JPH01248581A - 炭酸ガスレーザ発振器 - Google Patents
炭酸ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01248581A JPH01248581A JP63077577A JP7757788A JPH01248581A JP H01248581 A JPH01248581 A JP H01248581A JP 63077577 A JP63077577 A JP 63077577A JP 7757788 A JP7757788 A JP 7757788A JP H01248581 A JPH01248581 A JP H01248581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- discharge
- insulating cylinder
- laser
- switches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高周波放電励起により生ずレーザの出力制御を
行なえる炭酸ガスレーザ発振器に関するものである。
行なえる炭酸ガスレーザ発振器に関するものである。
従来の技術
第５図に従来の高周波（以下、ＲＦと称す）放電励起に
よるＣＯ２レーザ発振管、ＲＦ定電源よびその接続構成
を示す。第５図において、１は内部にＣＯ２、Ｎ２ 、
Ｈａなどの混合ガスを満たしたガラスなどからなる絶縁
筒で、絶縁筒１の両端には全反射鏡２と出力鏡３とが設
けられており、全反射鏡２と出力ｖ１３とで光学共振器
が構成されている。４．５は絶縁筒１をはさむように、
光軸方向に対向して設置した電極であり、ＲＦ電源６に
接続されでる。そして、ＲＦ電源６から、電極４．５を
介してＲＦ雷電流印加されると、絶縁筒１の内のガス中
には放電が起り、光学共振器の作用によってＣＯ２レー
ザ光が発生し、この発生したＣＯ２レーザ光は、出力鏡
３から外部に取り出しレーザ加工や、計測用光源などに
用られる。そして、出力鏡３から外部に取り出されるレ
ーザ光の出力調整は放電電流を制御して行われる。
よるＣＯ２レーザ発振管、ＲＦ定電源よびその接続構成
を示す。第５図において、１は内部にＣＯ２、Ｎ２ 、
Ｈａなどの混合ガスを満たしたガラスなどからなる絶縁
筒で、絶縁筒１の両端には全反射鏡２と出力鏡３とが設
けられており、全反射鏡２と出力ｖ１３とで光学共振器
が構成されている。４．５は絶縁筒１をはさむように、
光軸方向に対向して設置した電極であり、ＲＦ電源６に
接続されでる。そして、ＲＦ電源６から、電極４．５を
介してＲＦ雷電流印加されると、絶縁筒１の内のガス中
には放電が起り、光学共振器の作用によってＣＯ２レー
ザ光が発生し、この発生したＣＯ２レーザ光は、出力鏡
３から外部に取り出しレーザ加工や、計測用光源などに
用られる。そして、出力鏡３から外部に取り出されるレ
ーザ光の出力調整は放電電流を制御して行われる。
発明が解決しようとする課題
しかし、従来の構成においてレーザ光の出力調整は、放
電電流を制御して行うが、放電電流を小さくすると、放
電が不安定となるためレーザ出力を広い範囲にわたり安
定して制御するのは困難であった。たとえば最大出力１
ＣＯＷのＣＯ２レーザ発振器において、１Ｗ以下の出力
を安定して制御することはむづかしい。このためにひと
つの解決手段として、第６図に示すように、レーザ出力
は安定したレベルに維持し、レーザ光の光路上に半透明
鏡７を設置し、大部分のレーザ光を光軸と直交する方向
である８の方向に導ぎ、残りの一部のレーザ光だけを光
軸方向９に導き利用するものがある。しかし、レーザ光
を８の方向と９の方向に配分する配分比は、半透明ｆｆ
１７の特性によって定まるもので、配分比を自由に変え
ることが出来ない問題があった。
電電流を制御して行うが、放電電流を小さくすると、放
電が不安定となるためレーザ出力を広い範囲にわたり安
定して制御するのは困難であった。たとえば最大出力１
ＣＯＷのＣＯ２レーザ発振器において、１Ｗ以下の出力
を安定して制御することはむづかしい。このためにひと
つの解決手段として、第６図に示すように、レーザ出力
は安定したレベルに維持し、レーザ光の光路上に半透明
鏡７を設置し、大部分のレーザ光を光軸と直交する方向
である８の方向に導ぎ、残りの一部のレーザ光だけを光
軸方向９に導き利用するものがある。しかし、レーザ光
を８の方向と９の方向に配分する配分比は、半透明ｆｆ
１７の特性によって定まるもので、配分比を自由に変え
ることが出来ない問題があった。
本発明はレーザ出力を広い範囲にわたり、安定して制御
することができる炭酸ガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
することができる炭酸ガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明は、絶縁筒体の外周
側部に絶縁筒体を挟むように対向して複数対の電極が配
置され、これらの電極間に放電される高周波により絶縁
筒体内のＣＯ２ガスが励起されてレーザ発振するＣＯ２
レーザ管と、このＣＯ２レーザ管の各電極に対応した接
点を有して任意の電極間における放電の開始および停止
を制御可能なスイッチとを備えた構成としたものである
。
側部に絶縁筒体を挟むように対向して複数対の電極が配
置され、これらの電極間に放電される高周波により絶縁
筒体内のＣＯ２ガスが励起されてレーザ発振するＣＯ２
レーザ管と、このＣＯ２レーザ管の各電極に対応した接
点を有して任意の電極間における放電の開始および停止
を制御可能なスイッチとを備えた構成としたものである
。
作用
上記構成により、必要なレーザ光出力の大きさに応じて
、放電領域を選択することが可能となりレーザ光出力の
広い範囲にわたって安定なレーザ光を得ることができる
。たとえば小さなレーザ光出力の場合には、一対の電極
にだけＲＦ雷電流供給することによって放電をごく限ら
れた一部の放電領域において行なわせる。このとき、放
電領域の単位面積当りの放電電流は小さくする必要が゛
なく、安定した放電が維持できる電流密度とすることが
できる。
、放電領域を選択することが可能となりレーザ光出力の
広い範囲にわたって安定なレーザ光を得ることができる
。たとえば小さなレーザ光出力の場合には、一対の電極
にだけＲＦ雷電流供給することによって放電をごく限ら
れた一部の放電領域において行なわせる。このとき、放
電領域の単位面積当りの放電電流は小さくする必要が゛
なく、安定した放電が維持できる電流密度とすることが
できる。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、絶縁筒体１１の内部には、ＣＯ２、Ｎ２
、Ｈａなどの混合ガスが封入されており、絶縁筒体１
１はガラスなどで形成されている。
１図において、絶縁筒体１１の内部には、ＣＯ２、Ｎ２
、Ｈａなどの混合ガスが封入されており、絶縁筒体１
１はガラスなどで形成されている。
この絶縁筒体１１の一端には全反射鏡１２が配置され、
他端には出力鏡１３が配置されており、両者によって光
学共振器が構成されている。そして、絶縁筒体１１の外
周側部には、複数対の電極１４ａ、 １５ａ、 １４ｂ
。
他端には出力鏡１３が配置されており、両者によって光
学共振器が構成されている。そして、絶縁筒体１１の外
周側部には、複数対の電極１４ａ、 １５ａ、 １４ｂ
。
１５ｂ、 １４ｃ、 １５ｃが絶縁筒体１１を挟むよう
に対向して配置されており、各電極１４ａ、 １５ａ、
１４ｂ、 １５ｂ、 １４Ｃ。
に対向して配置されており、各電極１４ａ、 １５ａ、
１４ｂ、 １５ｂ、 １４Ｃ。
１５ｃは外部の高周波電源１６にそれぞれ並列にスイッ
チ１７．１８を介して接続されている。このスイッチ１
７．１８は各電極１４ａ、 １５ａ、 １４ｂ、 １５
ｂ、 １４ｃ、 １５ｃにそれぞれ対応する接点１９ａ
、 １９ｂ、 １９ｃおよび２０ａ、２０ｂ。
チ１７．１８を介して接続されている。このスイッチ１
７．１８は各電極１４ａ、 １５ａ、 １４ｂ、 １５
ｂ、 １４ｃ、 １５ｃにそれぞれ対応する接点１９ａ
、 １９ｂ、 １９ｃおよび２０ａ、２０ｂ。
２Ｑｃと、高周波電源１６に接続された主極２１．２２
とを有しており、両スイッチ１７．１８は連動して作動
するようになされている。
とを有しており、両スイッチ１７．１８は連動して作動
するようになされている。
以下、上記構成における作用について説明する。
第２図に示すように、スイッチ１７．１８の主極２１゜
２２がそれぞれ全接点１９ａ、 １９ｂ、 １９ｃおよ
び２０ａ、 ２０ｂ。
２２がそれぞれ全接点１９ａ、 １９ｂ、 １９ｃおよ
び２０ａ、 ２０ｂ。
２０ｃと閉成された状態においては、全放電領域で放電
が行われ、最大レーザ出力が得られる。また、第３図に
示すように、スイッチ１７．１８の主極２１゜２２がそ
れぞれひとつの接点１９ａおよび２０ａと閉成された状
態においては、第４図の斜線部Ａすなわち一対の電極１
４ａ、 １５ａの間においてのみ放電が行われ、放電領
域の長さに応じたレーザ出力が得られる。このとき、放
電領域の単位面積当りの放電電流を小さくする必要がな
いので、安定した放電を維持できる。
が行われ、最大レーザ出力が得られる。また、第３図に
示すように、スイッチ１７．１８の主極２１゜２２がそ
れぞれひとつの接点１９ａおよび２０ａと閉成された状
態においては、第４図の斜線部Ａすなわち一対の電極１
４ａ、 １５ａの間においてのみ放電が行われ、放電領
域の長さに応じたレーザ出力が得られる。このとき、放
電領域の単位面積当りの放電電流を小さくする必要がな
いので、安定した放電を維持できる。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、レーザ管に複数対
の電極を設け、これらの電極のうち任意のものにおいて
放電を行うことにより、放電領域の長さを制御して任意
のレーザ出力を得ることができる。しかも、このとき放
電領域の単位面積当りの放電電流を小さくする必要がな
いので安定した放電を維持できる。
の電極を設け、これらの電極のうち任意のものにおいて
放電を行うことにより、放電領域の長さを制御して任意
のレーザ出力を得ることができる。しかも、このとき放
電領域の単位面積当りの放電電流を小さくする必要がな
いので安定した放電を維持できる。
第１図は本発明の一実施例を示す全体構成図、第２図お
よび第３図はスイッチの作動状態を示す図、第４図は第
１図における放電領域を示す図、第５図および第６図は
従来のレーザ発振器の構成を示す図である。 １１ ・・・絶縁筒、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１５ａ
、１５ｂ、１５ｃ −・・電極、１７．１８・・・スイ
ッチ、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、２０ａ、２０ｂ、２０
ｃ −・・接点、２１．２２・・・主極。 代理人 森 本 義 拡 声１図 ｔｔ−−−ｆ＆ ａ ｍ ｆ４ａ、 ｆ４ｂ、 ｆ４ｃ、 ｆ５ａ、 ｆ５ｂ、
１５ｃｍニー １ｉ ｊ蔭し １’？、ｆｇ−−一又イッ手 ＩＱａ、 ｆｑｂ、 ｆＱｃ、 ２０ａ、 ｚＯｂ、
２０ｃ−接点 ２１．２２−−一主腫 第２図 第４図 Ｍ５図 第６図
よび第３図はスイッチの作動状態を示す図、第４図は第
１図における放電領域を示す図、第５図および第６図は
従来のレーザ発振器の構成を示す図である。 １１ ・・・絶縁筒、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１５ａ
、１５ｂ、１５ｃ −・・電極、１７．１８・・・スイ
ッチ、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、２０ａ、２０ｂ、２０
ｃ −・・接点、２１．２２・・・主極。 代理人 森 本 義 拡 声１図 ｔｔ−−−ｆ＆ ａ ｍ ｆ４ａ、 ｆ４ｂ、 ｆ４ｃ、 ｆ５ａ、 ｆ５ｂ、
１５ｃｍニー １ｉ ｊ蔭し １’？、ｆｇ−−一又イッ手 ＩＱａ、 ｆｑｂ、 ｆＱｃ、 ２０ａ、 ｚＯｂ、
２０ｃ−接点 ２１．２２−−一主腫 第２図 第４図 Ｍ５図 第６図
Claims (1)
- １、絶縁筒体の外周側部に絶縁筒体を挟むように対向し
て複数対の電極が配置され、これらの電極間に放電され
る高周波により絶縁筒体内のＣＯ＿２ガスが励起されて
レーザ発振するＣＯ＿２レーザー管と、このＣＯ＿２レ
ーザ管の各電極に対応した接点を有して任意の電極間に
おける放電の開始および停止を制御可能なスイッチとを
備えた炭酸ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077577A JPH01248581A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 炭酸ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077577A JPH01248581A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 炭酸ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01248581A true JPH01248581A (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=13637849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63077577A Pending JPH01248581A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 炭酸ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01248581A (ja) |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP63077577A patent/JPH01248581A/ja active Pending
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