JPH01249666A - 溶射によるセラミックの接合方法 - Google Patents
溶射によるセラミックの接合方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミックとセラミックの接合方法及び予め
接合しているセラミックとセラミックの接合部の補強方
法に関するものである。
接合しているセラミックとセラミックの接合部の補強方
法に関するものである。
（従来の技術）
近年、セラミックは、高温下での強度力夫大きく、且つ
硬くて摩擦し難り、耐食性がよい等の特徴を有している
ので各種産業への用途開発が行われている。
硬くて摩擦し難り、耐食性がよい等の特徴を有している
ので各種産業への用途開発が行われている。
しかし、一般にセラミックは製造上の問題より大型複雑
形状の構造体を製造しに（い欠点を有していることから
、セラミックの接合技術の開発は重要な課題となってい
る（特開昭６０−１６８８３号公報）。
形状の構造体を製造しに（い欠点を有していることから
、セラミックの接合技術の開発は重要な課題となってい
る（特開昭６０−１６８８３号公報）。
一般にセラミックの接合技術には、有機系接着材法、無
機系接着材法、ブレージング、メタライジング、拡散接
合法、圧着法、レーザー法、電接法等がある。上記接合
法の内、有機系接着材法、ブレージング、メタライジン
グ等は高温下（例えば６００ ’Ｃ〜７００ ’Ｃ以上
）での強度がない。
機系接着材法、ブレージング、メタライジング、拡散接
合法、圧着法、レーザー法、電接法等がある。上記接合
法の内、有機系接着材法、ブレージング、メタライジン
グ等は高温下（例えば６００ ’Ｃ〜７００ ’Ｃ以上
）での強度がない。
すなわち、これらの接合では、接合材料かい異種材料で
ある為、高温下では母材と接合材料の熱応力が大きくな
り接合強度が小さい。更に、接合材は一般に母材と反応
性の高い活性な低融点材料を使用する為、接合部は高温
下で強度がない。
ある為、高温下では母材と接合材料の熱応力が大きくな
り接合強度が小さい。更に、接合材は一般に母材と反応
性の高い活性な低融点材料を使用する為、接合部は高温
下で強度がない。
また、無機系接着材法は接合強度が母材に比較して非常
に小さい。拡散合法、圧着法、レーザー法、電接法は、
高温下での接合強度は大きいが、接合母材形状が限られ
且つ、大型の接合装置が必要であり実用化されていない
。
に小さい。拡散合法、圧着法、レーザー法、電接法は、
高温下での接合強度は大きいが、接合母材形状が限られ
且つ、大型の接合装置が必要であり実用化されていない
。
一方、溶射技術は、ガス溶射、プラズマ溶射等があるが
、何れも耐食性または耐摩耗性を目的とした、セラミッ
クもしくは金属等のコーティング技術の１つとして存在
する。しかし、溶射膜厚が１ ｍｍ以下と薄い為、厚膜
肉盛溶射へ適用した場合、何らかの解決手段をとらない
と、熱応力の為母材と溶射接合層は剥離しまた溶射接合
層が応力割れを起こす。
、何れも耐食性または耐摩耗性を目的とした、セラミッ
クもしくは金属等のコーティング技術の１つとして存在
する。しかし、溶射膜厚が１ ｍｍ以下と薄い為、厚膜
肉盛溶射へ適用した場合、何らかの解決手段をとらない
と、熱応力の為母材と溶射接合層は剥離しまた溶射接合
層が応力割れを起こす。
ところで、金属材料同志の場合には溶射接合が見られる
が、金属材料は熱応力に対して容易に塑性変形するので
、母材と溶射接合層の剥離及び溶射接合層の応力割れは
緩和でき大きな問題でない。
が、金属材料は熱応力に対して容易に塑性変形するので
、母材と溶射接合層の剥離及び溶射接合層の応力割れは
緩和でき大きな問題でない。
しかし、セラミックは脆性材料なので塑性変形し難く、
熱能力緩和が困難であるので、溶射によるセラミックの
接合技術は、ただ単に金属の溶射肉盛技術を適用するの
みでは成し遂げられない。
熱能力緩和が困難であるので、溶射によるセラミックの
接合技術は、ただ単に金属の溶射肉盛技術を適用するの
みでは成し遂げられない。
従って、高温下で高接合強度を容易に得ることができる
セラミックの接合技術は一般化されていない。
セラミックの接合技術は一般化されていない。
（発明が解決しようとする課題）
前述のごとく、高温下で接合強度が大きい接合技術は限
られており、例え存在していても施工法が容易でなく且
つ母材形状が制限されている。
られており、例え存在していても施工法が容易でなく且
つ母材形状が制限されている。
従って、本発明の目的はこれら多くの問題を解決した高
温下で高強度を有するセラミックの接合方法を提供する
ことにある。
温下で高強度を有するセラミックの接合方法を提供する
ことにある。
（課題を解決するだめの手段）
本発明は、第１図に示したように同種もしくは異種成分
のセラミック同志をつなぎ合わせ、必要であれば開先部
もしくは開先部分にフラット面あるいは曲面を有する開
先形状を設け、その開先部分（被溶射面）に表面粗度２
０〜６０μの事前処理をプラスＩ−等により施し、必要
であれば溶射接合層／母材の熱膨張差を減少させる為、
母材を一定温度以上に予熱及び雰囲気調整をして、接合
材料を溶射により肉盛接合する方法である。
のセラミック同志をつなぎ合わせ、必要であれば開先部
もしくは開先部分にフラット面あるいは曲面を有する開
先形状を設け、その開先部分（被溶射面）に表面粗度２
０〜６０μの事前処理をプラスＩ−等により施し、必要
であれば溶射接合層／母材の熱膨張差を減少させる為、
母材を一定温度以上に予熱及び雰囲気調整をして、接合
材料を溶射により肉盛接合する方法である。
母材／溶射接合層の熱応力を緩和させる為、接合後必要
であれば、接合部を一定温度一定時間以」二熱処理及び
徐冷を実施する。熱処理及び徐冷ば、溶射接合層の鉱物
変化（相変態）を誘起し、その結果、体積変化を起こさ
せる為、熱応力緩和に有効である。
であれば、接合部を一定温度一定時間以」二熱処理及び
徐冷を実施する。熱処理及び徐冷ば、溶射接合層の鉱物
変化（相変態）を誘起し、その結果、体積変化を起こさ
せる為、熱応力緩和に有効である。
ＺｒＯ２、ＭｇＯ等の高融点接合材料を使用する場合は
、溶射機として、プラズマ溶射機を用いる。プラズマ溶
射機はフレーム温度が高く且つ溶射スピードが速い為、
高融点＋Ａ料の溶融状態を制御でき且つ緻密で強度の大
きい溶射接合層を形成できる。
、溶射機として、プラズマ溶射機を用いる。プラズマ溶
射機はフレーム温度が高く且つ溶射スピードが速い為、
高融点＋Ａ料の溶融状態を制御でき且つ緻密で強度の大
きい溶射接合層を形成できる。
接合材料は金属系、セラミック系、サーメット系何れも
よいが、母材との熱膨張率、弾性率等の物性を適合させ
る為、母材と同系の材料が好ましい。
よいが、母材との熱膨張率、弾性率等の物性を適合させ
る為、母材と同系の材料が好ましい。
溶射接合層は、溶射条件により完全溶融あるいは半溶融
を選択でき、それにより高強度の緻密接合層からスポー
ルに強い半紙密接合層へと制御できる。
を選択でき、それにより高強度の緻密接合層からスポー
ルに強い半紙密接合層へと制御できる。
溶射によるセラミックの補強法は、基本的に上記と同等
な方法で、予め接着材等で接合されている接合部を溶射
により肉盛補強する方法である。
な方法で、予め接着材等で接合されている接合部を溶射
により肉盛補強する方法である。
本発明に係わる被接合母材は、酸化物セラミ・ンク、非
酸化物セラミックを言う。
酸化物セラミックを言う。
（実施例）
第１図は、接合概念図である。１は被接合セラミックで
あり、予めブラストにより表面粗度を設ＬＪた開先を形
成させである。２は溶射装置であり、開先部に肉盛溶射
１５する。
あり、予めブラストにより表面粗度を設ＬＪた開先を形
成させである。２は溶射装置であり、開先部に肉盛溶射
１５する。
第２図は、接合装置の構成図であり、ここではプラズマ
溶射機を用いた場合を示した。１は被接合セラミック母
材であり、事前予熱、接合後の熱処理あるいは保熱ある
いは徐冷を可能とし、且つ雰囲気調整を可能とした炉１
０の中にセットしである。
溶射機を用いた場合を示した。１は被接合セラミック母
材であり、事前予熱、接合後の熱処理あるいは保熱ある
いは徐冷を可能とし、且つ雰囲気調整を可能とした炉１
０の中にセットしである。
尚、雰囲気制御炉を用いて接合する場合は、溶射機の炉
の中に入れたまま、もしくは炉外より溶射接合する２通
りの方法がある。３はプラズマ溶射ガンであり、プラズ
マジェット流は、プラズマガス４と制御装Ｗ５でコント
ロールされる。更に、接合ヰＡ籾を溶射ガンに供給する
為の粉末供給装置６で構成されている。
の中に入れたまま、もしくは炉外より溶射接合する２通
りの方法がある。３はプラズマ溶射ガンであり、プラズ
マジェット流は、プラズマガス４と制御装Ｗ５でコント
ロールされる。更に、接合ヰＡ籾を溶射ガンに供給する
為の粉末供給装置６で構成されている。
（実施例１）
母材ば、Ｚｒ０ｚ系セラミツクとし、接合部に開先を設
けた。接合材料は、母相と同系のＺｒＯ。
けた。接合材料は、母相と同系のＺｒＯ。
−３Ａｐ、、Ｏ，・２ＳｉＯｚ系とした。表１に、母材
及び接合材料の化学成分を示した。
及び接合材料の化学成分を示した。
プラズマ溶射条件は、次に示した通りとした。
溶射距離 ：１０ｃｍ
溶射ガン移動速度 ： ５０ ｃｍ ／ｓｅｃ粉末
供給速度 ： ５５ ｇ ／ｍｉｎプラズマ溶
射ガン出力 ：４０Ｋｗ プラズマガス ：Ａｒ−Ｈ２肉盛接合前処理
として、ブラストにまり接合面（被溶射面）にＲｍａｘ
： ５〜８０μの表面粗度をイ（］けた。表面粗度は
ブラスト材（Ａ／７．０３−３ｉＣ）を＃１０〜＃３０
００に変えることにより制御した。
供給速度 ： ５５ ｇ ／ｍｉｎプラズマ溶
射ガン出力 ：４０Ｋｗ プラズマガス ：Ａｒ−Ｈ２肉盛接合前処理
として、ブラストにまり接合面（被溶射面）にＲｍａｘ
： ５〜８０μの表面粗度をイ（］けた。表面粗度は
ブラスト材（Ａ／７．０３−３ｉＣ）を＃１０〜＃３０
００に変えることにより制御した。
第３図は平板に溶射した場合の、母材／溶射層の接着剪
断強度と母材の表面粗度の関係であるが、高強度が得ら
れたのは２０μ≦Ｒｍａｘ≦６０μであった。接合４．
ｔ ＩＩの粒子径が３０μであるので、その大きさの１
／２〜２の母材表面粗度が有効である。
断強度と母材の表面粗度の関係であるが、高強度が得ら
れたのは２０μ≦Ｒｍａｘ≦６０μであった。接合４．
ｔ ＩＩの粒子径が３０μであるので、その大きさの１
／２〜２の母材表面粗度が有効である。
また、この時第４図に示したように母材の温度は８００
°Ｃ以上が必要であった。予熱は、溶射直後の溶射接合
層と母材の温度差を低減でき、熱応力を緩和する効果が
ある。特に、ＺｒＯ，のような熱膨張率が大きい（１０
Ｘ １０−６／’Ｃ）材料に有効である。
°Ｃ以上が必要であった。予熱は、溶射直後の溶射接合
層と母材の温度差を低減でき、熱応力を緩和する効果が
ある。特に、ＺｒＯ，のような熱膨張率が大きい（１０
Ｘ １０−６／’Ｃ）材料に有効である。
上記の条件で前処理及び予熱を行った後、接合を実施し
、その後予熱温度より１０’Ｃ／ｍｉｎで徐冷した。徐
冷は、熱膨張の大きい接合体に耐スポール効果がある。
、その後予熱温度より１０’Ｃ／ｍｉｎで徐冷した。徐
冷は、熱膨張の大きい接合体に耐スポール効果がある。
得られた接合体を４０ Ｘ ４ Ｘ ３ ｒｆｌｍの形
状に切り出し、４点曲げ強度を測定した。
状に切り出し、４点曲げ強度を測定した。
第５図は、開先角度と接合強度の関係を示した結果であ
るが、開先角度６０°以下では溶射接合層が緻密化しな
い為接合せず、良好な接合の為には１２０ａ以上必要と
した。
るが、開先角度６０°以下では溶射接合層が緻密化しな
い為接合せず、良好な接合の為には１２０ａ以上必要と
した。
〜９−
また、第６図に示した開先部分をフラットにした接合体
も良好な接合強度が得られた。溶射接合層と母材の密着
性あるいは溶射接合層の緻密性が良好である条件は、溶
射フレームが母材の被溶射面に対して少なくとも６０°
以上必要であり、垂直に近いほど良好である理由による
。
も良好な接合強度が得られた。溶射接合層と母材の密着
性あるいは溶射接合層の緻密性が良好である条件は、溶
射フレームが母材の被溶射面に対して少なくとも６０°
以上必要であり、垂直に近いほど良好である理由による
。
従って、第５図のような単純開先形状の場合、６０°以
上必要で、１２０°以上が良好である。
上必要で、１２０°以上が良好である。
また、第６図に示した形状の開先は、溶射フレームが母
材の被溶射面に対して６０″以上となる形状が必要であ
った。１５は溶射層である。
材の被溶射面に対して６０″以上となる形状が必要であ
った。１５は溶射層である。
第７図は開先角度１２０°の接合体の熱間１０００°Ｃ
迄の接合強度を示した結果であるが、接合強度は、常温
で１５ｋｇ／ｍｍ”であり、１０００°Ｃ熱間で１２ｋ
ｇ／胴２であった。
迄の接合強度を示した結果であるが、接合強度は、常温
で１５ｋｇ／ｍｍ”であり、１０００°Ｃ熱間で１２ｋ
ｇ／胴２であった。
（実施例２）
ＺｒＯ□のような高融点材料でないセラミックの接合の
場合は、プラズマ溶射を適用しなくてもプロパンガス溶
射等で接合が可能である。表２は示したように、母材ば
Ａｊｌ！ｚＯｓ ・ＴｉＯ□系セラミック、接合材料
は母材と同系とした。
場合は、プラズマ溶射を適用しなくてもプロパンガス溶
射等で接合が可能である。表２は示したように、母材ば
Ａｊｌ！ｚＯｓ ・ＴｉＯ□系セラミック、接合材料
は母材と同系とした。
表２
（ｗｔ％）
プ１コパンガス溶射接合条件は、次に示した通りとした
。
。
溶射距離 ：１０ｃｍ
溶射ガン移動速度 ： ５０ ｃｍ／ｓｅｃ粉末供
給速度 ： ２５ ｇ ／ｍｉｎガス
：プロパンー酸素母材表面粗度 ：
３ｏμ 開先角度 ：１２０’ Ａｊ２２０３ ・ＴｉＯ□は熱膨張率が小さいので予熱
は必要なく常温で接合可能であった。また、徐冷、保熱
、熱処理ば必要ではなかった。（実施例１）と同様に接
合体の接合強度を評価した結果、４点曲げ常温強度”？
： ３．５ｋｇ／ｍｍ２．１０００ ’Ｃ熱間で３．０
ｋｇ ／ ｍｍ ” と母材の強度４．５ｋｇ ／ ｍ
ｍ ” と近い値を示した。
給速度 ： ２５ ｇ ／ｍｉｎガス
：プロパンー酸素母材表面粗度 ：
３ｏμ 開先角度 ：１２０’ Ａｊ２２０３ ・ＴｉＯ□は熱膨張率が小さいので予熱
は必要なく常温で接合可能であった。また、徐冷、保熱
、熱処理ば必要ではなかった。（実施例１）と同様に接
合体の接合強度を評価した結果、４点曲げ常温強度”？
： ３．５ｋｇ／ｍｍ２．１０００ ’Ｃ熱間で３．０
ｋｇ ／ ｍｍ ” と母材の強度４．５ｋｇ ／ ｍ
ｍ ” と近い値を示した。
（実施例３）
現状技術では非酸化物セラミックの溶射は困難である為
、非酸化物セラミック母材を接合する場合、接合材料は
母材と同系の材料を適用できないが、雰囲気調整炉の中
で溶射接合することにより、母材と同質系に近い材料で
接近することが可能となった。
、非酸化物セラミック母材を接合する場合、接合材料は
母材と同系の材料を適用できないが、雰囲気調整炉の中
で溶射接合することにより、母材と同質系に近い材料で
接近することが可能となった。
ここでは、表３に成分を示したように、母材は反応焼結
のＳｉ３Ｎ４とし、接合材料はＡＩ！、２０３ ３Ａ
ｉ！ｚ Ｏ３／２Ｓ １０２ Ａｊ！ Ｓ ｉ系複
合材料とした。
のＳｉ３Ｎ４とし、接合材料はＡＩ！、２０３ ３Ａ
ｉ！ｚ Ｏ３／２Ｓ １０２ Ａｊ！ Ｓ ｉ系複
合材料とした。
表３ （ｗｔ％）
プラズマ溶射接合条件は、次に示した通りとした。
溶射距離 ：１０ｃｍ
溶射ガン移動速度 ： ５ Ｑ ｃｍ／ｓｅｃ粉末
供給速度 ： ３０ ｇ ／ｍｉｎプラズマ溶
射ガン出力 ：４０Ｋｗ プラズマガス ：Ｎｚ−Ｈ□母材表面粗度
：３０μ 開先角度 ：１２０゜ 接合は、溶射材料のＡ！、ＳｉがＮ２と反応してＡＥＮ
、Ｓｉ３Ｎ４ となって溶射接合層を形成するよう、母
材をＮ２雰囲気１０００°Ｃの炉の中へ母材を設置した
まま炉内で行った。
供給速度 ： ３０ ｇ ／ｍｉｎプラズマ溶
射ガン出力 ：４０Ｋｗ プラズマガス ：Ｎｚ−Ｈ□母材表面粗度
：３０μ 開先角度 ：１２０゜ 接合は、溶射材料のＡ！、ＳｉがＮ２と反応してＡＥＮ
、Ｓｉ３Ｎ４ となって溶射接合層を形成するよう、母
材をＮ２雰囲気１０００°Ｃの炉の中へ母材を設置した
まま炉内で行った。
また溶射接合後、未反応のＡＩ！、、Ｓｉを完全に窒化
させる為、溶射後接合体は１０００ ’Ｃ以上の熱処理
及び徐冷を行った。
させる為、溶射後接合体は１０００ ’Ｃ以上の熱処理
及び徐冷を行った。
上記の予熱及び熱処理及び徐冷を行った溶射接合層は気
孔が少なく強固に接合しており、常温接合強度１．５ｋ
ｇ／ｍｍ２、熱間接合強度６．８ｋｇ／＋＋＋ｏ＋２で
あった。
孔が少なく強固に接合しており、常温接合強度１．５ｋ
ｇ／ｍｍ２、熱間接合強度６．８ｋｇ／＋＋＋ｏ＋２で
あった。
予熱及び熱処理をしない接合体は、常温接合強度は、４
．１ｋｇ／ｍｍ２であったが、熱間１０００ ’Ｃでは
接合強度はなかった。これは、熱間では溶射接合層のＮ
２と未反応の、６−ｆ２．Ｓｔの強度がない為である。
．１ｋｇ／ｍｍ２であったが、熱間１０００ ’Ｃでは
接合強度はなかった。これは、熱間では溶射接合層のＮ
２と未反応の、６−ｆ２．Ｓｔの強度がない為である。
熱処理は、１０００ ’Ｃ以上必要であるカベ時間は溶
射接合層の量に支配され、ここでは１１）１以上必要と
した。
射接合層の量に支配され、ここでは１１）１以上必要と
した。
（実施例４）
大型形状母材を接合する場合は、第８図に示したように
接合部を温度制御炉１０のｔｌｊに入れたまま溶射肉盛
接合した。接合母材１及び接合材料１′の成分は、（実
施例１）に示したＺｒ０ｚ系とし、接合条件も同様とし
た。その結果、第８図に示した３ ００ Ｘ ５０ Ｘ
５０ ｍｍの接合体で９．５ｋｇ／ｎ＋ｍ２の接合強
度を得た。１５は溶射接合層、１６は溶射用の窓、３は
溶射機を示す。
接合部を温度制御炉１０のｔｌｊに入れたまま溶射肉盛
接合した。接合母材１及び接合材料１′の成分は、（実
施例１）に示したＺｒ０ｚ系とし、接合条件も同様とし
た。その結果、第８図に示した３ ００ Ｘ ５０ Ｘ
５０ ｍｍの接合体で９．５ｋｇ／ｎ＋ｍ２の接合強
度を得た。１５は溶射接合層、１６は溶射用の窓、３は
溶射機を示す。
（実施例５）
第９図に予め無機接着材法にて接合されている接合体１
．１′を、溶射にて補強する方法を示した。母材及び接
合材料は、（実施例２）と同じとした。接合部にブラス
トによりＲｍａｘ３０μの表面粗度を設＆Ｊた後、接合
部を（実施例３）に示した条件にて溶射肉盛補強１５し
た。その結果、接合体の接合強度を現状の無機接着材法
から大幅に向」二できた。
．１′を、溶射にて補強する方法を示した。母材及び接
合材料は、（実施例２）と同じとした。接合部にブラス
トによりＲｍａｘ３０μの表面粗度を設＆Ｊた後、接合
部を（実施例３）に示した条件にて溶射肉盛補強１５し
た。その結果、接合体の接合強度を現状の無機接着材法
から大幅に向」二できた。
以上水したように、溶射によるセラミックの接合方法に
より、高温下で強度が大きい接合方法が達成できた。本
発明によって、接合によるセラミックの大型構造体、例
えば、セラミックの単管の製造等が可能となったので、
第１０図ａ、ｂ、ｃに見られるような高温流体輸送用セ
ラミック配管、セラミック製熱交換機、セラミックエン
ジンの製造への期待がもてる。また、耐熱性の不足して
いる接合部の補強へ技術適用でき、設備メンテナンス費
用の削減が期待できる。
より、高温下で強度が大きい接合方法が達成できた。本
発明によって、接合によるセラミックの大型構造体、例
えば、セラミックの単管の製造等が可能となったので、
第１０図ａ、ｂ、ｃに見られるような高温流体輸送用セ
ラミック配管、セラミック製熱交換機、セラミックエン
ジンの製造への期待がもてる。また、耐熱性の不足して
いる接合部の補強へ技術適用でき、設備メンテナンス費
用の削減が期待できる。
（発明の効果）
本発明はＷ−膜肉盛溶射によって高温下で高強度を有す
るセラミックの結合をうることができる。
るセラミックの結合をうることができる。
第１図は本発明の説明図、第２図は本発明の詳細な説明
図、第３図は表面粗度と接着剪断強度の図表、第４図は
母材予熱温度と接着剪断強度の図表、第５図は開先角度
と接合強度の図表、第６図は開先部接合体の説明図、第
７図は試験温度と接合強度との図表、第８図は本発明の
実施例の模式図、第９図は本発明の他の実施例の説明図
、第１０図ａ、ｂ、ｃは本発明の詳細な説明図である。 代理人 弁理士 茶 野 木 立 夫 （２１／を暉Ｃメ）■乳せ妊 （２警７８Ｎ）ダ藪せ姓 （２雰ゲｅＪ）双襲押（１ｖ （β壓ム）鐸腸刷Ｗ貢 （ａ） （看） （Ｃ）
図、第３図は表面粗度と接着剪断強度の図表、第４図は
母材予熱温度と接着剪断強度の図表、第５図は開先角度
と接合強度の図表、第６図は開先部接合体の説明図、第
７図は試験温度と接合強度との図表、第８図は本発明の
実施例の模式図、第９図は本発明の他の実施例の説明図
、第１０図ａ、ｂ、ｃは本発明の詳細な説明図である。 代理人 弁理士 茶 野 木 立 夫 （２１／を暉Ｃメ）■乳せ妊 （２警７８Ｎ）ダ藪せ姓 （２雰ゲｅＪ）双襲押（１ｖ （β壓ム）鐸腸刷Ｗ貢 （ａ） （看） （Ｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 同種もしくは異種成分の分割されたセラミック同志
を接合するに当り、接合部にＲｍａｘ２０〜６０μの表
面粗度を形成し、接合部へ肉盛溶射したことを特徴とす
るセラミックの接合方法。 ２ 予め接着材等により接合している同種もしくは異種
成分のセラミック同志の接合部に、Ｒｍａｘ２０〜６０
μの表面粗度を形成し、接合部へ肉盛溶射し、接合部を
補強したことを特徴とするセラミックの接合方法。 ３ 接合部に開先部もしくは開先部分にフラット面ある
いは曲面を有する開先形状を形成せしめ、しかる後に接
合部へ肉盛溶射することを特徴とする請求項１又は２に
記載するセラミックの接合方法。 ４ 接合母材を予熱した後、肉盛溶射することを特徴と
する請求項１又は２に記載するセラミックの接合方法。 ５ 接合母材をＯ＿２、Ｈ＿２、Ｎ＿２、減圧等の雰囲
気調整できる炉の中へいれたまま、肉盛溶射することを
特徴とする請求項１又は２に記載するセラミックの接合
方法。 ６ 溶射接合後、接合部を熱処理あるいは保熱あるいは
除冷を施することを特徴とする請求項１又は２に記載す
るセラミックの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7847388A JPH01249666A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 溶射によるセラミックの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7847388A JPH01249666A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 溶射によるセラミックの接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01249666A true JPH01249666A (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=13662986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7847388A Pending JPH01249666A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 溶射によるセラミックの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01249666A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251476A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Tokai Carbon Co Ltd | セラミックス材料の接合方法 |
| US5537508A (en) * | 1993-03-22 | 1996-07-16 | Applied Materials, Inc. | Method and dry vapor generator channel assembly for conveying a liquid from a liquid source to a liquid vaporizer with minimal liquid stagnation |
| EP1310466A3 (en) * | 2001-11-13 | 2003-10-22 | Tosoh Corporation | Quartz glass parts, ceramic parts and process of producing those |
| KR20180026398A (ko) * | 2015-07-03 | 2018-03-12 | 플란제 에스이 | 내화 금속제 용기 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP7847388A patent/JPH01249666A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251476A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Tokai Carbon Co Ltd | セラミックス材料の接合方法 |
| US5537508A (en) * | 1993-03-22 | 1996-07-16 | Applied Materials, Inc. | Method and dry vapor generator channel assembly for conveying a liquid from a liquid source to a liquid vaporizer with minimal liquid stagnation |
| EP1310466A3 (en) * | 2001-11-13 | 2003-10-22 | Tosoh Corporation | Quartz glass parts, ceramic parts and process of producing those |
| KR20180026398A (ko) * | 2015-07-03 | 2018-03-12 | 플란제 에스이 | 내화 금속제 용기 |
| JP2018528321A (ja) * | 2015-07-03 | 2018-09-27 | プランゼー エスエー | 耐熱金属製容器 |
| US10730111B2 (en) | 2015-07-03 | 2020-08-04 | Plansee Se | Container of refractory metal |
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