撮影機
を着脱自在に取付けるためのアタッチメント、１２はア
タッチメント１１の先端部に取付けられるホルダー、１
３はホルダークランプねじ、１４はホルダー１２とホル
ダークランプねじ１３によってアタッチメント１１に着
脱自在に取付けられた撮影機本体、１６は撮影機本体１
４に着脱自在に取付けられた収納ケース、１６は収納ケ
ース１５に取付けられた蓋である。
第１図は第３図に示した写真撮影機の構造に示すもので
ある。撮影機本体１４は、その前面がホルダー１２に固
着され、後面にフィルム送り出しボタン１７が、側面に
写真使用番号表示窓１８が設けられ、前面に遮光板１９
がスライド可能に取付けられている。なお説明の便宜上
、撮影機本体１４内部のカメラの構造等については図示
していない。収納ケース１６は、撮影機本体１４の側面
のフィルム取り出し口２ｏを覆うように、固定つめ２１
．２１によって撮影機本体１４に着脱自在に取付けられ
ている。この収納ケース１６には、第２図（ａ） 、
（ｂ） 、 （Ｃ）にも示すように、写真収納用開口部
付近にスライド可能な蓋１６が設けられている。また内
部両側には送り込まれた現像済み写真２２全整然と重ね
て保持するための写真押えバネ２３が設けられている。
ある。撮影機本体１４は、その前面がホルダー１２に固
着され、後面にフィルム送り出しボタン１７が、側面に
写真使用番号表示窓１８が設けられ、前面に遮光板１９
がスライド可能に取付けられている。なお説明の便宜上
、撮影機本体１４内部のカメラの構造等については図示
していない。収納ケース１６は、撮影機本体１４の側面
のフィルム取り出し口２ｏを覆うように、固定つめ２１
．２１によって撮影機本体１４に着脱自在に取付けられ
ている。この収納ケース１６には、第２図（ａ） 、
（ｂ） 、 （Ｃ）にも示すように、写真収納用開口部
付近にスライド可能な蓋１６が設けられている。また内
部両側には送り込まれた現像済み写真２２全整然と重ね
て保持するための写真押えバネ２３が設けられている。
そしてこの実施例では収納ケース１６の全面が透明材料
で構成されている。
で構成されている。
２４は現像済み写真２２の一部に表示された番号である
。
。
上記構成において、第１図に示すように収納ケース１６
を撮影機本体１４に取付けた状態で蓋１６を引き出して
おけば、フィルム送り出しボタン１了の操作により現像
済みの写真２２がフィルム取り出し口２０から収納ケー
ス１６内に順次送り込まれ、写真押えバネ２３に押えら
れながら重ねて保持される。そして所定の枚数の写真を
撮影した後、第２図（ｂ）に実線で示すように蓋１６を
押し込んで収納ケース１６の写真収納用開口部を密封し
、固定つめ２１’、２１を開いて収納ケース１６を撮影
機本体１４から取り外す。このとき、収納ケース１５内
には紙繊維等のダストが発生しているが、蓋１６で密封
されるためダストが収納ケース１６外へ飛散することは
ない。このため収納ケース１５の取外しをクリーンルー
ム内で行ってもクリーンルームが汚染されることはない
。したがって作業者は収納ケース１６のみを取外してク
リーンルーム外へ持ち出すことができ、従来の写真撮影
機全体を取外しクリーンルーム外へ持ち出すのに比べて
、作業能率を大幅に改善することができる。
を撮影機本体１４に取付けた状態で蓋１６を引き出して
おけば、フィルム送り出しボタン１了の操作により現像
済みの写真２２がフィルム取り出し口２０から収納ケー
ス１６内に順次送り込まれ、写真押えバネ２３に押えら
れながら重ねて保持される。そして所定の枚数の写真を
撮影した後、第２図（ｂ）に実線で示すように蓋１６を
押し込んで収納ケース１６の写真収納用開口部を密封し
、固定つめ２１’、２１を開いて収納ケース１６を撮影
機本体１４から取り外す。このとき、収納ケース１５内
には紙繊維等のダストが発生しているが、蓋１６で密封
されるためダストが収納ケース１６外へ飛散することは
ない。このため収納ケース１５の取外しをクリーンルー
ム内で行ってもクリーンルームが汚染されることはない
。したがって作業者は収納ケース１６のみを取外してク
リーンルーム外へ持ち出すことができ、従来の写真撮影
機全体を取外しクリーンルーム外へ持ち出すのに比べて
、作業能率を大幅に改善することができる。
また収納ケース１６が透明材料で構成されているから、
収納ケース１６の外部から現像済み写真２２の露光量、
焦点９色あい等が適正かどうかが一目で判断できる。こ
のため不安のうちに作業をしなければならないとか、連
続した何枚かの写真の撮影をことごとく失敗するという
問題を防止することができる。なお、収納ケース１５の
全体を透明にする必要はなく、現像済み写真２２の撮影
状態を確認するのに必要な部分のみを透明にしてもよい
。
収納ケース１６の外部から現像済み写真２２の露光量、
焦点９色あい等が適正かどうかが一目で判断できる。こ
のため不安のうちに作業をしなければならないとか、連
続した何枚かの写真の撮影をことごとく失敗するという
問題を防止することができる。なお、収納ケース１５の
全体を透明にする必要はなく、現像済み写真２２の撮影
状態を確認するのに必要な部分のみを透明にしてもよい
。
さらに、図面には示していないが、収納ケース１６その
ものを導電性材料で構成するか、あるいはその表面に導
電性材料を塗布するなどして導電性処理を施しておけば
、現像済み写真２２の送り込み等による高圧の静電気の
発生を抑えることができ、その結果、収納ケース１５が
周囲のダストを引き込むのを防止することができる。こ
のようにすればクリーンルーム内の特にクリーン度の高
い領域での使用時等に、写真撮影機周辺の汚染を最小限
に抑えることができる。
ものを導電性材料で構成するか、あるいはその表面に導
電性材料を塗布するなどして導電性処理を施しておけば
、現像済み写真２２の送り込み等による高圧の静電気の
発生を抑えることができ、その結果、収納ケース１５が
周囲のダストを引き込むのを防止することができる。こ
のようにすればクリーンルーム内の特にクリーン度の高
い領域での使用時等に、写真撮影機周辺の汚染を最小限
に抑えることができる。
また、現像済み写真２２に連続した番号２４を表示して
おけば、仮に何枚かの写真の前後が入れかわっても、撮
影順序を簡単に判別することができる。このため、確認
作業が混乱するおそれもなくなる。なお連続番号に限ら
ずアルファベット等の連続記号を表示してもよい。表示
方法は、−枚ずつ機械的に刻印してもよいし、現像時に
同時に表示してもよい。
おけば、仮に何枚かの写真の前後が入れかわっても、撮
影順序を簡単に判別することができる。このため、確認
作業が混乱するおそれもなくなる。なお連続番号に限ら
ずアルファベット等の連続記号を表示してもよい。表示
方法は、−枚ずつ機械的に刻印してもよいし、現像時に
同時に表示してもよい。
また、たとえば１０枚のフィルムを撮影機本体１４に収
納しておき、最初の作業で４枚を使い、その後の作業で
５枚目以降を使いたいことがある。
納しておき、最初の作業で４枚を使い、その後の作業で
５枚目以降を使いたいことがある。
このような場合、フィルムを１枚使うたびに写真使用番
号表示窓１８に使用枚数を示す番号を表示すれば、何枚
口から撮影が開始されるか、あるいは残９枚数が何枚か
が一目で判９、極めて使い勝手のよいものになる。
号表示窓１８に使用枚数を示す番号を表示すれば、何枚
口から撮影が開始されるか、あるいは残９枚数が何枚か
が一目で判９、極めて使い勝手のよいものになる。
発明の効果
本発明によれば、写真撮影にともなうクリーンルームの
汚染を最小限に抑え、撮影の効率そのものを高めること
ができる。
汚染を最小限に抑え、撮影の効率そのものを高めること
ができる。
第１図は本発明の一実施例における写真撮影機の斜視図
、第２図（ＩＬ） ｔ （ｂ） ＃ （Ｃ）はその収納
ケースの側面図、正面図、平面図、第３図は第１図の写
真撮影機を顕微鏡に取付けた状態の側面図、第４図は従
来の写真撮影機の斜視図、第５図は従来の収納ケースの
斜視図である。 ６・・・・・・顕微鏡、１２・・・・・・ホルダー、１
４・・・・・・撮影機本体、１５・・・・・・収納ケー
ス、１６・・・・・・蓋、１了・・・・・・フィルム送
り出しボタン、１８・・・・・・写真使用番号表示窓、
１９・・・−・・遮光板、２０・・・・・・蓋、２１・
・・・・・固定つめ、２２・・・・・・現像済み写真、
２３・・・・・・写真弁えバネ、２４・・・・・・番号
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
報彩躊禾株 ３−一−フィルムー取ジおし口 ４−３１：’ｂΔ名を男長影３克みフィルム第４図
、第２図（ＩＬ） ｔ （ｂ） ＃ （Ｃ）はその収納
ケースの側面図、正面図、平面図、第３図は第１図の写
真撮影機を顕微鏡に取付けた状態の側面図、第４図は従
来の写真撮影機の斜視図、第５図は従来の収納ケースの
斜視図である。 ６・・・・・・顕微鏡、１２・・・・・・ホルダー、１
４・・・・・・撮影機本体、１５・・・・・・収納ケー
ス、１６・・・・・・蓋、１了・・・・・・フィルム送
り出しボタン、１８・・・・・・写真使用番号表示窓、
１９・・・−・・遮光板、２０・・・・・・蓋、２１・
・・・・・固定つめ、２２・・・・・・現像済み写真、
２３・・・・・・写真弁えバネ、２４・・・・・・番号
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
報彩躊禾株 ３−一−フィルムー取ジおし口 ４−３１：’ｂΔ名を男長影３克みフィルム第４図
Claims (4)
- （１）撮影機本体のフィルム取り出し口に、このフィル
ム取り出し口を覆うように現像済み写真の収納ケースを
着脱自在に取付け、この収納ケースの写真収納用開口部
に、この写真収納用開口部を開閉自在に密封する蓋を設
けたことを特徴とする写真撮影機。 - （２）収納ケースの少なくとも一部を透明にしたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の写真撮影機。 - （３）収納ケースを導電性材料で構成するか、または収
納ケースの表面に導電性処理を施したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項または第２項記載の写真撮影機。 - （４）撮影機本体のフィルム取り出し口に、このフィル
ム取り出し口を覆うように収納ケースを着脱自在に取付
け、上記撮影機本体で現像された写真を上記フィルム取
り出し口より上記収納ケース内に順次送り出すように構
成するとともに、上記送り出される現像済写真に連続符
号を付与するように構成したことを特徴とする写真撮影
機。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070025A JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
| US07/326,040 US4977420A (en) | 1988-03-24 | 1989-03-17 | Camera with development function |
| KR1019890003661A KR920003742B1 (ko) | 1988-03-24 | 1989-03-23 | 현상기능을 갖춘 사진촬영기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070025A JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243041A true JPH01243041A (ja) | 1989-09-27 |
| JP2681983B2 JP2681983B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=13419648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63070025A Expired - Fee Related JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4977420A (ja) |
| JP (1) | JP2681983B2 (ja) |
| KR (1) | KR920003742B1 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5520697U (ja) * | 1978-07-28 | 1980-02-08 | ||
| JPS55127543A (en) * | 1979-03-26 | 1980-10-02 | Hitachi Ltd | Film number recording device |
| JPS5619087U (ja) * | 1979-07-20 | 1981-02-19 | ||
| JPS57102620A (en) * | 1980-12-18 | 1982-06-25 | Hironobu Sagawa | Burglar camera |
| JPS6162882U (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-28 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2496630A (en) * | 1946-05-31 | 1950-02-07 | Polaroid Corp | Apparatus for exposing and processing photographic film |
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